KR100568392B1 - 은 합금 스퍼터링 타겟 및 그의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 은 합금 스퍼터링 타겟으로서, 상기 은 합금이 희토류 원소 1.0at% 이하, Au 2.0at% 이하, Cu 2.0at% 이하, Ti 0.5at% 이하 및 Zn 0.5at% 이하로부터 선택된 1종 이상을 포함하며, 잔부가 은 및 불가피적 불순물로 이루어진 것이고, 상기 은 합금 스퍼터링 타겟의 임의의 4개의 개소에 대해 X선 회절법에 의해 결정 배향 강도를 구하고, 가장 높은 결정 배향 강도(Xa)를 나타내는 방위가 4개의 측정 개소에서 동일하고, 각 측정 개소에서의 가장 높은 결정 배향 강도(Xa)와 2번째로 높은 결정 배향 강도(Xb)의 강도비(Xb/Xa)의 편차가 20% 이하임을 특징으로 하는 은 합금 스퍼터링 타겟.
- 제 1 항에 있어서,2번째로 높은 결정 배향 강도(Xb)를 나타내는 방위가 4개의 측정 개소에서 동일한 은 합금 스퍼터링 타겟.
- 제 1 항에 있어서,평균 결정 입경이 100㎛ 이하이고, 최대 결정 입경이 200㎛ 이하인 은 합금 스퍼터링 타겟.
- 제 1 항에 있어서,결정립계, 결정립내 또는 결정립계와 결정립내 둘 다에 존재하는 은과 합금 원소의 화합물상의 원 상당 직경이 평균 30㎛ 이하이고, 상기 원 상당 직경의 최대치가 50㎛ 이하인 은 합금 스퍼터링 타겟.
- 제 1 항에 따른 은 합금 스퍼터링 타겟을 제조하는 방법에 있어서, 30 내지 70%의 가공율에서 냉간 가공 또는 온간 가공을 실시하고, 그 후 500 내지 600℃의 유지 온도 및 0.75 내지 3시간의 유지 시간의 조건으로 열 처리를 실시함을 특징으로 하는 은 합금 스퍼터링 타겟의 제조 방법.
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