KR100725468B1 - 유리판 표면의 에칭 방법, 유리판 에칭 장치, 평판디스플레이용 유리판 및 평판 디스플레이 - Google Patents

유리판 표면의 에칭 방법, 유리판 에칭 장치, 평판디스플레이용 유리판 및 평판 디스플레이 Download PDF

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Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100741291B1 (ko) * 2006-02-14 2007-07-23 에버테크노 주식회사 Lcd 유리 슬리밍장치
KR100732019B1 (ko) * 2006-02-17 2007-06-25 (주)지원테크 유리 기판의 박판화 장치
KR20070105699A (ko) * 2006-04-27 2007-10-31 삼성전자주식회사 기판 식각 장치 및 이를 이용한 기판 식각 방법
JP2008013389A (ja) 2006-07-04 2008-01-24 Nec Corp エッチング装置及び薄型ガラス基板の製造方法
KR100824544B1 (ko) 2006-09-18 2008-04-23 (주)에스티아이 식각 장치 및 식각방법
KR101300524B1 (ko) * 2006-09-19 2013-09-02 (주)에스티아이 식각장치 및 식각방법
KR101375848B1 (ko) 2006-12-08 2014-03-18 (주)스마트에이스 기판식각장치 및 이를 이용한 액정표시소자 제조라인
KR100865767B1 (ko) * 2007-03-15 2008-10-28 우진선행기술 주식회사 기판 슬림화 장치 및 기판 슬림화 방법
KR100732016B1 (ko) * 2007-03-22 2007-06-25 (주)지원테크 유리 기판의 박판화 장치
KR100801957B1 (ko) * 2007-06-26 2008-02-12 이민철 에칭 키트
KR100943756B1 (ko) * 2007-10-15 2010-02-23 우진선행기술 주식회사 기판 슬림화 장치
KR100860294B1 (ko) * 2008-01-09 2008-09-25 주식회사 이코니 유리기판 에칭 장치와 상기 에칭 장치에 의하여 제조된유리박판
KR100943321B1 (ko) 2008-03-03 2010-02-19 (주)세미로드 유리 식각 장치와 유리 기판의 슬러지 제거 방법
KR100889949B1 (ko) * 2008-04-10 2009-03-20 주식회사 엠엠테크 하향식 기판 박형화장치 및 이를 이용한 박형화 시스템
CN101630635B (zh) * 2009-08-25 2011-11-30 满纳韩宏电子科技(南京)有限公司 玻璃基板蚀刻装置
KR101007306B1 (ko) * 2010-02-23 2011-01-13 주식회사 엠엠테크 상부 하향 분사식 기판 에칭 장치
CN102947232B (zh) * 2010-06-21 2015-05-27 旭硝子株式会社 玻璃板、玻璃板的研磨方法、玻璃板的制造方法以及玻璃板的制造装置
CN102653451A (zh) * 2011-03-01 2012-09-05 三福化工股份有限公司 玻璃基板连续结晶式化学蚀刻方法与设备
CN102730956B (zh) * 2011-04-11 2015-08-26 诺发光电股份有限公司 保护玻璃的加工方法
KR101277161B1 (ko) * 2011-07-08 2013-06-20 주식회사 엠엠테크 글라스 박형화 시스템
JP5334216B2 (ja) * 2011-10-28 2013-11-06 株式会社Nsc ガラス基板の製造方法
JP5317304B2 (ja) * 2012-01-31 2013-10-16 株式会社Nsc 化学研磨装置
KR20130092713A (ko) * 2012-02-13 2013-08-21 (주)미코씨엔씨 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법
JP5340457B1 (ja) * 2012-06-06 2013-11-13 株式会社Nsc 化学研磨装置
KR101387058B1 (ko) * 2012-10-11 2014-04-21 주식회사 유플러스비젼 저반사 나노구조의 유리기판 제조방법 및 이를 위한 부식액 조성물
CN104176943A (zh) * 2013-05-24 2014-12-03 中国科学院微电子研究所 一种增加石英片表面刻蚀粗糙度的方法
CN104761150B (zh) * 2015-03-16 2017-09-22 南昌欧菲光学技术有限公司 玻璃蚀刻液、利用该蚀刻液蚀刻玻璃的方法、盖板玻璃及其制备方法
JP6651127B2 (ja) * 2015-09-11 2020-02-19 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及びその製造装置
JP6283062B2 (ja) * 2016-05-31 2018-02-21 株式会社Nsc 表示装置製造方法
TWI649285B (zh) * 2016-06-07 2019-02-01 全鴻精研股份有限公司 水平式玻璃蝕刻的方法
TWI613167B (zh) * 2016-11-18 2018-02-01 宏益玻璃科技股份有限公司 一種抗眩光強化抗菌及抗指紋之玻璃面板製作方法
TWI829673B (zh) * 2018-03-07 2024-01-21 美商康寧公司 玻璃基板黏接控制
JP2023512488A (ja) * 2020-01-17 2023-03-27 コーニング インコーポレイテッド 基板面を処理する方法、そのための装置、及び処理されたガラス物品
WO2023278223A1 (en) * 2021-07-01 2023-01-05 Corning Incorporated Methods of etching glass-based sheets
KR102400576B1 (ko) * 2021-09-02 2022-05-19 오성수 유리판의 단면 가공 방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63121678A (ja) 1986-11-11 1988-05-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd クロム被膜のエツチング方法及びエツチング装置
KR0180850B1 (ko) * 1996-06-26 1999-03-20 구자홍 유리기판 에칭장치
JPH11217240A (ja) 1998-01-30 1999-08-10 Central Glass Co Ltd ガラス板面の酸処理方法およびその装置
JPH11307494A (ja) 1998-04-17 1999-11-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JP2000323813A (ja) 1999-05-12 2000-11-24 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
KR20040045311A (ko) * 2002-11-22 2004-06-01 니시야마 스테인레스 케미컬 가부시키가이샤 평판 패널 디스플레이용 유리 기판 및 그 제조 방법

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2103548B (en) * 1981-08-20 1985-01-30 Glaverbel Method of reducing light reflection from glass surfaces
CN1306912A (zh) * 2000-01-21 2001-08-08 张建华 玻璃本色砂面装饰制品及其化学生产方法
CN2492564Y (zh) * 2001-08-16 2002-05-22 铼宝科技股份有限公司 有机电致发光显示面板铟锡氧化物电极的电化学蚀刻平坦化装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63121678A (ja) 1986-11-11 1988-05-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd クロム被膜のエツチング方法及びエツチング装置
KR0180850B1 (ko) * 1996-06-26 1999-03-20 구자홍 유리기판 에칭장치
JPH11217240A (ja) 1998-01-30 1999-08-10 Central Glass Co Ltd ガラス板面の酸処理方法およびその装置
JPH11307494A (ja) 1998-04-17 1999-11-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JP2000323813A (ja) 1999-05-12 2000-11-24 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
KR20040045311A (ko) * 2002-11-22 2004-06-01 니시야마 스테인레스 케미컬 가부시키가이샤 평판 패널 디스플레이용 유리 기판 및 그 제조 방법

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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TW200531945A (en) 2005-10-01
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JP4071220B2 (ja) 2008-04-02
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