JPH09219041A - 光学記録媒体の製造方法とこれに用いる製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板がヤング率（剛性）が比較的小さい材料
より成形されている場合においても、基板の剥離工程に
おいて、基板の反り等の変形や破損、光硬化性樹脂の剥
離の発生を効果的に防止する。 【解決手段】 光学記録媒体を構成する基板１上に、フ
ォトポリマリゼーション法によって情報記録層が形成さ
れる光学記録媒体の製造方法において、情報記録層の形
成時に基板１上に塗布した光硬化性樹脂層３に圧着させ
たスタンパー８の剥離を、基板１の光硬化性樹脂層３を
有する側に正圧を、これとは反対側に負圧をかけて行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光学記録媒体の製造
方法とこれに用いる製造装置に係わる。

【０００２】

【従来の技術】オーディオ用、ビデオ用そのほかの各種
情報を記録する光学記録媒体として、その記録もしくは
再生を光照射によって行う光ディスク、光カード、光磁
気ディスク、相変化光学記録媒体等のＲＯＭ（Ｒｅａｄ
Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）型、追記型、書換え型等の
光学記録媒体があるが、例えばコンパクトディスクにお
けるようなＲＯＭ型においてその情報記録層にデータ情
報、トラッキングサーボ信号等の記録がなされる位相ピ
ット、プリグルーブ等の微細凹凸が、また、追記型、書
換え型等の光磁気あるいは相変化等による光磁気媒体に
おいてもプリグルーブ等の微細凹凸の形成がなされる。

【０００３】この微細凹凸を有する情報記録層の形成方
法の１つとして光重合法によるフォトポリマリゼーショ
ン法いわゆる２Ｐ法がある。

【０００４】図２は、記録情報量の増大化を図って、第
１および第２の情報記録層を重ね合わせて成る２層構造
の光学記録媒体の概略断面図を示す。この光学記録媒体
は、透明な基板１上に、第１および第２の情報記録層１
１および１２が透明中間膜３３を介して積層されてな
る。

【０００５】第１の情報記録層１１は、第１の微細凹凸
２１が例えば基板１となる強化ガラス等上に２Ｐ法によ
り形成し、またはポリカーボネート等の射出成形によっ
て形成し、これに例えばＳｉＮより成る半透明膜１３が
被覆されてなる。第２の情報記録層１２は、２Ｐ法によ
って上記第１の情報記録層１１の上に第２の微細凹凸２
２が積層されて形成され、これにＡｌ蒸着膜等による反
射膜１４が形成されてなる。この第２の情報記録層１２
上には、光硬化性樹脂等よりなる保護膜６が形成され
る。

【０００６】この２Ｐ法によって微細凹凸を有する情報
記録層を形成する方法は、上述の強化ガラス基板、また
は射出成形によって、第１の情報記録層を形成する第１
の微細凹凸が形成された（図示せず）ポリカーボネート
等の基板１上に、光硬化性樹脂３、例えば紫外線硬化性
樹脂を基板１の中心孔１ｈから所要の距離隔てた位置に
おいて、ディスペンサーによって図３に示すように基板
１の中心軸を中心とする一円周上に沿って塗布する。

【０００７】その後、図４に示すように、目的とする情
報記録層を形成する微細凹凸の転写パターンの微細凹凸
８ｓが形成されたスタンパー８上に、図５に示すよう
に、基板１を光硬化性樹脂３が塗布された側をスタンパ
ー８の微細凹凸８ｓが形成された側に合致させて衝合す
る。この状態で例えば円柱状の押圧ローラー９を、スタ
ンパー８上に配置された基板１上から一定の荷重Ｆをか
けて、基板１上を転動させる。このようにすると、基板
１およびスタンパー８との間に介在する光硬化性樹脂３
が押圧されて基板１およびスタンパー８の板面に沿って
展延する。

【０００８】その後、図６に示すように、基板１の背面
から例えば紫外線ランプ１０によって紫外線照射を行っ
て光硬化性樹脂３の硬化を行う。

【０００９】その後、基板１を光硬化性樹脂３とともに
スタンパー８から剥離して、スタンパー８の微細凹凸８
ｓの転写によって光硬化性樹脂３に第２の微細凹凸２２
が形成されるようにする。従来においては、基板１をス
タンパー８から剥離するにあたっては、図７に示すよう
に水平基台３０上にスタンパー８と基板１を合致させた
状態で、基板１の中心孔１ｈに水平基台３０の中心部の
センターピン４０を挿入させて載置する。

【００１０】この状態で、窒素ガス２０をセンターピン
４０から噴き出すと同時にセンターピン４０を所要の高
さに突き上げて基板１をスタンパー８から剥離する。

【００１１】上述したように剥離工程を経た後、第２の
微細凹凸２２が形成された光硬化性樹脂３の表面に、金
属、例えばＡｌ蒸着膜による反射膜１４を被着して第２
の情報記録層１２を形成する。この第２の情報記録層１
２上には、同様に、光硬化性樹脂、例えば紫外線硬化性
樹脂よりなる保護膜６を塗布して目的とする光学記録媒
体、例えば光ディスクを形成する。

【００１２】ところで、上記の方法により基板１をスタ
ンパー８から剥離する場合において、基板１が例えば強
化ガラス等の、ヤング率（剛性）が充分大きい材料によ
り成形され、また、基板１の中心孔１ｈとセンターピン
４０の上端の形状が、基板１とスタンパー８との間に挟
まれた空間の気密性を充分保つために適している場合に
ついては、上述した剥離工程における基板１の反り等の
変形や破損は殆ど問題にはならないほど小さいものであ
った。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多層光
学記録媒体の用途等においては、基板１の材料は、コン
パクトディスクと同様の、例えばポリカーボネート等の
樹脂である。このような材料を基板１に用いた場合に
は、ヤング率（剛性）が比較的小さいため、上述した剥
離工程において、図８に示すように、基板１をセンター
ピン４０により突き上げる際に、基板１の反り等の変形
や破損、また光硬化性樹脂３の基板１からの剥離等を生
じる場合があり、その部分において、信号転写不良の原
因となり、これが信号再生の支障を来し、安定した記録
媒体の製造が困難であるという問題があった。

【００１４】上述したように図２は第１の情報記録層１
１と第２の情報記録層１２が透明中間膜３３を介して積
層して形成されてなる光学記録媒体の一例の概略断面図
であるが、この光学記録媒体に対する第１の情報記録層
１１と第２の情報記録層１２とからの情報の読み出し
は、ドライブ装置の簡略化を図ることができるように、
また第１および第２の情報記録層１１および１２に対し
連続的にその記録ないしは読み出しを行うことができる
ように、１組の光学ヘッドによって光学記録媒体の同一
側すなわち基板１側から光照射によって行うことができ
るようにすることが望まれる。

【００１５】この光学記録媒体における第１の情報記録
層１１に対しては、光学ヘッドからの照射光Ｌを、図２
の実線で示すように、第１の情報記録層１１にフォーカ
シングさせて、その記録、再生を行い、第２の情報記録
層１２に対しては、光学ヘッドからの照射光Ｌを、図２
の破線で示すように、第２の情報記録層１２にフォーカ
シングさせて、その記録、再生を行う。

【００１６】上述した基板１の変形や破損、光硬化性樹
脂３の剥離による信号転写不良は、例えば基板１側か
ら、例えばレーザー光を照射して微細凹凸による情報を
照射レーザー光の干渉によって読み出すに際してのエラ
ーの発生原因となる。これは単層の情報記録層のディス
ク構造においても、例えば基板１側からレーザー光を照
射して微細凹凸による情報を照射レーザー光に干渉によ
って読み出すに際して、信号再生に問題が生じるところ
であるが、情報の記録容量の増大化を図るために、２層
以上の情報記録層が積層された多層光学記録媒体におい
ては特に問題となるところである。

【００１７】そこで、本発明においては、上述した基板
１を光硬化性樹脂３とともにスタンパー８から剥離する
工程において、基板１がヤング率（剛性）が比較的小さ
い材料より成形されている場合においても、基板の反り
等の変形や破損、光硬化性樹脂３の剥離の発生を効果的
に防止した光学記録媒体の製造方法と、これに用いる製
造装置を提供する。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、光学記録媒体
を構成する基板上に、フォトポリマリゼーション法によ
って情報記録層が形成される光学記録媒体の製造方法に
おいて、情報記録層の形成時に基板上に塗布した光硬化
性樹脂層に圧着させたスタンパーの剥離を、基板の光硬
化性樹脂層を有する側に正圧を、これとは反対側に負圧
をかけて行う。

【００１９】また、本発明の製造装置は、水平基台と、
剥離プレートとを有し、水平基台と剥離プレートとの対
向部間に、光硬化性樹脂が塗布されこれにスタンパーを
衝合させた光学記録媒体を構成する基板を、スタンパー
側を基台側として挟み込んだ状態で、基板と剥離プレー
トとの間に気密空間を形成する気密封止手段が配置さ
れ、剥離プレートには、気密空間に連通し該気密空間内
を排気して該気密空間内を負圧として基板を剥離プレー
トに吸着させる排気口と、気密空間と気密的に分離され
基板に穿設された中心孔を通じて基板とスタンパーとの
間を正圧とする気体供給口とが設けられた構成とし、負
圧と正圧との共働により、基板を光硬化性樹脂層ととも
にスタンパーと剥離させて、基板にスタンパーによる凹
凸パターンが転写されてなる凹凸パターンが形成された
情報記録層を形成する。

【００２０】本発明によれば、基板を光硬化性樹脂とと
もにスタンパーから剥離する工程において、基板がヤン
グ率（剛性）が比較的小さい材料より成形されている場
合においても、基板の反り等の変形や破損、光硬化性樹
脂の剥離の発生を効果的に防止することができ、光学的
特性に優れた光学記録媒体を製造することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明の具体的な実施の形態を説
明する。以下において、ディスク状、いわゆる円板状の
光ディスクに適用する場合について説明するが、本発明
は、このような光ディスクや、形状に限られるものでは
なく、光磁気ディスク、相変化ディスク、その他カード
状、シート状等の微細凹凸を情報記録層に有する各種光
学記録媒体に適用できることは言うまでもない。

【００２２】この例は、図２に示したように例えばポリ
カーボネート等の光透過性樹脂の射出成形によって、基
板１の成形と同時に基板１の一主面にデータ記録ピッ
ト、またはプリグルーブ等の第１の微細凹凸２１を形成
し、これの上に半透明膜１３が形成されて第１の情報記
録層１１を形成し、この第１の情報記録層１１上に２Ｐ
法によって、データ記録ピット、またはプリグルーブ等
の第２の微細凹凸２２を形成し、これの上に蒸着膜によ
る反射膜１４を被着して第２の情報記録層１２を形成
し、この第２の情報記録層１２上に、例えば光硬化性樹
脂よりなる保護膜６が塗布されて成る光学記録媒体例え
ば光ディスクを得る場合である。

【００２３】この例では、図３に示したように例えば射
出成形によって第１の情報記録層を形成する微細凹凸が
形成された（図示せず）基板１上に、光硬化性樹脂３、
例えば紫外線硬化性樹脂を基板１の中心孔１ｈから所要
の距離を隔てた位置において、例えばディスペンサーに
よって基板１の中心軸を中心とする一円周上に沿って塗
布する。

【００２４】一方図４に示すように、第２の情報記録層
１２の微細凹凸を形成するための転写微細凹凸８ｓを有
するスタンパー８を用意する。そしてこれに光硬化性樹
脂３が塗布された基板１を、その光硬化性樹脂３を基板
１とスタンパー８との間に介在させて押圧する。

【００２５】次に、この状態で例えば円柱状の押圧ロー
ラー９を、スタンパー８上に配置された基板１上から一
定の荷重Ｆをかけて、基板１上を転動させる。このよう
にすると、基板１およびスタンパー８との間に介在する
光硬化性樹脂３が押圧されて基板１およびスタンパー８
の板面に沿って展延する。

【００２６】その後、図６に示すように、基板１の背面
から例えば紫外線ランプ１０によって紫外線照射を行っ
て光硬化性樹脂３の硬化を行う。

【００２７】その後、基板１を光硬化性樹脂３とともに
スタンパー８から剥離する。本発明においては、この基
板１を光硬化性樹脂３とともにスタンパー８から剥離す
る工程において、基板１の変形、破損、光硬化性樹脂の
剥離を防止する。

【００２８】図１は、本発明装置の一例の概略断面図を
示し、この装置８０によって基板１をスタンパー８か
ら、光硬化性樹脂３とともに剥離する。

【００２９】この場合、水平基台３０と、剥離プレート
６０とが用意される。この例では、水平基台３０と剥離
プレート６０との対向部間に、光硬化性樹脂３が塗布さ
れ、これにスタンパー８を衝合させた基板１を、スタン
パー８側を水平基台３０側として挟み込んだ状態で設置
される。

【００３０】このスタンパー８は、通常少なくともその
表面がニッケルメッキ層すなわち磁性金属層を有するか
ら、例えば電磁石、あるいは永久磁石を有する水平基台
３０上で充分な平坦度で磁気的に吸着保持する。

【００３１】一方この状態で、基板１と剥離プレート６
０との間には中心部に第２の気密空間５２が形成され、
これと分離されてその外周にリング状の第１の気密空間
５１が形成されるようにする。これら第１および第２の
気密空間５１および５２はそれぞれ基板１と剥離プレー
ト６０との間に、第１および第２の気密封止手段６３Ａ
および６３Ｂ、例えばＯリングが配置され、これらＯリ
ングによって第１および第２の気密空間５１および５２
が互いに分離されて形成される。

【００３２】剥離プレート６０には、第１の気密空間５
１に連通し、排気ポンプ（図示せず）が連結されて、第
１の気密空間５１内を排気して第１の気密空間５１内を
負圧として基板１を剥離プレート６０に吸着させる排気
口９１が設けられるとともに、基板１に穿設された中心
孔１ｈを通じて第２の気密空間５２に気体例えば空気を
供給して空間５２内を正圧とする気体供給口９２が設け
られる。

【００３３】基板１とスタンパー８は、スタンパー８が
水平基台３０側に接するようにして、その中心孔８ｈに
水平基台３０の中心部分のセンターピン４０を挿入して
配置する。このセンターピン４０には、その上端部から
その周面に連通する気体通過口４０ｈが設けられてい
る。

【００３４】剥離プレート６０は、基板１の信号記録面
とは反対側の面に所定の押圧力をもって、押圧設置され
ている。この剥離プレート６０には、その中心部分の、
信号記録エリア７０と重ならない情報記録層に寄与しな
い無効領域に、気体供給口９２が形成され、第２の気密
空間５２が基板１の信号記録エリア７０と重ならないよ
うに設定されている。

【００３５】また、各第１および第２の気密封止手段６
３Ａおよび６３Ｂの、例えばＯリングは、情報記録に寄
与しない無効領域に配置される。

【００３６】次に、上述した光学記録媒体の製造装置８
０を用いて、基板１を光硬化性樹脂３とともにスタンパ
ー８から剥離する方法について説明する。

【００３７】先ず、図１に示すように、上述した光硬化
性樹脂３を介して積層接着された状態の基板１とスタン
パー８を、その基板１側に、第１の気密空間５１内の気
密性が充分確保できる程度の押圧力、すなわち第１およ
び第２の気密封止手段６３Ａおよび６３Ｂ、例えばＯリ
ングによって、基板１に充分密着する程度の押圧力をも
って、剥離プレート６０を押圧設置する。

【００３８】次に、第１の気密空間５１内を剥離プレー
ト６０に設けられた排気口９１から排気して、所定の負
圧まで、第１の気密空間５１内の圧力が均一になるよう
に減圧して、基板１を、その信号記録エリア７０の部分
において上方に引っ張る方向に力を作用させる。このと
き、第１の気密空間５１は、その外周部および内周部
が、例えばＯリングが設置されているため、基板１に
は、信号記録エリア７０の中心を最大とする曲げ応力が
働き、この結果スタンパー８と光硬化性樹脂３との間を
引き剥がすように作用する。

【００３９】この状態で次に、基板１の中央部分の第２
の気密空間５２に剥離プレート６０に設けられた気体供
給口９２から、気体通過口４０ｈを通って気体供給を行
って、第２の気密空間５２内を正圧にする。このとき、
気体通過口４０ｈの配置は、基板１の軸心に対し対称的
になるように第２の気密空間５２に開口して、その第２
の気密空間５２への気体供給圧力が均一になるようにす
る。この正圧力は基板１の信号記録エリア７０外であっ
て、その内周部を上方に持ち上げる方向に作用する。

【００４０】このとき、バネやエアシリンダー等（図示
せず）によって剥離プレート６０を上方に引き上げるよ
うな力を作用させておく。このようにすると第２の気密
空間５２内の空気はスタンパー８と光硬化性樹脂３との
間の侵入することができ、第１の気密空間５１の作用に
よって基板１を光硬化性樹脂３とともにスタンパー８か
ら引き剥がす方向に働いていた力を補助するとともに、
内周部から、両者を引き剥がすきっかけとなるように作
用し、この結果、基板１の広域に渡って光硬化性樹脂３
とともに一気に持ち上げる力が加わる。

【００４１】このように本発明によれば、基板１を光硬
化性樹脂３とともにスタンパー８から剥離する際に、基
板１が広域に渡って持ち上げられ、すなわち変形、破
損、光硬化性樹脂３の剥離を効果的に防止できる。した
がって、特に情報記録層が２層以上形成される多層光学
記録媒体、すなわち下層側の情報記録層上に、上層の情
報記録層を２Ｐ法によって形成する場合に特に有益であ
る。

【００４２】上述したように剥離工程を経た後、第２の
微細凹凸２２が形成された光硬化性樹脂３の表面に、金
属、例えばＡｌ蒸着膜による反射膜１４を被着して第２
の情報記録層１２を形成する。この第２の情報記録層１
２上には、同様に、光硬化性樹脂、例えば紫外線硬化性
樹脂よりなる保護膜６を塗布して目的とする光学記録媒
体、例えば光ディスクを形成する。

【００４３】上述した例においては、情報記録層が２層
形成される多層光学記録媒体を作製する場合について説
明したが、本発明は、情報記録層が一層である単層の光
学記録媒体を作製する場合についても利用できるもので
あることは言うまでもない。すなわち図２で説明したガ
ラス基板、ポリカーボネート系の光透過性基板の一主面
に、上述した位相ピット、プリグルーブ等の微細凹凸
を、２Ｐ法により形成する場合に本発明を適用する。

【００４４】また、基板１とスタンパー８とを剥離する
際には、上述した本発明構成に加え、図８において示し
た従来方法における基板の剥離を行う場合の、センター
ピン４０による基板１の突き上げ機構を併せて具備する
構成とすることもできる。この場合は、より剥離を効果
的に行うことができる。

【００４５】また、上述した例では、基板１がディスク
である場合を主として説明したが、カード状等各種の構
造に適用することができる。

【００４６】また、上述したように本発明は、光ディス
クすなわち微細凹凸がデータ情報を含むものであるが、
この場合に限られるものではなく、例えば光磁気記録
層、光照射によって相変化を生じる相変化記録層のよう
に、微細凹凸が例えばトラッキング用、アドアレス用等
のプリグルーブ、ピット等を有する情報記録層による光
学記録媒体を得る場合にも適用でき、この場合は、微細
凹凸の形成層をもしくはこれの上の層に光磁気材料、相
変化材料を形成する構成をとることもできる。

【００４７】また、上述の構成の光学記録媒体の製造装
置８０における剥離プレート６０は、これにスタンパー
８より剥離した基板１が吸着保持されているから、これ
を基板１を他部への搬送を行う基板１の取り出し機構の
基板保持手段に兼用することもできる。

【００４８】このように、剥離プレート６０に基板１を
吸着保持できることから、この基板１の剥離の自動化を
容易に行うことができる。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、２Ｐ法による光学記録
媒体を製造する場合において、基板をポリカーボネート
等のヤング率（剛性）の比較的小さい材料により作製し
た場合においても、情報転写後の基板の剥離工程におい
て、基板の反り等の変形、基板の破損、光硬化性樹脂の
剥離の発生を効果的に防止できた。また、基板の傷やほ
こり等による信号転写面のダメージを生ずることを効果
的に防止できた。

【００５０】また、上記情報転写後の基板の剥離工程に
おいて、センターピンを突き上げて基板をスタンパーか
ら剥離する機構を省略することもできるので、装置の小
型化、低コスト化をはかることができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法による光学記録媒体の製造装置の一
例の概略断面図である。

【図２】多層光学記録媒体の概略断面図である。

【図３】従来および本発明による光学記録媒体の製造方
法の一工程図である。

【図４】従来および本発明による光学記録媒体の製造方
法の一工程図である。

【図５】従来および本発明による光学記録媒体の製造方
法の一工程図である。

【図６】従来および本発明による光学記録媒体の製造方
法の一工程図である。

【図７】従来方法による光学記録媒体の製造方法の一工
程図である。

【図８】従来方法による光学記録媒体の製造方法の一工
程図である。

【符号の説明】

１ 基板、１ｈ 基板の中心孔、３ 光硬化性樹脂、６
保護膜、８ スタンパー、８ｈ スタンパーの中心
孔、８ｓ 微細凹凸、９ ローラー、１０ 紫外線ラン
プ、１１ 第１の情報記録層、１２ 第２の情報記録
層、１３ 半透明膜、１４ 反射膜、２０ 窒素ガス、
２１ 第１の微細凹凸、２２ 第２の微細凹凸、３０
水平基台、３３ 透明中間膜、４０ センターピン、４
０ｈ 気体通過口、５１、５２ 第１および第２の気密
空間、６０ 剥離プレート、６３Ａ、６３Ｂ 第１およ
び第２の気密封止手段、７０ 信号記録エリア、８０
光学記録媒体の製造装置、９１ 排気口、９２ 気体供
給口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 羽賀 元久 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学記録媒体を構成する基板上に、フォ
   トポリマリゼーション法によって情報記録層が形成され
   る光学記録媒体の製造方法において、 上記情報記録層の形成時に上記基板上に塗布した光硬化
   性樹脂層に圧着させたスタンパーの剥離を、上記基板の
   上記光硬化性樹脂層を有する側に正圧を、これとは反対
   側に負圧をかけて行うことを特徴とする光学記録媒体の
   製造方法。
2. 【請求項２】 水平基台と、剥離プレートとを有し、 上記水平基台と剥離プレートとの対向部間に、光硬化性
   樹脂が塗布されこれにスタンパーを衝合させた光学記録
   媒体を構成する基板を、上記スタンパー側を上記基台側
   として挟み込んだ状態で、上記基板と上記剥離プレート
   との間に気密空間を形成する気密封止手段が配置され、 上記剥離プレートには、上記気密空間に連通し該気密空
   間内を排気して該気密空間内を負圧として上記基板を上
   記剥離プレートに吸着させる排気口と、上記気密空間と
   気密的に分離され上記基板に穿設された中心孔を通じて
   上記基板と上記スタンパーとの間を正圧とする気体供給
   口とが設けられ、 上記負圧と正圧との共働により、上記基板を上記光硬化
   性樹脂層とともに上記スタンパーと剥離させて、上記基
   板に上記スタンパーによる凹凸パターンが転写されてな
   る凹凸パターンが形成された情報記録層を形成すること
   を特徴とする光学記録媒体の製造装置。
3. 【請求項３】 上記基板と上記剥離プレートとの間に形
   成される上記気密空間は、最終的に形成する光学記録媒
   体の有効記録部に形成され、 上記気密空間と気密的に独立して該気密空間の中心部
   に、上記気体供給口と上記基板の中心孔に連通する中心
   部気密空間が形成されたことを特徴とする請求項２に記
   載の光学記録媒体の製造装置。
4. 【請求項４】 上記気密空間は、上記剥離プレートと上
   記基板との間に介在される対の環状封止手段によって気
   密的封止されたことを特徴とする請求項２に記載の光学
   記録媒体の製造装置。
5. 【請求項５】 上記気密封止手段が、上記基板の、最終
   的に形成する光学記録媒体の情報記録に寄与しない無効
   領域に形成されたことを特徴とする請求項２に記載の光
   学記録媒体の製造装置。
6. 【請求項６】 上記気密封止手段が、Ｏリングであるこ
   とを特徴とする請求項２に記載の光学記録媒体の製造装
   置。
7. 【請求項７】 上記基板を吸着させて上記スタンパーか
   ら剥離させた上記剥離プレートを上記基板と上記基台の
   相対的移行の搬送手段とすることを特徴とする光学記録
   媒体の製造装置。