JP4601565B2 - シート剥離方法及びシート剥離装置 - Google Patents

Description

本発明は、シート剥離方法及びシート剥離装置に係り、さらに詳しくは、基材に接合されたシート部材を剥離するシート剥離方法及びシート剥離装置に関する。

近年、情報のデジタル化などに伴い記録媒体としてのディスクの大容量化に対する要求が高まっている。この要求に対する主な方策としては、情報の記録又は再生のために用いられるレーザ光のスポット径を小さくすることがあげられる。

レーザ光のスポット径を小さくするには、レーザ光の波長を短くして対物レンズの開口数（ＮＡ）を大きくすることが有効であるが、レーザ光の波長を短くすると対物レンズを含む光学系の焦点深度の狭小化を招いてしまいフォーカスサーボ精度を向上させる必要が生じる。また、対物レンズのＮＡが増大すると、その対物レンズとディスクの記録面との距離を小さく設定する必要があるため、ディスクの面ぶれを抑制する必要がある。その理由は、始動時のフォーカスサーボを開始する直前に対物レンズを含むピックアップとディスクとが接触するなどの事態を回避する必要があるからである。

このような背景から、可撓性を有するシート部材に記録層などが成膜されたディスク（以下、可撓性ディスクともいう）の開発がすすめられ、このディスクを安定化板上で回転させることにより、ディスクに生じる面ぶれを空気力学的に抑制する手段が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

可撓性ディスクを製造するためには、基材に接合されたシート部材に対し、スタンパを用いてグルーブあるいはピットを転写するエンボス工程や２Ｐ転写工程など、複数の工程を経る必要があるため、各工程ごとに基材からシート部材を剥離することが必要となる。一般に基材からシート部材を剥離するにはシート部材の接合面の端部を起点に、シート部材を徐々に基材から引きはがす方法がよく用いられているが、この方法によると剥離時にシート部材に加わる力が一方向に集中してしまい、シート部材に歪みを引き起こしてしまう場合がある。

そこで、例えば特許文献２に示されるように、接合された基材とディスク基板の間に、接合面近傍から気体を供給することで、ディスク基板を剥離する方法が提案されている。しかしながら、この方法は、例えばアクリル製のディスク基板などの比較的剛性が高いディスク基板に対しては有効であるが、基材に接合される部材が可撓性のあるシート部材である場合などには気体を部材間に効果的に供給することが困難となる。

また、この方法を、例えば可撓性シートに紫外線硬化樹脂を塗布するスピンコート装置において用いる場合には、シート部材を回転する基材側に気体の供給源を設ける必要があるため、装置が極めて複雑になる。

米国特許出願公開第２００２０１８６６３６号明細書 特開２００３−２７２２５８号公報

本発明はかかる事情の下になされたもので、その目的は、簡易な機構で形状安定性を損なうことなくシート部材を剥離することが可能なシート剥離方法及びシート剥離装置を提供することにある。

本発明は、第１の観点からすると、任意の基材に接合されたシート部材を剥離する方法であって、前記基材側の接合面内の中心部付近に、前記シート部材の一側の面が接合されたときに空気だまりとなる凹部を予め形成しておき、前記シート部材の他側の面上に前記空気だまりを形成する部分を少なくとも含む領域を囲むように環状弾性体を配置するとともに、該環状弾性体上に排気通路を有する真空排気用部材を載置して真空排気可能な空間を形成し、前記環状弾性体を環をたどる方向の中心線を中心に回転させて、前記シート部材に対して放射状の張力を作用させた状態で、前記空間を真空排気するシート剥離方法である。

これによれば、剥離力をシート部材に均一に作用させることが可能となり、剥離時にシート部材に生じる歪みの発生を回避することが可能となる。

この場合において、前記凹部は大気に連通していることとすることができる。

本発明は、第２の観点からすると、任意の基材に接合されたシート部材を剥離するシート剥離装置であって、前記シート部材の一側の面が接合されたときに空気だまりとなる凹部が中心部付近に形成されている基材と；前記シート部材の他側の面上に前記空気だまりを形成する部分を少なくとも含む領域を囲むように環状弾性体と、該環状弾性体上に排気通路を有する真空排気用部材を載置して形成された真空排気可能な空間を真空排気する真空ポンプと；前記環状弾性体を環をたどる方向の中心線を中心に回転させて、前記シート部材に対して放射状の張力を作用させる手段と；を備えるシート剥離装置である。

これによれば、剥離力をシート部材に均一に作用させることが可能となり、剥離時にシート部材に生じる歪みの発生を回避することが可能となる。

この場合において、前記凹部は、大気に連通していることとすることができる。

《第１の実施形態》
以下、本発明の第１の実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。図１には第１の実施形態に係る転写装置１０の縦断面図がシート部材３０とともに示されている。この転写装置１０は、例えば光ディスクの製造工程の１つであるホットエンボス処理を行う転写装置である。また、シート部材３０としては、一例として厚さ１００μｍのポリカーボネイト樹脂からなるシートが用いられている。このシート部材３０は、例えば、Ｘ軸方向に所定間隔を隔てて配置され、ともに長手方向をＹ軸方向とする供給ローラ３２及び巻取りローラ３３相互間に所定の張力を付与された状態で架設されている。すなわち、シート部材３０は、供給ローラ３２に巻かれた状態からその一端が＋Ｘ方向に引き出され、所定の張力を付与された状態で巻き取りローラ３２に巻かれている。そして、シート部材３０は巻取りローラ３３が図１における時計回りに回転することにより、そのＸ軸方向の張力を維持した状態で供給ローラ３２から順次送り出されるとともに、巻取りローラ３３により巻き取られる。

転写装置１０は、図１に示されるように、真空排気用部材１２、環状弾性部材１４、エンボス用加圧部材１８、スタンパ１６、真空ポンプ２０、及び不図示の制御装置などを備えている。

前記真空排気用部材１２としては、一例として、ステンレス鋼を素材とし、外径が１４０ｍｍ程度の円柱状の部材が用いられている。この真空排気用部材１２の内部には下面の中央部から上面の中央部に貫通する排気通路１２ｂが形成されている。また、真空排気用部材１２の下面外縁部近傍には例えばシリコンゴムからなる前記環状弾性部材１４が取り付けられている。そして、真空排気用部材１２は１対のローラ３２，３３に架設されたシート部材３０の上方に配置され、不図示の駆動機構により鉛直方向へ移動可能となっている。

前記エンボス用加圧部材１８としては、一例として、ステンレス鋼を素材とし、外径が１４０ｍｍ程度の円柱状の部材が用いられている。そして、エンボス用加圧部材１８は、シート部材３０の下方に真空排気用部材１２に対向するように配置され、不図示の駆動機構により鉛直方向に移動可能となっている。

図２はスタンパ１６の平面図を示す図である。図１及び図２を総合するとわかるように、前記スタンパ１６は、中央に例えば外形１４ｍｍの丸孔１６ａが形成された厚さ約１ｍｍの円形板状の部材からなり、エンボス加圧部材１８の上面に固定されている。このスタンパ１６の上面には、図２に着色して示されるように丸孔１６ａを中心にシート部材３０に転写されるパターン１６ｂが形成されている。

図１に戻り、前記真空ポンプ２０は、一端が排気通路１２ｂの上端に接続された吸気管１３を介して真空排気用部材１２に接続されている。

次に、上述のように構成された転写装置１０の動作について説明する。転写装置１０では、まず、エンボス用加圧部材１８が上方に駆動されることにより、スタンパ１６の上面がシート部材３０に圧接される。これによりシート部材３０に対しスタンパ１６による型押加工が施され、シート部材３０の下面にスタンパ１６に形成されたパターン１６ｂが転写される。なお、このときスタンパ１６をシート部材３０の下面に圧接させるだけではなく、シート部材３０の上面に例えば不図示の加圧部材を圧接した状態で、スタンパ１６をシート部材３０の下面に圧接させることで、加圧部材（不図示）とスタンパ１６とでシート部材３０を挟持して、シート部材３０にパターン１６ｂを転写してもよい。

シート部材３０へのパターン１６ｂの転写が終了すると、真空排気用部材１２が下方に駆動され、図３に示されるように、真空排気用部材１２の下面が環状弾性部材１４を介してシート部材３０の上面に圧接される。これにより、シート部材３０の上面と、環状弾性部材１４と、真空排気用部材１２の下面とにより、排気通路１２ｂを介して真空ポンプ２０と連通する空間（以下、第１空間という）が形成される。

そして、この状態から真空ポンプ２０が駆動されると、上記第１空間内の気体が排気通路１２ｂ及び吸気管１３を介して排気され、第１空間内の圧力が低下する。これにより、シート部材３０の下面と、スタンパ１６と、エンボス用加圧部材１８の上面とで形成される空間（以下、第２空間という）内の気体が膨張する。そして、シート部材３０には、第２空間からスタンパ１６の外周に向かう放射状の均一な剥離力が作用し、シート部材３０がスタンパ１６から剥離される。

シート部材３０がスタンパ１６から剥離されると真空ポンプ２０が停止され第１空間内の気圧がほぼ大気圧と同程度となる。その後真空排気用部材１２及びエンボス用加圧部材１８はそれぞれ上方及び下方へ駆動される。そして、シート部材３０が所定量巻取りローラ３３により巻き取られた後、転写装置１０による上記動作が繰り返される。

以上説明したように、本第１の実施形態に係る転写装置１０によると、予めスタンパ１６に丸孔１６ａが形成されているため、シート部材３０にスタンパ１６を圧接したときに第２空間が形成される。そして、第２空間の反対側に形成された第１空間内から気体を排気して両空間に気圧差を生じさせることで第２空間内の気体を膨張させ、シート部材３０に剥離力を作用させる。したがって、シート部材３０には第２空間を中心とする放射状の剥離力が均一に作用し、シート部材の剥離時に生じる部材の歪みを効果的に回避することが可能となる。

なお、本第１の実施形態ではスタンパ１６に丸孔１６ａを設けることで第２空間を形成する場合について説明したが、これに限らず、例えば、スタンパ１６に凹部を形成することとしてもよい。

また、本第１の実施形態ではシート部材３０と、スタンパ１６と、エンボス用加圧部材１８とにより第２空間を形成する場合について説明したが、これに限らず、図４に示されるように例えばエンボス用加圧部材１８の内部に設けられた空気導入通路１８ａを介して第２空間が大気に連通していてもよい。

また、シート部材３０の剥離に要する時間は、シート部材３０の接合部の面積、上述した第１空間の容積、真空ポンプ２０の容量に依存するが、基本的にはこれらのパラメータにより決まる時間により管理できる。また、剥離時間の観点からすると第１空間の容積は出来るだけ小さくしておくことが望ましい。例えば真空排気用部材１２の下面中央部を下方に突出させて第１空間の容積を小さくすることなどが考えられる。

また、第２空間はスタンパ１６に予め丸孔１６ａを設けておくだけの、単純な機構で形成することができるため、例えば圧縮空気を供給する装置などの複雑な機構をエンボス用加圧部材１８側に設ける必要がなく、装置の複雑化を招くこともない。したがって、シート３０を保持する移動体や、スピンコート装置などに応用する場合には、回転テーブルの保持面に凹部等を設けておくことで、真空排気用部材１２を用いて上記と同様にシート部材３０に放射状の剥離力を均一に作用させることができ、回転機器などに複雑な機構を設けることを回避することが可能となる。以下、一例として記録領域３０ｂを有するシート部材３０が接合された移動体から、シート部材３０を剥離する方法について説明する。

図５（Ａ）は搬送可能な保持構造体４０を、この保持構造体４０に保持されたシート部材３０とともに示す平面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＡＡ線に沿った断面図である。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を総合するとわかるように、保持構造体４０は円形板状の部材からなり、上面中央部には凹部４０ｂが形成され、上面の外縁部近傍には環状の保持用溝４０ａが形成されている。そして、シート部材３０は保持構造体４０の上面に、シート部材３０の下面と保持構造体４０上面との間の面間吸着力と、保持用溝４０ａとシート部材３０下面に作用する吸着力により保持されている。

上述のように構成された保持構造体４０では、図６に示されるように、保持構造体４０に保持されたシート部材３０上面に、真空排気用部材１２を環状弾性部材１４を介して圧接し、シート部材３０の上面側にシート部材３０の上面と、真空排気用部材１２と、環状弾性部材１４とで第１空間を形成し、シート部材３０の下面側にはシート部材３０の下面と、凹部４０ｂとで第２空間を形成する。そして、第１空間内の気体を真空ポンプ２０により排気することにより第２空間内の気体を膨張させ、シート部材３０を保持構造体４０の上面から剥離することができる。

《変形例１》
次に、第１の実施形態の変形例１について説明する。この変形例１に係る転写装置１０Ａは、丸孔３０ａが形成されているシート部材３０にパターンの転写を行なう転写装置である。この転写装置１０Ａは、図７に示されるように、真空排気用部材１２の下面中央部と、エンボス用加圧部材１８の上面中央部とに、外径が丸孔３０ａの直径よりも大きい柱状部１２ｃ、１８ｂがそれぞれ形成されている点で、転写装置１０と異なっている。

転写装置１０Ａでは、柱状部１２ｃの下面、及び柱状部１８ｂの上面が、シート部材３０をスタンパ１６から剥離する際に、丸孔３０ａを上方及び下方から閉塞するようになっており、シート部材３０の上面側にはシート部材３０の上面と、真空排気用部材１２と、環状弾性部材１４とで環状の第１空間が形成され、シート部材３０の下面側にはシート部材３０の下面と、スタンパ１６と、エンボス用加圧部材１８とで環状の第２空間が形成される。そして、第１空間内の気体を真空ポンプ２０により排気することで第２空間内の気体を膨張させ、シート部材３０をスタンパ１６から剥離することができるようになっている。

本変形例１の保持装置によると、シート部材３０をスタンパ１６から剥離する際には、シート部材３０に形成された丸孔３０ａが閉塞されるため、丸孔３０ａにより第１空間と第２空間が連通することがなく、第２空間内の気体を膨張させることでシート部材３０を歪みを生じさせることなく剥離することが可能となる。

なお、本変形例１では、真空排気用部材１２に柱状部１２ｃを設けたが、これに限らず、例えば図８（Ａ）に示されるようにシート部材３０を剥離する際に、真空排気用部材１２により丸孔３０ａの外縁部近傍に圧接される環状弾性部材１４を設けてもよい。また、例えば図８（Ｂ）に示されるようにシート部材３０を剥離する際に丸孔３０ａを閉塞する球状又は楕円球状の弾性部材１５を、真空排気用部材１２の下面に設けてもよい。
《変形例２》
次に第１の実施形態の変形例２について説明する。この変形例２に係る転写装置１０Ｂは、図９に示されるように真空排気用部材１２の下面に外径が環状弾性部材１４の内径よりも大きい円形の突出部１２ａが形成されている点で転写装置１０と異なっている。転写装置１０Ｂでは、真空排気用部材１２が環状弾性部材１４を介してシート部材３０の上面に圧接される際に、突出部１２ａが環状弾性部材１４に挿入されることで、図１０（Ａ）の矢印に示されるように環状弾性部材１４を環をたどる方向に回転させ、シート部材３０に図１０（Ｂ）に矢印で示される放射状の張力を作用させるようになっている。これにより、剥離の際に生じるシート部材３０の歪みの発生を更に効果的に回避することが可能となっている。なお、突出部１２ａの外周面はシート部材３０に対し垂直である必要はなく、例えば図１１に示されるように、シート部材３０に近づくにつれて外周面の半径が小さくなるテーパー形状であってもよい。

また、開口３０ａが設けられたシート部材３０に対しては、図１２（Ａ）に示されるように、真空排気用部材１２の下面に、外径が、環状部材１４の内径より大きく環をたどる方向の中心線の半径よりも小さく、内径が、環状弾性部材１４’の外径より小さく環をたどる方向の中心線の半径より大きい環状突起１２ｄを設け、真空排気用部材１２をシート３０に環状弾性部材１４，１４’を介して圧接したときに、環状突起１２ｄで環状弾性部材１４，１４’を環をたどる方向の中心線を中心に図１２（Ａ）の矢印に示される方向に回転させて、シート部材３０に図１２（Ｂ）の矢印に示されるような張力を作用させることとしてもよい。また、環状突起１２ｄの側面は図１３に示されるように、シート部材３０に近づくにつれて外周面の半径が小さくなり、内周面の半径が大きくなるようなテーパー形状としてもよい。
《第２の実施形態》
次に、本発明の第２の実施形態に係るコート装置５０を、図１４に基づいて説明する。ここで、重複説明を避ける観点から、前述した第１の実施形態と同等の構成部分については、同一の符号を用いるとともに説明を簡略し又は省略するものとする。

コート装置５０は、図１４に示されるように、真空排気用部材１２、環状弾性部材１４、コータ５１、真空ポンプ２０、及び不図示の制御装置などを備えている。

前記コータ５１は、一例として、外径が１４０ｍｍ程度の円柱状の部材からなり、不図示の駆動機構により鉛直方向へ移動可能となっている。また、コータ５１の上面は、シート部材３０に対向する面が鏡面加工されるとともに中央部に凹部５１ａが形成され、不図示の供給装置により光硬化性樹脂が供給されることによる塗布層が形成されている。

次に、上述のように構成されたコート装置５０の動作について説明する。コート装置５０では、まず、コータ５１が上方に駆動されることにより、コータ５１上面がシート部材３０に圧接され、不図示の紫外線照射装置により上方からシート部材３０が照明される。これによりシート部材３０の下面に紫外線硬化樹脂による保護膜が形成される。

シート部材３０に保護層が形成されると、真空排気用部材１２が下方に駆動され、真空排気用部材１２の下面が環状弾性部材１４を介してシート部材３０の上面に圧接される。これにより、シート部材３０の上面と、環状弾性部材１４と、真空排気用部材１２の下面とにより、排気通路１２ｂを介して真空ポンプ２０と連通する第１空間が形成される。

そして、この状態から真空ポンプ２０が駆動されると、上記第１空間内の気体が排気通路１２ｂ及び吸気管１３を介して排気され、第１空間内の圧力が低下する。これにより、シート部材３０の下面と、コータ５１とで形成される第２空間内の気体が膨張する。そして、シート部材３０には、第２空間からコータ５１上面の外周に向かう放射状の均一な剥離力が作用し、シート部材３０がコータ５１から剥離される。

シート部材３０がコータ５１から剥離されると真空ポンプ２０が停止され第１空間内の気圧がほぼ大気圧と同程度となる。その後真空排気用部材１２及びコータ５１はそれぞれ上方及び下方へ駆動される。そして、シート部材３０が所定量巻取りローラ３３により巻き取られた後、コート装置１０による上記動作が繰り返される。

以上説明したように、本第２の実施形態に係るコート装置５０によると、予め上面に凹部５０ａが形成されているため、シート部材３０にコータ５１上面を圧接したときに第２空間が形成される。そして、第２空間の反対側に形成された第１空間内から気体を排気して両空間に気圧差を生じさせることで第２空間内の気体を膨張させ、シート部材３０に剥離力を作用させる。したがって、シート部材３０に第２空間を中心とする放射状の剥離力を均一に作用させることができ、シート部材３０の剥離時に生じる部材の歪みを効果的に回避することが可能となる。

《第３の実施形態》
次に、上述した転写装置１０、及びコート装置５０を用いた、第３の実施形態に係るディスク製造装置１００について図１５に基づいて説明する。なお、前述した各実施形態及び各変形例と同等の構成部分については、同一の符号を用いるとともに説明を簡略し又は省略するものとする。

この第３の実施形態に係るディスク製造装置１００は、図１０に示されるように、シート部材３０の移動方向上流側から下流側に向かって配置された転写装置１０、スパッタ装置１２０、スピンコート装置５０、及び上記各装置による処理が施される際にシート部材３０を保持する保持装置６０などを含んで構成されている。

前記スパッタ装置１２０は、スパッタターゲットをシート部材３０の下面に成膜させるスパッタ源１２１、不図示のガス供給装置及びガス排気装置、並びにこれらを収容するとともに内部環境を所定の真空度に維持する真空チャンバ１２２等を備えている。そして、スパッタ装置１２０では、ガス供給装置により真空チャンバの内部空間に、例えばＡｒガスを導入しつつイオン化させたＡｒをスパッタターゲットに衝突させて、スパッタ源１２１からスパッタターゲットをシート部材３０の下面に弾き飛ばすことにより、一例として厚さ１２０ｎｍのＡｇ反射層、厚さ７ｎｍの（ＺｒＯ_２−Ｙ_２Ｏ_３）−ＳｉＯ_２層、厚さ１０ｎｍのＡｇＩｎＳｂＴｅＧｅ層、厚さ２５ｎｍのＺｎＳ−Ｓｉ_３Ｎ_４層を順次成膜する。

保持装置６０は、１組のローラ３２，３３に架設されたシート部材３０のうちの、上記転写装置１０，スパッタ装置１２０，コート装置５０による処理が施される領域（以下、処理領域という）の周囲を保持する保持装置である。この保持装置６０は、シート部材３０の上方に配置された環状部材からなる固定部材６１と、シート部材３０の下方に昇降自在に配置された環状部材からなる押圧部材６３と、該押圧部材６３の上部に装着された環状弾性部材６２とを備えている。そして、上記各装置１０，１２０，５０における処理中には、押圧部材６１を上方へ駆動してシート部材３０の下面を環状弾性部材６１を介して上方へ押圧することにより、シート部材３０を固定部材６１と押圧部材６３により挟持する。これにより、シート部材３０の処理領域には、中心部から外周部へ向かう張力が作用し、処理領域の平坦度が維持されるようになっている。

ディスク製造装置１００では、図１５に示されるように、巻取りローラ３３を回転させることによりシート部材３０を、上述した転写装置１０、スパッタ装置１２０及びスピンコート装置５０に対し相対的に移動させて、シート部材３０に対しホットエンボス処理、スパッタ処理、コート処理を順次行ない、各処理が施されたシート部材３０の外径１２０ｍｍの部分を不図示のカットパンチ機により切り抜くことにより、シート部材３０をディスク基板とするディスクが製造される。

発明者が、上記ディスク製造装置１００と同様の装置を用いて、上述と同様の方法で、ディスクを実際に製造し、そのディスクの真円度及び最大反り高を計測したところ、そのディスクの真円度及び最大反り高は次表に示される結果となった。

一方、シート部材３０の一端を機械的に引っ張ることにより剥離する従来の剥離方法を用いた場合には、ディスクの真円度及び最大反り高は次表２に示される結果となった。

表１及び表２の結果を比較するとわかるように、ディスク製造装置１００により製造されたディスクの真円度及び最大反り高は従来の剥離方法を用いた場合に比べて小さく抑えられているとがわかる。

以上説明したように、ディスク製造装置１００では、転写装置１０及びコート装置５０を用いたホットエンボス処理及びコート処理が行われ、転写装置１０のスタンパ１６、及びコート装置５０のコータ５１からシート部材３０が剥離される際には、シート部材３０に生じる歪みが効果的に抑制される。したがって、製品の不良品率が低下することで歩留まりが向上し、結果的に生産性の向上を図ることが可能となる。また、複雑な機構を新たに設ける必要もないので、装置の高コスト化を招くこともない。

また、シート部材３０の形状安定性が良好に確保されることからシート部材３０を供給ローラ３２に巻回した反物状にして供給することができるため、容易にロール工法によりディスクを製造することができ、生産効率の向上を図ることが可能となる。

以上説明したように、本発明のシート剥離方法及びシート剥離装置は可撓性のあるシートを剥離するのに適しており、本発明の転写装置、コート装置及びディスク製造装置は可撓性のあるディスクの製造に適している。

本発明の第１の実施形態に係る転写装置１０の縦断面図である。 転写装置１０のスタンパ１６を示す図である。 転写装置１０の動作を説明するための図である。 転写装置１０の変形例を説明するための図である。 図５（Ａ）は保持構造体４０の平面図であり、図５（Ｂ）は保持構造体４０の断面図である。 保持構造体４０からの剥離方法を説明するための図である。 転写装置１０Ａの断面図を示す図である。 図８（Ａ）及び図８（ｂ）は転写装置１０Ａの変形例を説明するための図である。 転写装置１０Ｂの断面図を示す図である。 図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）は転写装置１０Ｂの動作を説明するための図である。 転写装置１０Ｂの変形例を説明するための図（その１）である。 図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）は転写装置１０Ｂの変形例を説明するための図（その２、その３）である。 図１３は転写装置１０Ｂの変形例を説明するための図（その４）である。 本発明の第２の実施形態に係るコート装置５０の断面図である。 本発明の第３の実施形態に係るディスク製造装置１００の概略構成を示す図である。

符号の説明

１０，１０Ａ，１０Ｂ…転写装置、１２…真空排気用部材、１２ａ…突出部、１２ｂ…排気通路、１２ｃ…柱状部、１３…吸気管、１４，１４’…環状弾性部材、１５…弾性部材、１６…スタンパ、１６ａ…丸孔、１６ｂ…パターン、１８…エンボス用加圧部材、１８ａ…空気導入通路、１８ｂ…柱状部、２０…真空ポンプ、３０…シート部材、３０ａ…丸孔、３０ｂ…記録領域、３２…供給ローラ、３３…巻取りローラ、４０…保持構造体、４０ａ…保持用溝、４０ｂ…凹部、５０…コート装置、５１…コータ、５１ａ…凹部、１００…ディスク製造装置、１２０…スパッタ装置。

Claims (6)

1. 任意の基材に接合されたシート部材を剥離する方法であって、
   前記基材側の接合面内の中心部付近に、前記シート部材の一側の面が接合されたときに空気だまりとなる凹部を予め形成しておき、
   前記シート部材の他側の面上に前記空気だまりを形成する部分を少なくとも含む領域を囲むように環状弾性体を配置するとともに、該環状弾性体上に排気通路を有する真空排気用部材を載置して真空排気可能な空間を形成し、
   前記環状弾性体を環をたどる方向の中心線を中心に回転させて、前記シート部材に対して放射状の張力を作用させた状態で、前記空間を真空排気するシート剥離方法。
2. 前記環状弾性体の内側に該環状弾性体の直径よりも小さい直径の別の環状弾性体を更に配置することを特徴とする請求項１に記載のシート剥離方法。
3. 前記凹部は大気に連通していることを特徴とする請求項１又は２に記載のシート剥離方法。
4. 任意の基材に接合されたシート部材を剥離するシート剥離装置であって、
   前記シート部材の一側の面が接合されたときに空気だまりとなる凹部が中心部付近に形成されている基材と；
   前記シート部材の他側の面上に前記空気だまりを形成する部分を少なくとも含む領域を囲むように環状弾性体と、該環状弾性体上に排気通路を有する真空排気用部材を載置して形成された真空排気可能な空間を真空排気する真空ポンプと；
   前記環状弾性体を環をたどる方向の中心線を中心に回転させて、前記シート部材に対して放射状の張力を作用させる手段と；を備えるシート剥離装置。
5. 前記環状弾性体の内側に配置され、前記環状弾性体の直径よりも小さい直径の別の環状弾性体を更に備えることを特徴とする請求項４に記載のシート剥離装置。
6. 前記凹部は、大気に連通していることを特徴とする請求項４又は５に記載のシート剥離装置。

Images