KR100605070B1 - 스탬퍼 박리 방법 및 장치, 및 다층 기록 매체 - Google Patents

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Abstract

디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성되어 상기 디스크의 표면을 덮도록 수지층을 거쳐서 접합한 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 방법 및 장치이다. 디스크를 고정한 후, 이 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 임의의 위치에 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 작용하는 압박력을 가하고, 상기 압박력에 의해 상기 스탬퍼가 상기 수지층으로부터 박리되기 시작한 후, 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 압박력을 연속해서 가한다. 그리고 수지층에 대한 상기 스탬퍼의 박리를 상기 디스크 둘레 방향을 따라서 행하게 하면, 박리 방향이 정보 피트의 배열 방향 및 그루브 구조의 접선 방향과 대략 일치하여 수지층에 균일한 정보 피트나 그루브 구조를 형성할 수 있다.
디스크, 스탬퍼, 그루브 구조, 정보 피트

Description

스탬퍼 박리 방법 및 장치, 및 다층 기록 매체{METHOD AND DEVICE FOR SEPARATING STAMPER, AND MULTI-LAYERED RECORDING MEDIUM}
본 발명은, 스탬퍼 박리 방법 및 장치, 및 다층 기록 매체에 관한 것으로, 특히 디스크의 박리 표면에 피트 및/또는 그루브 구조를 형성할 수 있는 스탬퍼 박리 방법 및 장치, 및 상기 장치에 의해 제조된 다층 기록 매체에 관한 것이다.
현재, 차세대 취향의 기록 매체로서, 다양한 다층 구조 디스크가 제안되어 있다.
도18은 재생 전용형의 2층 디스크의 구조를 도시한 대략 단면도이다. 도14에 도시한 바와 같이, 재생 전용형의 2층 디스크(200)는 두께 1.1 ㎜의 베이스 기판(202)을 갖고, 이 베이스 기판(202)의 편측 표면에 두께 0.1 ㎜의 광투과층(204)을 형성한 형태로 되어 있다.
도19는 도18에 있어서의 베이스 기판과 광투과층의 경계 부분의 확대도이다. 도19에 도시한 바와 같이, 베이스 기판(202)과 광투과층(204)에는 센터 구멍(206)(도18을 참조)을 중심으로 한 나선형의 정보 피트(208)가 각각에 형성되어 있다. 그리고 이들 정보 피트(208)의 표면에는 반사층(도시하지 않음)이 각각 스퍼터나 증착 등에 의해 설치되는 동시에, 대면하는 정보 피트(208) 사이에는 상기 정보 피 트(208)에 의한 요철을 매립하도록 수지층(210)이 형성되어 있다.
이와 같이 구성된 2층 디스크에서는 광투과층(204)의 상방으로부터 레이저광을 조사하여 판독을 행하도록 되어 있다.
그런데 상술한 다층 디스크의 수지층(210) 표면에 정보 피트(208)나 그루브 구조를 형성할 때, 다양한 제조 방법이 이용된다.
도20과 도21은 스핀 코팅법을 이용하여 정보 피트를 형성하는 순서를 나타낸 공정 설명도이다. 스핀 코팅법을 이용하여 정보 피트를 형성하기 위해서는, 우선 도20에 도시한 바와 같이 정보 피트(208)가 대향하도록 베이스 기판(202)과, 투광성의 스탬퍼(212)를 대면 배치한다. 그리고 베이스 기판(202)과 스탬퍼(212)의 간극에, 그 내측으로부터 자외선 경화 수지를 도입하는 동시에 센터 구멍(206)을 회전 중심으로 하여 화살표(214)로 나타낸 바와 같이 베이스 기판(202)과 스탬퍼(212)를 회전시킨다.
이와 같이 베이스 기판(202)과 스탬퍼(212)를 회전시키면, 자외선 경화 수지는 원심력에 의해 디스크 외주측으로 확대되고, 베이스 기판(202)과 스탬퍼(212) 사이가 자외선 경화 수지로 매립된다. 상기 간극이 자외선 경화 수지로 매립된 후에는 스탬퍼(212)의 상방으로부터 자외선을 조사하여 상기 자외선 경화 수지의 경화에 의해 수지층(216)을 형성한다.
그리고 수지층(216)이 형성된 후에는, 도21에 도시한 바와 같이 스탬퍼(212)를 상방으로부터 인상하여 상기 스탬퍼(212)와 수지층(216)을 박리시킨다. 이와 같이 수지층(216)으로부터 스탬퍼(212)를 박리시키면, 수지층(216)의 표면에 스탬 퍼(212)로부터 전사된 정보 피트(208)가 노출되므로, 그 후에는 수지층(216)의 표면에 스퍼터나 증착 등에 의해 반사층을 형성하고, 그 후, 스핀 코팅 등의 방법에 의해 광투과층을 형성하면 된다.
또한 상술한 종래예에서는 취지층(216)의 표면에 정보 피트(208)를 형성하는 순서에 대해 설명을 행하였지만, 스탬퍼를 이용한 이 방식은 상기 정보 피트(208)의 형성으로만 한정되는 일도 없고, 디스크 둘레형으로 그루브 구조를 형성하거나, 혹은 상기 그루브 구조와 정보 피트를 조합한 형태에도 적용할 수 있는 것은 물론이다.
그러나 스탬퍼를 이용하여 수지층의 표면에 정보 피트나 그루브 구조를 형성하는 방법에는 이하에 도시하는 바와 같은 문제점이 있었다.
즉 수지층(210)으로부터 스탬퍼(212)를 박리시킬 때, 상기 스탬퍼(212)의 전면을 수지층(210)으로부터 일제히 이반시키기 위해서는 많은 인장력이 필요했다. 그리고 스탬퍼(212)가 수지층(210)으로부터 이반되었을 때에는 상기 인장력이 급격히 해방되므로 박리된 스탬퍼(212)가 보유 지지부로부터 제거되어 수지층(210) 상에 낙하하여 정보 피트나 그루브 구조(208)에 손상을 부여할 우려가 있었다.
또한 스탬퍼(212)는 상술한 바와 같이, 수지층(210)으로부터 한번에 박리되므로, 수지층(210)에 대한 스탬퍼(212)의 박리 속도를 조정하는 것이 어렵고, 그루브 구조(208)를 노출시키기 때문에 최적의 박리 속도로 설정하는 것이 곤란하였다.
본 발명은 상기 종래의 문제점에 주목하여 수지층에 대한 스탬퍼의 박리 속 도가 임의로 조정 가능하고, 최적의 박리 속도를 설정할 수 있는 스탬퍼 박리 방법 및 장치 및 다층 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 수지층에 대해 스탬퍼를 한번에 박리시키는 것은 아니고, 어떤 임의의 방향으로부터 스탬퍼를 박리시켜 상기 박리를 둘레 방향을 따라서 서서히 행해 가면 약간의 힘으로 스탬퍼를 박리시키는 것이 가능해지는 동시에, 상기 박리가 둘레 방향을 따라서 행해지므로, 정보 피트나 그루브 구조의 품질을 높일 수 있다는 지견을 기초로 하여 이루어진 것이다.
즉 본 발명에 관한 스탬퍼 박리 방법은 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성되어 상기 디스크의 표면을 덮도록 수지층을 거쳐서 접합한 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 방법이며, 상기 디스크를 고정한 후, 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 임의의 위치에 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 작용하는 압박력을 가하고, 상기 압박력에 의해 상기 스탬퍼가 상기 수지층으로부터 박리되기 시작한 후에는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 압박력을 연속해서 가하고, 상기 수지층에 대한 상기 스탬퍼의 박리를 상기 디스크 둘레 방향을 따라서 행하게 하는 것으로 하였다.
또한 다른 스탬퍼 박리 방법에서는 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성된 스탬퍼를 갖고, 상기 디스크의 표면을 덮도록 상기 스탬퍼를 포개어 상기 디스크와 상기 스탬퍼 사이에 스핀 코팅법에 의해 수지층을 형성한 후, 상기 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 방법이며, 상기 디스크의 외측으로 노출되는 잉여부가 절삭 후에 상기 스탬퍼측에 잔류하도록 날끝의 자세를 설정하고, 상기 디스크와 상기 수지층의 경계에 따른 상기 날끝의 둘레 이동에 의해 상기 경계를 노출시킨 후, 상기 디스크를 고정하고, 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 임의의 위치에 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 작용하는 압박력을 가하고, 상기 압박력에 의해 상기 스탬퍼가 상기 수지층으로부터 박리된 후에는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 압박력을 연속해서 가하고, 상기 수지층에 대한 상기 스탬퍼의 박리를 상기 디스크 둘레 방향을 따라서 행하게 한 것으로 하였다.
또한 다른 스탬퍼 박리 방법에서는 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성된 스탬퍼를 갖고, 상기 디스크의 표면을 덮도록 상기 스탬퍼를 포개어 상기 디스크와 상기 스탬퍼 사이에 스핀 코팅법에 의해 수지층을 형성한 후, 상기 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 방법이며, 상기 디스크의 외측으로 노출되는 잉여부가 절삭 후에 상기 스탬퍼측에 잔류하도록 날끝의 자세를 설정하고, 상기 디스크와 상기 수지층의 경계에 따른 상기 날끝의 둘레 이동에 의해 상기 경계를 노출시킨 후, 상기 디스크를 고정하고, 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 임의의 위치에 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 작용하는 압박력을 가하고, 상기 압박력에 의해 상기 스탬퍼가 상기 수지층으로부터 박리되기 시작한 후에는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 압박력을 연속해서 가하고, 상기 수지층에 대한 상기 스탬퍼의 박리를 상기 디스크 둘레 방향을 따라서 행하게 하고, 상기 스탬퍼의 박리 후에 상기 디스크 외주의 상기 수지층측을 모따기 가공하는 것으로 하였다.
본 발명에 관한 스탬퍼 박리 장치는 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성되어 상기 디스크의 표면을 덮도록 수지층을 거쳐서 접합한 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 장치이며, 상기 디스크의 보유 지지를 이루는 고정 수단을 마련하여 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 승강 가능한 압박 핀을 복수 배치하고, 이들 압박 핀의 상기 스탬퍼에의 압박을 상기 디스크의 둘레 방향을 따라서 행하게 하는 동시에 상기 압박 핀의 승강 속도를 조정하는 제어 수단을 마련하도록 구성하였다.
또 다른 스탬퍼 박리 장치에서는 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성된 스탬퍼를 갖고, 상기 디스크의 표면을 덮도록 상기 스탬퍼를 포개어 상기 디스크와 상기 스탬퍼 사이에 스핀 코팅법에 의해 수지층을 형성한 후, 상기 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 장치이며, 날끝을 중심으로 상기 날끝의 자세 변경을 이루는 각도 조정부와, 상기 디스크와 상기 수지층의 경계에 대해 상기 날끝을 접촉 분리 가능하게 하는 왕복 이동부를 설치하는 동시에, 상기 디스크의 보유 지지를 이루는 고정 수단을 마련하여 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 승강 가능한 압박 핀을 복수 배치하고, 이들 압박 핀의 상기 스탬퍼에의 압박을 상기 디스크의 둘레 방향을 따라서 행하게 하는 동시에 상기 압박 핀의 승강 속도를 조정하는 제어 수단을 마련하도록 구성하였다.
또한 다른 스탬퍼 박리 장치에서는 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성된 스탬퍼를 갖고, 상기 디스크의 표면을 덮도록 상기 스탬퍼를 포개어 상기 디스크와 상기 스탬퍼 사이에 스핀 코팅법에 의해 수지층을 형성한 후, 상기 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 장치이며, 날끝을 중심으로 상기 날끝의 자세 변경을 이루는 각도 조정부와, 상기 디스크와 상기 수지층의 경계에 대해 상기 날끝을 접촉 분리 가능하게 하는 왕복 이동부와, 상기 디스크 외주의 상기 수지층측에 접촉 분리 가능한 모따기 가공부를 설치하는 동시에, 상기 디스크의 보유 지지를 이루는 고정 수단을 마련하여 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 승강 가능한 압박 핀을 복수 배치하고, 이들 압박 핀의 상기 스탬퍼에의 압박을 상기 디스크의 둘레 방향을 따라서 행하게 하는 동시에 상기 압박 핀의 승강 속도를 조정하는 제어 수단을 마련하도록 구성하였다.
그리고 상기 압박 핀은 상기 스탬퍼의 외연을 보유 지지하는 가이드부가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 관한 다층 기록 매체는 상술한 스탬퍼 박리 장치에 의해 제조되는 것으로 하였다.
도1은 본 실시 형태에 관한 스탬퍼 박리 장치를 스탬퍼 박리부로서 적용한 그루브 형성 장치의 개략 평면도이다.
도2는 도1에 있어서의 스탬퍼 박리부의 확대도이다.
도3은 도2에 있어서의 AA 단면도이다.
도4는 박리 스테이션의 구조를 도시하는 측면도이다.
도5는 커터의 날끝이 디스크와 스탬퍼의 경계에 도달한 상태를 도시하는 주요부 확대도이다.
도6은 스탬퍼 박리부의 구조를 도시하는 부분 측면도이다.
도7은 박리 핀이 스탬퍼에 접촉한 직후를 도시한 도6의 주요부 확대도이다.
도8은 단부면 처리부의 구조를 도시하는 측면도이다.
도9는 도8에 있어서의 주요부 확대도이다.
도10은 디스크와 스탬퍼가 스탬퍼 박리부를 통과하는 모습을 도시하는 상태 설명도이다.
도11은 디스크와 스탬퍼가 스탬퍼 박리부를 통과하는 모습을 도시하는 상태 설명도이다.
도12는 디스크와 스탬퍼가 스탬퍼 박리부를 통과하는 모습을 도시하는 상태 설명도이다.
도13은 디스크와 스탬퍼가 스탬퍼 박리부를 통과하는 모습을 도시하는 상태 설명도이다.
도14는 디스크와 스탬퍼가 스탬퍼 박리부를 통과하는 모습을 도시하는 상태 설명도이다.
도15는 디스크와 스탬퍼가 스탬퍼 박리부를 통과하는 모습을 도시하는 상태 설명도이다.
도16은 스탬퍼의 박리 상태를 도시하는 설명도이다.
도17은 스탬퍼 박리부의 응용예를 나타낸 주요부 확대도이다.
도18은 재생 전용형의 2층 디스크의 구조를 도시한 대략 단면도이다.
도19는 도18에 있어서의 베이스 기판과 광투과층의 경계 부분의 확대도이다.
도20은 스핀 코팅법을 이용하여 정보 피트를 형성하는 순서를 나타낸 공정 설명도이다.
도21은 스핀 코팅법을 이용하여 정보 피트를 형성하는 순서를 나타낸 공정 설명도이다.
이하에, 스탬퍼 박리 방법 및 장치 및 다층 기록 매체에 적합한 구체적 실시 형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도1은 본 실시 형태에 관한 스탬퍼 박리 장치를 스탬퍼 박리부로서 적용한 그루브 형성 장치의 개략 평면도이다. 또한 본 실시 형태에서는 스탬퍼 박리부를 갖는 장치를 그루브 형성 장치로 하였지만, 상기 장치에서는 그루브 구조의 형성으로만 한정되는 일 없이, 상기 그루브 구조 대신에 디스크 둘레형으로 정보 피트를 형성하거나, 혹은 상기 그루브 구조와 정보 피트를 조합하여 형성하도록 해도 좋다.
본 실시 형태에 관한 스탬퍼 박리 장치를 스탬퍼 박리부로서 적용한 그루브 형성 장치(230)는 다층 기록 매체가 되는 재생 전용형의 2층 디스크에 있어서, 상층 기록측에 그루브 구조를 형성하는 것이다. 그리고 도1에 도시한 바와 같이 그루브 형성 장치(230)에서는 그 장치 내에 디스크와 스탬퍼를 공급하기 위한 디스크 스탬퍼 공급부(232)와, 디스크 표면의 클리닝을 이루는 클리너부(234)와, 디스크에 스탬퍼를 접합하기 위한 스탬퍼 접합부(236)와, 디스크와 스탬퍼 사이에 개재하는 자외선 경화 수지를 굳혀 수지층을 형성하기 위한 자외선 조사부(238)와, 디스크로부터 스탬퍼를 박리하기 위한 스탬퍼 박리부(240)와, 디스크와 스탬퍼를 배출하기 위한 디스크 배출부(242)가 설치되어 있다. 그리고 이들 요소 사이에는 공급 아암(244), 제1 이동 탑재 아암(246), 제2 이동 탑재 아암(248), 배출 아암(250)이 설치되어 있고, 이들 아암의 선회 운동으로 디스크와 스탬퍼를 후단측으로 반송할 수 있도록 하고 있다.
도2는 도1에 있어서의 스탬퍼 박리부의 확대도이고, 도3은 도2에 있어서의 AA 단면도이다.
이들 도면에 도시한 바와 같이, 스탬퍼 박리부(240)는 박리 스테이션(252)과 반송 테이블부(254)로 구성되어 있다. 그리고 접합된 디스크와 스탬퍼는, 우선 박리 스테이션(252)으로 반송되고, 여기서 디스크와 스탬퍼의 접합 부분에 절입이 들어가게 된다. 계속해서 디스크와 스탬퍼는 반송 테이블부(254)로 반송되고, 여기서 디스크로부터 스탬퍼를 박리시켜 박리 후의 디스크단부면의 연마를 행하도록 하고 있다. 또한 박리 스테이션(252)으로부터 반송 테이블부(254)에의 반송은 상술한 제2 이동 탑재 아암(248)의 선회와 상하 연동에 의해 행해진다.
도4는 박리 스테이션의 구조를 도시하는 측면도이다.
도4에 도시한 바와 같이, 박리 스테이션(252)에서는 그 최상부에 디스크의 외경과 대략 같은 치수로 설정된 진공 흡입이 가능한 테이블(256)이 설치되어 있다. 또한 상기 테이블(256)의 중심으로부터는 디스크 및 스탬퍼의 센터 구멍과 끼워 맞춤을 가능하게 하는 위치 결정 핀(260)이 돌출되도록 설치되어 있고, 이 위치 결정 핀(260)에 디스크 및 스탬퍼를 끼워 맞춤으로써 테이블(256)에 대한 디스크의 위치 결정을 행하는 동시에, 디스크의 배면측을 테이블(256)의 표면으로 밀착시켜 진공 흡입에 의해 디스크 등을 테이블측에 고정시킬 수 있도록 하고 있다.
또한 테이블(256)에 있어서 위치 결정 핀(260)이 설치된 반대측에는 회전축(262)을 거쳐서 디스크 회전 모터(264)가 설치되어 있다. 이로 인해 디스크 회전 모터(264)를 회전시킴으로써 상기 디스크 회전 모터(264)에 발생하는 회전력이 회전축(262)을 거쳐서 테이블(256)로 전달되고, 상기 테이블(256)과 함께 진공 흡입으로 고정된 디스크 등을 위치 결정 핀(260)을 중심으로 회전시킬 수 있도록 되어 있다. 또한 회전축(262)의 도중에는 디스크 회전 모터(264)의 회전 검지를 이루는 광센서(266)(혹은 다른 방식의 센서라도 좋음)가 설치되어 있고, 이 광센서(266)로부터의 값을 기초로 후술하는 커터의 전진 및 후퇴 등을 행하도록 하고 있다.
한편, 테이블(256)의 측방에는 각도 조절부(268)가 배치된다. 그리고 상기 각도 조절부(268)에는 원호형으로 만곡된 가이드 레일(270)이 설치되는 동시에, 상기 가이드 레일(270)에 따라서 이동을 가능하게 하는 스테이지(272)가 설치되어 있다. 또한 가이드 레일(270)의 만곡 형상은 스테이지(272) 상에 고정된 후술하는 커터를 전진시켰을 때, 어떠한 각도에 있어서도 상기 커터의 날끝이 디스크와 클램퍼의 경계에 도달하도록 설정해 둔다.
스테이지(272) 상에는 왕복 이동부가 되는 실린더(274)가 장착되어 있고, 상기 실린더(274)에는 커터(276)가 부착되어 있다. 이로 인해 상기 실린더(274)를 신장시키면, 이 실린더(274)와 함께 커터(276)가 전진하여 상기 커터(276)의 날끝이 테이블(256)에 고정된 디스크와 스탬퍼의 경계에 도달한다. 도5는 커터의 날끝이 디스크와 스탬퍼의 경계에 도달한 상태를 도시하는 주요부 확대도이다. 도5에 도시한 바와 같이 스핀 코팅법을 이용하여 접합된 디스크(278)와 스탬퍼(280)에 있어서는 수지층을 형성하기 위한 부재가 디스크(278)의 외연으로 돌출되고, 이것이 경화되어 잉여부(282)로 되어 있다. 이로 인해 잉여부(282)는 디스크(278)와 스탬퍼(280)의 경계를 매립하도록 위치하고 있고, 잉여부(282)를 제거하지 않고 스탬퍼(280)를 디스크(278)측으로부터 박리시키고자 하는 경우에는 상기 잉여부(282)를 분단시킬 만큼의 힘이 필요하다. 그러나 도5에 도시한 바와 같이, 이 잉여부(282)에 커터(276)를 압입하여, 우선 그 날끝을 상기 경계로 도달시키고, 상기 날끝을 경계로 도달시킨 후에는 디스크 회전 모터(264)를 구동시켜 적어도 1회전 이상, 테이블(256)과 함께 디스크류를 회전시켜 커터(276)로 잉여부(282)의 일부 영역을 깎아 경계를 노출시킨다. 이와 같이 커터(276)로 잉여부(282)에 절입을 넣으면 상기 잉여부(282)가 분단되므로, 스탬퍼(280)를 박리시킬 때, 잉여부(282)가 박리 강도에 영향을 주는 것을 방지할 수 있다.
또한 잉여부(282)에 대해 절입을 넣을 때, 커터(276)와 스탬퍼(278)의 교차 하는 각도(284)가 가능한 한 커지도록 커터(276)의 자세를 설정하는 것이 바람직하다. 이와 같이 각도(284)를 크게 설정하면 잉여부(282)의 잔량부를 적극적으로 스탬퍼(280)측에 남길 수 있고, 이들 잔량부는 후 공정에서 스탬퍼(280)와 함께 쉽게 제거할 수 있다. 또한 커터(276)의 근방에는 도시하지 않은 제전(除電) 노즐이 부착되어 있고, 커터(276)의 절입시에는 그 날끝에 에어를 송풍하도록 하여 절입에 생기는 정전기를 제거하도록 하고 있다.
반송 테이블부(254)는, 도2에 도시한 바와 같이 디스크(278)와 스탬퍼(280)의 받아들임을 이루기 위한 수용부(286)와, 디스크(278)측으로부터 스탬퍼(280)를 박리시키기 위한 스탬퍼 박리부(288)와, 박리 후의 디스크단부면의 처리를 행하는 단부면 처리부(290)와, 디스크(278)의 표면에 형성되는 수지층의 막두께 측정을 이루는 막두께 검사부(292)와, 반송 테이블부(254)로부터 디스크 배출부(242)로 디스크(278)를 교환하기 위한 배출부(294)가 구비되어 있다.
그리고 수용부(286)로부터 디스크 배출부(294)에 이르기까지의 디스크류의 반송은 반송 테이블(296)의 회전 및 승강에 의해 행해지고, 또한 박리 스테이션(252)으로부터 반송 테이블부(254)에의 디스크류의 반송 및 디스크측으로부터 박리된 스탬퍼(280)의 제거에 대해서는 제2 이동 탑재 아암(248)에 의해 행해진다.
반송 테이블부(254)에 있어서의 수용부(286)에서는 그 중앙부에 디스크(278) 및 스탬퍼(280)의 위치 결정을 이루기 위한 위치 결정 핀이 설치되어 있다. 그리고 제2 이동 탑재 아암(248)의 가동에 의해 박리 스테이션(252)측에 있던 디스크(278) 등을 수용부(286)로 이동시키고, 상기 위치 결정 핀을 이용하여 수용부(286) 내에 보유 지지할 수 있도록 하고 있다.
도6은 스탬퍼 박리부의 구조를 도시하는 부분 측면도이다. 도6에 도시한 바와 같이, 스탬퍼 박리부(288)에서는 박리 스테이션(252)과 마찬가지로 그 최상부에 디스크의 외경보다 약간 작은 치수로 설정된 진공 흡입이 가능한 테이블(298)이 설치되어 있다. 또한 상기 테이블(298)의 중심으로부터는 디스크 및 스탬퍼의 센터 구멍과 끼워 맞춤을 가능하게 하는 위치 결정 핀(300)이 돌출되도록 설치되어 있고, 이 위치 결정 핀(300)에 디스크(278) 및 스탬퍼(280)를 끼워 맞춤으로써 테이블(298)에 대한 디스크의 위치 결정을 행하는 동시에, 디스크의 배면측을 테이블(298)의 표면으로 밀착시켜 진공 흡입에 의해 디스크 등을 테이블측에 고정시킬 수 있도록 하고 있다. 그리고 테이블(298)의 외측에는 디스크(278)의 외경 이상, 스탬퍼(280)의 외경 이하가 되는 범위에 120도의 간격으로 박리 핀(302)이 3개 설치되어 있다. 그리고 이들 박리 핀(302)은 테이블(298)의 하방에 배치된 서보 모터(304)에 연결되어 있고, 상기 서보 모터(304)를 가동시킴으로써 박리 핀(302)의 선단부를 테이블(298)의 높이를 협지하여 상하 방향으로 이동할 수 있도록 하고 있다. 또한 디스크(278)의 외주 3군데에 배치된 박리 핀(302)은 단일 서보 모터(304)에 의해 승강을 가능하게 하고 있지만, 그 선단부는 높이가 다르게 설정되어 있다. 또한 상기 서보 모터(304)에는 도시하지 않은 제어 수단이 접속되어 있다. 이로 인해 제어 수단에 의해 서보 모터(304)의 속도를 조정하는 것이 가능해져 스탬퍼(280)를 압박하는 박리 핀(302)의 속도를 최적으로 조정할 수 있게 되어 있다.
그리고 상기 제어 수단으로부터의 신호에 의해 서보 모터(304)를 가동시켜 이들 박리 핀(302)을 상승시키면, 우선 제1 박리 핀(302a)이 스탬퍼(280)의 표면에 접촉한다.
도7은 박리 핀이 스탬퍼에 접촉한 직후의 상태를 나타낸 도6의 주요부 확대도이다. 도7에 도시한 바와 같이 제1 박리 핀(302a)이 스탬퍼(280)에 접촉하고, 그 후, 상기 스탬퍼(280)를 압박해 가면, 스탬퍼(280)와 수지층(306) 사이에 박리가 발생하여 수지층(306)의 표면이 노출되기 시작한다. 그리고 박리 핀(302a)이 상승하여 스탬퍼(280)와 수지층(306) 사이의 박리가 일정 이상 진행되면 이번에는 제2 박리 핀(302b)(도16을 참조)이 스탬퍼(280)의 표면에 접촉하기 시작하여 제1 박리 핀(302)으로부터 떨어진 부위를 압박한다. 또한 제2 박리 핀(302b)의 부위에 있어서, 스탬퍼(280)와 수지층(306) 사이의 박리가 일정 이상 진행되면 이번에는 제3 박리 핀(302c)(도16을 참조)이 스탬퍼(280)의 표면에 접촉하기 시작하여 제1 및 제2 박리 핀과 함께 스탬퍼(280)를 박리시킨다.
이와 같이 박리 핀을 스탬퍼(280)의 외연부에 따라서 연속해서 접촉시키도록 하였으므로, 스탬퍼(280)의 박리가 수지층(306)에 대한 수지층(306)의 둘레 방향을 따라서 발생하게 된다. 이로 인해 스탬퍼(280)의 박리는 수지층(306)의 표면에 형성된 그루브 구조에 일치하여 행해지므로, 스탬퍼(280)측의 요철이 수지층측의 그루브 구조에 간섭하는 것을 억제할 수 있어 수지층에 균일한 그루브 구조를 형성할 수 있는 것이다.
도8은 단부면 처리부의 구조를 도시하는 측면도이고, 도9는 도8에 있어서의 주요부 확대도이다.
이들 도면에 도시한 바와 같이, 단부면 처리부(290)는 스탬퍼 박리부(288)나 박리 스테이션(252)과 마찬가지로 그 최상부에 디스크의 외경보다 약간 작은 치수로 설정된 진공 흡입이 가능한 테이블(308)이 설치되어 있다. 또한 상기 테이블(308)의 중심으로부터는 디스크 및 스탬퍼의 센터 구멍과 끼워 맞춤을 가능하게 하는 위치 결정 핀(310)이 돌출되도록 설치되어 있고, 이 위치 결정 핀(310)에 박리 후의 디스크(278)를 끼워 맞춤으로써, 테이블(308)에 대한 디스크(278)의 위치 결정을 행하는 동시에, 상기 디스크(278)의 배면측을 테이블(308)의 표면으로 밀착시켜 진공 흡입에 의해 디스크를 테이블측에 고정시킬 수 있도록 하고 있다. 또한 테이블(308)의 하방측에는 디스크 회전 모터(312)가 설치되어 있고, 이 디스크 회전 모터(312)와 테이블(308)은 동력 전달 기구를 거쳐서 접속되어 있다. 이로 인해 상기 디스크 회전 모터(312)를 가동시킴으로써 디스크(278)가 흡입된 테이블(308)을 회전시키도록 하고 있다.
또한 테이블(308)의 측방에는 왕복 이동부가 되는 커터 전후 실린더(314)와, 상기 커터 전후 실린더(314)에 탑재된 모따기 가공부가 되는 커터(316)가 설치되어 있다. 그리고 커터 전후 실린더(314)를 왕복 이동시킴으로써 커터(316)를 디스크(278)의 외연에 있어서의 수지층(306)측으로 압박 가능하게 하고 있고, 이와 같이 디스크(278)의 외연에 있어서의 수지층(306)측에 모따기 가공을 실시함으로써 수지층(306)의 단부면 처리를 행하는 동시에, 디스크(278)의 외연단부면에 잔류하는 잉여부(282)를 깎아낼 수 있도록 하고 있다.
또한 디스크(278)의 상방에는 제전 노즐(317)이 설치되어 있는 동시에, 상기 디스크(278)를 협지하고 반대측에는 도시하지 않은 배기 덕트가 설치되어 있다. 이로 인해 커터(316)로 디스크(278)의 단부면 처리를 실시하는 동안, 상기 제전 노즐(317)로부터 디스크(278)로 에어를 송풍하고, 절삭 칩을 불어 날려버리는 동시에 정전기의 제거를 행하도록 한다. 이와 같이 에어의 송풍을 행하면, 디스크(278)의 표면[즉 수지층(306)의 표면]에 절삭 칩이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한 상기 에어에 의해 불어 날려진 절삭 칩은 상기 배기 덕트에 의해 장치 밖으로 배기되면 된다.
이와 같이 구성된 스탬퍼 박리부를 이용하여 디스크로부터 스탬퍼를 박리하는 순서를 설명한다.
도10 내지 도15는 디스크와 스탬퍼가 스탬퍼 박리부를 통과하는 모습을 도시하는 상태 설명도이다.
우선 도10에 도시한 바와 같이, 자외선 조사부(238)를 통과한 디스크와 스탬퍼(318)를, 제2 이동 탑재 아암(248)을 회전시켜 상기 자외선 조사부(238)로부터 박리 스테이션(252)으로 제1 아암(320)을 이용하여 반송시킨다. 그리고 상기 박리 스테이션(252)으로 상술한 바와 같이 커터(276)를 디스크와 스탬퍼(318)로 압박하면, 잉여부(282)를 깎아 디스크와 스탬퍼의 경계를 노출시킬 수 있다.
이와 같이 박리 스테이션(252)으로 잉여부(282)를 깎아 디스크와 스탬퍼의 경계를 노출시킨 후에는 제2 이동 탑재 아암(248)을 회전시키고, 상기 제2 이동 탑재 아암(248)에 있어서의 제2 아암(322)으로 디스크와 스탬퍼(318)를 박리 스테이션(252)으로부터 반송 테이블부(254)의 수용부(286)로 반송시킨다. 상기 수용부 (286)로 반송된 디스크와 스탬퍼(318)의 상태를 도11에 도시한다.
수용부(286)로 디스크와 스탬퍼(318)가 반송된 후에는, 반송 테이블(296)의 상승에 의해 상기 반송 테이블(296)이 디스크와 스탬퍼(318)를 들어올리고, 그 후, 디스크와 스탬퍼(318)는 반송 테이블(296)의 회전에 수반하여 스탬퍼 박리부(288)로 이동한다. 이와 같이 디스크와 스탬퍼(318)가 스탬퍼 박리부(288)로 이동하면, 상술한 바와 같이 박리 핀(302)의 스탬퍼(280)에의 압박에 의해 디스크(278)와 스탬퍼(280)가 박리된다. 그리고 디스크(278)로부터 박리된 스탬퍼(280)를 박리 핀(302)이 지지하고 있는 상태에서 그 상방으로부터 도12에 도시한 바와 같이 제2 이동 탑재 아암(248)의 스탬퍼 배출 아암(324)을 하강시켜 스탬퍼(280)만을 파지한다.
이와 같이 상기 스탬퍼 배출 아암(324)으로 박리 후의 스탬퍼(280)를 파지한 후에는, 도13에 도시한 바와 같이 반송 테이블(296)의 외측에 배치된 스탬퍼 폐기부(326) 상에 박리 후의 스탬퍼(280)를 이동시키고, 그 후 상기 스탬퍼(280)를 스탬퍼 배출 슈트(450)로 교환하면 된다.
또한 스탬퍼(280)가 박리된 디스크(278)는, 도14에 도시한 바와 같이 반송 테이블(296)의 승강과 회전에 의해 후단측이 되는 단부면 처리부(290)로 반송된다. 그리고 상기 단부면 처리부(290)에서는, 상술한 바와 같이 커터(316)를 디스크(278)의 단부면으로 압박하고, 상기 디스크(278)의 단부면에 잔류하는 잉여부(282)를 제거하면 된다.
이와 같이 단부면 처리부(290)에서 디스크(278)의 단부면에 잔류하는 잉여부 (282)를 제거한 후에는 다시 반송 테이블(296)을 승강 및 회전시키고, 도15에 도시한 바와 같이 디스크(278)를 막두께 검사부(292)로 반송시킨다. 그리고 상기 막두께 검사부(292)에서 수지층(306)의 막두께 검사를 행하고, 디스크(278) 상에 형성된 수지층(306)의 막두께가 설정 범위 내에 있는지를 확인한 후에는, 그 결과를 도시하지 않은 기록 수단에 기억시켜 두는 동시에, 다음 단의 배출부(294)로 디스크(278)를 반송시킨다. 그리고 디스크(278)를 배출부(294)로 반송시킨 후에는 배출 아암(250)을 이용하여 디스크(278)를 스탬퍼 박리부(240)로부터 취출하고, 막두께 검사부(292)에서 얻은 결과를 기초로 상기 디스크(278)를 디스크 배출부(242)에서 양품과 불량품의 선별을 행하면 된다.
또한 상술한 설명에서는 1매의 디스크(278)[및 스탬퍼(280)]가 스탬퍼 박리부를 통과하는 모습을 도시하였지만, 실제의 작업은 제2 이동 탑재 아암(248)에 설치된 3개의 아암이 각각 동시에 작용하여 복수의 디스크(278)[및 스탬퍼(280)]가 스탬퍼 박리부를 통과하고 있는 것을 이해시키고 있다.
도16은 스탬퍼의 박리 상태를 도시하는 설명도이다. 도16에 도시한 바와 같이 스탬퍼(280)를 박리시키는 경우에는, 우선 박리 핀(302a)이 스탬퍼(280)에 접촉하고, 계속해서 박리 핀(302b), 박리 핀(302c)이 차례로 스탬퍼(280)에 접촉한다. 그리고 이들 박리 핀의 접촉 순서에 따라서, 도16의 화살표(328)로 나타낸 바와 같이 스탬퍼(280)는 디스크(278)측으로부터 박리된다. 이와 같이 화살표(328)에 따라서 스탬퍼(280)를 박리시키면, 상기 박리는 수지층(306)[및 스탬퍼(280)]에 형성된 그루브 구조의 연장 방향을 따라서 행해지므로, 인접하는 그루브끼리(및 랜드끼 리)가 스탬퍼(280)의 박리에 의해 영향을 받는 것을 방지할 수 있다.
도17은 스탬퍼 박리부의 응용예를 나타낸 주요부 확대도이다. ,
도17에 도시한 바와 같이 박리 핀(302)에 있어서, 스탬퍼(280)가 접촉하는 외측에 돌기부(330)를 설치한다. 이와 같이 박리 핀(302)의 선단부에 돌기부(330)를 설치해 두면, 스탬퍼(280)가 디스크(278)측으로부터 박리되었을 때, 만일 스탬퍼(280)가 탄성 변형의 해방에 의해 도면 중 파선으로 나타낸 바와 같이 상방에 부상이 생겨도 부상한 스탬퍼(280)를 상기 돌기부(330)가 보유 지지하므로, 부상에 의해 스탬퍼(280)가 자세를 흐트러뜨려 디스크(278)측으로 충돌하는 등의 장해를 방지하는 것이 가능하다. 이로 인해 상기 방법 및 상기 장치를 사용하여 박리가 이루어진 다층 기록 매체는 그루브 구조가 확실하게 형성되어 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.
또한 본 실시 형태에서는 3개의 박리 핀을 이용하여 디스크로부터 스탬퍼를 박리시키도록 하였지만, 본 형태에 한정되는 일도 없고, 예를 들어 박리 핀을 더욱 증가시키거나, 혹은 박리 핀의 수만큼 승강용 서보 모터를 준비하여 스탬퍼(280)의 박리 속도 등을 보다 미세하게 제어하도록 해도 좋다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 스탬퍼의 주위부에 따라서 압박력을 연속해서 가하고, 이 수지층에 대한 스탬퍼의 박리를 디스크의 둘레 방향을 따라서 행하도록 하였다. 이로 인해, 최초의 압박 핀에 의해 생긴 박리를 서서히 크게 해 가기 때문에 2번째 이후의 압박 핀에 필요한 압박력도 약간의 것으로 종료할 수 있다. 또한 스탬퍼의 박리를 디스크의 둘레 방향, 즉 수지층의 표면에 형성된 동심원 혹은 스파이럴형의 정보 피트나 그루브에 따라서 행하도록 하였으므로, 박리 방향이 정보 피트의 배열 방향 및 그루브 구조의 접선 방향과 대략 일치한다. 따라서 스탬퍼측의 정보 피트나 그루브 구조가 박리시에, 이것에 요철 끼워 맞춤을 한 수지층측의 정보 피트나 그루브 구조에 간섭하는 것을 억제할 수 있어, 수지층에 균일한 정보 피트나 그루브 구조를 형성하는 것이 가능해진다.

Claims (9)

  1. 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성되어 상기 디스크의 표면을 덮도록 수지층을 거쳐서 접합한 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 방법이며,
    상기 디스크를 고정한 후, 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 임의의 위치에 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 작용하는 압박력을 가하고, 상기 압박력에 의해 상기 스탬퍼가 상기 수지층으로부터 박리되기 시작한 후에는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 압박력을 연속해서 가하고, 상기 수지층에 대한 상기 스탬퍼의 박리를 상기 디스크 둘레 방향을 따라서 행하게 한 것을 특징으로 하는 스탬퍼 박리 방법.
  2. 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성된 스탬퍼를 갖고, 상기 디스크의 표면을 덮도록 상기 스탬퍼를 포개어 상기 디스크와 상기 스탬퍼 사이에 스핀 코팅법에 의해 수지층을 형성한 후, 상기 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 방법이며,
    상기 디스크의 외측으로 노출되는 잉여부가 절삭 후에 상기 스탬퍼측에 잔류하도록 날끝의 자세를 설정하여 상기 디스크와 상기 수지층의 경계에 따른 상기 날 끝의 둘레 이동에 의해 상기 경계를 노출시킨 후, 상기 디스크를 고정하여 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 임의의 위치에 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 작용하는 압박력을 가하고, 상기 압박력에 의해 상기 스탬퍼가 상기 수지층으로부터 박리되기 시작한 후에는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 압박력을 연속해서 가하고, 상기 수지층에 대한 상기 스탬퍼의 박리를 상기 디스크 둘레 방향을 따라서 행하게 한 것을 특징으로 하는 스탬퍼 박리 방법.
  3. 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성된 스탬퍼를 갖고, 상기 디스크의 표면을 덮도록 상기 스탬퍼를 포개어 상기 디스크와 상기 스탬퍼 사이에 스핀 코팅법에 의해 수지층을 형성한 후, 상기 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 방법이며,
    상기 디스크의 외측으로 노출되는 잉여부가 절삭 후에 상기 스탬퍼측에 잔류하도록 날끝의 자세를 설정하여 상기 디스크와 상기 수지층의 경계에 따른 상기 날끝의 둘레 이동에 의해 상기 경계를 노출시킨 후, 상기 디스크를 고정하여 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 임의의 위치에 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 작용하는 압박력을 가하고, 상기 압박력에 의해 상기 스탬퍼가 상기 수지층으로부터 박리되기 시작한 후에는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 압박력을 연속해서 가하고, 상기 수지층에 대한 상기 스탬퍼의 박리를 상기 디스크 둘레 방향을 따라서 행하게 하여 상기 스탬퍼의 박리 후에 상기 디스크 외주의 상기 수지층측을 모따기 가공하는 것을 특징으로 하는 스탬퍼 박리 방법.
  4. 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성되어 상기 디스크의 표면을 덮도록 수지층을 거쳐서 접합한 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 장치이며,
    상기 디스크의 보유 지지를 이루는 고정 수단을 마련하여 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 승강 가능한 압박 핀을 복수 배치하고, 이들 압박 핀의 상기 스탬퍼에의 압박을 상기 디스크의 둘레 방향을 따라서 행하게 하는 동시에 상기 압박 핀의 승강 속도를 조정하는 제어 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 스탬퍼 박리 장치.
  5. 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성된 스탬퍼를 갖고, 상기 디스크의 표면을 덮도록 상기 스탬퍼를 포개어 상기 디스크와 상기 스탬퍼 사이에 스핀 코팅법에 의해 수지층을 형성한 후, 상기 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 장치이며,
    날끝을 중심으로 상기 날끝의 자세 변경을 이루는 각도 조정부와, 상기 디스크와 상기 수지층의 경계에 대해 상기 날끝을 접촉 분리 가능하게 하는 왕복 이동부를 설치하는 동시에, 상기 디스크의 보유 지지를 이루는 고정 수단을 마련하여 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 승강 가능한 압박 핀을 복수 배치하고, 이들 압박 핀의 상기 스탬퍼에의 압박을 상기 디스크의 둘레 방향을 따라서 행하게 하는 동시에 상기 압박 핀의 승강 속도를 조정하는 제어 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 스탬퍼 박리 장치.
  6. 정보 기록면을 갖는 지지 기체 상에 적어도 1층의 기록층을 갖는 디스크와, 적어도 상기 디스크보다 대직경으로 형성된 스탬퍼를 갖고, 상기 디스크의 표면을 덮도록 상기 스탬퍼를 포개어 상기 디스크와 상기 스탬퍼 사이에 스핀 코팅법에 의해 수지층을 형성한 후, 상기 스탬퍼를 상기 수지층으로부터 박리시키는 스탬퍼 박리 장치이며,
    날끝을 중심으로 상기 날끝의 자세 변경을 이루는 각도 조정부와, 상기 디스크와 상기 수지층의 경계에 대해 상기 날끝을 접촉 분리 가능하게 하는 왕복 이동부와, 상기 디스크 외주의 상기 수지층측에 접촉 분리 가능한 모따기 가공부를 설치하는 동시에, 상기 디스크의 보유 지지를 이루는 고정 수단을 마련하여 상기 디스크의 외연으로부터 돌출되는 상기 스탬퍼의 주위부에 따라서 상기 스탬퍼의 박리 방향으로 승강 가능한 압박 핀을 복수 배치하고, 이들 압박 핀의 상기 스탬퍼에의 압박을 상기 디스크의 둘레 방향을 따라서 행하게 하는 동시에 상기 압박 핀의 승강 속도를 조정하는 제어 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 스탬퍼 박리 장치.
  7. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압박 핀은 상기 스탬퍼의 외연을 보유 지지하는 가이드부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스탬퍼 박리 장치.
  8. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 스탬퍼 박리 장치에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 다층 기록 매체.
  9. 제7항에 기재된 스탬퍼 박리 장치에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 다층 기록 매체.
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