KR101244268B1 - 물품 반송 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 구성의 복잡화 및 비용 상승을 초래하지 않고, 물품을 신속하게 반송할 수 있고 반송 능력의 향상을 도모할 수 있는 물품 반송 설비의 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 따르면, 주행 경로 S로서 주경로(20)에 대하여 한쪽에 설치된 부경로(21)에 일단부가 접속되고, 주경로(20)에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로(21)에 타단부가 접속되고, 도중 부분이 주경로(20)를 횡단하는 제2 연결 경로(27)가 제1 연결 경로와는 별도로 설치되고, 물품 반송차(3)는, 제2 연결 경로(27)를 따라 주경로(20)에 대하여 한쪽에 설치된 부경로(21)로부터, 주경로(20)와의 접속 개소인 교차부 K를 통과시켜, 주경로(20)에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로(21)에 주행 가능하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 천정측에 설치된 주행 레일에 의해 형성되는 주행 경로를 따라 주행하도록 구성된 복수의 물품 반송차가 설치되고, 상기 주행 경로로서, 환형(環形)의 주경로와, 각각이 적어도 하나의 물품 반송 개소(個所)를 경유하는 상태로 설치된 부경로와, 상기 주경로와 상기 부경로를 연결하여 상기 물품 반송차의 상기 주경로로부터 상기 부경로로의 분기 주행 및 상기 부경로로부터 상기 주경로로의 합류 주행을 가능하게 하는 제1 연결 경로가 설치되고, 상기 부경로가, 상기 주경로의 외측에 있어서 상기 주경로를 사이에 두고 한쪽과 다른 쪽의 양측에 설치되어 있는 물품 반송 설비에 관한 것이다.
이와 같은 물품 반송 설비에서는, 예를 들면 주경로에 존재하는 물품 반송차에 대하여 반송할 곳으로서, 부경로에 배치된 물품 반송 개소가 지령되면, 그 물품 반송차는, 반송할 곳으로서 지령된 물품 반송 개소가 존재하는 부경로의 분기 개소까지 주경로를 주행한 후, 주경로로부터 부경로로 분기 주행하고, 반송할 곳으로서 지령된 물품 반송 개소에 대응하는 정지 위치까지 부경로를 따라 주행하고 있다. 또한, 부경로에 존재하는 물품 반송차에 대하여 반송할 곳으로서 다른 부경로의 물품 반송 개소가 지령되면, 그 물품 반송차는, 부경로로부터 주경로로 합류 주행한 후, 반송할 곳으로서 지령된 물품 반송 개소가 존재하는 부경로의 분기 개소까지 주경로를 주행하고, 그 후 주경로로부터 부경로로 분기 주행하고, 지정된 물품 반송 개소에 대응하는 정지 위치까지 부경로를 따라 주행하고 있다. 이와 같이, 물품 반송차는, 주경로로부터 부경로로의 분기 주행이나 부경로로부터 주경로로의 합류 주행을 행하면서, 반송할 곳으로서 지령된 물품 반송 개소에 대응하는 정지 위치까지 주행하고 있다.
여기서, 부경로에 존재하는 물품 반송차에 대하여, 반송할 곳으로서 주경로를 사이에 두고 반대측에 설치되어 있는 부경로에 존재하는 물품 반송 개소가 지령되는 경우가 있다. 이 경우에는, 그 물품 반송차가, 주경로에 합류 주행한 후 주경로를 따라 주행하게 되지만, 주경로를 사이에 두고 반대측에 설치되어 있는 부경로의 분기 개소까지 환형의 주경로를 주행해야만 한다. 따라서, 물품 반송차의 주행 거리가 길어져서, 물품 반송을 효율적으로 행할 수 없어서, 반송 능력의 저하를 초래하고 있다.
그래서, 종래의 물품 반송 설비에서는, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로와 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로 사이에서의 물품 반송을 행하는 반송 컨베이어가 설치되어 있다. 어떤 부경로에 존재하는 물품 반송차에 대하여, 반송할 곳으로서 주경로를 사이에 두고 반대측에 설치되어 있는 부경로에 존재하는 물품 반송 개소가 지령된 경우에는, 그 물품 반송차로부터 반송 컨베이어에 물품을 옮겨싣고, 반송 컨베이어에 의해 그 물품을 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로까지 반송하고 있다. 그리고, 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로에 존재하는 물품 반송차가, 반송 컨베이어에 의해 반송된 물품을 수취하고, 반송할 곳으로서 지령된 물품 반송 개소에 대응하는 정지 위치까지 주행하고 있다(예를 들면, 일본 특허출원 공개번호 2006-319154호 공보 참조).
일본특허출원공개번호2006-319154호공보
상기 문헌에 기재된 설비에서는, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소로부터 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소까지 물품을 반송할 때, 물품 반송차가 물품을 반송 컨베이어에 옮겨싣는 작업이나 물품 반송차가 반송 컨베이어로부터 물품을 수취하는 작업을 실시해야만 하므로, 그 작업에 시간이 걸려서, 물품을 빨리 반송할 수 없는 문제점이 있었다. 또한, 물품 반송차 외에, 반송 컨베이어를 설치해야만 하므로, 구성의 복잡화 및 비용 상승을 초래하고 있었다.
본 발명은, 전술한 바와 같은 점에 착안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소로부터 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소까지 물품을 반송하는 경우라도, 구성의 복잡화 및 비용 상승을 초래하지 않고, 물품을 신속하게 반송할 수 있으며 반송 능력의 향상을 도모할 수 있는 물품 반송 설비를 제공하는 점에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 물품 반송 설비는, 천정측에 설치된 주행 레일에 의해 형성되는 주행 경로를 따라 주행하도록 구성된 복수의 물품 반송차가 설치되고,
상기 주행 경로로서, 환형의 주경로와, 각각 적어도 하나의 물품 반송 개소를 경유하는 상태로 설치된 부경로와, 상기 주경로와 상기 부경로를 연결하여 상기 물품 반송차의 상기 주경로로부터 상기 부경로로의 분기 주행 및 상기 부경로로부터 상기 주경로로의 합류 주행을 가능하게 하는 제1 연결 경로가 설치되고,
상기 부경로가, 상기 주경로의 외측에 있어서 상기 주경로를 사이에 두고 한쪽과 다른 쪽의 양측에 설치되어 있는 물품 반송 설비로서,
상기 주행 경로로서, 상기 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 상기 부경로에 일단부가 접속되고, 상기 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 상기 부경로에 타단부가 접속되고, 도중 부분이 상기 주경로를 횡단하는 제2 연결 경로가 상기 제1 연결 경로와는 별도로 설치되고,
상기 물품 반송차는, 상기 제2 연결 경로에 의해, 상기 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 상기 부경로로부터, 상기 주경로와의 접속 개소에서 있는 교차부를 통과시켜서, 상기 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 상기 부경로에 주행 가능하도록 구성되어 있다.
이와 같은 구성에 의하면, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소로부터 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소까지 물품을 반송하는 경우에는, 물품 반송차가, 제2 연결 경로를 따라 주행함으로써, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로로부터 주경로와의 접속 개소인 교차부를 통과하여 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로로 주행할 수 있다. 이에 따라, 물품 반송차는, 주경로를 주행하지 않고, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로로부터 다른 쪽에 설치된 부경로로 주행할 수 있다. 따라서, 물품 반송차가, 다른 장치 사이에서의 물품의 옮겨싣기를 행하지 않고, 제2 연결 경로를 따라 주행하는 것만으로, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소로부터 다른 쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소까지 물품을 반송할 수 있다. 그리고, 제2 연결 경로를 단지 설치하는 것만으로, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로로부터 다른 쪽에 설치된 부경로로의 주행이 가능하게 된다.
따라서, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소로부터 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소까지 물품을 반송하는 경우라도, 구성의 복잡화 및 비용 상승을 초래하지 않고, 물품을 신속하게 반송할 수 있고 반송 능력의 향상을 도모할 수 있는 물품 반송 설비를 실현할 수 있다.
본 발명에 의한 물품 반송 설비의 실시예에서는, 상기 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 상기 부경로와 상기 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 상기 부경로가 상기 주경로를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치되고, 상기 제2 연결 경로가, 상기 주경로를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치된 상기 부경로끼리를 연결하는 직선형 경로에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로와 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로를 주경로를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치함으로써, 복수의 부경로를 주경로에 대하여 대칭적으로 설치할 수 있다. 따라서, 주행 경로의 전체를 심플한 형상의 경로로 만들 수 있으므로, 구성의 간소화를 도모할 수 있으며, 주행 경로의 배치를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 제2 연결 경로는, 단순한 직선형의 경로로 만들 수 있으므로, 이 점에서도 구성의 간소화를 도모할 수 있고, 제2 연결 경로에서의 물품 반송차의 주행 속도를 올릴 수가 있고, 제2 연결 경로에서의 물품 반송차의 주행을 신속하고 안정적으로 행할 수 있다.
본 발명에 의한 물품 반송 설비의 실시예에서는, 동일한 상기 부경로끼리 연결하는 상기 제2 연결 경로가 2개 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 2개의 제2 연결 경로 중의 하나를, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로로부터 다른 쪽에 설치된 부경로로 물품 반송차를 주행시키기 위한 경로로 하고, 다른 하나를 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로로부터 한쪽에 설치된 부경로로 물품 반송차를 주행시키기 위한 경로로 할 수 있다. 이에 따라, 2개의 제2 연결 경로의 양쪽에 의해 물품 반송차를 엇갈리도록 주행시키면서, 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소와 다른 쪽에 설치된 부경로의 물품 반송 개소 사이에서의 물품 반송을 행할 수 있어서, 제2 연결 경로를 유효하게 활용하여 반송 능력의 향상을 효과적으로 도모할 수 있다.
본 발명에 의한 물품 반송 설비의 실시예에서는, 상기 교차부에는, 상기 주경로를 따라 상기 물품 반송차를 통과시키는 제1 전환 상태와 상기 제2 연결 경로를 따라 상기 물품 반송차를 통과시키는 제2 전환 상태로 전환 가능한 전환 레일과, 상기 전환 레일을 상기 제1 전환 상태와 상기 제2 전환 상태로 전환 조작 가능한 전환 조작 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 물품 반송차가 주경로를 따라 교차부를 통과할 때에는, 전환 조작 수단이 전환 레일을 제1 전환 상태로 전환하여, 물품 반송차가 전환 레일을 따라 주행하여 교차부를 통과할 수 있다. 또한, 물품 반송차가 제2 연결 경로를 따라 교차부를 통과할 때에는, 전환 조작 수단이 전환 레일을 제2 전환 상태로 전환하여, 물품 반송차가 전환 레일을 따라 주행하여 교차부를 통과할 수 있다. 따라서, 물품 반송차가 주경로를 따라 교차부를 통과할 때에도, 물품 반송차가 제2 연결 경로를 따라 교차부를 통과할 때에도, 물품 반송차가 전환 레일을 따라 주행할 수 있어서, 물품 반송차가 안정적이면서 정확하게 교차부를 통과할 수 있다.
본 발명에 의한 물품 반송 설비의 실시예에서는, 상기 전환 조작 수단은, 상기 교차부로의 상기 물품 반송차의 진입에 수반하여 상기 물품 반송차에 구비된 조작부에 의해 조작되어 상기 전환 레일을 상기 제1 전환 상태로부터 상기 제2 전환 상태로 전환 및 상기 제2 전환 상태로부터 상기 제1 전환 상태로 전환 조작 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 물품 반송차가 교차부에 진입하면, 예를 들면 물품 반송차에 구비된 조작부에 의해 전환 레일을 가압 조작하여, 전환 레일을 제1 전환 상태로부터 제2 전환 상태로 전환 및 제2 전환 상태로부터 제1 전환 상태로 전환할 수 있다. 따라서, 교차부로 전환 레일을 전환하기 위한 구동부 등을 형성하지 않아도 되고, 그만큼 구성의 간소화를 도모하면서, 물품 반송차가 교차부를 통과할 수 있다.
본 발명에 의한 물품 반송 설비의 실시예에서는, 상기 전환 조작 수단은, 전환 구동 수단의 구동에 의해 상기 전환 레일을 상기 제1 전환 상태로부터 상기 제2 전환 상태로 전환 및 상기 제2 전환 상태로부터 상기 제1 전환 상태로 전환 조작 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 물품 반송차가 교차부에 진입할 때에는, 전환 구동 수단의 구동에 의해 전환 레일을 제1 전환 상태로부터 제2 전환 상태로 전환 및 제2 전환 상태로부터 제1 전환 상태로 전환을 확실하게 행할 수 있다. 따라서, 전환 레일을 제1 전환 상태 또는 제2 전환 상태로 확실하게 전환하여, 물품 반송차가 교차부를 확실하게 통과할 수 있다.
본 발명에 의한 물품 반송 설비의 실시예에서는, 상기 주경로로서, 환형의 제1 주경로와, 상기 제1 주경로의 외측에 있어서 상기 제1 주경로를 사이에 두고 한쪽과 다른 쪽과의 양측에 설치되어 상기 제1 주경로에 대하여 상기 물품 반송차가 분기 및 합류 가능하게 접속된 제2 주경로가 설치되고, 상기 부경로는, 상기 제2 주경로에 대하여 상기 물품 반송차가 분기 및 합류 가능하게 접속되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 물품 반송차가 제1 주경로로부터 부경로에 주행하는 경우에, 제1 주경로로부터 제2 주경로로 옮겨타고, 또한 제2 주경로로부터 부경로로 옮겨타게 된다. 그래서, 제1 주경로와 제2 주경로 사이에서의 분기 합류 개소를 복수개 형성함으로써, 제1 주경로에서의 물품 반송차의 주행 거리를 짧게 하면서, 물품 반송차가 제1 주경로로부터 제2 주경로로 옮겨탈 수 있다. 따라서, 물품 반송차가 제1 주경로로부터 부경로로 주행하는 경우라도, 제1 주경로에서의 주행 거리를 짧게 하여 주행 가능하므로, 물품 반송차를 효율적으로 주행시킬 수 있어서 반송 능력의 향상과 결부된다. 또한, 주경로로서, 제1 주경로뿐만 아니라, 제2 주경로도 설치하고 있으므로, 물품 반송차가 목적하는 곳으로 주행할 때 복수의 경로를 용이하게 선택 가능하도록 하고, 하나의 경로에 대하여 복수의 물품 반송차가 집중적으로 주행하는 것을 억제할 수 있어서, 복수의 물품 반송차를 효율적으로 주행시킬 수 있다.
본 발명에 의한 물품 반송 설비의 실시예에서는, 복수의 상기 부경로가, 상기 주경로에서의 상기 물품 반송차의 주행 방향으로 나란히 배열된 상태로 설치되어 있는 것이 바람직하다.
도 1은 물품 반송 설비의 전체 평면도이다.
도 2는 물품 반송 설비의 일부를 나타낸 측면도이다.
도 3은 주행 방향을 따른 방향에서의 물품 반송차의 단면도이다.
도 4는 분기부를 나타낸 평면도이다.
도 5는 교차부를 나타낸 평면도이다.
도 6은 교차부를 나타내는 주행 방향을 따른 방향에서의 단면도이다.
도 7은 물품 반송차가 교차부를 통과할 때의 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은 물품 반송차가 교차부를 통과할 때의 상태를 나타낸 도면이다.
도 9는 다른 실시예에 있어서의 교차부를 나타낸 도면이다.
물품 반송 설비의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
이 물품 반송 설비는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반도체 기판에 대하여 처리를 행하는 복수의 물품 처리부(1)를 구비한다. 이들 물품 처리부(1)를 경유하는 상태에서 주행 레일(2)이 천정측에 설치되어 주행 경로 S가 형성되어 있고, 주행 경로 S를 따라 한쪽 방향으로 이동 가능한 천정 반송식 물품 반송차(3)가 복수개 설치되어 있다. 이 물품 반송 설비에서는, 반도체 기판을 수납한 용기를 물품(4)으로 하고, 물품 반송차(3)가 복수의 물품 처리부(1) 사이에서 물품(4)을 반송하도록 구성되어 있다. 주행 레일(2)은, 주행 레일용 브래킷(5)에 의해 천정부에 고정 상태로 설치되어 있다(도 2 참조).
물품 반송차(3)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품(4)을 매단(懸垂) 상태로 파지하는 파지부(6)를 승강 가능하게 구비하고 있다. 파지부(6)는, 물품 반송차(3)가 정지한 상태에 있어서, 와이어(7)를 감거나 또는 푸는 것에 의해, 물품 반송차(3)에 근접시키는 상승 위치와 물품 반송차(3)보다 하부 측에 설치된 물품 옮겨싣기용 스테이션(8)(물품 반송 개소에 상당) 사이에서 물품의 옮겨싣기를 행하는 하강 위치에 승강 가능하게 설치되어 있다. 와이어(7) 대신, 예를 들면 벨트를 이용할 수도 있다.
부언하면, 도 2에서는, 파지부(6)가 상승 위치로부터 하강 위치로 하강하는 경우를 한쪽에 나타내고, 파지부(6)를 하강 위치로부터 상승 위치로 상승시키는 경우를 다른 쪽에 나타내고 있다.
스테이션(8)은, 물품(4)을 탑재 지지하는 탑재대에 의해 구성되어 있다. 그리고, 스테이션(8)은, 물품 처리부(1)에 의해 소정의 처리를 행하는 물품(4)을 물품 반송차(3)로부터 수취하거나 또는 물품 처리부(1)에 의해 소정의 처리를 행한 물품(4)을 물품 반송차(3)에 건네주기 위한 것이며, 복수의 물품 처리부(1) 각각에 대응하여 배치되어 있다.
물품 반송차(3)는, 파지부(6)를 상승 위치에 위치시킨 상태에서 주행 레일(2)을 따라 이동하고, 복수의 스테이션(8) 중, 이송탑재 대상의 스테이션(8)에 대응하는 정지 위치에 정지한 상태에서 상승 위치와 하강 위치 사이에서 파지부(6)를 승강시킴으로써, 스테이션(8) 사이에서 물품(4)의 교환을 행하도록 구성되어 있다.
물품 반송차(3)는, 주행 레일(2) 상을 주행하는 주행 구동부(9)와 주행 레일(2)의 아래쪽에 위치하도록 주행 구동부(9)에 매달려서 지지된 물품 지지부(10)를 구비하여 구성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 주행 구동부(9)에는, 구동 모터(11)에 의해 회전 구동되어 한쌍의 주행 레일(2) 각각의 수평면을 따른 상면을 전동(轉動)하는 주행륜(12)과, 한쌍의 주행 레일(2) 각각의 대향하는 상하 방향을 따른 측면에 맞닿는 회전 가능한 주행 안내륜(13)이 설치되어 있다. 그리고, 주행륜(12)이 구동 모터(11)에 의해 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향을 따른 축심 주위에서 회전 구동하고, 상하 축심 주위에서 회전 가능한 주행 안내륜(13)이 한쌍의 주행 레일(2)에 의해 맞닿아 안내됨으로써, 물품 반송차(3)가 주행 레일(2)에 안내되어 주행하도록 구성되어 있다.
여기서, 도 4에 나타낸 바와 같이, 주행륜(12)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 양 단부에 한쌍 설치되어 있고, 이 한쌍의 주행륜(12)이, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 간격을 두고 각각 2개씩 설치되어, 합계 4개의 주행륜(12)이 설치되어 있다. 주행 안내륜(13)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 양 단부에 각각 2개씩 설치되어 있고, 이들 2개의 주행 안내륜(13)이, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 간격을 두고 각각 2개씩 설치되어, 합계 8개의 주행 안내륜(13)이 설치되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 지지부(10)에는, 와이어(7)를 감아서 승강용 모터(14)에 의해 회전 구동되는 회전 드럼(15)과, 와이어(7)에 의해 매달려 지지된 파지부(6)가 설치되어 있다. 파지부(6)는, 물품(4)을 파지하는 파지 자세와 파지를 해제하는 파지 해제 자세로 파지용 모터(16)에 의해 전환 조작 가능한 파지구(17)를 구비하고 있다. 그리고, 승강용 모터(14)에 의해 회전 드럼(15)을 회전 구동시킴으로써, 파지부(6) 및 여기에 파지된 물품(4)이 승강 이동하고, 파지용 모터(16)에 의해 파지구(17)를 전환 조작함으로써 물품(4)을 파지하거나 또는 물품(4)에 대한 파지를 해제하도록 구성되어 있다.
물품 반송차(3)에는, 한쌍의 주행 레일(2) 사이에 위치하도록 수전(受電) 코일(18)이 설치되어 있고, 주행 레일(2)을 따라 설치된 급전선(19)에 교류 전류의 통전에 의해 자계를 발생시키고, 이 자계에 의해 물품 반송차(3) 측에서 필요한 전력을 수전 코일(18)에 발생시켜서, 물품 반송차(3)에 대하여 무접촉 상태로 급전을 행하도록 구성되어 있다. 또한, 급전선(19)은, 한쌍의 주행 레일(2) 사이에 설치되도록 주행 레일(2)에 의해 지지되어 있다.
이 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차(3)가 주행하는 주행 경로 S는 주행 레일(2)에 의해 형성되어 있지만, 도 1에 나타낸 바와 같이, 주행 경로 S로서, 환형의 주경로(20)와, 환형의 부경로(21)와, 주경로(20)와 부경로(21)를 연결하여 물품 반송차(3)의 주경로(20)로부터 부경로(21)로의 분기 주행 및 부경로(21)로부터 주경로(20)로의 합류 주행을 가능하게 하는 제1 연결 경로가 설치되어 있다. 여기에서의 환형이라는 것은 루프(1oop)를 형성한다는 의미이다.
[주경로]
주경로(20)로서, 대향하여 배치된 한쌍의 직선 부분과 한쌍의 직선 부분 각각의 종단부(終端部)와 시단부(始端部)를 잇는 한쌍의 커브 부분을 구비한 환형의 제1 주경로(22)와, 제1 주경로(22)의 양 외측에 제1 주경로(22)에 대하여 물품 반송차(3)가 분기 및 합류 가능하게 접속된 제2 주경로(23)가 설치되어 있다.
제1 주경로(22)의 내측에는, 바닥면 상에 세워져 설치된 물품(4)을 보관 가능한 보관부(24)가 제1 주경로(22)의 직선 부분이 연장되는 방향으로 간격을 두고 복수개 설치되어 있고, 제1 주경로(22)는 복수의 보관부(24)를 경유한 상태로 설치되어 있다. 이와 같이 하여, 제1 주경로(22)의 내측에도, 보관부(24)가 물품 반송 개소로서 설치되어 있다.
도시는 생략하지만, 보관부(24)는, 물품(4)을 탑재 지지 가능한 수납부를 상하 방향 및 좌우 방향으로 나란히 배열된 상태로 복수개 구비하고 있다. 그리고, 보관부(24)에는, 물품 반송차(3) 사이에서 물품(4)을 옮겨싣는 입출고부와, 입출고부와 각 수납부 사이에 물품(4)을 반송할 수 있는 물품 반송 장치가 구비되어 있다. 제1 주경로(22)의 경로 도중에는, 복수의 보관부(24) 각각에서의 입출고부에 대하여 물품 반송차(3)에 의해 물품(4)을 입출고하기 위한 목표 정지 위치가 설정되어 있고, 물품 반송차(3)는, 이 목표 정지 위치에 정지한 상태에서 파지부(6)를 승강시켜 보관부(24) 사이에서 물품(4)을 이송탑재하고 있다.
제1 주경로(22)에 있어서 대향하는 직선 부분끼리를 잇는 제1 쇼트컷 경로(25)가 설치되어 있고, 제1 쇼트컷 경로(25)에 의해 제1 주경로(22)의 직선 부분의 도중에도 물품 반송차(3)가 대향하는 직선 부분으로 자유롭게 옮겨탈 수 있도록 구성되어 있다.
제2 주경로(23)는, 제1 주경로(22)의 외측에 있어서 제1 주경로(22)를 사이에 두고 한쪽과 다른 쪽의 양측에 설치되어 있다. 제2 주경로(23) 각각은, 제1 주경로(22)의 직선 부분과 평행하게 배치된 직선 부분과, 제1 주경로(22)의 직선 부분에 있어서의 시단부 부근으로부터 제2 주경로(23)의 직선 부분의 시단부까지를 잇는 연결 부분과, 제2 주경로(23)의 직선 부분의 종단부로부터 제1 주경로(22)의 직선 부분에 있어서의 종단부 부근까지를 잇는 연결 부분을 구비하고 있다. 이에 따라, 제2 주경로(23) 및 제1 주경로(22)의 직선 부분에 의해 환형의 경로로 형성되어 있다. 또한, 제2 주경로(23)의 직선 부분의 도중과 제1 주경로(22)의 직선 부분의 도중 사이에서도 물품 반송차(3)를 자유롭게 옮겨탈 수 있는 제2 쇼트컷 경로(26)가 설치되어 있다.
[부경로]
부경로(21)는, 제2 주경로(23)의 외측에 있어서 제2 주경로(23)에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향으로 나란히 배열된 상태로 복수개(도 1에서는, 예를 들면 4개) 설치되어 있고, 제2 주경로(23)의 외측에 있어서 주경로(20)를 사이에 두고 한쪽과 다른 쪽의 양측에 설치되어 있다. 부경로(21)는, 주경로(20)에 대하여 한쪽에 설치된 부경로(21)와 주경로(20)에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로(21)가 주경로(20)를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치되어 있다.
각각의 부경로(21)는, 복수의 스테이션(8)을 경유하는 상태로 주경로(20)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 직선 부분과 주경로(20)에 접근하는 방향으로 연장되는 직선 부분을 대향하는 위치에 배치되어 있다. 그리고, 각각의 부경로(21)는, 한쌍의 직선 부분과 한쌍의 직선 부분 각각에서의 종단부와 시단부를 잇는 한쌍의 커브 부분을 구비한 환형으로 형성되어 있다. 부경로(21)의 경로 도중에는, 복수의 스테이션(8) 각각과 물품 반송차(3) 사이에서 물품(4)을 옮겨싣기위한 목표 정지 위치가 설정되어 있고, 물품 반송차(3)는, 이 목표 정지 위치에 정지한 상태로 파지부(6)를 승강시켜서 스테이션(8) 사이에서 물품(4)을 옮겨싣고 있다.
[제1 연결 경로]
제1 연결 경로는, 복수의 부경로(21) 각각에 대하여 설치되어 있고, 제1 연결 경로 각각은, 제2 주경로(23)의 직선 부분으로부터 분기하여 주경로(20)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 직선 부분에 접속된 분기 경로와, 주경로(20)에 접근하는 방향으로 연장되는 직선 부분의 종단부로부터 제2 주경로(23)에 합류하는 합류 경로로 구성되어 있다. 그리고, 제2 주경로(23)에 대한 분기 경로의 분기 개소가 합류 경로의 합류 개소보다 물품 반송차(3)의 주행 방향의 상류측으로 되어 있다. 물품 반송차(3)가 제2 주경로(23)로부터 부경로(21)로 분기 주행할 때, 제2 주경로(23)에서의 주행 방향인 상태에서 계속하여 부경로(21)를 따라 주행하도록 되어 있다. 또한, 물품 반송차(3)가 부경로(21)로부터 제2 주경로(23)에 합류 주행할 때, 부경로(21)에서의 주행 방향인 상태에서 계속하여 제2 주경로(23)를 따라 주행하도록 되어 있다.
여기서, 보관부(24), 제1 쇼트컷 경로(25), 및 제2 쇼트컷 경로(26)의 설치 개소는, 제1 주경로(22) 및 제2 주경로(23) 각각에서의 직선 부분에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향에 있어서 부경로(21)의 설치 개소 사이로 되어 있다. 보관부(24)는, 부경로(21)의 설치 개소 사이 전체에 설치되어 있고, 부경로(21)의 설치 개소보다 외측에도 설치되어 있다. 제1 쇼트컷 경로(25)는, 부경로(21)의 설치 개소 사이 중의 하나에 설치되어 있다. 제2 쇼트컷 경로(26)는, 부경로(21)의 설치 개소 사이 전체에 설치되어 있다.
이 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차(3)가, 주경로(20)를 주행하지 않고, 주경로(20)를 사이에 두고 한쪽에 설치된 부경로(21)와 다른 쪽에 설치된 부경로(21) 사이에서 주행 가능하도록, 주경로(20)를 사이에 두고 한쪽에 설치된 부경로(21)와 다른 쪽에 설치된 부경로(21)를 연결하는 제2 연결 경로(27)가 제1 연결 경로와는 별도로 설치되어 있다.
[제2 연결 경로]
제2 연결 경로(27)는, 그 일단부가 주경로(20)에 대하여 한쪽에 설치된 부경로(21)에 접속되고, 그 타단부가 주경로(20)에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로(21)에 접속되고, 그 도중 부분이 주경로(20)를 횡단하고 있다. 제2 연결 경로(27)는, 주경로(20)를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치된 부경로(21)끼리를 연결하는 직선형의 경로에 의해 구성되어 있다.
동일한 부경로(21)끼리를 연결하는 제2 연결 경로(27)가 2개 설치되어 있다. 이에 따라, 2개의 제2 연결 경로(27) 중의 하나를, 주경로(20)에 대하여 한쪽(예를 들면, 도 1의 좌측)의 부경로(21)로부터 다른 쪽(예를 들면, 도 1의 우측)의 부경로(21)에 물품 반송차(3)를 주행시키기 위한 경로로 하고 있고, 다른 하나를 주경로(20)에 대하여 다른 쪽(예를 들면, 도 1의 우측)의 부경로(21)로부터 한쪽(예를 들면, 도 1의 좌측)의 부경로(21)에 물품 반송차(3)를 주행시키기 위한 경로로 하고 있다. 동일한 부경로(21)끼리를 연결하는 2개의 제2 연결 경로(27) 각각은, 시단측이 한쪽 부경로(21)에 있어서 주경로(20)에 접근하는 방향으로 연장되는 직선 부분의 종단부에 접속되어 있고, 종단측이 다른 쪽 부경로(21)에 있어서 주경로(20)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 직선 부분의 시단부에 접속되어 있다. 이에 따라, 도 1의 점선 화살표로 나타낸 바와 같이, 제2 연결 경로(27)를 따라 한쪽 부경로(21)로부터 다른 쪽 부경로(21)로 물품 반송차(3)가 주행할 때, 한쪽 부경로(21)에서의 주행 방향, 제2 연결 경로(27)에서의 주행 방향, 및 다른 쪽 부경로(21)에서의 주행 방향 모두 동일한 방향으로 되어 있고, 이들 복수 경로의 부분이 일직선 상에 있으므로, 제2 연결 경로(27)를 따라 한쪽 부경로(21)로부터 다른 쪽 부경로(21)로 원활하게 주행할 수 있다.
제2 연결 경로(27)는, 제1 주경로(22)의 직선 부분 및 제2 주경로(23)의 직선 부분 각각과 직교하는 상태로 횡단하도록 설치되어 있고, 제2 연결 경로(27)와 제1 주경로(22)의 직선 부분 및 제2 주경로(23)의 직선 부분 각각과의 접속 개소가 교차부 K로 되어 있다.
제2 연결 경로(27)는, 제1 주경로(22)와의 교차부 K가 2개소 있지만, 2개의 교차부 K 부근에 제2 연결 경로(27)로부터 제1 주경로(22)에 합류하는 합류 경로가 접속되어 있다. 이에 따라, 제2 연결 경로(27)는, 제1 주경로(22)에 대하여 물품 반송차(3)를 분기 주행 및 합류 주행시킬 수 있다. 따라서, 제2 연결 경로(27)는, 주경로(20)에 대하여 한쪽 부경로(21)로부터 다른 쪽 부경로(21)에 물품 반송차(3)를 주행시킬 뿐만 아니라, 부경로(21)로부터 제2 주경로(23)를 주행하지 않고 제1 주경로(22)로 물품 반송차(3)를 주행시킬 수 있다.
제2 연결 경로(27)에는, 제2 주경로(23)로부터 분기하는 분기 경로가 접속되어 있고, 물품 반송차(3)를 제2 주경로(23)로부터 부경로(21)에 분기시키는 분기 경로의 일부를 겸하고 있다. 제2 연결 경로(27)에는, 제2 주경로(23)에 합류하는 합류 경로가 접속되어 있고, 물품 반송차(3)를 부경로(21)로부터 제2 주경로(23)에 합류시키는 합류 경로의 일부를 겸하고 있다. 이에 따라, 제2 주경로(23)와 부경로(21)를 잇는 경로의 일부를 공통 경로로서 형성할 수 있고, 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
복수의 물품 반송차(3)의 주행에 대해서는, 주행 경로 S 전체에 걸쳐 복수의 이동체(3)의 운행을 관리하는 설비 관리용 컴퓨터가 설치되어 있고, 물품 반송차(3)에는, 설비 관리용 컴퓨터로부터의 운행 지령 정보에 기초하여, 물품 반송차(3)의 작동을 제어하는 캐리지 측 제어부가 설치되어 있다. 컴퓨터나 제어부는, 종래 기술에 속하며, CPU, 메모리, 통신 유닛 등을 구비하고, 메모리에는 본 명세서에 기재되는 기능을 실시하기 위한 알고리즘이 기억되어 있다.
도시는 생략하지만, 물품 반송차(3)에는, 주행 레일(2)의 측협부(側脇部) 등에 설치되어 각 스테이션(8)나 보관부(24)에 대응하는 목표 정지 위치를 나타내는 정지판을 검출하는 정지판 검출 센서, 주행 레일(2)의 측협부 등에 설치된 주행 경로 S의 기준점으로부터의 위치(거리)를 나타내는 절대 위치판을 검출하는 절대 위치판 검출 센서, 물품 반송차(3)의 주행 거리를 검출하는 주행 거리 센서 등의 각종 센서가 설치되어 있다. 캐리지 측 제어부는, 절대 위치판 검출 센서의 검출 정보, 및 절대 위치 검출판 검출 센서를 검출한 후의 주행 거리 센서의 검출 정보에 기초하여, 물품 반송차(3)의 현재 위치가 주행 경로 S 상의 어떤 위치 인지를 파악하고 있고, 이 현재 위치 정보와 복수의 물품 반송차(3) 중 어느 이동차인지를 식별 가능한 캐리지 넘버 등의 캐리지 식별 정보를 무선 통신 등에 의해 설비 관리용 컴퓨터에 송신하고 있다.
설비 관리용 컴퓨터는, 각 캐리지 측 제어부로부터의 현재 위치 정보와 캐리지 식별 정보로부터, 복수의 물품 반송차(3) 각각의 현재 위치를 관리하면서, 복수의 물품 반송차(3)의 운행을 관리하고 있다. 설비 관리용 컴퓨터는, 복수의 물품 반송차(3) 중에서 하나의 반송 대상의 물품 반송차(3)를 선택하고, 이 선택된 물품 반송차(3)에 대하여, 복수의 스테이션(8)이나 보관부(24) 중에서 반송원 및 반송할 곳의 스테이션(8)이나 보관부(24)를 지정한 상태로 반송원의 스테이션(8)이나 보관부(24)로부터 반송할 곳의 스테이션(8)이나 보관부(24)에 물품(4)을 반송하는 반송 지령을 운행 지령 정보로서 지령하도록 구성되어 있다. 또한, 설비 관리용 컴퓨터는, 반송원으로부터 반송할 곳에 물품 반송차(3)를 주행시키는 데 있어서, 예를 들면 복수의 경로로부터 주행 거리가 가장 짧은 최단 경로를 선택하고 있고, 이 선택된 최단 경로에 의해 물품 반송차(3)를 주행시키기 위한 운행 지령 정보를 지령하도록 구성되어 있다.
이에 따라, 반송 지령을 받은 물품 반송차(3)의 캐리지 측 제어부는, 각종 센서의 검출 정보에 기초하여, 지정된 반송원의 스테이션(8)이나 보관부(24)까지 주행하기 위하여, 물품 반송차(3)의 주행을 제어하고, 파지부(6)의 승강 작동이나 파지부(6)의 전환 작동을 제어함으로써, 반송원의 스테이션(8)이나 보관부(24)로부터 물품(4)을 수취한다. 그 후, 캐리지 측 제어부는, 각종 센서의 검출 정보에 기초하여, 지정된 반송원의 스테이션(8)이나 보관부(24)까지 주행하기 위하여, 물품 반송차(3)의 주행을 제어하여, 반송할 곳의 스테이션(8)이나 보관부(24)에 물품(4)을 내리고 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 어떤 하나의 경로로부터 어떤 다른 경로로 분기하는 분기부 B(예를 들면, 도면에서 점선으로 둘러싼 부분), 어떤 하나의 경로로부터 어떤 다른 경로에 합류하는 합류부 G(예를 들면, 도면에서 점선으로 둘러싼 부분), 및 어떤 하나의 경로와 어떤 다른 경로가 직교하여 교차하는 교차부 K(예를 들면, 도면에서 점선으로 둘러싼 부분) 각각이 복수개 설치되어 있다. 전술한 바와 같은, 주행 경로 S 상에서의 물품 반송차(3)의 운행에 대해서는, 기본적으로, 설비 관리용 컴퓨터가 관리하고 있지만, 분기부 B, 합류부 G 및 교차부 K 각각에서는, 물품 반송차(3)끼리의 충돌을 방지하면서, 물품 반송차(3)를 주행시키도록 물품 반송차(3)의 운행을 관리하는 운행 관리부가, 설비 관리용 컴퓨터와는 별도로 설치되어 있다.
분기부 B로서는, 예를 들면 제2 주경로(23)로부터 부경로(21)로 분기하는 분기부 B, 제1 주경로(22)로부터 제1 쇼트컷 경로(25)로 분기하는 분기부 B, 및 제2 주경로(23)로부터 제2 쇼트컷 경로(26)로 분기하는 분기부 B 등이 설치되어 있다. 합류부 G로서는, 예를 들면 부경로(21)로부터 제2 주경로(23)로 합류하는 합류부 G, 제2 연결 경로(27)로부터 제1 주경로(22)로 합류하는 합류부 G, 제1 쇼트컷 경로(25)로부터 제1 주경로(22)로 합류하는 합류부 G, 및 제2 쇼트컷 경로(26)로부터 제1 주경로(22)로 합류하는 합류부 G 등이 설치되어 있다. 교차부 K로서는, 제2 연결 경로(27)와 제2 주경로(23)가 교차하는 교차부 K, 및 제2 연결 경로(27)와 제1 주경로(22)가 교차하는 교차부 K 등이 설치되어 있다.
물품 반송차(3)의 캐리지 측 제어부는, 분기부 B, 합류부 G 및 교차부 K에 진입할 때, 그 바로 앞에서 운행 관리부에 대하여 진입을 허가하는지의 여부를 문의하여, 진입이 허가되었을 때에만 분기부 B, 합류부 G 및 교차부 K에 진입하도록, 물품 반송차(3)의 주행을 제어하고 있다. 한편, 운행 관리부는, 캐리지 측 제어부로부터 진입을 허가하는지의 여부를 묻는 문의가 있으면, 합류부 G 및 교차부 K에 있어서는 물품 반송차(3) 1대만 진입을 허가하도록, 캐리지 측 제어부에 대하여 운행 지령 정보를 지령하고, 분기부 B에 있어서는 분기된 후에 물품 반송차(3)가 존재하지 않는 것을 조건으로 진입을 허가하도록, 캐리지 측 제어부에 대하여 운행 지령 정보를 지령한다.
[분기부]
분기부 B에서는, 물품 반송차(3)의 주행 경로가 2개의 경로로 분기되어 있고, 2개의 경로 중 어느쪽 경로를 주행할 것인가를 전환하고 있다. 여기서, 2개의 경로 중 어느쪽 경로를 주행할 것인가를 전환하기 위한 구성에 대하여 설명한다. 예를 들면, 제2 주경로(23)로부터 부경로(21)로 분기하는 분기부 B를 도 4에 따라 설명한다.
제2 주경로(23)로부터 부경로(21)로 분기하는 분기부 B에서는, 물품 반송차(3)가 제2 주경로(23)를 그대로 주행할 때에는 직진하는 경로를 주행하도록 전환하고, 제2 주경로(23)로부터 부경로(21)로 분기할 때에는 도면의 우측으로 분기하는 경로를 주행하도록 전환하고 있다.
분기부 B에는, 주행 레일(2)에 더하여, 물품 반송차(3)의 상부에 구비된 상하 축심 주위로 회전 가능한 피안내 롤러(29)를 안내하는 분기부용 안내 레일(30)이 설치되어 있다. 분기부용 안내 레일(30)은, 피안내 롤러(29)를 안내하는 안내면(31)으로서 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 한쪽에 대향하는 면과 다른 쪽에 대향하는 면의 2개의 안내면을 서로 반대측으로 대향하는 상태로 구비하고 있다. 그리고, 안내 레일(30)의 2개의 안내면 중 한쪽이 물품 반송차(3)를 직진하는 경로로 안내하는 직진용 안내면(31a)에 의해 구성되며, 또한 다른 쪽이 물품 반송차(3)를 분기하는 경로로 안내하는 분기부용 안내면(31b)에 의해 구성되어 있다.
한편, 물품 반송차(3)에는, 물품 반송차(3)의 가로폭 방향에서의 분기부용 안내 레일(30)에 대한 피안내 롤러(29)의 위치를 변경하여, 피안내 롤러(29)가 안내되는 안내면을 직진용 안내면(31a)으로 할 것인지 분기용 안내면(31b)으로 할 것인지를 전환 가능한 안내면 전환 수단(32)이 구비되어 있다. 피안내 롤러(29)는, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 간격을 두고 한쌍 설치되어 있고, 한쌍의 피안내 롤러(29) 각각은, 물품 반송차(3)의 전후 방향에 있어서 주행륜(12)의 설치 개소와 동일 개소에 설치되어 있고, 안내면 전환 수단(32)은, 한쌍의 피안내 롤러(29) 각각에 대하여 설치되어 있다.
한쌍의 안내면 전환 수단(32) 각각은, 모터 등의 구동부(33)에 의해 상하 축심 주위로 요동 가능한 요동 암(34), 요동 암(34)의 선단부에 설치된 이동체(35), 및 이동체(35)를 물품 반송차(3)의 가로폭 방향으로 안내 이동시키는 안내 이동부(36)를 구비하고 있다. 그리고, 피안내 롤러(29)는, 이동체(35)의 선단부에 상하 축심 주위에서 회전 가능하게 지지되어 있다. 한쌍의 안내면 전환 수단(32) 각각은, 구동부(33)에 의해 요동 암(34)을 요동시킴으로써 피안내 롤러(29)의 위치를 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 좌측 또는 우측으로 변경시켜, 분기부용 안내 레일(30)에 있어서 직진용 안내면(31a)에 의해 피안내 롤러(29)를 안내하거나 분기부용 안내면(31b)에 의해 피안내 롤러(29)를 안내하도록 전환 가능하게 구성되어 있다. 도 4에서는, 안내면 전환 수단(32)이, 분기부용 안내 레일(30)에 있어서 분기부용 안내면(31b)에 의해 피안내 롤러(29)를 안내하는 상태로 전환한 때를 나타내고 있다. 도 4의 점선은, 피안내 롤러(29)가 분기부용 안내면(31b)에 의해 안내되어, 물품 반송차(3)가 분기하는 경로로 분기하고 있는 상태를 나타내고 있다.
[합류부]
도시는 생략하지만, 합류부 G에는, 전술한 분기부 B와 마찬가지로, 주행 레일(2)에 더하여, 피안내 롤러(29)를 안내하는 합류부용 안내 레일이 설치되어 있다. 안내면 전환 수단(32)이, 합류부용 안내 레일에 의해 피안내 롤러(29)를 안내하도록 피안내 롤러(29)의 위치를 물품 반송차(3)의 가로폭 방향으로 좌측 또는 우측으로 변경시켜서, 합류부용 안내 레일에 의해 피안내 롤러(29)를 안내함으로써, 물품 반송차(3)가 합류 가능하게 구성되어 있다.
[교차부]
교차부 전환 설비에 있어서의 교차부 K에 대하여, 예를 들면, 제1 주경로(22)(제1 경로에 상당함)와 제2 연결 경로(27)(제2 경로에 상당함)와의 교차부 K를, 도 5 및 도 6에 따라 설명한다. 또한, 제2 주경로(23)와 제2 연결 경로(27)와의 교차부 K에서는, 제2 주경로(23)가 제1 경로에 상당하며, 제2 연결 경로(27)가 제2 경로에 상당하게 된다.
제1 주경로(22)에 있어서 교차부 K에 연속하는 주경로용 입구 부분(37)(제1 입구 부분에 상당) 및 교차부 K로부터 연속하는 주경로용 출구 부분(38)(제1 출구 부분에 상당), 및 제2 연결 경로(27)에 있어서 교차부 K에 연속하는 부경로용 입구 부분(39)(제2 입구 부분에 상당) 및 교차부 K로부터 연속하는 부경로용 출구 부분(40)(제2 출구 부분에 상당) 각각에는, 한쌍의 주행 레일(2)에 더하여, 피안내 롤러(29)를 안내하는 교차부용 안내 레일(41)(안내 레일에 상당)이 설치되어 있다.
이하, 주행 레일(2)에 대하여, 주경로용 입구 부분(37) 및 주경로용 출구 부분(38)에 설치된 것을 주주행 레일(2a)로 하고, 부경로용 입구 부분(39) 및 부경로용 출구 부분(40)에 설치된 것을 부주행 레일(2b)로 한다. 또한, 교차부용 안내 레일(41)에 대하여, 주경로용 입구 부분(37) 및 주경로용 출구 부분(38)에 설치된 것을 주교차부용 안내 레일(41a)로 하고, 부경로용 입구 부분(39) 및 부경로용 출구 부분(40)에 설치된 부교차부용 안내 레일(41b)로 한다.
교차부 K에는, 주주행 레일(2a)에 연속하는 제1 주행 위치[주행용 제1 위치에 상당함. 도 5의 (b) 참조]와 부주행 레일(2b)에 연속하는 제2 주행 위치[주행용 제2 위치에 상당함. 도 5의 (a) 참조]로 상하 축심 주위에서 회전 가능한 주행용 회전 레일(44)(전환 레일)이 설치되어 있다. 주행용 회전 레일(44)은, 주행 레일(2)과 마찬가지로, 수평면을 따르는 상면에서 주행륜(12)을 안내 지지하면서, 또한 상하 방향을 따르는 측면에서 주행 안내륜(13)을 안내하도록 구성되어 있다. 그리고, 주경로용 입구 부분(37) 및 주경로용 출구 부분(38), 부경로용 입구 부분(39) 및 부경로용 출구 부분(40) 각각에서는, 물품 반송차(3)에 구비된 한쌍의 주행륜(12)의 양쪽을 한쌍의 주행 레일(2)에 의해 별개로 안내 지지하고 있다. 이에 비해, 교차부 K에서는, 물품 반송차(3)에 구비된 한쌍의 주행륜(12)의 한쪽만을 주행용 회전 레일(44)에 의해 안내 지지하고 있다. 즉, 주행용 회전 레일(44)은, 제1 주행 위치에 있어서 한쌍의 주주행 레일(2a)의 한쪽에만 연속하도록 되어 있으며, 제2 주행 위치에 있어서 한쌍의 부주행 레일(2b)의 한쪽에만 연속하도록 되어 있고, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 한쪽에만 존재한다.
주행용 회전 레일(44)은, 그 일단부가 주주행 레일(2a)의 종단부 및 부주행 레일(2b)의 종단부에 연속하는 위치에 설치되면서, 또한 그 일단부를 주행용 상하 축심(45)으로서 제1 주행 위치와 제2 주행 위치에 왕복 요동 가능하게 설치되어 있다. 이에 따라, 주행용 회전 레일(44)을 주행용 상하 축심(45) 주위에서 왕복 요동시킴으로써, 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치와 제2 주행 위치로 전환 가능하도록 구성되어 있다.
교차부 K에는, 주행용 회전 레일(44)에 더하여, 물품 반송차(3)의 상부에 구비된 피안내 롤러(29)를 안내하기 위하여, 주교차부용 안내 레일(41a)에 연속하는 제1 안내 위치[안내용 제1 위치에 상당함. 도 5의 (b) 참조]와 부교차부용 안내 레일(41b)에 연속하는 제2 안내 위치[안내용 제2 위치에 상당함. 도 5의 (a) 참조]로 상하 축심 주위에서 회전 가능한 안내용 회전 레일(42)(전환 레일)이 설치되어 있다.
여기서, 도 5의 (b)는, 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치로 전환하고, 또한 안내용 회전 레일(42)을 제1 안내 위치로 전환한 상태를 나타내고 있다. 도 5의 (a)에서는, 주행용 회전 레일(44)을 제2 주행 위치로 전환하고, 또한 안내용 회전 레일(42)을 제2 안내 위치로 전환한 상태를 나타내고 있다.
주교차부용 안내 레일(41a), 안내용 회전 레일(42), 및 부교차부용 안내 레일(41b) 각각은, 물품 반송차(3)의 가로폭 방향의 중앙부에 설치된 피안내 롤러(29)를 안내하기 위하여, 교차부 K를 통과하는 물품 반송차(3)의 가로폭 방향의 중앙부에 설치되어 있다. 주교차부용 안내 레일(41a), 안내용 회전 레일(42), 및 부교차부용 안내 레일(41b) 각각은, 피안내 롤러(29)를 안내하는 안내면(43)으로서, 교차부 K를 통과하는 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 한쪽에 대향하는 제1 안내면(43a)과 다른 쪽에 대향하는 제2 안내면(43b)을 구비하고 있다.
그리고, 안내용 회전 레일(42)은, 그 길이 방향의 중앙부를 안내용 상하 축심(46)으로 하여, 제1 안내 위치와 제2 안내 위치로 왕복 요동 가능하게 설치되어 있다.
교차부 K에서는, 주행용 회전 레일(44) 및 안내용 회전 레일(42)의 전환에 대하여, 교차부 K에 전동 모터 등의 구동부를 설치하지 않고, 교차부 K로의 물품 반송차(3)의 진입에 따라 주행용 회전 레일(44) 및 안내용 회전 레일(42)의 전환을 행하도록 하고 있다.
물품 반송차(3)에는, 교차부 K로의 물품 반송차(3)의 진입에 따라 안내용 회전 레일(42)을 제1 안내 위치로부터 제2 안내 위치로, 및 제2 안내 위치로부터 제1 안내 위치로 가압 조작 가능한 가압 조작부(47)가 구비되어 있다. 가압 조작부(47)는, 예를 들면 상하 축심 주위에 회전 가능한 가압 롤러에 의해 구성되어 있고, 물품 반송차(3)의 상방 앞 단부에 설치되어 있다. 이에 따라, 교차부 K에 물품 반송차(3)가 진입하면, 가압 조작부(47)가 안내용 회전 레일(42)을 가압 조작 가능하게 되어 있고, 가압 조작부(47)에 의한 가압 조작에 의해 안내용 회전 레일(42)을 상하 축심 주위에서 요동시켜서 제1 안내 위치와 제2 안내 위치로 전환하고 있다.
교차부 K에는, 안내용 회전 레일(42)의 회전과 주행용 회전 레일(44)의 회전을 연계시키는 연계 수단(48)이 구비되어 있다. 연계 수단(48)은, 가압 조작부(47)에 의한 가압 조작에 의해 안내용 회전 레일(42)이 제1 안내 위치로부터 제2 안내 위치로 회전되면, 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치로부터 제2 주행 위치로 회전시키도록, 안내용 회전 레일(42)의 회전과 주행용 회전 레일(44)의 회전을 연계시키고 있다. 또한, 연계 수단(48)은, 가압 조작부(47)에 의한 가압 조작에 의해 안내용 회전 레일(42)이 제2 안내 위치로부터 제1 안내 위치로 회전되면, 주행용 회전 레일(44)을 제2 주행 위치로부터 제1 주행 위치로 회전시키도록, 안내용 회전 레일(42)의 회전과 주행용 회전 레일(44)의 회전을 연계시키고 있다.
이와 같이 하여, 교차부 K에 물품 반송차(3)가 진입함에 따라 가압 조작부(47)에 의한 가압 조작에 의해 안내용 회전 레일(42)을 상하 축심 주위에서 요동시켜 제1 안내 위치와 제2 안내 위치로 전환한다. 안내용 회전 레일(42)의 전환에 의해, 연계 수단(48)이, 안내용 회전 레일(42)의 회전과 주행용 회전 레일(44)의 회전을 연계시켜, 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치와 제2 주행 위치로 전환하고 있다.
따라서, 전환 조작 장치는, 가압 조작부(47) 및 연계 수단(48)에 의해, 안내용 회전 레일(42)을 제1 안내 위치에 위치시키면서, 또한 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치에 위치시키는 제1 전환 상태와, 안내용 회전 레일(42)을 제2 안내 위치에 위치시키면서, 또한 주행용 회전 레일(44)을 제2 주행 위치에 위치시키는 제2 전환 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.
연계 수단(48)은, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상하 축심 주위에서 안내용 회전 레일(42)과 일체적으로 회전 가능한 제1 회전체(49)와, 상하 축심 주위에서 주행용 회전 레일(44)과 일체적으로 회전 가능한 제2 회전체(50)와, 제1 회전체(49)의 회전을 제2 회전체(50)에 전달하여 제2 회전체(50)를 회전시키는 회전 전달부(51)를 구비하여 구성되어 있다.
제1 회전체(49)는, 안내용 회전 레일(42) 및 주행용 회전 레일(44)을 지지하는 레일 지지체(52)의 상부에 설치되어 있다. 그리고, 안내용 회전 레일(42)의 안내용 상하 축심(46)과 제1 회전체(49)의 회전 축심이 제1 연결축(53)에 의해 연결되어 있고, 안내용 회전 레일(42)과 제1 회전체(49)가 상하 축심 주위에서 일체적으로 회전하도록 되어 있다.
제2 회전체(50)는, 주행용 회전 레일(44)의 아래쪽에 설치되어 있다. 그리고, 주행용 회전 레일(44)의 주행용 상하 축심(45)과 제2 회전체(50)의 회전 축심이 제2 연결축(54)에 의해 연결되어 있고, 주행용 회전 레일(44)과 제2 회전체(50)가 상하 축심 주위에서 일체적으로 회전하도록 되어 있다.
회전 전달부(51)는, 레일 지지체(52)의 측협부에 설치되어 중계용 연결축(55)에 의해 회전 축심끼리가 연결되어 상하 축심 주위에서 일체적으로 회전 가능한 한쌍의 중계용 회전체(56)를 구비하고 있고, 제1 회전체(49)의 회전을 중계용 회전체(56)에 전달하여 중계용 회전체(56)를 회전시키고, 또한 중계용 회전체(56)의 회전을 제2 회전체(50)에 전달하여 제2 회전체(50)를 회전시키고 있다. 제1 회전체(49) 및 중계용 회전체(56)의 한쪽은, 타이밍 풀리에 의해 구성되어 있고, 제1 회전체(49)와 중계용 회전체(56)의 한쪽에 감겨진 타이밍 벨트(57)에 의해 제1 회전체(49)의 회전이 중계용 회전체(56)에 전달된다. 제2 회전체(50)와 중계용 회전체(56)의 한쪽은, 서로 맞물리는 기어에 의해 구성되어 있고, 중계용 회전체(56)와 제2 회전체(50)의 맞물림에 의해 중계용 회전체(56)의 회전이 제2 회전체(50)에 전달된다. 여기서, 중계용 회전체(56)의 회전 방향과 제2 회전체(50)의 회전 방향이 반대 방향이 되어 전달되고 있다.
안내용 회전 레일(42)이 회전되면, 안내용 회전 레일(42)과 제1 회전체(49)가 일체적으로 회전하고, 타이밍 벨트(57)에 의해 제1 회전체(49)의 회전이 중계용 회전체(56)의 한쪽에 전달되어 회전한다. 한쌍의 중계용 회전체(56)는 일체적으로 회전하므로, 중계용 회전체(56)의 회전이 제2 회전체(50)에 전달되어 회전하고, 제2 회전체(50)와 주행용 회전 레일(44)이 일체적으로 회전한다. 이와 같이 하여, 안내용 회전 레일(42)이 제1 안내 위치로부터 제2 안내 위치로 회전되면, 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치로부터 제2 주행 위치에 회전시킨다. 반대로, 안내용 회전 레일(42)이 제2 안내 위치로부터 제1 안내 위치로 회전되면, 주행용 회전 레일(44)을 제2 주행 위치로부터 제1 주행 위치로 회전시킨다. 여기서, 중계용 회전체(56)로부터 제2 회전체(50)로의 전달에 있어서 회전 방향이 반대 방향이 되어 있다. 이에 따라, 연계 수단(48)은, 안내용 회전 레일(42)의 회전 방향과 주행용 회전 레일(44)의 회전 방향을 반대 방향으로 하여, 안내용 회전 레일(42)의 회전과 주행용 회전 레일(44)의 회전을 연계시키고 있다.
[교차부에 있어서의 물품 반송차의 통과]
물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과할 때의 동작에 대하여, 예를 들면 제2 연결 경로(27)와 제1 주경로(22)와의 교차부 K에 대하여 도 7 및 도 8에 따라 설명한다. 도 7 및 도 8에서는, 기본적으로 제1 주경로(22)를 따라 물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과하는 경우를 나타내고, 제2 연결 경로(27)를 따라 물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과하는 경우를 도 8의 (b)에 있어서 점선에 의해 나타내고 있다.
도 7의 (a) 및 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)가 제1 주경로(22)를 따라 교차부 K에 진입하면, 물품 반송차(3)가 교차부 K에 진입함에 따라 가압 조작부(47)에 의해 안내용 회전 레일(42)을 가압 조작하고, 안내용 회전 레일(42)이 제2 안내 위치로부터 주교차부용 안내 레일(41a)에 연속하는 제1 안내 위치로의 요동을 개시한다. 이에 따라, 연계 수단(48)에 의한 안내용 회전 레일(42)의 회전과 주행용 회전 레일(44)의 회전과의 연계에 의해, 제2 주행 위치로부터 주주행 레일(2a)에 연속하는 제1 주행 위치로의 주행용 회전 레일(44)의 요동도 개시된다. 여기서, 가압 조작부(47)는, 물품 반송차(3)의 앞 단측으로 돌출하는 상태로 형성되어 있으므로, 물품 반송차(3)가 교차부 K에 도달하기 이전의 제1 입구 부분(39)을 주행 중에 가압 조작부(47)가 안내용 회전 레일(42)을 가압 조작하여, 안내용 회전 레일(42)이 제2 안내 위치로부터 주교차부용 안내 레일(41a)에 연속하는 제1 안내 위치로의 요동이 개시된다.
도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이, 가압 조작부(47)의 가압 조작에 의해 안내용 회전 레일(42)이 제1 안내 위치로 요동되면, 연계 수단(48)에 의한 안내용 회전 레일(42)의 회전과 주행용 회전 레일(44)의 회전의 연계에 의해, 주행용 회전 레일(44)도 제1 주행 위치로 요동된다. 전술한 바와 같은, 물품 반송차(3)가 교차부 K에 도달하기 이전의 제1 입구 부분(39)을 주행 중에 안내용 회전 레일(42)의 요동이 개시되고 있으므로, 물품 반송차(3)가 교차부 K에 도달했을 때는 안내용 회전 레일(42)이 제1 안내 위치로 요동된다. 이에 따라, 물품 반송차(3)는, 주행륜(12)의 한쪽이 주행용 회전 레일(44)에 안내 지지되고, 또한 피안내 롤러(29)가 안내용 회전 레일(42)에 의해 안내되어 교차부 K를 주행할 수 있다. 또한, 물품 반송차(3)가 교차부 K를 주행할 때는, 물품 반송차(3)의 주행 안내륜(13)이 주행용 회전 레일(44)에 안내되므로, 주행 안내륜(13)에 의해 주행용 회전 레일(44)을 가압하게 된다. 그 결과, 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치에 유지시킬 수 있고, 이 주행용 회전 레일(44)의 위치 유지에 의해 안내용 회전 레일(42)의 제1 안내 위치에서의 위치 유지를 행할 수 있다.
여기서, 주행륜(12), 주행 안내륜(13), 및 피안내 롤러(29)는, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 간격을 두고 전후 한쌍 설치되어 있지만, 각각의 주행륜(12), 주행 안내륜(13), 및 피안내 롤러(29)의 설치 위치는, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 거의 동일한 위치로 되어 있다. 이에 따라, 피안내 롤러(29)와 안내용 회전 레일(42)이 맞닿는 타이밍과, 주행 안내륜(13)과 주행용 회전 레일(44)이 맞닿는 타이밍이 거의 같은 타이밍이 되어 있다. 이에 따라, 피안내 롤러(29)와 안내용 회전 레일(42)과의 접촉에 의해 안내용 회전 레일(42)을 가압하는 힘과 주행 안내륜(13)과 주행용 회전 레일(44)과의 접촉에 의해 주행용 회전 레일(44)을 가압하는 힘이, 같은 타이밍으로 작용하게 된다. 그리고, 이와 같은 가압하는 힘이 같은 타이밍으로 작용하는 것에 더하여, 안내용 회전 레일(42)의 회전 방향과 주행용 회전 레일(44)의 회전 방향이 반대 방향으로 되어 있으므로, 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치에 확실하게 유지시킬 수 있고, 또한 안내용 회전 레일(42)도 제1 안내 위치에 확실하게 유지시킬 수 있다.
또한, 예를 들면 피안내 롤러(29)의 물품 반송차(3)의 전후 방향에서의 간격은, 주행용 회전 레일(44)의 길이보다 짧게 되어 있고, 전방 측에 설치된 주행 안내륜(13) 각각이 주행용 회전 레일(44)로부터 이격되면 후방 측에 설치된 주행 안내륜(13)이 주행용 회전 레일(44)에 맞닿도록 되어 있다. 이에 따라, 피안내 롤러(29)와 안내용 회전 레일(42)이 맞닿은 상태로 물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과할 수 있다.
이와 같이 하여, 도 8의 (b)에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)는 제1 주경로(22)를 따라 교차부 K를 통과할 수 있다.
물품 반송차(3)가 교차부 K에 진입함에 따라 물품 반송차(3)에 구비된 가압 조작부(47)에 의해 안내용 회전 레일(42)을 가압 조작하지만, 안내용 회전 레일(42)은, 그 길이 방향의 중앙부를 안내용 상하 축심(46)으로 하여, 주교차부용 안내 레일(41a)에 연속하는 제1 안내 위치와 부교차부용 안내 레일(41b)에 연통하는 제2 안내 위치로 왕복 요동하도록 되어 있다. 따라서, 안내용 회전 레일(42)은, 제1 안내 위치로부터 제2 안내 위치로 요동할 때의 회전 방향과 제2 안내 위치로부터 제1 안내 위치로 요동할 때의 회전 방향이 반대 방향으로 되어 있다. 이에 따라, 물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과할 때는, 제1 주경로를 따라 통과할 때와 제2 연결 경로(27)를 따라 통과할 때는, 가압 조작부(47)의 위치를 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향에서 변경시켜 안내용 회전 레일(42)을 요동시킬 때의 회전 방향을 반대 방향으로 할 필요가 있다.
그래서, 물품 반송차(3)에는, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 가압 조작부(47)의 위치를 제1 가압 위치와 제2 가압 위치로 변경 가능한 가압 조작부 위치변경 수단(58)(도 4 참조)이 구비되어 있다. 제1 가압 위치는, 도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 안내용 회전 레일(42)의 길이 방향의 중앙부보다 단부 측의 위치이면서 안내용 회전 레일(42)을 제2 안내 위치로부터 제1 안내 위치에 요동시키기 위한 위치이다. 제2 가압 위치는, 도 8의 (b)의 점선에 의해 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 안내용 회전 레일(42)의 길이 방향의 중앙부보다 단부 측의 위치이면서 안내용 회전 레일(42)을 제1 안내 위치로부터 제2 안내 위치에 요동시키기 위한 위치이다.
물품 반송차(3)가 제1 주경로(22)를 따라 교차부 K를 통과하는 경우에는, 도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이, 가압 조작부 위치 변경 수단(58)이 가압 조작부(47)의 위치를 제1 가압 위치[도면에서는 물품 반송차(3)의 주행 방향의 우측]로 변경하고 있다. 또한, 물품 반송차(3)가 제2 연결 경로(27)를 따라 교차부 K를 통과하는 경우에는, 도 8의 (b)의 점선에 의해 나타낸 바와 같이, 가압 조작부 위치 변경 수단(58)이 가압 조작부(47)의 위치를 제2 가압 위치[도면에서는 물품 반송차(3)의 주행 방향의 좌측]로 변경하고 있다.
물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과할 때는, 물품 반송차(3)에 구비된 안내면 전환 수단(32)(도 4 참조)이, 주교차부용 안내 레일(41a), 안내용 회전 레일(42), 및 부교차부용 안내 레일(41b) 각각에 대한 피안내 롤러(29)의 위치를 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 우측 또는 좌측으로 변경 가능하게 구성되어 있다. 이에 따라, 안내면 전환 수단(32)은, 물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과할 때, 피안내 롤러(29)가 안내되는 안내면을 제1 안내면(43a)으로 할 것인지 혹은 제2 안내면(43b)으로 할 것인지를 전환 가능하게 구성되어 있다.
그리고, 안내면 전환 수단(32)은, 피안내 롤러(29)가 안내되는 안내면을 주행용 회전 레일이 존재하지 않는 측과 반대측으로 대향하는 면이 되도록 피안내 롤러(29)의 위치를 변경시키고 있다. 즉, 물품 반송차(3)가 제1 주경로(22)를 따라 교차부 K를 통과할 때는, 도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이, 주행용 회전 레일(44)은 주주행 레일(2a)에 연통하는 제1 주행 위치로 전환되므로, 물품 반송차(3)의 주행 방향에 대하여 우측으로 주행용 회전 레일(44)이 존재하게 된다. 그래서, 안내면 전환 수단(32)은, 도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이, 주교차부용 안내 레일(41a), 안내용 회전 레일(42), 및 부교차부용 안내 레일(41b) 각각에 대한 피안내 롤러(29)의 위치를 우측으로 변경하여, 피안내 롤러(29)가 안내되는 안내면을 주행용 회전 레일(44)이 존재하지 않는 측과 반대측으로 대향하는 제1 안내면(43a)이 되도록 하고 있다. 또한, 도 8의 (b)의 점선으로 나타낸 바와 같이, 제2 연결 경로(27)를 따라 물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과할 때는, 안내면 전환 수단(32)은, 주교차부용 안내 레일(41a), 안내용 회전 레일(42), 및 부교차부용 안내 레일(41b) 각각에 대한 피안내 롤러(29)의 위치를 좌측으로 변경하여, 피안내 롤러(29)가 안내되는 안내면을 주행용 회전 레일(44)이 존재하지 않는 측과 반대측으로 대향하는 제2 안내면(43b)이 되도록 하고 있다.
전술한 바와 같이, 물품 반송차(3)의 가로폭 방향에서의 가압 조작부(47)의 위치는 가압 조작부 위치 변경 수단(58)에 의해 변경 가능하도록 구성되어 있고, 물품 반송차(3)의 가로폭 방향에서의 피안내 롤러(29)의 위치는 안내면 전환 수단(32)에 의해 변경 가능하도록 구성되어 있다. 그래서, 가압 조작부(47)는, 연결체(59)에 의해 피안내 롤러(29)와 연결되어 지지되어 있고, 물품 반송차(3)의 가로폭 방향에 있어서 피안내 롤러(29)와 일체적으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이에 따라, 가압 조작부 위치 변경 수단(58)은, 단독으로 구동부 등을 구비하지 않고, 안내면 전환 수단(32)에 의해 구성되어 있다.
[다른 실시예]
(1) 상기 실시예에서는, 물품 반송차(3)에 가압 조작부(47)를 구비하고, 교차부 K에 연계 수단(48)을 구비함으로써, 교차부 K로의 물품 반송차(3)의 진입에 따라 주행용 회전 레일(44) 및 안내용 회전 레일(42)의 전환을 행하도록 하고 있다. 이에 대신하여, 도 9에 나타낸 바와 같이, 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치와 제2 주행 위치로 전환 가능한 주행용 구동부(60)(예를 들면, 전동 모터 등)와 안내용 회전 레일(42)을 제1 안내 위치와 제2 안내 위치로 전환 가능한 안내용 구동부(61)(예를 들면, 전동 모터 등)를 구비한다. 그리고, 주행용 구동부(60)의 구동에 의해 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치와 제2 주행 위치로 전환하고, 안내용 구동부(61)의 구동에 의해 안내용 회전 레일(42)을 제1 주행 위치와 제2 주행 위치로 전환할 수도 있다. 여기서, 주행용 구동부(60) 및 안내용 구동부(61)가 전환 구동 수단에 상당한다.
또한, 예를 들면, 도 9에 있어서의 안내용 구동부(61)만을 구비하고, 상기 실시예에서의 연계 수단(48)을 구비함으로써, 안내용 구동부(61)의 구동에 의해 안내용 회전 레일(42)을 제1 주행 위치와 제2 주행 위치로 전환하고, 연계 수단(48)에 의해 안내용 회전 레일(42)의 회전에 따라 주행용 회전 레일(44)을 제1 주행 위치와 제2 주행 위치로 전환할 수도 있다.
(2) 상기 실시예에서는, 주경로(20)에 대하여 한쪽에 설치하는 부경로(21)의 개수와 다른 쪽에 설치하는 부경로(21)의 개수를 동일하게 하고 있지만, 주경로(20)에 대하여 한쪽에 설치하는 부경로(21)의 개수를 다른 쪽에 설치하는 부경로(21)의 개수보다 많이 할 수도 있다.
(3) 상기 실시예에 있어서, 한쪽 부경로(21)와 다른 쪽 부경로(21)의 설치 위치에 대해서는, 주경로(20)를 사이에 두고 대향하는 위치로 한정되지 않고, 한쪽 부경로(21)의 설치 위치에 대하여, 다른 쪽 부경로(21)의 설치 위치를 상이한 위치로 할 수도 있다. 이 경우에는, 예를 들면, 평면에서 볼 때에 제2 연결 경로(27)를 경사지게 연장되도록 설치할 수 있다.
(4) 상기 실시예에 있어서, 부경로(21)에 대해서는, 환형의 경로를 예시하고 있지만, 예를 들면 주경로(20)에 대하여 이격되는 직선 부분과 주경로(20)에 대하여 접근하는 직접 부분을 대향하여 한쌍 배치하고, 이들 한쌍의 직선 부분에 있어서 주경로(20)로부터 이격되는 측의 단부를 커브 부분에 의해 연결한 평면에서 볼 때 コ자형의 경로에 의해 부경로(21)를 형성할 수 있다. 이 경우, 한쌍의 직선 부분에 있어서 주경로(20)에 접근하는 측의 단부가 제1 연결 경로에 의해 주경로(20)와 접속된다. 이와 같이, 부경로(21)의 경로 형상에 대해서는 적절하게 변경 가능하며, 환형으로 한정되지 않는다.
2: 주행 레일 3: 물품 반송차
4: 물품 8: 물품 반송 개소(스테이션)
20: 주경로 21: 부경로
22: 제1 주경로 23: 제2 주경로
27: 제2 연결 경로 29: 피안내 롤러
42: 전환 레일(안내용 회전 레일) 44: 전환 레일(주행용 회전 레일)
47: 조작부(가압 조작부) 48: 전환 조작 수단(연계 수단)
60: 전환 구동 수단(주행용 구동부) 61: 전환 구동 수단(안내용 구동부)
K: 교차부 S: 주행 경로

Claims (8)

  1. 천정측에 설치된 주행 레일에 의해 형성되는 주행 경로를 따라 주행하도록 구성된 복수의 물품 반송차가 설치되고,
    상기 주행 경로로서, 환형(環形)의 주경로와, 각각이 적어도 하나의 물품 반송 개소를 경유하는 상태로 설치된 부경로와, 상기 주경로와 상기 부경로를 연결하여 상기 물품 반송차의 상기 주경로로부터 상기 부경로로의 분기 주행 및 상기 부경로로부터 상기 주경로로의 합류 주행을 가능하게 하는 제1 연결 경로가 설치되고,
    상기 부경로가, 상기 주경로의 외측에 있어서 상기 주경로를 사이에 두고 한쪽과 다른 쪽의 양측에 설치되어 있는 물품 반송 설비로서,
    상기 주행 경로로서, 상기 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 제1 부경로에 일단부가 접속되고, 상기 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 제2 부경로에 타단부가 접속되고, 도중 부분이 상기 주경로를 횡단하는 제2 연결 경로가 상기 제1 연결 경로와는 별도로 설치되고,
    상기 물품 반송차는, 상기 제2 연결 경로에 의해, 상기 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 상기 제1 부경로로부터, 상기 주경로를 통과하지 않고 상기 주경로와의 접속 개소인 교차부를 통과시켜서, 상기 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 상기 제2 부경로로 주행 가능하게 구성되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 주경로에 대하여 한쪽에 설치된 상기 부경로와 상기 주경로에 대하여 다른 쪽에 설치된 상기 부경로가 상기 주경로를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치되고,
    상기 제2 연결 경로가, 상기 주경로를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치된 상기 부경로끼리를 연결하는 직선형의 경로에 의해 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 부경로와 상기 제2 부경로를 연결하는 상기 제2 연결 경로가 2개 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 교차부에는, 상기 주경로를 따라 상기 물품 반송차를 통과시키는 제1 전환 상태와 상기 제2 연결 경로를 따라 상기 물품 반송차를 통과시키는 제2 전환 상태로 전환 가능한 전환 레일과, 상기 전환 레일을 상기 제1 전환 상태와 상기 제2 전환 상태로 전환 조작 가능한 전환 조작 수단이 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 전환 조작 수단은, 상기 교차부로의 상기 물품 반송차의 진입에 따라 상기 물품 반송차에 구비된 조작부에 의해 조작되어 상기 전환 레일을 상기 제1 전환 상태로부터 상기 제2 전환 상태로 전환 및 상기 제2 전환 상태로부터 상기 제1 전환 상태로 전환 조작 가능하도록 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 전환 조작 수단은, 전환 구동 수단의 구동에 의해 상기 전환 레일을 상기 제1 전환 상태로부터 상기 제2 전환 상태로 전환 및 상기 제2 전환 상태로부터 상기 제1 전환 상태로 전환 조작 가능하게 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 주경로로서, 환형의 제1 주경로와, 상기 제1 주경로의 외측에 있어서 상기 제1 주경로를 사이에 두고 한쪽과 다른 쪽의 양측에 설치되어 상기 제1 주경로에 대하여 상기 물품 반송차가 분기 및 합류 가능하게 접속된 제2 주경로가 설치되고,
    상기 부경로는, 상기 제2 주경로에 대하여 상기 물품 반송차가 분기 및 합류 가능하게 접속되어 있는, 물품 반송 설비.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    복수의 상기 부경로가, 상기 주경로에서의 상기 물품 반송차의 주행 방향으로 나란히 배열된 상태로 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101436905B1 (ko) 2013-04-30 2014-11-04 주식회사 에스에프에이 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템
KR101479941B1 (ko) 2013-06-24 2015-01-13 주식회사 에스에프에이 반송대차
KR101521498B1 (ko) * 2013-05-31 2015-05-19 주식회사 에스에프에이 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008059711A1 (de) * 2008-11-29 2010-06-10 Eisenmann Anlagenbau Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Umsetzen von Gegenständen sowie Förderanlagen mit einer solchen Vorrichtung
JP5141987B2 (ja) * 2009-12-07 2013-02-13 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5440870B2 (ja) * 2010-08-19 2014-03-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5633738B2 (ja) * 2010-09-27 2014-12-03 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5472209B2 (ja) * 2011-05-31 2014-04-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5527619B2 (ja) * 2011-11-24 2014-06-18 株式会社ダイフク 天井設置型の物品搬送設備
US9305815B2 (en) * 2012-03-01 2016-04-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Automated material handling system and method for semiconductor manufacturing
JP6020265B2 (ja) * 2012-04-11 2016-11-02 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5617868B2 (ja) * 2012-04-11 2014-11-05 村田機械株式会社 搬送装置
JP2014190114A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Daifuku Co Ltd 搬送用走行体の走行経路構造
CN103708193B (zh) * 2013-12-25 2016-04-27 湖北三丰智能输送装备股份有限公司 电解铝厂专用智能轨道车输送系统
JP6358142B2 (ja) * 2015-03-26 2018-07-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6278341B2 (ja) * 2015-04-06 2018-02-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6304122B2 (ja) * 2015-05-13 2018-04-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102069778B1 (ko) * 2015-08-14 2020-01-23 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차 시스템
US10181873B2 (en) * 2015-12-28 2019-01-15 Stmicroelectronics, Inc. Enhanced powerline communication methods and devices
JP6613941B2 (ja) * 2016-02-10 2019-12-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6620707B2 (ja) * 2016-09-09 2019-12-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6652026B2 (ja) * 2016-09-29 2020-02-19 株式会社ダイフク 管理システム
JP6642370B2 (ja) * 2016-10-12 2020-02-05 株式会社ダイフク レール検査装置及びレール検査システム
JP6690497B2 (ja) 2016-10-28 2020-04-28 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6677187B2 (ja) * 2017-01-31 2020-04-08 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6652084B2 (ja) * 2017-02-09 2020-02-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6711297B2 (ja) * 2017-02-16 2020-06-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2019003753A1 (ja) * 2017-06-30 2019-01-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
CN109656241B (zh) * 2017-10-10 2022-04-12 北京京东乾石科技有限公司 用于控制无人仓中的搬运车的方法和装置
CN109775270A (zh) * 2017-11-10 2019-05-21 北京京东尚科信息技术有限公司 物品拣选系统
CN107882397A (zh) * 2017-11-23 2018-04-06 广东省智能制造研究所 轮轨结构、智能停车场及智能物流仓库
CN108100694B (zh) * 2018-02-05 2024-04-26 江苏冠超物流科技有限公司 复合分拣设备以及装卸货物设备
CN109795581B (zh) * 2019-03-05 2024-04-30 江苏徐工工程机械研究院有限公司 轨道行走总成对接工装
US11819965B2 (en) 2019-05-17 2023-11-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Device maintenance in semiconductor manufacturing environment
CN112024414B (zh) 2019-06-03 2023-09-22 北京京东乾石科技有限公司 分拣机
CN110386393A (zh) * 2019-08-07 2019-10-29 杭州慧仓信息科技有限公司 一种基于新型穿梭车的物料处理系统
DE102019215937A1 (de) * 2019-10-16 2021-04-22 Robert Bosch Gmbh Fahrwerk für eine Gondel eines Gondelbahnsystems, Tragmittel für Gondeln eines Gondelbahnsystems, Gondel für ein Gondelbahnsystem, Gondelbahnsystem und Verfahren zum Ansteuern eines Fahrwerks
JP7059999B2 (ja) * 2019-11-06 2022-04-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102231176B1 (ko) * 2019-12-27 2021-03-24 세메스 주식회사 물품 이송 장치
CN111976719A (zh) * 2020-08-03 2020-11-24 长沙理工大学 一种车辆入库系统及方法
CN112875125A (zh) * 2021-02-03 2021-06-01 艾迪森科技有限公司 半导体晶圆盒仓储运输结构系统
CN113816087A (zh) * 2021-09-30 2021-12-21 弥费实业(上海)有限公司 行走装置及空中运输车
CN116453994B (zh) * 2023-06-15 2023-09-08 上海果纳半导体技术有限公司 天车搬运装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0741161A (ja) * 1993-07-29 1995-02-10 Toyota Motor Corp コンベヤにおける移動体搬送方向変換装置及び移動体連結確認装置
JPH10275017A (ja) 1997-03-31 1998-10-13 Hitachi Ltd 搬送制御方法および搬送装置
JP2002096725A (ja) 2000-09-21 2002-04-02 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2006319154A (ja) 2005-05-13 2006-11-24 Asyst Shinko Inc 懸垂式昇降搬送台車の搬送システム

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5083787U (ko) * 1973-11-27 1975-07-17
JPH07426Y2 (ja) * 1989-08-09 1995-01-11 株式会社椿本チエイン 交差レール自動切替装置
JP3061886B2 (ja) 1991-04-12 2000-07-10 フオスター電機株式会社 難燃性コーン紙
CA2128918C (en) * 1993-07-29 1999-09-21 Eiji Orisaka Conveying system and method for a production line
DE9406061U1 (de) * 1994-04-12 1995-08-10 Mts Modulare Transp Sys Gmbh Sortieranlage zum Sortieren von einzeln geförderten Gegenständen
JP2902354B2 (ja) 1996-06-06 1999-06-07 川崎重工業株式会社 貨物搬送台車設備
JP2000059921A (ja) 1998-08-07 2000-02-25 Shinko Electric Co Ltd 懸垂式物品搬送システムの分岐部又は合流部における走行制御方法
US6629502B2 (en) * 2000-09-14 2003-10-07 Daifuku Co., Ltd. Conveyance system
JP4483055B2 (ja) 2000-09-14 2010-06-16 株式会社ダイフク 搬送設備
US6655297B2 (en) * 2002-04-19 2003-12-02 Daifuku Co., Ltd. Transfer system using movable bodies
JP2004227060A (ja) * 2003-01-20 2004-08-12 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2005031873A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Trecenti Technologies Inc 搬送システムおよび半導体製造システム
JP2005225662A (ja) * 2004-02-16 2005-08-25 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 搬送車監視制御装置、無人搬送車、搬送システム、及び搬送車監視制御方法
JP2005243729A (ja) * 2004-02-24 2005-09-08 Asyst Shinko Inc 搬送システム
JP2007039237A (ja) 2005-08-04 2007-02-15 Soichiro Kenmochi 磁性ベルト駆動式軌道搬送方法及び装置
JP4366663B2 (ja) * 2007-06-28 2009-11-18 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP5099454B2 (ja) * 2009-03-27 2012-12-19 株式会社ダイフク 交差部切換設備
JP4994519B1 (ja) 2011-02-15 2012-08-08 ネット株式会社 遊技機

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0741161A (ja) * 1993-07-29 1995-02-10 Toyota Motor Corp コンベヤにおける移動体搬送方向変換装置及び移動体連結確認装置
JPH10275017A (ja) 1997-03-31 1998-10-13 Hitachi Ltd 搬送制御方法および搬送装置
JP2002096725A (ja) 2000-09-21 2002-04-02 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2006319154A (ja) 2005-05-13 2006-11-24 Asyst Shinko Inc 懸垂式昇降搬送台車の搬送システム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101436905B1 (ko) 2013-04-30 2014-11-04 주식회사 에스에프에이 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템
KR101521498B1 (ko) * 2013-05-31 2015-05-19 주식회사 에스에프에이 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템
KR101479941B1 (ko) 2013-06-24 2015-01-13 주식회사 에스에프에이 반송대차

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