JP2019041005A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決する本発明の一側面としてのリソグラフィ装置は、基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、基板を保持面上で保持する保持部と、研磨部と前記保持面とを接触させて前記保持面をクリーニングするクリーニング部材と、を有し、前記クリーニング部材は、前記研磨部に配置され気体を供給するための供給口と、前記研磨部の周辺に配置され気体を吸引するための吸引口と、前記研磨部の周辺に設けられた平坦部と、を有し、前記平坦部は、前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で、前記保持面に沿って平行で前記保持面に接触しない面を有する。
図１５（ｄ）に示すように、インプリント材３ｚを硬化させた後、型４ｚと基板１ｚを引き離すと、基板１ｚ上にインプリント材３ｚの硬化物のパターンが形成される。この硬化物のパターンは、型の凹部が硬化物の凸部に、型の凸部が硬化物の凹部に対応した形状になっており、即ち、インプリント材３ｚに型４ｚの凹凸パターンが転写されたことになる。
Claims (12)
- 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
基板を保持面上で保持する保持部と、
研磨部と前記保持面とを接触させて前記保持面をクリーニングするクリーニング部材と、を有し、
前記クリーニング部材は、前記研磨部に配置され気体を供給するための供給口と、前記研磨部の周辺に配置され気体を吸引するための吸引口と、前記研磨部の周辺に設けられた平坦部と、を有し、
前記平坦部は、前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で、前記保持面に沿って平行で前記保持面に接触しない面を有する
ことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で形成される、前記クリーニング部材と前記保持部の間の空間に前記供給口を介して気体を供給する供給部と、前記吸引口を介して前記空間から気体を吸引する吸引部を有することを特徴とする、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
- 前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で形成される、前記平坦部と前記保持部の間の第１空間から前記吸引部に吸引される気体の流量より、前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で形成される、前記研磨部と前記保持部の間の第２空間から前記吸引部に吸引される気体の流量の方が多くなることを特徴とする、請求項２に記載のリソグラフィ装置。
- 前記クリーニング部材は、前記吸引口の周辺に第２吸引口を有し、
前記吸引部は、前記第２吸引口を介して前記気体を吸引することを特徴とする、請求項２又は請求項３に記載のリソグラフィ装置。 - 前記クリーニング部材は、前記第２吸引口の周辺に設けられた第２平坦部を有し、
前記第２平坦部は、前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で、前記保持面に沿って平行で前記保持面に接触しない第２面を有することを特徴とする、請求項４に記載のリソグラフィ装置。 - 前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で形成される、前記第２平坦部と前記保持部の間の第３空間から前記吸引部に吸引される気体の流量より、前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で形成される、前記平坦部と前記保持部の間の第１空間から前記吸引部に吸引される気体の流量の方が多くなることを特徴とする、請求項５に記載のリソグラフィ装置。
- 前記研磨部と前記保持面とが接触している状態で前記クリーニング部材、及び前記保持部のうち少なくとも１つを移動させて前記保持部をクリーニングすることを特徴とする、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記クリーニング部材で前記保持面をクリーニングした後に、粘着部材で前記保持面をクリーニングすることを特徴とする、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記クリーニング部材で前記保持面をクリーニングした後に、粘着部材で前記クリーニング部材をクリーニングすることを特徴とする、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記研磨部と前記保持面とが接触している状態では前記研磨部と前記保持部に配置された複数の突起とが接触していることを特徴とする、請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記供給口は、前記研磨部の中央に配置されることを特徴とする、請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
- 請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、を有し、
処理した前記基板を用いて物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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