TWI250513B - Method and device for separating stamper, and multi-layered recording medium - Google Patents

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TWI250513B
TWI250513B TW092112476A TW92112476A TWI250513B TW I250513 B TWI250513 B TW I250513B TW 092112476 A TW092112476 A TW 092112476A TW 92112476 A TW92112476 A TW 92112476A TW I250513 B TWI250513 B TW I250513B
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Yoshiaki Murakami
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Yoshiyuki Tatsumi
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Description

1250513 ⑴ 玫、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關印模剝離方法及裝置,以及多層記錄媒 體’尤其是有關可以在碟片之剝離表面形成凹坑(pit ) 及/或凹軌(groove )構造之印模剝離方法及裝置,以及 以該裝置製造之多層記錄媒體。 【先前技術】 現在,做爲下一代之記錄媒體,有各種多層構造碟片 被提出。 圖18爲表示再生專用型之雙層碟片之構造之槪略剖 面圖。如該圖所示,再生專用型之雙層碟片200具有厚 1.1 mm之底基板202,該底基板202之單側表面形成有厚 度0.1 mm之光透過層204。 圖19爲圖18之底基板與光透過層之境界部分之擴大 圖。如該圖所示,在底基板202與光透過層204上以中心 孔206 (參照圖1 8 )爲中心分別形成有螺旋狀的資訊凹坑 20 8。而且該等資訊凹坑2 0 8表面分別以濺鍍(sputtering )或蒸鍍等形成反射層(未圖示),同時,相對面之資訊 凹坑2 0 8之間形成有樹脂層2 1 0以塡充由該資訊凹坑2 0 8 所導致之凹凸。 在如此構成之多層碟片,是由光透過層204上方照射 雷射光以進彳了讀出。 惟在上述多層碟片之樹脂層2 1 0表面形成資訊凹坑 -5- 12505131° (2) 208或凹軌構造時,使用各種製造方法。 圖2 0與圖2 1爲表示以旋轉塗敷法形成資訊凹坑之順 序之工程說明圖。利用旋轉塗敷法形成資訊凹坑時,首先 ,需要如圖2 0所不,將底基板2 0 2與透光性印模2 1 2相 對配置俾使資訊凹坑2 0 8相對面。然後在底基板2 0 2與印 模2 1 2之間隙由其內側導入紫外線硬化樹脂,同時以中心 孔2 0 6做爲旋轉中心並如箭頭2 1 4所示,使基板2 0 2與印 模2 1 2旋轉。 如此使基板2 02與印模2 1 2旋轉,則紫外線硬化樹脂 由於離心力而擴展到碟片外周,而基板2 0 2與印模2 1 2之 間即被紫外線硬化樹脂所塡充。上述間隙被紫外線硬化樹 脂塡滿後,由印模2 1 2上方照射紫外線,藉由上述紫外線 硬化樹脂之硬化而形成樹脂層2 1 6。 形成樹脂層2 1 6之後,如圖2 1所示,將印模2 1 2往 上拉起’俾該印模2 1 2與樹脂層2 1 6剝離。如此地使印模 212由樹脂層216剝離時,在樹脂層216表面即會露出由 印模212複製之資訊凹坑208,因此,接著以濺鍍或蒸鍍 等在樹脂層2 1 6之表面形成反射層,然後,利用旋轉塗敷 等方法形成光透過層即可。 另外,在上述之先前例中,雖然針對在樹脂層2 1 6表 面形成資訊凹坑20 8之順序加以說明,但在使用印模的該 方式並不侷限於上述資訊凹坑208之形成而已,當然也適 用於以碟片旋轉狀形成凹軌構造,或適用於組合上述凹軌 構造與資訊凹坑之形態,自不待言。 -6 - 1250513 (3) 但是,在利用印模於樹脂層表面形成資訊凹坑或凹軌 構造之方法有下列之缺點。 亦即,要由樹脂層2 1 0剝離印模2 1 2時,要使該印模 2 1 2之整面由樹脂層2 1 0同時脫離需要強大之拉力。而且 印模2 1 2由樹脂層2 1 0脫離時,上述拉力急劇地被釋放, 因此,剝離之印模2 1 2由保持部脫離,有掉落樹脂層2 1 0 上面而碰傷資訊凹坑或凹軌構造之虞。 另外,印模2 1 2要如上述由樹脂層2 1 0 —舉剝離,因 此,不容易調整印模2 1 2對樹脂層2 1 0之剝離速度,不容 易設定使凹軌構造208露出之最適當之剝離速度。 【發明內容】 本發明著眼於先前之問題,其目的在提供一種可以任 意調整印模對樹脂層之剝離速度,並設定最佳剝離速度之 印模剝離方法及裝置,以及多層記錄媒體。 本發明並非使印模對樹脂層一舉可以剝離,而是依據 由某任意方向使印模剝離,如果沿著旋轉方向慢慢進行該 項剝離,則只要些許力量即可剝離印模,同時上述剝離是 沿著旋轉方向進行,所以可以提高資訊凹坑或凹軌構造之 品質之發現而完成者。 亦即,本發明之印模剝離方法,是在具有資訊記錄面 之支撑基板上,將至少具有一層記錄層之碟片,以及至少 形成比上述碟片有較大直徑且透過樹脂層貼合以覆蓋上述 碟片表面之印模由上述樹脂層剝離之印模剝離方法,其特 1250513 (4) 徵爲將碟片固定後,在由該碟片之外緣突出之上述印模之 任意位置施加作用於上述印模之剝離方向之按壓力,並藉 由該按壓力開始將上述印模由上述樹脂層剝離之後,沿著 上述印模之圓周方向連續施加按壓力俾沿著上述碟片之圓 周方向對上述樹脂層剝離印模。 其他的印模剝離方法是在具有資訊記錄面之支撑基體 上,至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有比上述碟片 之直徑爲大之印模,將上述印模重疊以覆蓋上述碟片,並 利用旋轉塗敷法在上述碟片與印模之間形成樹脂層之後, 由上述樹脂層剝離上述印模之方法,其特徵爲:將刀尖之 姿勢設定成露出上述碟片外方之殘餘部分在切削後殘留於 上述印模側,利用沿著上述碟片與樹脂層之邊界之上述刀 尖之圓周移動使上述邊界露出後,將上述碟片固定,在由 該碟片之外緣突出之上述印模之任意位置施加作用於上述 印模之剝離方向之按壓力,並以該按壓力在上述印模開始 由上述樹脂層剝離後,沿著上述印模之圓周部分連續施加 按壓力俾沿著上述碟片之圓周方向對上述樹脂剝離印模。 在另一其他印模剝離方法是在具有資訊記錄面之支撑 基體上,至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有比上述 碟片之直徑爲大之印模,將上述印模重疊以覆蓋上述碟片 並利用旋轉塗敷法在上述碟片與印模之間形成樹脂層之後 ,由上述樹脂層剝離上述印模之方法,其特徵爲:將刀尖 之姿勢設定成露出上述碟片外方之殘餘部分在切削後殘留 於上述印模側,利用沿著上述碟片與樹脂層之邊界之上述 1250513 (5) 刀尖之圓周移動使上述邊界露出後,將上述碟片固定,在 由該碟片之外緣突出之上述印模之任意位置施加作用於上 述印模之剝離方向之按壓力,並以該按壓力在上述印模開 始由上述樹脂層剝離後,沿著上述印模之圓周部分連續施 加按壓力俾沿著上述碟片之圓周方向對上述樹脂剝離印模 ,於上述印模之剝離後,進行上述碟片外周之樹脂層邊之 去角加工。 本發明之印模剝離裝置是在具有資訊記錄面之支撑基 體上,用於剝離至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有 比上述碟片直徑爲大並介由樹脂層貼合俾覆蓋上述碟片之 表面之印模之剝離裝置,其特徵爲:設置用於保持上述碟 片之固定手段,並沿著由上述碟片外緣突出之上述印模之 周邊部分設置多個可以向上述印模之剝離方向昇降之按壓 銷’使該等按壓銷對上述印模之按壓是沿著上述碟片之圓 周方向進行,同時設置調整上述按壓銷之昇降速度之控制 手段。 另外一種印模剝離裝置是在具有資訊記錄面之支撑基 體上’至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有比上述碟 片之直徑爲大之印模,將上述印模重疊以覆蓋上述碟片並 利用旋轉塗敷法在上述碟片與印模之間形成樹脂層之後, 由上述樹脂層剝離上述印模之裝置,其特徵爲:除了設置 以刀尖爲中心變更上述刀尖姿勢之角度調整部,以及可以 述刀尖接離上述碟片與樹脂層之邊界之往復移動部之 外’同時設置用於保持上述碟片之固定手段,並且沿著由 1250513
上述碟片外緣突出之印模之周邊部分設置多個可以升降於 上述印模之剝離方向之按壓銷,並設置控制手段使該等按 壓銷對上述印模之按壓沿著上述碟片之圓周方向進行,同 時可以進行調整上述按壓銷之升降速度。
另一種印模剝離裝置是在具有資訊記錄面之支撑基體 上,至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有比上述碟片 之直徑爲大之印模,將上述印模重疊以覆蓋上述碟片並利 用旋轉塗敷法在上述碟片與印模之間形成樹脂層之後,由 上述樹脂層剝離上述印模之裝置,其特徵爲:除了設置以 刀尖爲中心變更上述刀尖姿勢之角度調整部,以及可以將 上述刀尖接離上述碟片與樹脂層之邊界之往復移動部以及 可以接離上述碟片與樹脂層側之去角加工部之外,同時設 置用於保持上述碟片之固定手段,並且沿著由上述碟片外 緣突出之印模之周邊部分設置多個可以升降於上述印模之 剝離方向之按壓銷,並設置控制手段使該等按壓銷對上述 印模之按壓沿著上述碟片之圓周方向進行,同時可以進行 調整上述按壓銷之升降速度。 另外本發明之多層記錄媒體是利用上述之印模剝離裝 置所製造。 【實施方式】 以下要參照圖式詳細說明印模剝離方法及裝置,以及 多層記錄媒體之較佳之具體實施形態。 圖1是將本實施形態之印模剝離裝置做爲印模剝離部 -10- 1250513 ί. … \ . j (7) 使用之凹軌形成裝置之槪略平面圖。另外,在本實施形態 中係以具有印模剝離部之裝置爲凹軌形成裝置,惟該裝置 並非僅限於凹軌構造之形成,也可以將資訊凹坑形成碟片 圓周狀,或將上述凹軌構成與資訊凹坑(information pit )組合形成以取代上述凹軌構造。 將本實施形態之印模剝離裝置做爲剝離部之凹軌形成 裝置23 0係在做爲多層記錄媒體之再生專用型之雙層碟片 之上層記錄側形成凹軌構造者。而且如圖1所示,凹軌形 成裝置設有對該裝置內提供碟片與印模之碟片印模供應部 232,清潔碟片表面之清潔部234,在碟片上貼合印模之 印模貼合部23 6,固化設置於碟片與印模之間之紫外線硬 化樹脂以形成樹脂層之紫外線照射部23 8,從碟片剝離印 模之印模剝離部240,以及推出碟片與印模之碟片推出部 242。而且在該等構件之間設有供應臂244,第1移載臂 246,第2移載臂248,與推出臂250.藉由該等臂之旋轉 運動,可以將碟片與印模搬送到後端。 圖2爲圖1中之印模剝離部之擴充圖,圖3爲圖2之 AA線剖面圖。 如該等圖式所示,印模剝離部24 0是由剝離站2 5 2與 搬送台部254所構成。而且該貼合之碟片與印模首先被搬 到剝離站252,在此,於碟片與印模之貼合部分加入切槽 。然後,碟片與印模被送到搬送台部2 5 4,在此,印模由 碟片剝離,並進行剝離後之碟片端面之硏磨。此外,由剝 離站2 52到搬送台部254之搬送工作是以上述之第2移載 -11 - 1250513 (8) 臂248之旋轉與上下運動來進行。 圖4爲表示剝離站之構造的側面圖。 如該圖所示,在剝離站2 5 2之最上面設有與碟片之外 徑大致相同尺寸之可以真空吸引之台2 5 6。另外,設有由 該台2 5 6之中心突出之定位銷260俾碟片與印模之中心孔 套合,藉將碟片與印模套合於該定位銷260,可以進行碟 片對台256之定位,而且使碟片之背面與台256之表面密 接,並藉由真空吸引將碟片等固定於台上。 另外,在台25 6設置定位銷260之相反側,透過旋轉 軸2 62設有磁旋轉馬達264。因此,藉使碟片馬達264旋 轉,在該碟片旋轉馬達264所產生之旋轉力透過旋轉軸 262傳動到台25 6,以致以真空吸引而固定之碟片等以定 位銷260爲中心隨著該台25 6 —齊旋轉。另外,在旋轉軸 2 62之中途設有檢測碟片旋轉馬達264之旋轉的光感測器 266 (也可爲其他方式之感測器),依據該光感測器266 之値進行後面所述之刀具之前進與後退等。 另方面,在台256之傍邊設有角度調整部268。而在 該角度調整部268不但設有彎曲成圓弧狀之導軌270’而 且設有可沿著該導軌270移動之台面272。此外,導軌 270之彎曲形狀是設成,使固定於台面272上之後述刀具 前進時,不受在任何角度,上述刀具之刀尖會碰到碟片與 夾持器(Clamper )之邊界。 台面272上面裝設有做爲往復移部之圓筒(cylinder )274,該圓筒274裝設有刀具276。因此,伸長該圓筒 -12- 1250513 Ο) 274時,刀具276隨著圓筒274前進, 固定於台256之碟片與印模之邊界。圖 尖到達碟片與印模邊界的狀態之重要部 所示,在以旋轉塗敷法貼合之碟片278 成樹脂層之構件突出到碟片278之外緣 2 8 2。因此,剩餘部2 8 2位於要塡充碟 之邊界之處,如不去除剩餘部2 82而要 離印模2 8 0時,需要有足以切斷上述剩 惟如該圖所示,將刀具276推進該剩餘 到達上述邊界,使上述刀尖到達邊界後 達264,至少使碟片類與台256 —齊旋 刀具2 76切削剩餘部282之一部分區域 如此以刀尖276在剩餘部2 82加入切 2 8 2即可切斷,所以要剝離印模280時 2 8 2影響剝離強度。 此外,要對剩餘部282加入切槽時 姿勢儘量設定刀具276與印模278所交 最大。如能將角度2 84設得大,即可以 餘部分儘量留在印模280之一邊,而該 在後續工程與印模2 8 0 —齊去除。另在 未圖示之除電噴嘴,俾在刀具276切槽 以去除在切槽所發生之靜電。 搬送台部2 5 4如圖2所示,具備容 2 8 0之收容部2 8 6,使印模2 8 0由碟片 該刀具276即到達 5爲表示刀具之刀 分擴大圖。如該圖 與印模2 8 0上,構 ,而硬化成剩餘部 片2 7 8與印模2 8 0 由碟片27 8方面剝 餘部282之力量。 部2 82,使該刀尖 ,驅動碟片旋轉馬 轉一圈以上,並以 以露出邊界。如果 槽,則上述剩餘部 ,可以防止剩餘部 ,宜將刀具276之 叉之角度284成爲 將剩餘部2 82之殘 等殘餘部分很容易 刀具276附近設有 時,對該刀尖吹氣 納碟片2 7 8與印模 27 8側剝離之印模 •13- 1250513 (10) 剝離部2 8 8,處理剝離後之碟片端面之端面處理部290, 測定形成於碟片278表面之樹脂層之膜厚之膜厚檢查部 2 92,以及由搬送台部2 5 4將碟片2 7 8交接到碟片推出部 242之推出部294。 而由收容部2 8 6到碟片推出部294之碟片類之搬送係 藉由搬送台296之旋轉與外降來進行,至於由剝離站252 到搬送台部25 4之碟片類之搬送,以及由碟片剝離之印模 280之去除是由第2移載臂248來進行。 在搬送台部254之收容部286設有在其中央部分固定 碟片27 8與印模280之位置之定位銷。而且藉由第2移載 臂248之操作,使位於剝離站252之碟片278等移動到收 容部2 8 6,並利用上述定位銷保持於收容部2 8 6中。 圖6爲表示印模剝離部之構造之部分側面圖。如該圖 所示,印模剝離部2 8 8與剝離站2 5 2相同,其最上部分設 有比碟片之外徑小若干尺寸之可以真空吸引之台面298。 另外,由該台面2 9 8之中心設有定位銷3 〇 〇突出以使與碟 片與印模之中心孔套合,藉將碟片2 7 8與印模28 0套合於 該定位銷3 0 0 ’以將碟碟定位於台面2 9 8,同時使碟片之 背面側密接於台面2 9 8之表面並利用真空吸引將碟片等固 定於台面側。而在台面2 9 8之外邊大於碟片2 7 8之外徑, 而小於印模2 8 0之外徑之範圍內,以丨2 〇。之間隔設有三根 剝離銷3 0 2。而該等剝離銷3 0 2係連接到配置於台面下方 之伺服馬達3 0 4,並藉由該伺服馬達3 〇 4之操作,可將剝 離銷302之尖端夾持於台面298之高度而上下移動。另外 •14- 1250513 (11) 配置於碟片27 8之外周三個地方之剝離銷3 02可以 伺服馬達3 04升降,但其前端部分之高度不同。另 上述伺服馬達3 04連接有未圖示之控制手段。利用 手段可以調整伺服馬達3 04之速度,可以將按壓印 之剝離銷3 02之速度調整爲最佳狀態。 而且藉由來自上述控制裝置之信號使伺服馬達 作,如使該剝離銷3 02上升,第1剝離銷302a即 模2 8 0之表面。 圖7爲表示剝離銷接觸到印模後之狀態之圖6 部分擴大圖。如該圖所示,第1剝離銷3 02a接觸 2 8 0,然後,按壓該印模2 8 0時,印模2 8 0與樹脂 之間即發生剝離,而開始露出樹脂層3 06之表面。 剝離銷3 02a上升,而印模28 0與樹脂層3 06之間 達到一定程度時,接下來是第2剝離銷3 02b (參 )開始接觸印模280之表面,而按壓離開第1剝離 之處。另外,在第2剝離銷3 02b之處,印模280 層3 06之間的剝離進行超過一定時,即輪到第3 3〇2c (參照第6圖)開始接觸印模2 8 0之表面,使 第2剝離銷同時剝離印模2 80。 如此地使剝離銷沿著印模2 8 0之外緣連續接觸 2 8 0之剝離等於發生於沿著樹脂層3 06之圓周方向 層3 06。因爲,印模2 8 0之剝離會與形成於樹脂層 表面之凹軌構造相一致,所以可以抑止印模2 8 0側 干擾到樹脂層側的凹軌構造,而在樹脂層形成均勻 單一的 外,在 該控制 模280 3 04操 接觸印 之重要 到印模 層306 然後, 的剝離 環圖16 銷3 02 與樹脂 剝離銷 第1與 ,印模 之樹脂 306之 的凹凸 的凹軌 -15- 1250513 (12) 構造。 圖8爲表示端處理部之構造之側面圖,圖9爲圖8之 重要部分擴大圖。 如該等圖式所示,端面處理部2 9 0如同印模剝離部 2 8 8或剝離站2 5 2,在其最上部設有比碟片之外徑稍大之 尺寸的可以真空吸附之台面308。另外,由該台面308之 中心設有可以與碟片與印模之中心孔套合之突出定位銷 3 1 〇,藉將剝離後之碟片2 7 8套合於該定位銷3 1 0進行碟 片278對台面308之定位,同時使該碟片278之背面與台 面308之表面密接並可以藉由真空吸附將碟片固定於台面 側。另外,在台面3 0 8之下方設有碟片旋轉馬達3 1 2,該 碟片旋轉馬達3 1 2與台面3 0 8是經由動力傳動機構所連接 。因此,藉使上述碟片旋轉馬達3 1 2操作即可以使吸附碟 片278之台面3 08旋轉。 另在台面3 08傍邊設有做爲往復移動部之刀具前後圓 筒(Cylinder) 314,以及做爲載置於該刀具前後圓筒314 之去角加工部之刀具316。而藉使刀具前後圓筒314來回 移動,可將刀具316推向位於碟片27 8之外緣之樹脂層 306旁邊,如此進行碟片278外緣之樹脂層306旁之去角 加工以進行樹脂層3 06之端面處理,同時可以削除殘留於 磁喋2 7 8外緣端面之剩餘部2 8 2。 此外,在碟片278上方設有除電噴嘴317之外,還夾 持著上述碟片2 7 8之相對側設有未圖示之排氣管。因此在 利用刀具3 1 6進行碟片2 7 8之端面處理之間,可以由上述 -16- 1250513 (13) 除電噴嘴317向碟片278勁吹空氣以便同時吹掉 除靜電。如此進行空氣之勁吹即可防止碟片2 7 8 樹脂層3 06表面)附著削粉。另外,以上述空氣 粉只要以上述排氣管排到裝置外即可。 茲說明利用如此構成之印模剝離部由碟片剝 順序。 圖1 0至圖1 5爲表示碟片與印模通過印模剝 形的狀態說明圖。 首先如圖10所示’使第2移載臂248旋轉 外線照射部2 3 8之碟片與印模3 1 8以第1臂3 2 0 外線照射部23 8搬送到剝離站25 2。然後,在 252如上述將刀尖276推向碟片與印模318,即 餘部2 82並使碟片與印模之邊界露出。 如此地在剝離站2 5 2削除剩餘部2 8 2以露出 模之邊界之後,即旋轉第2移載臂24 8並利用該 臂248之第2臂3 22將碟片與印模318由剝離站 到搬送台部2 5 4之收容部2 8 6。搬送到上述收容 碟片與印模3 1 8之狀態如圖1 1所示。 碟片與印模3 1 8被搬送到收容部2 8 6後,由 2 96之上升,該搬送台296將碟片與印模318提 ,碟片與印模318隨著搬送台296之旋轉移動至 部2 8 8。碟片與印模3 1 8如此移動至印模剝離部 由於上述貫穿剝離銷3 02對印模2 8 0之按壓,碟 印模2 80剝離。然後,剝離銷3 02以支撑由碟片 削粉與去 表面(即 吹走之削 離印模之 離部之情 將通過紫 由上述紫 該剝離站 可削去剩 碟片與印 第2移載 2 5 2搬送 部2 86之 於搬送台 起,然後 印模剝離 2 8 8 時, 片2 7 8與 27 8剝離 -17- 1250513 (14) 之印模280之狀態,如圖12所示,使第2移載臂 印模推出臂3 24由上方降下,而僅握住印模280。 如此以上述印模推出臂3 24握住剝離後之印模 後,如圖1 3所示,將剝離後之印模2 8 0移動至配 送台2 9 6外邊之印模廢棄部3 2 6上面,然後,將上 2 8 〇交給印模推出滑槽(C h u t e ) 4 5 0即可。 另外’被剝離印模2 8 0的碟片2 7 8,如圖1 4 利用搬送台2 9 6之外降與旋轉,被搬送到後段的端 部290。然後,在上述端面處理部290如上所述 316推抵碟片278之端面去除殘留於該碟片278之 剩餘部2 8 2即可。 如此地在端面處理部2 9 0去除殘留於碟片2 7 8 剩餘部2 82之後,再使搬送台296升降與旋轉,$ 所示,將碟片2 78搬送至膜厚檢查部292。然後在 檢查部2 9 2進行樹脂層3 0 6之膜厚檢查,以確認形 片278上面之樹脂層306之膜厚是否在設定範圍內 使該結果記憶於未圖示之記錄手段中,同時將碟片 送到下一段的推出部2 9 4。將碟片2 7 8搬送到推出 之後,利用推出部2 50由印模剝離部240取出碟片 並以在膜厚檢查部292所得之結果爲基礎,在碟片 242進行上述碟片27 8之良品與不良品之選擇。 再者,在上述說明中,雖然以一片碟片27 8 ( 模2 8 0 )通過印模剝離部爲例說明,但是實際的作 設置在第2移載臂24 8之三隻臂分別同時作用,多 248之 2 8 0之 置於搬 述印模 所示, 面處理 將刀具 端面的 端面之 【口圖 15 該膜厚 成於碟 之後, 2 78搬 部294 2 7 8, 推出部 以及印 業中是 片碟片 -18- 1250513 , v (15) 2 7 8 (以及印模2 80 )通過印模剝離部。 圖1 6爲表示印模之剝離狀態之說明圖。如該圖所示 ,在剝離印模2 8 0時,首先剝離銷3 0 2 a接觸印模2 8 0, 接著剝離銷3 0 2 b,剝離針3 0 2 c依次接觸印模2 8 0。然後 依照該等剝離銷之接觸順序,如該圖箭號3 2 8所示,印模 2 8 0由碟片2 7 8剝離。如果沿著箭號3 2 8剝離印模2 8 0, 則該項剝離作業是沿著形成於樹脂層3 0 6 (以及印模2 8 0 )之凹軌構造之延長方向來進行,因此,可以防止相鄰之 凹軌間(以及槽間表面間)因印模2 8 0之剝離所受之影響 〇 圖1 7爲表示印模剝離部之應用例之重要部分擴大圖 〇 如該圖所示,如果在剝離銷3 0 2印模2 8 0接觸之外側 設置突起部3 3 0。在剝離銷3 02之前端設置此種突起部 3 3 0,則印模2 8 0由碟片2 7 8剝離時,假使由於印模2 8 0 由於彈性變形之釋放,即使發生圖中波浪線所示之鼓起時 ,上述突起部3 3 0也會保持鼓起的印模2 8 0,因此可以防 止由於鼓起而攪亂印模2 80之姿勢或撞擊碟片2 7 8之毛病 。因此,利用相同的方法與相同的裝置所剝離之多層記錄 媒體可以確實形成凹軌構造以謀求可靠性之提升。 另外,在本實施形態中,雖然只利用三根剝離銷由碟 片剝離印模,惟並不限定於該項形態,也可以例如再增加 剝離銷’或僅準備剝離銷之數目之升降用伺服馬達,以更 仔細地控制印模2 8 0之剝離速度等。 -19- 1250513 (16) 如上所述,利用本發明,可以沿著印模之周邊部分連 續施加按壓力,使由該樹脂層之印模之剝離沿著碟片之圓 周方向進行。因此,可以慢慢將最初的按壓銷所發生之剝 離擴大,所以第2按壓銷所需要的按壓力只要些許即足。 此外,印模之剝離是沿著碟片之圓周方向,即形成於樹脂 層表面之同心圓或螺旋形之資訊凹坑或凹軌進行,所以剝 離方向大致上與資訊凹坑之排列方向及凹軌構造之切線方 向一致。因此,印模之側之資訊凹坑或凹軌構造剝離時, 可以抑止與其凹凸套合之樹脂層側之資訊凹坑或凹軌構造 之干擾,可以在樹脂層形成均勻的資訊凹坑與凹軌構造。 【圖式簡單說明】 圖1爲使用本實施形態之印模剝離裝置做爲印模剝離 部之凹軌形成裝置之槪略平面圖。 圖2爲圖i之印模剝離部之擴大圖。 圖3爲圖2之A剖面圖。 ® 4爲表示剝離站之構造之側面圖。 ® 5爲表示刀具之刀尖到達碟片與印模之邊界之狀態 的重要部分擴大圖。 圖6爲表示印模剝離部之構造之剖分側面圖。 圖7爲表示剝離針接觸到印模後之圖6之重要部分擴 大圖。 圖8爲表示端面處理部之構造之側面圖。 圖9爲圖8之重要部分擴大圖。 -20 - 1250513 (17) 圖1 〇爲表不碟片與印模通過印模剝離部之情形的狀 態說明圖。 圖1 1爲表不碟片與印模通過印模剝離部之情形的狀 態說明圖。 圖12爲表示碟片與印模通過印模剝離部之情形的狀 態說明圖。
圖1 3爲表示碟片與印模通過印模剝離部之情形的狀 態說明圖。 圖14爲表示碟片與印模通過印模剝離部之情形的狀 態說明圖。 圖1 5爲表示碟片與印模通過印模剝離部之情形的狀 態說明圖。 圖1 6爲表示印模之剝離狀態之說明圖。 圖1 7爲表示印模剝離部之應用例之重要部分擴大圖 〇
圖18爲表示再生專用型之雙層碟片之構造之槪略剖 面圖。 圖19爲圖18之基本基板與光透過層之邊界部分之擴 大圖。 圖2 0爲表示利用旋轉塗敷法形成資訊凹坑之順序之 工程說明圖。 圖2 1爲表示利用旋轉塗敷法形成資訊凹坑之順序之 工程說明圖。 -21 - (18) (18)1250513 〔主要元件對照表〕 2 3 0凹軌形成裝置 2 3 2碟片印模供部 23 4清潔 2 3 6印模貼合部 2 3 8紫外線照射部 240印模剝離部 244供應臂 246第1移載部 248第2移載部 250推出臂 2 5 2剝離站 2 5 4搬送台部 2 5 6台 260定位銷 262旋轉軸 264碟片旋轉馬達 266光感測器 2 6 8角度調整部 2 7 0導軌 2 7 2台面 274圓筒 2 76刀具 2 7 8碟片 印模 剩餘部 角度 收容部 印模剝離部 端面處理部 膜厚檢查部 碟片推出部 搬送台 台面 定位銷 剝離銷 伺服馬達 樹脂層 台面 定位銷 旋轉馬達 刀具前後圓筒 刀具 除電噴嘴 碟片與印模 第1臂 印模推出臂 印模廢棄部 -23- 1250513 (20) 328 330 箭號 突起部 4 5 0印模推出

Claims (1)

1250513 ί / >. ‘_· (1) 拾、申請專利範圍 1 · 一種印模剝離方法,是在具有資訊記錄面之支撑 基體上’至少將具有一層記錄層之碟片,以及至少形成比 上述碟片有較大直徑且透過樹脂層貼合以覆蓋上述碟片表 面之印模由上述樹脂層剝離之印模剝離方法,其特徵爲將 碟片固定後,在由該碟片之外緣突出之上述印模之任意位 置施加作用於上述印模之剝離方向之按壓力,並藉由該按 壓力開始將上述印模由上述樹脂層剝離之後,沿著上述印 模之周邊部分連續施加按壓力俾沿著上述碟片之圓周方向 對上述樹脂層剝離印模。 2 · —種印模剝離方法,在具有資訊記錄面之支撑基 體上,至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有比上述碟 片之直徑爲大之印模,將上述印模重疊以覆蓋上述碟片, 並利用旋轉塗敷法在上述碟片與印模之間形成樹脂層之後 ,由上述樹脂層剝離上述印模之方法,其特徵爲··將刀尖 之姿勢設定成露出上述碟片外方之殘餘部分在切削後殘留 於上述印模側,利用沿著上述碟片與樹脂層之邊界之上述 刀尖之圓周移動使上述邊界露出後,將上述碟片固定,並 在由該碟片之外緣突出之上述印模之任意位置施加作用於 上述印模之剝離方向之按壓力,並以該按壓力在上述印模 開始由上述樹脂層剝離後,沿著上述印模之周邊部分連續 施加按壓力俾沿著上述碟片之圓周方向對上述樹脂剝離印 模。 3 · —種印模剝離方法,在具有資訊記錄面之支撑基 -25- 1250513 (2) 體上,至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有比上述碟 片之直徑爲大之印模,將上述印模重疊以覆蓋上述碟片並 利用旋轉塗敷法在上述碟片與印模之間形成樹脂層之後, 由上述樹脂層剝離上述印模之方法,其特徵爲:將刀尖之 姿勢設定成露出上述碟片外方之殘餘部分在切削後殘留於 上述印模側,利用沿著上述碟片與樹脂層之邊界之上述刀 尖之圓周移動使上述邊界露出後,將上述碟片固定,在由 該碟片之外緣突出之上述印模之任意位置施加作用於上述 印模之剝離方向之按壓力,並以該按壓力在上述印模開始 由上述樹脂層剝離後,沿著上述印模之周邊部分連續施加 按壓力俾沿著上述碟片之圓周方向對上述樹脂層剝離印模 ,於上述印模之剝離後,進行上述碟片外周之樹脂層邊之 去角加工。 4 · 一種印模剝離裝置,在具有資訊記錄面之支撑基 體上,用於剝離至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有 比上述碟片直徑爲大並介由樹脂層貼合俾覆蓋上述碟片之 表面之印模的剝離裝置,其特徵爲:設置用於保持上述碟 片之固定手段,並沿著由上述碟片外緣突出之上述印模之 周邊部分設置多個可以向上述印模之剝離方向昇降之按壓 銷’使該等按壓銷對上述印模之按壓是沿著上述碟片之圓 周方向進行,同時設置調整上述按壓銷之昇降速度之控制 手段。 5 · —種印模剝離裝置,在具有資訊記錄面之支撑基 體上’至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有比上述碟 -26- 1250513 (3) 片之直徑爲大之印模,將上述印模重疊以覆蓋上述碟片, 並利用旋轉塗敷法在上述碟片與印模之間形成樹脂層之後 ,由上述樹脂層剝離上述印模之裝置,其特徵爲:除了設 置以刀尖爲中心變更上述刀尖姿勢之角度調整部,以及可 以將上述刀尖接離上述碟片與樹脂層之邊界之往復移動部 之外,同時設置用於保持上述碟片之固定手段,並且沿著 由上述碟片外緣突出之印模之周邊部分設置多個可以升降 於上述印模之剝離方向之按壓銷,並設置控制手段使該等 按壓銷對上述印模之按壓沿著上述碟片之圓周方向進行, 同時可以進行調整上述按壓銷之升降速度。 6 · —種印模剝離裝置,在具有資訊記錄面之支撑基 體上’至少具有一層記錄層之碟片,與至少具有比上述碟 片之直徑爲大之印模,將上述印模重疊以覆蓋上述碟片表 面,並利用旋轉塗敷法在上述碟片與印模之間形成樹脂層 之後,由上述樹脂層剝離上述印模之裝置,其特徵爲:除 了設置以刀尖爲中心變更上述刀尖姿勢之角度調整部,以 及可以將上述刀尖接離上述碟片與樹脂層之邊界之往復移 動部,以及可以接離上述碟片外周之上述樹脂層側之去角 加工部之外,同時設置用於保持上述碟片之固定手段,並 且沿著由上述碟片外緣突出之印模之周邊部分設置多個可 以升降於上述印模之剝離方向之按壓銷,並設置控制手段 使該等按壓銷對上述印模之按壓沿著上述碟片之圓周方向 進行,同時可以進行調整上述按壓銷之升降速度。 7 ·如申請專利範圍第4至6項之任一項之印模剝離裝 -27- 1250513 (4) 置,其中上述按壓銷設有用於保持上述印模之外緣之引導 部。 8. 一種多層記錄媒體,是以申請專利範圍第4項至申 請專利範圍第6項之任一項所記載之印模剝離裝置所製造 〇 9. 一種多層記錄媒體,是由申請專利範圍第7項所記 載之印模剝離裝置所製造。 -28- 1250513 柒、(一)、本案指定代表圖為:第2圖 (二)、本代表圖之元件代表符號簡單說明: 240印模剝離部 24 8第2移載部 2 5 2剝離站 2 5 4搬送台部 2 8 6收容部 2 8 8印模剝離部 290端面處理部 292膜厚檢查部 294碟片推出部 296搬送台 320 第1臂 322 第2臂 3 24印模推出臂 捌、本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵的化學 式:
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