JP2020047649A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明は、型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置であって、型を保持する型保持部と、型保持部を制御する制御部と、を備え、制御部は、組成物から型を引き離す離型が基板の外周に沿って進行するように型保持部を制御する。

Claims (11)

1. 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置であって、
   前記型を保持する型保持部と、
   前記型保持部を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記組成物から前記型を引き離す離型が前記基板の外周に沿って進行するように前記型保持部を制御する、ことを特徴とする成形装置。
2. 前記型保持部は複数の領域に区分けされ、各型保持部の領域を駆動する複数の駆動部をさらに有しており、
   前記制御部は、前記複数の駆動部を制御することで、前記組成物から前記型を引き離す前記離型が前記基板の外周に沿って進行するように制御する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の成形装置。
3. 前記複数の駆動部は、それぞれ独立して前記基板の表面に交差する方向に駆動可能である、ことを特徴とする請求項２に記載の成形装置。
4. 前記型保持部の各領域は、前記基板の外周に沿って配置され、前記型の外周を保持することを特徴とする請求項２または３に記載の成形装置。
5. 前記制御部は、隣り合う前記型保持部の領域が順次駆動するように前記複数の駆動部を制御する、ことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の成形装置。
6. 前記制御部は、前記複数の駆動部のうちの一つを制御することで、前記離型を開始させる、ことを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の成形装置。
7. 前記制御部は、前記離型を開始する際に前記複数の領域の一部の保持力を低減するよう制御する、ことを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１項に記載の成形装置。
8. 前記成形装置は、前記型の平面部を前記組成物に接触させることにより前記組成物を平坦にすることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の成形装置。
9. 前記成形装置は、前記型のパターンを前記組成物に接触させることにより前記組成物のパターンを形成することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の成形装置。
10. 型を用いて基板上の組成物を成形する成形方法であって、
    前記型を保持する型保持部を制御する工程を含み、
    前記工程において、前記組成物から前記型を引き離す離型が前記基板の外周に沿って進行するように前記型保持部を制御する、ことを特徴とする成形方法。
11. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の成形装置を用いて基板上の組成物を成形する工程と、
    前記工程で組成物が形成された前記基板を処理する工程と、
    処理された前記基板から物品を製造する工程と、を含む、
    ことを特徴とする物品の製造方法。