JP2006269000A - 光ディスクの製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 スタンパーが基板から所定幅はみだす状態とし、円盤状の基板裏面を吸着保持した状態で基板を回転させ、回転と同時にはみ出し部分と接触する該接触面に対して転動可能なローラを上昇させ、該はみ出し部分を基板から離す方向に働く力をスタンパー周方向に連続的に付加する。
【選択図】 図2
Description
Claims (5)
- 円盤状基板の上面に対して樹脂層を介して前記円盤状基板と同心となるように貼り付けられた前記円盤状基板の外径よりも大きな外径を有する円盤状のスタンパーを、前記円盤状基板から剥離する光ディスクの製造装置であって、
前記円盤状基板の下面と当接して前記基板を吸着保持する前記円盤状基板と同じ或いは小さい外径を有する円形面を上面に有するテーブルと、
前記テーブルにおける前記円形面の中心より等距離であって前記テーブルの周囲において等間隔となる位置に配置され、前記スタンパーの前記円盤状基板との対抗面であって前記円盤状基板との貼り合せ領域からはみ出した領域と当接し、前記スタンパーにおける当接面に対して転動可能なローラと、
前記テーブルにおける前記円形面の中心を回転中心として前記テーブルを前記ローラに対して相対的に回転させる第一の駆動装置と、
前記円形面に対して垂直な方向において、前記ローラを前記テーブルの前記円形面に対して相対的に上昇させる第二の駆動装置と、を有することを特徴とする光ディスクの製造装置。 - 前記テーブルは下面において第一の駆動装置と連結されており、前記第一の駆動装置は前記テーブルを回転させることを特徴とする請求項1に記載の光ディスクの製造装置。
- 前記ローラは前記ローラを転動可能に支持するローラ支持アームを介して前記第二の駆動装置と連結され、前記第二の駆動装置は前記ローラを上昇させることを特徴とする請求項1に記載の光ディスクの製造装置。
- 前記テーブルの上方であって前記円形面から所定距離に位置して、剥離された前記スタンパーを吸着保持する吸着パッドを更に有することを特徴とする請求項1に記載の光ディスクの製造装置。
- 円盤状基板の上面に対して樹脂層を介して前記円盤状基板と同心となるように貼り付けられた前記円盤状基板の外径よりも大きな外径を有する円盤状のスタンパーを、前記円盤状基板から剥離する光ディスクの製造方法であって、
前記円盤状基板の下面と当接して前記基板を吸着保持する前記円盤状基板と同じ或いは小さい外径を有する円形面を上面に有するテーブルの前記円形面上に前記スタンパーが貼り付けられた基板を吸着保持させ、
前記テーブルにおける前記円形面の中心より等距離であって前記テーブルの周囲において等間隔となる位置に配置され、前記スタンパーの前記円盤状基板との対抗面であって前記円盤状基板との貼り合せ領域からはみ出した領域と当接し、前記スタンパーにおける当接面に対して転動可能なローラを前記はみ出した領域と当接させ、
前記テーブルにおける前記円形面の中心を回転中心として前記テーブルを前記ローラに対して相対的に回転させると同時に、前記円形面に対して垂直な方向において前記ローラを前記テーブルの前記円形面に対して相対的に上昇させることを特徴とする光ディスクの製造方法。
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