KR100951630B1 - 동압 베어링 장치 - Google Patents

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KR100951630B1 KR1020030021213A KR20030021213A KR100951630B1 KR 100951630 B1 KR100951630 B1 KR 100951630B1 KR 1020030021213 A KR1020030021213 A KR 1020030021213A KR 20030021213 A KR20030021213 A KR 20030021213A KR 100951630 B1 KR100951630 B1 KR 100951630B1
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야마시타노부요시
쿠리무라테츠야
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엔티엔 가부시키가이샤
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Abstract

저렴한 비용으로 동압 베어링 장치가 제공된다. 베어링 슬리브가 수용된 하우징이 인발가공에 의해 성형된다. 컵형 스러스트 부재는 하우징의 저부에 위치하고, 이 스러스트 부재를 베어링 슬리브의 하단면에 접촉시킴으로써, 제 1 및 제 2 스러스트 베어링부 내의 스러스트 베어링 간극의 폭이 소정값으로 설정된다.

Description

동압 베어링 장치{HYDRODYNAMIC BEARING DEVICE}
도 1은 본 발명에 따른 동압 베어링 장치를 나타내는 단면도;
도 2a는 동압 베어링 장치에 사용된 베어링 슬리브의 단면도;
도 2b는 동압 베어링 장치에 사용된 베어링 슬리브의 저면도;
도 3은 동압 베어링 장치의 다른 실시예를 나타내는 단면도;
도 4는 동압 베어링 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 단면도;
도 5는 동압 베어링 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 단면도;
도 6은 동압 베어링 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 단면도;
도 7은 동압 베어링 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 단면도;
도 8은 동압 베어링 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 확대단면도;
도 9는 동압 베어링 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 단면도;
도 10은 동압 베어링 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 단면도;
도 11은 스핀들 모터에 조립된 동압 베어링 장치를 나타내는 단면도;
도 12는 하우징의 단면도;
도 13은 도 12의 A-A선의 단면도;
도 14는 도 12 및 도 13에 도시된 하우징을 가지는 동압 베어링 장치의 단면도;
도 15는 하우징의 내주와 베어링 슬리브의 외주 사이의 접촉부 부근의 확대 단면도;
도 16은 도 14에 도시된 동압 베어링 장치의 밀봉수단 부근의 확대 단면도;
도 17은 다른 하우징의 형상을 나타내는 단면도; 및
도 18은 도 14에 도시된 동압 베어링 장치의 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.
본 발명은 동압 베어링 장치에 관한 것이다. 이 동압 베어링 장치는 HDD와 FDD 등의 자기디스크 장치에 사용되는 스핀들 모터(spindle motor), CD-ROM과 DVD-ROM 등의 광학디스크 장치, 및 MD와 MO 등의 자기광학디스크 장치, 그리고, 레이저 프린터(LBP)에 사용되는 폴리곤 스캐너 모터(polygon scanner motor)를 포함하는 정보기술 장치용 모터로 사용되는 것이 이상적이고, 또한 축류팬(axial fan) 등의 전기장치용 소형 모터에 사용되는 것이 이상적이다.
상기 각종 형태의 모터에서는, 고회전 정밀도 외에, 고속화, 비용절감, 및 저소음화가 성능 요소로서 모두 민감하게 요구된다. 이들 요소를 결정하는 구성요소 중 하나는 모터 스핀들을 지지하는 베어링이고, 최근, 상기 성능 요소에 대해 우수한 특성을 나타내는 동압 베어링 장치의 이용이 많이 연구되어 왔고, 몇몇 경우에는, 이들 베어링이 실제 용도로 사용되고 있다.
예를 들면, 디스크 장치용 스핀들 모터 내에 통합되어 있는 동압 베어링 장치로서, 도 11에 도시된 바와 같이, 베어링 슬리브(bearing sleeve)(40)가 하우징(30)의 내주에 고정되고, 축부재(20)가 베어링 슬리브(40) 내측에 위치한 구조가 개시되어 있다(일본 특허 공개 공보 제 2002-061636호 참조). 이 동압 베어링 장치에서는, 축부재(20)의 회전이 베어링 슬리브(40)의 내주와 축부재(20)의 외주 사이의 레이디얼 베어링(radial bearing) 간극에 동압 효과에 의한 압력을 발생시켜, 축부재(20)가 비접촉 상태로 지지된다.
이 동압 베어링 장치에서, 하우징(30)은 원통형 측부(peripheral part)(31)의 저부 개구(bottom opening)를 스러스트 부시(thrust bush)(32)로 밀봉함으로써 형성된다. 스러스트 부시(32)는 접착제를 사용하여 측부(31)의 저부 개구에 고정되지만, 코킹(caulking) 등의 다른 방법, 또는 코킹과 접착제의 조합도 사용될 수 있다.
종래 장치에서는, 하우징이 구리 등의 선삭된 금속(turned metal)으로 형성되었기 때문에, 하우징에 대한 제조비용이 계속해서 상당히 상승하였다. 또한, 베어링 슬리브가 접착제를 사용하여 하우징의 내주에 고정되기 때문에, 접착제를 도포하고 건조시키는 단계가 필요하고, 조립 공정을 더욱 복잡하게 하여, 제조 비용이 더욱 증가한다. 또한, 스러스트 부시(32)가 상술한 바와 같이 접착제 및/또는 코킹을 사용하여 측부(31)에 고정되기 때문에, 이 공정도 비용증가를 초래한다.
본 발명은 상기 설명된 문제를 해결하여, 동압 베어링 장치의 제조와 관련된 비용을 줄이는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 이루기 위해, 본 발명은 축부재(2), 베어링 슬리브(4), 내주에 베어링 슬리브가 고정된 하우징(3), 축부재(2)의 외주와 베어링 슬리브(4)의 내주 사이에 형성된 레이디얼 베어링 간극, 및 하우징(3)의 일단을 밀봉하는 밀봉수단(5)를 포함하고, 축부재(2)와 베어링 슬리브(4)의 상대회전에 의해, 동압효과에 의한 압력이 레이디얼 베어링 간극에 발생되고, 그로 인해, 축부재(2)와 베어링 슬리브(4)를 비접촉 상태로 지지하며, 하우징(3)은 압축성형 제품인 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치를 제공한다(도 1, 도 3∼도10, 및 도 12∼도 17 참조).
압축성형된 하우징을 사용함으로써, 하우징의 공정이 선삭된 하우징보다 낮은 비용으로 완료될 수 있다. 본 명세서에서, "압축성형 제품"은 소위 시트 금속 압축(sheet metal pressing)에 의해 성형된 것뿐만 아니라, 금형(mounted die)을 구비한 압축 장치를 사용하여 제조된 모든 제품을 말하고, 예를 들면, 파이프 재료의 제품을 포함한다. 하우징 내의 베어링 슬리브의 축선방향으로의 위치결정은 하우징 내의 부분적인 소성변형을 일으킴으로써 이루어질 수 있다. 예를 들면, 한 쪽 축선방향으로의 위치결정은 하우징(3)에 구비된 맞물림부(engagement part)(3c)를 통해 수행될 수 있고, 다른 쪽 축선방향으로의 위치결정은 하우징(3)에 구비된 저부(bottom part)(3b), 단차부(stepped part)(3d), 또는 맞물림부(3h)를 통해 간접적으로, 또는 직접적으로 수행될 수 있다(이들 각 부분들은 이후 더욱 상세하게 설명된다).
이 동압 베어링 장치에서는, 베어링 슬리브(4)의 비밀봉측에서 공간을 사이에 두고 하단면(4b)과 대향하는 스러스트 베어링면(7)을 구비할 수 있고, 축부재(2)의 플랜지부(2b)가 이 공간 내에 위치된다. 그리고 나서, 제 1 스러스트 베어링 간극이 베어링 슬리브(4)의 비밀봉된 하단면(4b)과 플랜지부(2b)의 일단면(상단면)(2b1) 사이에 형성될 수 있고, 제 2 스러스트 베어링 간극이 플랜지부의 타단면(하단면)(2b2)과 스러스트 베어링면(7) 사이에 형성될 수 있다(도 1, 도 3∼도 7, 도 9, 도 10, 및 도 14 참조).
예를 들면, 스러스트 베어링면(7)은 베어링 슬리브(4)의 비밀봉된 하단면(4b)과 접촉하고 있는 스러스트 부재(6)에 형성될 수 있다(도 1, 도 3, 도 9, 및 도 10 참조). 결국, 제 1 및 제 2 스러스트 베어링 간극의 폭은 소정의 값으로 조정될 수 있고, 이상적인 스러스트 동압이 두 베어링 간극 사이에 발생될 수 있다. 비밀봉된 하단면(4b)과 접촉하고 있는 스러스트 부재(6)로 적절한 예는, 스러스트 베어링면(7)이 바닥 내측면에 형성된 컵(cup)형 부재(스러스트 컵(thrust cup))이다.
또한, 스러스트 베어링면(7)은 하우징(3)과 일체로 형성될 수 있다(도 4∼도 6참조). 그렇게 함으로써, 스러스트 부재(6)가 불필요해지고, 그로 인해 구성요소의 수가 줄어들어 비용을 더 절감할 수 있다. 이러한 경우, 단차부(3d)가 하우징(3)에 구비되고, 이 단차부(3d)를 베어링 슬리브(4)의 비밀봉된 하단면(4b)과 맞물리게 함으로써, 스러스트 베어링 간극의 폭을 소정값으로 설정할 수 있고, 베어링 슬리브를 비밀봉측으로부터 구속하여 위치결정하는 것이 가능하다.
스러스트 베어링면(7)도 오일함침 소결금속(oil impregnated sintered metal)으로 만들어진 스러스트 부재(6)상에 형성될 수 있다(도 7 참조). 이러한 경우, 오일이 스러스트 베어링면(7)으로부터 스며나오기 때문에, 모터의 기동(starting)과 정지(stopping)중에 축부재(2)의 플랜지부 하단면(2b2)과 스러스트 베어링면(7) 사이의 마찰이 감소될 수 있고, 양쪽 구성요소의 마모가 억제될 수 있다. 또한, 소결 금속이 우수한 가공성(workability)을 제공하므로, 동압발생홈이 스러스트 베어링면(7)에 형성되더라도, 스러스트 부재(6)의 압축성형으로 그러한 동압발생홈을 용이하고 고정밀도로 형성할 수 있게 한다.
밀봉수단(5)은 고리형 밀봉부재(5a)로 형성될 수 있다(도 1, 도 3, 도 4, 및 도 9 참조). 이러한 경우, 반경방향 내측을 향해 소성변형된 맞물림부(3c)가 하우징(3)의 밀봉측에 구비되고, 이 맞물림부(3c)를 밀봉부재(5a)와 맞물리게 함으로써, 밀봉부재(5a)에 의해 베어링 슬리브(4)가 밀봉측을 향해 이동하는 것이 규제될 수 있다.
또한, 밀봉수단은 하우징(3)을 축경(縮徑)시킴으로써 형성될 수도 있고(도 5∼도 8, 및 도 14 참조), 이러한 경우, 밀봉부재가 불필요하게 되어, 구성요소의 감소로 인해 비용이 더욱 절감될 수 있다. 하우징(3)을 축경하는 기술의 예로 네킹(necking)을 들 수 있다. 이 경우, 반경방향 내측을 향해 소성변형된 맞물림부(3c)가 하우징(3)의 밀봉측에 구비되고, 이 맞물림부(3c)를 베어링 슬리브(4)와 맞물리게 함으로써, 밀봉측을 향하는 베어링 슬리브의 이동이 직접적으로 규제될 수 있다.
하우징(3)의 비밀봉측을 향하는 베어링 슬리브(4)의 이동은 베어링 슬리브(4)의 비밀봉된 하단면(4b)과 스러스트 부재(6) 또는 단차부(3d)간의 접촉에 의해 규제된다. 따라서, 상술한 맞물림부(3c)는, 스러스트 부재(6) 또는 단차부(3d)와 협력하여, 베어링 슬리브(4)가 양쪽 축선방향에 위치되게 함으로써, 접착제나 압입을 이용하지 않고 베어링 슬리브(4)가 하우징(3)내측에 고정될 수 있게 한다.
하우징(3)은 금속판의 인발가공(drawing)에 의해 형성될 수 있다. 이런 방식으로 형성된 하우징(3)은 저부(3b)와 일체로 되어 있다. 또한, 하우징(3)은 금속 파이프재(금속판을 인발하여 형성한 파이프재를 포함)를 적어도 부분적으로 소성변형하여 형성할 수도 있다. 소성변형을 가하는 부분의 예로서는 각각 밀봉 및 비밀봉측의 맞물림부(3c, 3h)(이후 설명)를 들 수 있다. 파이프재가 사용되면, 하우징의 저부가 개구상태로 되지만, 이 개구부는 베어링 슬리브(4)의 비밀봉된 하단면(4b)과 접촉하는 스러스트 부재(6)로 밀봉될 수 있다. 이러한 경우, 반경방향 내측을 향해 소성변형된 맞물림부(3h)가 하우징(3)의 비밀봉측에 구비되고, 이 맞물림부(3h)를 스러스트 부재(6)와 맞물리게 하여, 스러스트 부재(6), 그리고 베어링 슬리브(4)의 위치결정이 수행된다.
하우징(3)이 미리 절단된 금속이면, 높은 정밀도(허용오차 약 10㎛)가 얻어질 수 있다. 그러나, 하우징(3)이 상술한 바와 같이 압축성형으로 성형된 제품인 경우에는, 높은 정밀도를 얻기가 훨씬 더 어렵고, 허용오차는 약 20㎛∼40㎛가 한계이다. 따라서, 종래 방법과 같이 베어링 슬리브(4)가 접착제에 의해 하우징(3)의 내주에 고정되는 경우, 이들 두 부재의 동축도(coaxiality)의 감소가 점차 문제가 되고, 이 문제를 해결하는데 상당한 공구세공(tooling)이 필요하게 되어, 비용증가를 초래한다.
상기 문제를 해결하는 한가지 가능한 방법으로, 원통형 베어링 슬리브(4)를 하우징(3)의 내측 원통면에 압입(press fitting)하여, 베어링 슬리브를 고정하는 것이 있지만, 압입 과정에 따른 응력이 베어링 슬리브(4)의 내주가 축경되는 변형을 야기하여, 레이디얼 베어링면과 레이디얼 베어링 간극의 정밀도를 저하시킬 가능성이 증가한다.
따라서, 본 발명에서는, 하우징의 내주와 베어링 슬리브의 외주가 부분적으로 접촉하도록 설계되었다. 결국, 반경방향의 강성이 감소되기 때문에, 베어링 슬리브(4)와 하우징(3)이 확실하게 고정되고, 비용이 절감된다. 또한, 베어링 슬리브의 내부에 작용하는 압축응력이 감소되기 때문에, 베어링 슬리브(4) 내주의 변형량이 억제될 수 있다. 하우징의 가공 후, 열처리(어닐링법 등)를 수행함으로써 하우징의 경도(hardness)와 항복점 응력(yield point stress)을 낮춰, 큰 압입력을 유지하면서 압축응력을 더욱 줄일 수 있다.
상술한 부분적인 접촉은 베어링 슬리브의 외주나 하우징의 내주 중 하나의 단면을 다각형 또는 파형(wave shaped)으로 형성함으로써 이루어질 수 있다.
그리고 베어링 슬리브(4)는 하우징의 내주에 압입된다. 압입 후 베어링 슬리브 내경의 축경이 2㎛ 이하이면, 레이디얼 베어링면과 레이디얼 베어링 간극의 정밀도가 높게 유지될 수 있다.
도 1∼도 18에 기초하여, 본 발명의 실시예를 이하 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 동압 베어링 장치(1)의 제 1실시예를 나타낸다. 이 동압 베어링 장치(1)는 축부재(2), 하우징(3), 하우징(3) 내측에 고정된 원통형 베어링 슬리브(4), 하우징(3)의 일단을 밀봉하는 밀봉수단(5), 및 하우징(3)의 저부에 구비된 스러스트 부재(6)를 주요구성요소로서 포함한다. 하우징(3)은 도 11에 도시된 스핀들 모터의 내측, 도면에 도시되지 않은 모터 스타터(motor stator)가 장착된 케이싱(9)의 내주 내측에 고정된다.
상기 각 도면에서는, 밀봉수단(5)으로 밀봉된 하우징(3) 측은 "밀봉측"(도면에서 상단측), 반대측을 "비밀봉측"(도면에서 하단측)이라 칭한다.
하우징(3)은 금속판(예를 들면, 황동 등의 연질 금속 또는 강으로된 판재)을 인발가공하여 컵형상으로 성형한 얇은 벽의 압축성형 제품이다. 도면에 도시된 하우징(3)은 원통형 측부(3a), 비밀봉측에 형성된 원판형 저부(3b), 및 밀봉측 단부에 형성된 테이퍼 형상의 맞물림부(3c)를 포함하는 일체형 구조이다. 압축가공(press working) 중에 야기되는 버(burr) 및 변형(deformation)을 줄이기 위해, 하우징에 압축가공공정 후 배럴 연마(barrel polishing) 등의 후처리를 가할 수 있다.
축부재(2)는 스테인레스강(SUS420J2) 등의 금속재료로 만들어지고, 축부(2a), 및 축부(2a)의 하단에 구비된 플랜지부(2b)를 포함한다. 축부(2a) 및 플랜지부(2b)는 두 개의 개별 구성요소를 압입함으로써 서로 일체로 될 수도 있고, 또는 단조(forging) 등의 기술을 시용하여 단일 일체형 유닛으로서 형성될 수도 있다.
베어링 슬리브(4)는 동을 주성분으로 하는 소결금속에 윤활유 또는 윤활 그리스(grease)를 함침시켜 제조한 오일함침 소결금속으로 만들어진다. 이 오일함침 소결금속은 내부 공극(internal pore)(조직 공극(structure pore))과 이들 공극이 금속의 표면에 개구된 표면 공극을 포함하고, 이들 공극 내에 오일이 유지되어 있다.
제 1 레이디얼 베어링부(R1)와 제 2 레이디얼 베어링부(R2)는 베어링 슬리브(4)의 내주면(4a)과 축부재(2)의 축부(2a)의 외주면 사이에 두 부분이 축선방향으로 떨어져 구비되어 있다. 축선방향을 따라 상부 영역 및 하부 영역으로 나뉘는 레이디얼 베어링면(제 1 레이디얼 베어링부(R1)와 제 2 레이디얼 베어링부(R2)의 레이디얼 베어링면)은 베어링 슬리브(4)의 내주면에 구비된다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 제 1 레이디얼 베어링부(R1)의 레이디얼 베어링면으로 나타낸 영역은 헤링본 패턴(herringbone pattern)으로 형성된 복수의 동압발생홈(4a1, 4a2)을 포함한다. 본 실시예에서는, 상부 동압발생홈(4a1)의 축선방향 길이가 이것과 반대방향으로 경사진 하부 동압발생홈(4a2)의 길이보다 길어서, 축선방향으로 비대칭 패턴이다.
제 2 레이디얼 베어링부(R2)의 레이디얼 베어링면을 나타내는 영역도 헤링본 패턴으로 형성된 복수의 동압발생홈(4a3, 4a4)을 포함한다. 한쪽 축선방향을 향해 경사진 복수의 동압발생홈(4a3)과, 반대측 축선방향을 향해 경사진 복수의 동압발 생홈(4a4)은 축선방향으로 떨어져 있다. 제 1 레이디얼 베어링부(R1)와는 다르게, 동압발생홈(4a3, 4a4)의 축선방향 길이는 서로 동일하여, 축선방향으로 대칭 패턴이다. 제 1 레이디얼 베어링(R1)의 축선방향의 총길이는 제 2 레이디얼 베어링부(R2)의 축선방향의 총길이보다 길다.
레이디얼 베어링면을 나타내는 이들 영역의 동압발생홈의 형상은 특별히 한정되지 않는다.
본 실시예의 스러스트 부재(6)는 스러스트 컵으로 알려진 컵형 부재이고, 황동 또는 강을 선삭(turning)하거나 강을 단조하여 형성된다. 스러스트 부재(6)의 저부(6a)의 내측면은 플랜지부(2b)의 하단면(2b2)과 대향하는 스러스트 베어링면(7)이고, 원통형 기립부(raised part)(6b)는 저부(6a)의 외주 에지에 일체로 형성되어 있다. 스러스트 부재(6)의 저부(6a)는 하우징(3)의 저부(3b)와 접촉하고, 기립부(6b)의 단면은 베어링 슬리브(4)의 하단면(4b)과 접촉하고 있다.
제 1 스러스트 베어링부(T1)는 베어링 슬리브(4)의 하단면(4b)과 축부재(2)의 플랜지부(2b)의 상단면(2b1) 사이에 구비되고, 제 2 스러스트 베어링부(T2)는 스러스트 베어링면(7)과 플랜지부(2b)의 하단면(2b2) 사이에 구비된다. 제 1 스러스트 베어링부(T1)의 스러스트 베어링면을 나타내는 영역은, 예를 들면, 베어링 슬리브(4)의 하단면(4b)에 형성되고, 제 2 스러스트 베어링부(T2)의 스러스트 베어링면을 나타내는 영역은, 예를 들면, 스러스트 베어링면(7)상에 형성된다. 도 2b에 도시된 바와 같이, 나선형 패턴으로 배열된 복수의 동압발생홈(4b1)이 스러스트 베어링면으로서 기능하는 이들 영역(제 2 스러스트 베어링부(T2)의 스러스트 베어링 면으로서 기능하는 영역은 도면에 생략되어 있음) 내에 형성되어 있다.
스러스트 베어링면으로서 기능하는 영역 내의 동압발생홈 패턴은 반드시 나선형 패턴으로 될 필요는 없고, 헤링본 패턴 등의 다른 패턴도 이용될 수 있다. 또한, 동압발생홈을 포함하는 스러스트 베어링면들 중 한쪽 또는 양쪽은 축부재(2)의 플랜지부(2b)의 단면(2b1, 2b2)에 형성될 수도 있다.
도 1에 도시된 밀봉수단(5)은 하우징(3) 내측으로부터 오일이 누설되는 것을 방지하는 데 사용되고, 본 실시예는 고리형 밀봉부재(5a)가 하우징(3)의 개구부의 내주 내측에 장착되어 비접촉 테이퍼 시일(non-contact taper seal)을 형성한 구조를 나타낸다. 밀봉부재(5a)의 내주면(5a1)은 상측 방향으로 직경이 증가하는 테이퍼 형상의 면으로 형성되어 있고, 밀봉부재의 하단면(5a2)은 베어링 슬리브(4)의 상단면(4c)과 접촉한다. 하우징(3)의 외부방향(즉, 상측 방향)으로 크기가 점차 증가하는 테이퍼 형상의 밀봉 공간(S)은 밀봉부재(5a)의 내주면과 축부(2a)의 외주면 사이에 형성되어 있다. 베어링 슬리브(4) 내에 내부 공극을 포함하는, 밀봉부재(5a)에 의해 밀봉된 하우징(3)의 내부 공간은, 윤활유(또는 윤활 그리스)로 채워져 있고, 윤활유의 표면은 밀봉공간(S) 내에 있다.
테이퍼 형상의 밀봉공간(S)은 상술한 바와 반대로, 축부재(2)의 축부(2a) 외주면에 테이퍼면이 형성되고, 반대측 고정면(도면에서는, 밀봉부재(5a)의 내주면)이 직선 원통면으로 형성하여 구성될 수도 있다.
축부재(2)와 베어링 슬리브(4)의 상대 회전중에, 예를 들면, 축부재(2)가 회전되면, 레이디얼 베어링면과 축부(2a)의 외주면 사이의 레이디얼 베어링 간극 내 에서 윤활유의 동압이 발생하고, 축부재(2)의 축부(2a)가, 이 레이디얼 베어링 간극 내에 형성되는 윤활유의 유막에 의해 지지되어, 축부(2a)가 자유롭게 회전할 수 있는 반경방향으로의 비접촉 상태가 이루어진다. 결국, 축부재(2)를 반경방향으로 비접촉상태로 지지하여 자유롭게 회전가능하게 하는 제 1 레이디얼 베어링부(R1)와 제 2 레이디얼 베어링부(R2)가 이루어진다. 동시에, 윤활유의 동압이 베어링 슬리브(4)의 하단면(4b)과 플랜지부(2b)의 상단면(2b1) 사이의 제 1 스러스트 베어링 간극 내, 및 플랜지부(2b)의 하단면(2b2)과 스러스트 베어링면(7) 사이의 제 2 스러스트 베어링 간극 내에 발생되고, 축부재(2)의 플랜지부(2b)가 이들 두 스러스트 베어링 간극 내에 형성되는 윤활유의 유막에 의해 지지되어, 플랜지부(2b)가 자유롭게 회전할 수 있는 양쪽 스러스트 방향으로의 비접촉 상태가 이루어진다. 결국, 축부재(2)를 양쪽 스러스트 방향으로 비접촉상태로 자유롭게 회전가능하게 지지하는 제 1 스러스트 베어링부(T1) 및 제 2 스러스트 베어링부(T2)가 이루어진다.
이 베어링 장치(1)는 스러스트 부재(6), 축부재(2), 및 베어링 슬리브(4)를 인발된 하우징(3) 내측에 수용하고, 밀봉부재(5a)를 삽입한 후, 하우징(3)의 상단 에지를 코킹(caulking) 등의 기술을 사용하여 반경방향 내측을 향해 소성변형하여 맞물림부(3c)를 형성하여, 이 맞물림부(3c)가 밀봉부재(5a)와 맞물리게 되어 조립된다. 이 조립중에, 필요하다면, 이 간극을 밀봉하기 전에 접착제를 맞물림부(3c)와 밀봉부재(5a) 사이의 간극에 도포할 수도 있다.
본 조립 공정에 따르면, 밀봉부재(5a), 베어링 슬리브(4), 및 스러스트 부재(6)는 모두 서로 접촉하는 상태로 하우징 내측에 수용되므로, 이들 각 부재가 접착제 등의 필요없이 위치결정되어 각 부재를 하우징에 고정할 수 있고, 조립공정이 간단하게 되어 비용이 절감될 수 있다(물론, 필요하다면, 접착제에 의한 고정방식도 이용될 수 있다). 상술한 바와 같이, 하우징(3)이 압축성형 제품이기 때문에, 하우징 자체가 종래의 선삭된 하우징보다 저렴한 비용으로 제조될 수 있고, 베어링 장치 전체에 대한 비용 절감에도 기여한다.
이하 본 발명의 다른 실시예를 설명한다. 이하의 설명은 도 1 및 도 2에 도시된 실시예와 다른 점을 중심으로 설명하고, 제 1실시예와 공통인 부분 또는 부재는 동일 참조부호를 부여하여 중복설명을 생략한다.
도 3은 축선방향으로 연장하는 연장부(extension part)(5a3)가 밀봉부재(5a)에 형성되고, 베어링 슬리브(4)의 외주가 이 연장부(5a3)의 내주와 맞물리는 실시예이다. 연장부(5a3)와 맞물리는 베어링 슬리브(4) 부분은 베어링 슬리브의 다른 부분보다 소경으로 형성되어, 베어링 슬리브(4)의 용량이 도 1에 도시된 예에 비해 감소되고 베어링 슬리브(4) 내에 포함된 오일의 양도 감소되어, 온도 변동(temperature fluctuation)에 의해 야기되는 오일 표면의 변동이 억제될 수 있다. 또한, 본 실시예는 베어링 슬리브(4)와 밀봉부재(5a)의 동축도(coaxiality)도 더욱 용이하게 유지된다는 부가적인 이점을 제공한다.
도 4는 도 1에 도시된 실시예에서의 스러스트 부재(6)가 하우징(3) 내에 일체화되어, 구성요소의 수가 감소되고 비용이 절감되는 실시예를 나타낸다. 이 경우, 제 1실시예의 스러스트 부재(6)의 기립부(6b)에 대응하는 하우징(3)의 단차부(3d)가 베어링 슬리브(4)의 하단면에 접촉되어, 베어링 슬리브(4)가 위치결 정되고, 제 1 및 제 2 스러스트 베어링 간극의 폭이 소정값으로 설정된다.
도 5는, 밀봉부재(5a) 대신에 하우징(3)의 축경(예를 들면, 네킹 등의 기술을 사용)에 의해 생성된 축경부(narrow diameter part)(3e)를 구비함으로써, 도 4에 도시된 실시예의 밀봉수단(5)이 하우징(3) 내에 일체화된 실시예를 나타낸다. 이 축경부(3e)의 내주면(3e1)은 상방으로 직경이 증가하는 테이퍼면으로 형성되고, 테이퍼 형상의 밀봉 공간(S)이 상기 내주면(3e1)과 축부(2a)의 외주면 사이에 형성되어 있다. 이러한 경우, 하우징(3)의 측부(3a)와 축경부(3e) 사이의 이어진 부분이 상기 맞물림부(3c)로서 기능하고, 밀봉측으로부터의 베어링 슬리브(4)의 이동을 직접적으로 제한 및 규제한다. 본 실시예에서는, 밀봉부재(5a)가 생략되어 있기 때문에, 도 4에 도시된 실시예보다 비용이 더 절감될 수 있다.
도 6은 도 5에 도시된 실시예의 스러스트 부재(6)에 대응하는 부분(두꺼운 벽 부분)이 생략되고, 하우징(3) 전체가 균일한 얇은 벽 구조로 형성된 실시예를 나타낸다. 도 4 및 도 5에 도시된 실시예에서는, 스러스트 부재(6)(도 1 및 도 3 참조)에 대응하는 부분이 두꺼운 벽 부분으로 형성되어, 인발 공정이 복수의 다양한 두께의 단계로 나뉘어야만 했다. 이와 다르게, 도 6에 도시된 구조에서는, 이러한 형식의 다단계 인발공정이 더 이상 필요치 않고, 생산성이 향상될 수 있다. 본 실시예의 경우, 하우징(3)의 비밀봉측의 외주가 압착되어 축경부(3f)를 형성하기 때문에, 반경방향으로의 단차부(3d)를 형성하고, 이 단차부(3d)를 베어링 슬리브(4)의 하단면(4b)과 접촉하게 함으로써, 베어링 슬리브(4)가 위치될 수 있고 스러스트 베어링 간극의 폭이 설정될 수 있다.
도 7은 오일함침 소결금속으로 만들어진 디스크(disk)형 스러스트 부재(6)가 하우징(3)의 저부에 위치하고, 이 스러스트 부재(6)의 상단면이 스러스트 베어링면(7)으로서 사용되는 실시예를 나타낸다. 이러한 경우, 제 2 스러스트 베어링부(T2)가 오일함침 베어링과 동일한 구성이기 때문에, 모터의 기동 및 정지중에 축부재(2)의 플랜지부 하단면(2b2)과 스러스트 베어링면(7) 사이의 마찰이 감소될 수 있어서, 양쪽 구성요소의 마모가 억제될 수 있고, 제품의 수명이 연장될 수 있다. 또한, 제 2 스러스트 베어링부(T2)의 동압발생홈이 스러스트 베어링면(7)에 형성되면, 스러스트 부재(6)가 우수한 가공성을 가진 소결금속으로 형성되기 때문에, 압축성형(press molding) 등을 이용하여 저비용으로 고정밀도의 동압발생홈을 성형할 수 있다. 같은 이유로, 도 1 및 도 3에 도시된 스러스트 부재(6)도 오일함침 소결금속으로 만들어질 수도 있다.
도 8은 도 5∼도 7에 도시된 실시예에서 하우징(3)의 축경부(3e)의 단부가 소성변형에 의해 반경방향 외측으로 구부러져 평탄면(3g)을 형성하고, 발유제(oil repellent agent)를 이 평탄면(3g)에 도포하여, 강력한 오일누설 방지효과가 이루어질 수 있는 실시예를 나타낸다.
도 9 및 도 10은, 하우징(3)이 금속판의 인발가공에 의해 형성된 도 1∼도 8의 실시예와는 다르게, 하우징(3)이 금속 파이프재의 부분적인 소성변형에 의해 형성된 실시예를 나타낸다. 이러한 경우, 하우징(3)은 양단이 개구되어 있고, 상단은 밀봉수단(5)으로 밀봉되고(도 9에서는 밀봉부재(5a)가 이용된 반면, 도 10에서는 하우징(3)의 축경부(3e)가 이용됨), 하단은 베어링 슬리브(4)의 하단면(4b)과 접촉 하는 컵형 스러스트 부재(6)로 밀봉되어 있다. 맞물림부(3h)는 하우징(3)의 비밀봉된 단부를 반경방향 내측을 향해 소성변형하여 하우징(3)에 형성되고, 스러스트 부재(6)는 이 맞물림부(3h)를 스러스트 부재(6)와 맞물리게 함으로써 하우징에서 떨어뜨리지 않게 한다. 이러한 경우, 맞물림부(3h)와 스러스트 부재(6) 사이의 간극을 접착제로 밀봉함으로써, 오일 누설이 보다 확실하게 방지될 수 있다. 금속 파이프재의 적절한 예는 원주방향으로 이음부(join)가 없는 전형적인 완성품뿐만 아니라, 금속판의 인발가공에 의해 형성된 파이프형 재료를 포함한다.
도 12∼도 17은 하우징(3)의 내주와 베어링 슬리브(4)의 외주가 부분적으로 탄성 접촉하고 있는 실시예를 나타낸다.
이들 베어링 장치는, 도 1∼도 10에 도시된 각 동압 베어링 장치와 유사한 방식으로, 축부재(2), 압축성형된 하우징(3), 하우징(3)의 내주에 고정된 베어링 슬리브(4), 하우징(3)의 일단을 밀봉하는 밀봉수단(5), 및 하우징(3)의 저부에 구비된 스러스트 부재(6)를 주요 구성요소로 포함한다. 베어링 슬리브(4)의 외주에는 하우징(3) 내의 오일을 비밀봉측으로부터 밀봉측으로 순환시키는 하나 또는 복수의 순환홈(8)이 형성되어 있다(도 1∼도 10에 도시된 실시예에서는, 순환홈(8)이 도면에서 생략되어 있다). 순환홈(8)의 밀봉측은 베어링 슬리브(4)의 상단면(4c)과 이에 대향하는 하우징(3)의 내측면 사이의 외부에 형성된 공간(9)에 개구하고 있다. 하우징(3)은, 측부(3a), 맞물림부(3c), 및 축경부(3e)를 포함한다. 하우징(3)의 측부(3a)에는, 밀봉측으로부터 시작하는 영역(H) 내에, 다각형 횡단면을 가진 비원형부(3i)가 형성되어 있고, 비밀봉측에는 원통형 횡단면을 가진 원형부(3j)가 형성되 어 있다.
비원형부(3i)는 횡단면이 5∼40°의 다각형 형상이고(도면의 예는 20각형(20 angled icosagon)인 경우를 나타낸다), 베어링 슬리브(4)의 외주와 접촉하는 부분적인 접촉부를 포함한다.
원형부(3j)는 스러스트 부재(6)(도 14 참조)의 외주와 접촉하는 접촉부와, 축부재(2)의 플랜지부(2b)의 외주와 대향하는 대향부로부터 형성되어 있다. 제 1 및 제 2 스러스트 베어링부(T1, T2)를 통한 오일의 유동이 방해되지 않고, 스러스트 부재(6)의 외주와 하우징(3)의 내주 사이의 접촉도(degree of contact)가 확보될 수 있다면, 원형부(3j)가 생략될 수 있고, 측부(3a)의 전체 축선길이가 비원형부(3i)로 형성될 수 있다.
비원형부(3i)를 가지는 이런 형식의 하우징에 원통형 베어링 슬리브(4)를 압입하여, 베어링 슬리브(4)의 외주와 하우징(3)의 내주가 반경방향으로의 탄성력을 이용하여 원주방향 둘레에서 부분적으로 접촉하므로, 베어링 슬리브(4)의 내부에 작용하는 압축응력이 감소된다. 따라서, 압입에 의한 베어링 슬리브(4)의 내주의 축경량(반경 치수)이 전체 원주 둘레에서 2㎛ 이하, 바람직하게는 1㎛ 이하로 억제될 수 있어서, 레이디얼 베어링면과 레이디얼 베어링 간극의 정밀도 저하를 실질상 회피할 수 있다. 판 두께가 0.1∼0.25mm인 경우, 압입중의 간섭(interference)을 30㎛ 이하로 설정함으로써, 1㎛ 이하의 축경량이 얻어질 수 있다.
또한, 하우징(3)의 비원형부(3i)와 베어링 슬리브(4) 사이의 탄성접촉에 의해 베어링 슬리브(4)가 축선방향으로 고정되기 때문에, 비밀봉측을 향한 베어링 슬 리브(4)의 이동을 직접적으로 또는 간접적으로 규제하는 부분, 즉 저부(3b)(도 1 및 도 3 참조), 단차부(3d)(도 4∼도 7) 참조, 또는 맞물림부(3h)(도 9 및 도 10 참조)가 더 이상 필요치 않고, 하우징에 대한 성형 비용이 더욱 감소될 수 있다. 물론, 특별한 문제가 없다면 이들 부분(3b,3d, 또는 3h)이 하우징(3)에 여전히 구비될 수도 있다. 도 18은 맞물림부(3h)가 하우징(3)에 형성된 예를 나타낸다.
하우징(3)의 다각형 부분의 모서리 부분(angle part)의 내주와 베어링 슬리브(4)의 외주 사이에 형성된 간극(P)(도 15 참조)은 순환홈(8)과 유사하게 오일 순환 기능을 발휘할 수 있다. 또한, 이들 간극(P)에 접착제를 삽입함으로써, 하우징(3)과 베어링 슬리브(4) 사이의 접합강도가 향상될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 스러스트 부재(6)는 두꺼운 평판으로 형성되고, 압입, 접착제, 또는 양쪽 기술을 조합하여 하우징(3)의 비밀봉된 개구단에 고정된다. 상술한 바와 같이, 베어링 슬리브(4)는 하우징(3)의 내주와 베어링 슬리브(4) 사이의 탄성접촉에 의해 축선방향으로 고정되기 때문에, 베어링 슬리브(4)의 비밀봉된 하단면(4b)과 접촉하는 기립부(6b)(도 1, 도 3, 도 9, 및 도 10 참조)가 불필요하다.
도면에 도시된 예에서, 밀봉수단(5)은 도 5∼도 8, 및 도 10에 도시된 것과 유사한 방식으로, 하우징(3)의 밀봉된 단부를 축경함으로써 형성된다. 테이퍼 형상의 밀봉 공간(S)은 하우징(3)의 축경부(3e)의 내주면(3e1)을 직선 원통면으로 형성하고, 대향하는 축부(2a)의 외주에 테이퍼면(2a1)을 구비함으로써 형성된다.
축경부(3e)의 성형 정밀도가 충분하게 확보될 수 없는 경우에는, 도 16에 파선(dashed line)으로 나타낸 바와 같이, 맞물림부(3c)로부터 축경부(3e)에 걸친 부 분의 곡률반경을 크게 하여, 테이퍼 시일의 유효길이(L)를 줄이는 경우를 들 수 있다. 그러나, 이 문제는, 도 1, 도 3, 도 4, 및 도 9에 도시된 실시예와 유사한 방식으로, 고리형 밀봉부재(5a)를 이용하는 밀봉수단(5)을 사용함으로써 해결될 수 있다. 이러한 경우, 밀봉부재(5a)가 수지재료로 만들어지면, 밀봉부재(5a)가 접착제 또는 초음파 용접을 이용하여 하우징(3)의 내주에 고정될 수 있다. 또한, 밀봉부재(5a)가 투명한 수지재료로 만들어지면, 레이저 용접을 이용한 고정도 가능하다. 밀봉부재(5a)는 도 1에 도시된 실시예와 유사한 맞물림부(3c)를 이용하여 고정될 수도 있다.
비원형부(3i)에 있어서, 적어도 그 내주면이 다각형 형상이어야만 하고, 도 13에 도시된 바와 같이, 내주 및 외주 양쪽 모두 다각형 형상으로 형성될 수 있다. 또는, 단지 내주만이 다각형 형상일 수도 있다(그리고, 예를 들면, 외주는 단순 원통형 형상으로 형성). 하우징(3)의 내주면이 다각형 형상이고 외주면이 원통형 형상인 경우, 하우징(3)을 케이싱(9)(도 11 참조) 내측에 장착하는 작업이 비교적 간단하다는 이점을 제공한다.
또한, 도 17에 도시된 바와 같이, 비원형부(3i)를 일련의 원호(circular arc)를 포함하는 파형단면(wave shaped cross-section)으로 형성함으로써 상술한 바와 동일한 효과가 얻어질 수 있다. 도면에 도시된 예에서는, 하우징(3)의 내주와 외주 양쪽이 곡률반경(R, R')인 원호로 형성되어 있지만, 외주도 원통형 형상으로 형성될 수도 있다.
또한, 하우징(3)의 내주도 원통면으로 형성되고, 다각형 또는 파형 횡단면을 가진 비원형부(3i)가 베어링 슬리브(4)의 외주면에 형성될 수도 있다.
상기 설명은 제 1 및 제 2 스러스트 베어링부(T1, T2)가 축부재(2)를 비접촉 상태로 지지하는 동압 베어링 장치의 예를 설명했지만, 본 발명은 그러한 경우에 한정되지 않고, 축부재(2)의 축단(shaft end)이 피봇지지되는 접촉형 스러스트 베어링부를 가진 동압 베어링 장치에도 적용될 수 있다.
본 발명에 따르면, 하우징의 제조공정 및 베어링 장치의 조립공정이 모두 간단하게 이루어질 수 있고, 구성요소의 수도 감소될 수 있다. 따라서, 동압 베어링 장치에 대한 비용이 상당하게 줄어들 수 있다.

Claims (24)

  1. 축부재;
    베어링 슬리브;
    내주에 상기 베어링 슬리브가 고정된 하우징;
    상기 축부재의 외주와 상기 베어링 슬리브의 내주 사이에 형성된 레이디얼 베어링 간극; 및
    상기 하우징의 일단을 밀봉하는 밀봉수단을 포함하고:
    상기 축부재와 상기 베어링 슬리브의 상대회전에 의해, 상기 레이디얼 베어링 간극에 동압 효과에 의한 압력이 발생되어, 상기 축부재와 상기 베어링 슬리브를 비접촉 상태로 지지하는 동압 베어링 장치로서,
    상기 하우징은 압축성형 제품이고, 상기 밀봉수단은 상기 하우징을 축경시켜형성되는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 베어링 슬리브의 비밀봉측에서의 단면과 공간을 사이에 두고 대향하는 스러스트 베어링면; 및 상기 공간 내에 위치한 축부재 상의 플랜지부를 더 포함하고,
    상기 베어링 슬리브의 비밀봉측에서의 단면과 상기 플랜지부의 일단면 사이에 제 1 스러스트 베어링 간극이 형성되고, 상기 플랜지부의 반대측 단면과 상기 스러스트 베어링면 사이에 제 2 스러스트 베어링 간극이 형성되는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 스러스트 베어링면은 상기 베어링 슬리브의 상기 비밀봉측에서의 단면과 접촉하는 스러스트 부재 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 스러스트 베어링면은 상기 하우징과 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 하우징에 단차부가 구비되고, 상기 단차부는 상기 베어링 슬리브의 비밀봉측에서의 단면과 맞물리는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 스러스트 베어링면은 오일함침 소결금속으로 만들어진 스러스트 부재 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 밀봉수단은 고리형 밀봉부재로 형성되는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 하우징의 밀봉측에 반경방향 내측을 향해 소성변형된 맞물림부가 구비되고, 상기 맞물림부는 상기 밀봉부재와 맞물리는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  9. 삭제
  10. 제 1항에 있어서, 상기 하우징의 밀봉측에 반경방향 내측을 향해 소성변형된 맞물림부가 구비되고, 상기 맞물림부는 상기 베어링 슬리브와 맞물리는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  11. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하우징은 금속판의 인발가공에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  12. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 하우징은 금속 파이프재를 적어도 부분적으로 소성변형하여 형성된 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  13. 제 3항에 있어서, 상기 하우징은 금속 파이프재를 적어도 부분적으로 소성변형하여 형성된 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 하우징의 비밀봉측에 반경방향 내측을 향해 소성변형된 맞물림부가 구비되고, 상기 맞물림부는 상기 스러스트 부재와 맞물리는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  15. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하우징의 내주와 상기 베어링 슬리브의 외주가 부분적으로 접촉되는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 베어링 슬리브의 외주와 상기 하우징의 내주 중 어느 하나의 단면 형상은 다각형 또는 파형인 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  17. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 베어링 슬리브는 상기 하우징의 내주에 압입되고, 상기 압입 후 상기 베어링 슬리브의 내경의 축경량이 2㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  18. 제 15항에 있어서, 상기 베어링 슬리브는 상기 하우징의 내주에 압입되고, 상기 압입 후 상기 베어링 슬리브의 내경의 축경량이 2㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  19. 플랜지부를 갖는 축부재;
    베어링 슬리브;
    내주에 상기 베어링 슬리브가 고정된 하우징;
    상기 축부재의 외주와 상기 베어링 슬리브의 내주 사이에 형성된 레이디얼 베어링 간극; 및
    상기 하우징의 일단을 밀봉하는 밀봉수단;
    상기 베어링 슬리브의 비밀봉측의 단면과 공간을 사이에 두고 대향하는 스러스트 베어링면을 포함하고,
    상기 축부재의 플랜지부가 상기 공간에 배치되고, 상기 베어링 슬리브의 비밀봉측의 단면과 플랜지부의 일단면 사이에 제 1 스러스트 베어링 간극이 형성되며, 상기 플랜지부의 반대측 단면과 상기 스러스트 베어링면 사이에 제 2 스러스트 베어링 간극이 형성되고,
    상기 축부재와 상기 베어링 슬리브의 상대회전에 의해, 상기 레이디얼 베어링 간극, 제 1 스러스트 베어링 간극 및 제 2 스러스트 베어링 간극에 동압 효과에 의한 압력이 발생되어, 상기 축부재와 상기 베어링 슬리브를 비접촉 상태로 지지하는 동압 베어링 장치로서,
    상기 하우징이 압축 성형 제품이며, 상기 스러스트 베어링면은 상기 베어링 슬리브의 상기 비밀봉측에서의 단면과 접촉하는 스러스트 부재 상에 형성되고, 상기 베어링 슬리브 밀봉측 단면에 밀봉부재가 접촉되며, 상기 하우징 축방향 한쪽 측이 소성변형으로 상기 밀봉부재에 맞물리는 동시에, 상기 하우징 축방향 반대측이 상기 스러스트 부재에 맞물리는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 하우징은 금속 파이프재를 적어도 부분적으로 소성변형하여 형성된 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  21. 제 19항에 있어서, 상기 하우징의 내주와 상기 베어링 슬리브의 외주가 부분적으로 접촉되는 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  22. 제 21항에 있어서, 상기 베어링 슬리브의 외주와 상기 하우징의 내주 중 어느 하나의 단면 형상은 다각형 또는 파형인 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  23. 제 19항에 있어서, 상기 베어링 슬리브는 상기 하우징의 내주에 압입되고, 상기 압입 후 상기 베어링 슬리브의 내경의 축경량이 2㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
  24. 제 21항에 있어서, 상기 베어링 슬리브는 상기 하우징의 내주에 압입되고, 상기 압입 후 상기 베어링 슬리브의 내경의 축경량이 2㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 동압 베어링 장치.
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