KR100964007B1 - 폴리싱장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (43)
- 연마 대상물을 수납한 카세트를 탑재하는 프론트 로드부와,상기 프론트 로드부에 탑재된 카세트로부터 연마 대상물을 꺼내어 이동시키는 제 1 반송 로봇과,연마면을 가지는 연마 테이블, 당해 연마 테이블의 연마면에 연마 대상물을 가압하는 톱링, 및 당해 톱링을 상기 연마면 상의 연마위치와 연마 대상물의 주고 받음 위치의 사이에서 이동시키는 이동기구를 가지는 연마 유닛을 각각 복수 가지는 제 1 연마부 및 제 2 연마부로 이루어지는 연마부와,상기 제 1 연마부 및 상기 제 2 연마부 중 하나 이상에서 연마된 연마 대상물을 세정하는 세정부를 구비하고,상기 제 1 연마부에는, 복수의 연마 유닛의 배열방향을 따라 직선 형상으로 늘어서고, 상기 연마 대상물의 주고 받음 위치를 포함하는 복수의 반송위치 사이에서 연마 대상물을 반송하는 제 1 리니어 트랜스포터와, 상기 연마 대상물의 주고 받음 위치로서의 상기 제 1 리니어 트랜스포터의 반송위치에 위치하여, 당해 제 1 리니어 트랜스포터와 상기 톱링의 사이에서 상기 연마 대상물을 주고 받는 주고 받음 기구가 설치되고,상기 제 2 연마부에는, 복수의 연마 유닛의 배열방향을 따라 직선 형상으로 늘어서고, 상기 연마 대상물의 주고 받음 위치를 포함하는 복수의 반송위치 사이에서 연마 대상물을 반송하는 제 2 리니어 트랜스포터와, 상기 연마 대상물의 주고 받음 위치로서의 상기 제 2 리니어 트랜스포터의 반송위치에 위치하여, 당해 제 2 리니어 트랜스포터와 상기 톱링의 사이에서 상기 연마 대상물을 주고 받는 주고 받음 기구가 설치되고,상기 제 1 리니어 트랜스포터, 상기 제 2 리니어 트랜스포터 및 상기 세정부에 액세스 가능한 위치에 제 2 반송 로봇이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 반송 로봇은, 로드/언로드부 내에 설치되고, 당해 로드/언로드부, 상기 연마부 및 상기 세정부는, 격벽에 의하여 구획되어 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 2항에 있어서,상기 로드/언로드부, 상기 연마부 및 상기 세정부는, 각각 독립으로 배기되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 격벽에는, 연마 대상물을 통과시키기 위한 개구가 형성되고, 당해 개구에는, 개폐 자유로운 셔터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항에 있어서,상기 세정부는, 소정의 방향을 따라 배열한 복수의 세정기를 가지는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 5항에 있어서,상기 복수의 세정기는, 격벽에 의하여 각각 구획되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
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- 소정의 방향을 따라 배열된 복수의 카세트와,상기 카세트의 배열방향을 따라 이동 가능한 제 1 반송 로봇과,연마면을 가지는 연마 테이블과 당해 연마 테이블의 연마면에 연마 대상물을 가압하는 톱링을 각각 가지는 연마 유닛을, 소정의 방향으로 복수 배열한 제 1 연마부와, 상기 연마 유닛을, 소정의 방향으로 복수 배열한 제 2 연마부와,상기 제 1 연마부 및 상기 제 2 연마부 중 하나 이상에서 연마된 연마 대상물을 세정하는 세정부와,상기 제 1 연마부의 복수의 연마 유닛의 배열방향을 따라 복수의 반송위치 사이에서 상기 연마 대상물을 반송하는 제 1 반송기구 및 제 2 반송기구를 가지고,상기 제 1 및 제 2 반송기구는 상하로 2단의 구성이고, 연마 대상물을 평면도 상, 동일한 경로로 서로 간섭하지 않게 이동시킬 수 있으며,상기 제 1 반송기구는, 상기 제 1 연마부의 복수의 연마 유닛을 따라, 연마 대상물을 각각의 연마 유닛으로 연마하기 위하여 반송하고, 상기 제 2 반송기구는 연마 대상물을 상기 제 1 연마부로는 반송하지 않고, 상기 제 2 연마부에서 연마하기 위하여 제 1 연마부를 통과하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항 또는 제 36항에 있어서,기판을 반전시키는 반전기를 추가로 가지되,상기 반전기는, 기판을 유지하는 유지기구와, 상기 유지기구로 유지된 기판을 회전시키는 회전기구와, 상기 회전기구를 개재하여 기판을 반전시키고 있는 동안, 또는 기판을 반전시킨 후에 기판을 향하여 린스용 세정액을 내뿜는 스프레이 노즐을 가지는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항에 있어서,상기 세정부는 소정의 방향을 따라 배열된 복수의 세정기로 이루어지고,상기 제 1 리니어 트랜스포터 및 상기 제 2 리니어 트랜스포터가 액세스 가능한 위치에 배치되고, 상기 제 1 리니어 트랜스포터와 상기 제 2 리니어 트랜스포터의 사이에서 상기 연마 대상물을 주고 받는 제 1 주고 받음 기구와,상기 복수의 세정기의 배열방향을 따라 상기 연마 대상물을 반송하는 제 3 반송기구와,상기 제 2 리니어 트랜스포터 및 상기 제 3 반송기구가 액세스 가능한 위치에 배치되고, 상기 제 2 리니어 트랜스포터와 상기 제 3 반송기구의 사이에서 상기 연마 대상물을 주고 받는 제 2 주고 받음 기구를 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항 또는 제 36항에 있어서,상기 세정부는,소정의 방향을 따라 배열되고, 기판을 세정하는 복수의 세정기와,각 세정기 내의 기판을 착탈 자유롭게 유지하는 유지기구와, 상기 유지기구를 상하 이동시키는 상하 이동기구와, 상기 유지기구를 상기 세정기의 배열방향을 따라 이동시키는 이동기구를 가지는 반송기구를 구비하고,상기 유지기구는, 상기 세정기마다 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 리니어 트랜스포터 및 제 2 리니어 트랜스포터는, 각각,복수의 반송위치 사이에서 기판을 반송하는 반송 스테이지를 복수 구비하고,구동기구에 의하여 구동되는 구동측의 반송 스테이지에 샤프트를 삽입하고,상기 샤프트의 한쪽 끝에는, 피구동측의 반송 스테이지를 고정하고,상기 피구동측의 반송 스테이지에 대한 반송위치에는, 당해 피구동측의 반송 스테이지의 위치 결정을 행하는 스토퍼를 설치한 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항 또는 제 36항에 있어서,기판의 막 두께를 측정하는 막 두께 측정기를 추가로 가지고,상기 막 두께 측정기는, 기판을 유지함과 동시에 반전하는 반전 유지기구와, 상기 반전 유지기구에 대하여 대략 연직방향으로 배치된 막 두께 측정부와, 상기 반전 유지기구와 상기 막 두께 측정부의 사이에서 기판을 반송하는 반송기구를 구비한 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항 또는 제 36항에 있어서,기판을 반전시키는 반전기를 추가로 가지고,상기 반전기는, 기판을 유지하는 유지기구와, 상기 유지기구에 유지된 기판을 회전시키는 회전기구와, 상기 기판에 형성된 노치 또는 오리엔테이션 플랫을 검출하는 센서를 구비하고,상기 센서의 검출 결과에 의거하여 상기 기판의 회전위치 결정을 행하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
- 제 1항 또는 제 36항에 있어서,상기 톱링에 유지된 연마 대상물의 노치 또는 오리엔테이션 플랫을 검출하는 센서를 상기 톱링의 아래쪽에 배치하고,상기 센서의 검출결과에 의거하여 상기 연마 대상물의 회전위치 결정을 행하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
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