JP7191606B2 - 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、成形方法、及び、物品製造方法 - Google Patents
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Description
<第1実施形態>
)を成形する成形装置(所謂、インプリント装置)で具現化され、本実施形態では、基板上のインプリント材を平坦化する。平坦化装置100は、基板上のインプリント材と型とを接触させた状態でインプリント材を硬化させ、硬化したインプリント材から型を引き離すことで基板上にインプリント材の平坦面を形成する。
次に、図5に基づいて第2実施形態の平坦化装置について説明する。図5は、第2実施形態に係る型保持部を示す図である。図5(A)は、第2実施形態の型保持部222の拡大図である。本実施形態においても、単に型保持部222という場合、複数の型保持部222a~222lのうち少なくとも1つの型保持部を指すものとする。本図は、型保持部222を-Z方向から見た図である。型保持部222は、複数の保持領域40~43を備える。保持領域40~43は、真空吸着力や静電力によって引き付けることで型11を保持する。
インプリント装置を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
100 平坦化装置
121a~l 駆動部
122a~l 型保持部
200 制御部
Claims (11)
- 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置であって、
前記型を吸着保持し、外周領域が複数の領域に区分けされている型保持部と、
前記型保持部の複数の領域のそれぞれを駆動する複数の駆動部と、
前記複数の駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記複数の駆動部をそれぞれ独立して前記基板の表面に交差する方向に駆動制御して前記領域で吸着保持された前記型の部分に前記方向の力を加え、当該型の部分から前記組成物から前記型を引き離す離型が前記基板の外周に沿って進行するように制御する、ことを特徴とする成形装置。 - 前記型保持部の各領域は、前記基板の外周に沿って配置され、前記型の外周を保持することを特徴とする請求項1に記載の成形装置。
- 前記制御部は、隣り合う前記型保持部の領域が順次駆動するように前記複数の駆動部を制御する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の成形装置。
- 前記制御部は、前記複数の駆動部のうちの一つを制御することで、前記離型を開始させる、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の成形装置。
- 前記制御部は、前記離型を開始する際に前記型保持部の各領域の一部の保持力を低減するように制御する、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の成形装置。
- 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置であって、
前記型を吸着保持し、外周領域が複数の領域に区分けされている型保持部と、
前記型保持部の複数の領域のそれぞれを駆動する複数の駆動部と、
前記複数の駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記複数の駆動部を制御することで、前記組成物から前記型を引き離す離型が前記基板の外周に沿って進行するように制御し、さらに
前記制御部は、前記離型を開始する際に前記型保持部の各領域の一部の保持力を低減するように制御する、ことを特徴とする成形装置。 - 前記成形装置は、前記型の平面部を前記組成物に接触させることにより前記組成物を平坦にすることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の成形装置。
- 前記成形装置は、前記型のパターンを前記組成物に接触させることにより前記組成物のパターンを形成することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の成形装置。
- 型を用いて基板上の組成物を成形する成形方法であって、
前記型を吸着保持し、外周領域が複数の領域に区分けされている型保持部の複数の領域をそれぞれ独立して駆動するように制御する工程を含み、
前記工程において、複数の駆動部をそれぞれ独立して前記基板の表面に交差する方向に駆動制御することで、前記領域で吸着保持された前記型の部分に前記方向の力を加え、当該型の部分から前記組成物から前記型を引き離す離型が前記基板の外周に沿って進行するように制御する、ことを特徴とする成形方法。 - 型を用いて基板上の組成物を成形する成形方法であって、
前記型を吸着保持し、外周領域が複数の領域に区分けされている型保持部の複数の領域をそれぞれ駆動するように制御する工程を含み、
前記工程において、複数の駆動部を制御することで、前記組成物から前記型を引き離す離型が前記基板の外周に沿って進行するように制御し、さらに
前記離型を開始する際に前記型保持部の各領域の一部の保持力を低減するように制御する、ことを特徴とする成形方法。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の成形装置を用いて基板上の組成物を成形する工程と、
前記工程で組成物が形成された前記基板を処理する工程と、
処理された前記基板から物品を製造する工程と、を含む、
ことを特徴とする物品の製造方法。
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JP2003320541A (ja) | 2002-05-09 | 2003-11-11 | Tdk Corp | スタンパ剥離方法および装置、ならびに多層記録媒体 |
JP2004114388A (ja) | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Toyota Koki Kk | 筒状コンクリート製品成形用型枠 |
JP2012212781A (ja) | 2011-03-31 | 2012-11-01 | Dainippon Printing Co Ltd | インプリント方法およびそれを実施するためのインプリント装置 |
JP2013068839A (ja) | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Olympus Corp | 光学素子の製造方法および表面加工装置 |
JP2018070023A (ja) | 2016-11-01 | 2018-05-10 | 本田技研工業株式会社 | 乗員保護装置 |
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