KR100494248B1 - 전자 부품, 전도성 접속 형성 방법 및 전자 부품 형성 방법 - Google Patents
전자 부품, 전도성 접속 형성 방법 및 전자 부품 형성 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100494248B1 KR100494248B1 KR10-2002-7010550A KR20027010550A KR100494248B1 KR 100494248 B1 KR100494248 B1 KR 100494248B1 KR 20027010550 A KR20027010550 A KR 20027010550A KR 100494248 B1 KR100494248 B1 KR 100494248B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- conductive layer
- layer
- nanotubes
- conductive
- hole
- Prior art date
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 31
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 title claims description 31
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 title claims description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 69
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 37
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 claims description 27
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 claims description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 claims 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76843—Barrier, adhesion or liner layers formed in openings in a dielectric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76871—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers
- H01L21/76876—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers for deposition from the gas phase, e.g. CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76877—Filling of holes, grooves or trenches, e.g. vias, with conductive material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/5226—Via connections in a multilevel interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/53204—Conductive materials
- H01L23/53276—Conductive materials containing carbon, e.g. fullerenes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/10—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device
- H01L2221/1068—Formation and after-treatment of conductors
- H01L2221/1094—Conducting structures comprising nanotubes or nanowires
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/4038—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
- H05K3/4076—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thin-film techniques
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
본 발명은 제 1 전도층, 비전도층 및 제 2 전도층을 포함하는 전자 부품에 관한 것이다. 홀은 비전도층이 에칭되어 형성된다. 홀에 형성된 나노튜브는 전도 방식으로 제 1 전도층을 제 2 전도층에 연결한다.
Description
본 발명은, 전자 부품과, 전자 부품에 전도성 접속을 형성하는 방법 및 전자 부품을 형성하는 방법에 관한 것이다.
집적 설계된 전자 부품에서는, 비전도층을 통과하는 홀 에칭에 의해, 비전도층에 의해 전기적으로 절연된 두 개의 전도층이 전기적 전도 방식으로 서로 연결되는 것이 통상적이다. 홀은 금속으로 채워져서, 전기적 전도 방식으로 두 개의 전도층을 서로 접속시키는 금속 콘택트를 이룬다.
이 공정에서의 단점은, 특히, 측면 크기가 감소함에 따라, 즉, 비전도층을 통과하는 콘택트 홀의 직경이 감소하고 수직 길이가 증가함에 따라, 또는 적어도 종횡비가 증가함에 따라, 콘택트 홀을 금속으로 채우는 것이 문제되어 결함이 나타날 수 있다는 것이다. 특히, 증착된 금속으로 인해 콘택트 홀의 상부 영역이 차단되어 전체 콘택트 홀이 금속으로 채워지지 못하게 하는 경우가 있다. 따라서, 두 전도층 간의 전기적 전도성 접속을 형성하기가 불가능하게 되는 경우가 있다. 또한, 불완전하게 채워진 콘택트 홀은 신뢰성에 문제를 야기한다.
기존 공정의 또 다른 단점은, 콘택트 홀이 매우 낮은 종횡비를 갖는 경우, 금속 콘택트의 전도성이 심각하게 감소되는 것이다. 즉, 금속 콘택트가 금속화 시스템 및 그에 따른 집적 회로의 스케일링과 관련하여 상당한 제한 사항을 부과하는 요소를 나타내게 되므로, 다수의 전도층이 비전도층을 통해 전자 부품의 수직 방향으로 서로 전기적 및 전도적으로 접속되어야 한다.
또한, [1]에는 고 전도성 물질로서, 그의 전도성이 같은 크기의 다른 금속의 전도성을 크게 능가하는 것으로 알려진 카본 나노튜브에 관한 기본 원리가 개시되어 있다.
[2]에는 다공성(perforated) 삼산화이알루미늄(Al2O3) 매트릭스에서, 자기 정합(self-aligned) 방식으로, 카본 나노튜브를 성장시키는 공정이 개시되어 있다.
본 발명의 실시예가 도면에서 설명되며, 이하에서 더욱 상세히 설명된다.
도 1은 제 1 실시예에 따른 반도체 소자의 횡단면도이다.
도 2a 내지 2d는 반도체 소자의 횡단면도이며, 그것에 기초하여 도 1에 도시된 반도체 소자의 형성에 수반되는 각 방법 단계가 설명된다.
도 3은 제 2 실시예에 따른 반도체 소자의 횡단면도이다.
도 4a 내지 4c는 도 3에 도시된 반도체 소자의 형성에 수반되는 각 방법 단계들을 설명하는 데 이용되는 반도체 소자의 횡단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 소자의 횡단면도이다.
도 6a 내지 6e는 도 5에 도시된 반도체 소자의 형성에 수반되는 개별적인 방법 단계를 설명하는 데 이용되는 반도체 소자의 횡단면도이다.
그러므로, 본 발명은 전자 부품의 전도성 접속을 제공하고, 비전도층에 의해 서로 절연되어 있는 두 전도층간에 전도성 접속을 이루는 전자 부품을 제공하는 난제에 기반하며, 매우 높은 종횡비를 갖는 홀에 대해서도 전도성 접속을 형성할 수 있다.
상술한 난제는 독립 청구항에 기술된 특징을 갖는 전자 부품, 그 전자 부품에 전도성 접속을 형성하는 방법 및 그 전자 부품을 형성하는 방법에 의해 해결된다.
전자 부품은 제 1 전도층, 제 1 전도층 위의 비전도층 및 비전도층 위의 제 2 전도층을 포함한다. 모든 통로를 비전도층을 통해 통과시키는 적어도 하나의 홀이 비전도층에서 형성된다. 홀은 적어도 하나의 나노튜브를 보유하며, 그에 의해 제 1 전도층이 제 2 전도층에 전도성 연결된다.
전자 부품에 전도성 접속을 형성하는 방법에서는, 비전도층이 제 1 전도층 위에 증착된다. 비 전도층을 관통하는 홀이 형성되고, 적어도 하나의 나노튜브가 홀에서 성장한다. 그리고 나서, 제 2 전도층이 증착되어, 제 1 전도층이 나노튜브에 의해 제 2 전도층과 전도성 접속을 이룬다.
전자 부품을 형성하는 방법에서는, 제 1 단계에서 제 1 전도층이 제공된다. 비전도층이 제 1 전도층 위에 증착되고, 예를 들면, 에칭에 의해 비전도층을 관통하는 홀이 형성된다. 적어도 하나의 나노튜브가 홀에서 성장하고 제 2 전도층이 증착되어, 나노튜브에 의해 제 1 전도층과 제 2 전도층이 전도성 접속을 이룬다.
본 발명은 콘택트 홀이 매우 작은 직경과 높은 종횡비를 갖는 경우라도 두 전도층 사이에 신뢰성이 있는 전기 전도성 접속을 형성할 수 있다. 전도층은, 예를 들어, 구리, 알루미늄, 은 등과 같은 금속 전도 물질일 수 있고, 일반적으로 본딩(bonding), 확산 및 반사 방지층을 포함할 수 있으며, 예를 들어, Ti, TiN, Ta, TaN 및/또는 이러한 물질의 조합물을 포함한다. 전기적 비전도층은, 예를 들어, 산화규소 또는 질화규소와 같은 인터메탈 유전체(intermetal dielectric)이거나, 예를 들어, 폴리이미드(polyimide)와 같은 무기 물질로부터 만들어지는 다른 절연층 또는 이들의 바람직한 조합물일 수 있다. 적어도 하나의 나노튜브에 의한 전기 전도성 접속은 이러한 유형의 나노튜브의 직경으로만 제한되며, 카본 나노튜브의 경우, 대략 1.5 나노미터이다.
형성 방법의 특징은 단순성 및 견고성, 즉, 낮은 고장 발생율과 전기적 전도성 접속이 신뢰성있게 형성된다는 것이다.
그러므로, 전자 부품은 매우 정교한 구조, 즉, 작은 콘택트 홀 직경을 갖더라도 용이하고 저렴하게 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 세부 사항은 종속항으로 부터 도출될 것이다.
본 발명의 바람직한 구성에 따르면, 나노튜브는 카본 나노튜브이다.
이러한 유형의 카본 나노튜브는 작은 직경의 콘택트 홀인 경우에도 자기 정합 방식으로 매우 용이하고 신뢰성 있게 형성될 수 있다.
또한, 카본 나노튜브는 같은 크기의 금속성 전도체, 예를 들어, 구리 또는 은과 같은 최상의 금속성 전도체의 전도성을 크게 능가하는 매우 높은 전도성을 갖는다.
두 전도층이 전기적으로 서로 접속되기 위해 다수의 나노튜브, 원칙적으로는 임의의 원하는 수의 나노튜브가 이러한 유형의 콘택트 홀에 존재할 수 있다.
본 발명의 일 구성에 따르면, 바람직하게는 성장된 나노튜브에 대해 촉매 작용하는 금속 입자, 예를 들어, 니켈 및/또는 철, 및/또는 이트륨(yttrium), 및/또는 코발트 및/또는 플래티늄(platinum)을 포함하는 금속 입자를 가진 결정핵형성층(nucleation layer)이, 나노튜브의 성장을 가속화시키기 위해 제 1 전도층 위의 콘택트 홀에 제공된다.
그 홀은 비전도층을 관통하여 에칭될 수 있다.
이하에서 설명되는 실시예는 각각 반도체 소자에 대해 설명하고 있으나, 본 발명이 반도체 소자로만 제한되는 것은 아니며, 소정 층이 반도체 층인지 아닌지와는 상관없이 비전도층에 의해 전기적으로 절연되어 있는 두 개의 전도층이, 서로 전도성 접속을 이루는, 임의의 전자 부품에 사용될 수 있다. 특히, 본 발명은 집적 회로에 사용하기에 적합하다.
<실시예 1>
도 1에는 제 1 실시예에 따른 제 1 반도체 소자(100)가 도시된다.
제 1 반도체 소자(100)는 본딩, 확산 및 반사 방지층을 가지며, 구리 또는 알루미늄을 구비하는 제 1 전도층(101)을 포함하고, 예를 들어,Ti, TiN, Ta, TaN 및/또는 이러한 물질의 조합물을 포함한다. 제 1 실시예에 따라 이산화규소를 포함하는, 인터메탈 유전체를 구비하는 비전도층(102)을 제 1 전도층(101) 위에 증착한다.
비전도층(102)을 에칭하여 콘택트 홀(103)을 형성하고, 결정핵형성층(104)을 콘택트 홀의 하부, 즉, 제 1 전도층(101) 상부에 증착한다.
결정핵형성층(104)은, 예를 들어, 니켈, 철, 이트륨, 코발트 및/또는 플래티늄을 포함하는 촉매 작용의 금속 입자 층이다. 결정핵형성층(104)은 카본 나노튜브의 성장에 대해 촉매작용을 한다.
원칙적으로 임의의 원하는 수의 카본 나노튜브(105)를 결정핵형성층(104)의 상부에 성장시킨다.
일련의 Ti, TiN, Ta, TaN 및/또는 구리 및/또는 알루미늄을 구비하는 제 2 전도층(106)을 비전도층(102) 위에 증착시킴으로서, 카본 나노튜브(105)가 전기적으로 제 2 전도층(106)에 전도 접속된다.
제 1 반도체 소자(100)의 형성에 수반되는 각 방법 단계를 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 상세히 설명한다.
제 1 단계에서, 비전도층(102)을, 예를 들어, 화학적 기상 증착 공정(Chemical Vapor Deposition 공정, CVD 공정)에 의해 제 1 전도층(101) 위에 증착한다(참조, 도 2a).
비전도층(102)의 적절한 마스킹 및 비전도층(102)의 습식 에칭 또는 건식 에칭에 의해, 비전도층(102)을 관통하여 제 1 전도층(101)의 표면까지 에칭되어 홀(콘택트 홀)(103)이 형성된다(참조, 도 2b).
결정핵형성층(104)은 적합한 공정, 예를 들면, CVD 공정에 의해 홀(103)에 증착된다(참조, 도 2c). 결정핵형성층(104)은 0.1 내지 50 나노미터(nm)의 두께를 갖는다.
제 1 실시예에 따른 결정핵형성층(104)은 니켈 금속 입자로부터 형성된다.
다음 단계에서, [2]에 개시된 공정을 사용하여 카본 나노튜브(105)를 홀(103)의 결정핵형성층(104) 위에서 성장시킨다(참조, 도 2d).
카본 나노튜브(105)의 길이는 카본 나노튜브가 결정핵형성층(104) 위에서 성장하는 시간에 의존한다.
카본 나노튜브(105)는 그들이 비전도층(102)의 상단 단부 위로 돌출될 때까지 성장한다.
이러한 경우, 다음 단계에서, CVD 공정 또는 스퍼터링(sputtering) 공정 또는 물리적 증기 증착 공정에 의해 제 2 전도층(106)을 비전도층(102) 위에 증착한다.
카본 나노튜브(105)는 비전도층(102) 위로 돌출되므로, 제 2 전도층(106)내로 곧바로 투입된다. 최종적인 화학 기계 연마법(CMP 공정) 또는 이온 빔 에칭법에 의해 제 2 전도층(106)이 원하는 두께로 제거된다.
이러한 방식으로, 카본 나노튜브(105)가 결정핵형성층(104)을 통해 제 1 전도층(101)과 제 2 전도층(106) 사이에 전기적 전도성 접속을 형성하며, 또한 그 자신도 전도성 금속 입자를 포함한다.
<실시예 2>
도 3은 제 2 실시예에 따른 제 2 반도체 소자(300)의 횡단면도이다.
제 2 실시예의 도면에서 제 1 실시예의 소자와 동일한 소자는 제 1 실시예에서의 소자와 동일한 참조 기호로 표시된다.
제 2 반도체 소자(300)는, 기본적으로 제 1 반도체 소자(100)와 같은 구조를 갖되, 제 2 실시예에 따른 결정핵형성층(301)이 홀(103)의 기저(base) 뿐 아니라 제 1 전도층(101) 전체에 걸쳐 확장된다는 점이 다르다.
제 2 실시예에 따른 개별적 층들은 제 1 실시예에 따른 대응 층과 동일한 물질을 포함한다.
도 4a 내지 도 4c를 참조하여, 제 2 반도체 소자(300)의 형성에 수반되는 개별적 방법 단계에 대해 더욱 상세히 설명한다.
우선, 금속 입자(니켈, 철, 이트륨 및/또는 코발트)를 포함하는 결정핵형성층(301)을 제 1 전도층(101) 위에 증착한다. 결정핵형성층(301)은, 적절한 CVD 공정, 스퍼터링 공정 또는 물리적 증기 증착 공정에 의해, 제 1 전도층(101)의 전체 표면 위에 증착된다. 결정핵형성층(301)은 0.1 내지 50 나노미터의 두께를 갖는다.
비전도층(102)을, 예를 들어, CVD 공정에 의해 결정핵형성층(301) 위에 증착한다(참조, 도 4a).
도 4b에 도시된 바와 같이, 비전도층(102)을 결정핵형성층(301)의 표면에까지 에칭하여 홀(103)을 형성한 후, [2]에 개시된 공정에 의해 카본 나노튜브(105)가 결정핵형성층(301)에서 성장시킨다.
카본 나노튜브(105)는 그 길이가 비전도층(102)의 표면 위로 충분히 돌출될 때까지 계속 성장한다(참조, 도 4c).
다음 단계에서, 제 2 전도층(106)을 CVD 공정에 의해 비전도층(102) 위에 증착한다.
다시, 콘택트 홀을 통해 두 전도층 사이의 카본 나노튜브에 의해 형성된 전기적 전도성 접속을 갖는 반도체 소자가 형성된다.
<실시예 3>
도 5는 제 3 실시예에 따른 제 3 반도체 소자(500)를 나타낸다.
반도체 소자의 동일한 소자에는 동일한 참조 기호가 부여된다.
제 3 반도체 소자(500)는 비전도층(102)이 에칭되어 트렌치(501)가 형성되고, 그에 따라, 카본 나노튜브(105)가 비전도층(102)의 표면 위가 아닌 트렌치(501)의 기저 위로 돌출된다는 점에 있어서만 실질적으로 제 2 반도체 소자(300)와 다르다.
제 3 반도체 소자(500)의 개개의 층은 제 1 반도체 소자(100) 및 제 2 반도체 소자(300)와 동일 물질을 포함한다.
제 3 반도체 소자(500)를 형성하는데 사용되는 방법을 도 6a 내지 6e를 참조하여 상세히 설명한다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 적합한 CVD 공정, 스퍼터링 공정 또는 물리적 증기 증착 공정에 의해, 결정핵형성층(301)을 0.1 내지 50 나노미터의 두께로 제 1 전도 층(101) 위에 증착한다. 비전도층(102)을 CVD 공정에 의해 결정핵형성층(301) 위에 증착한다.
비전도층(102)을 결정핵형성층(301)의 표면까지 에칭하여 홀(103)을 형성한다(참조, 도 6b).
또한, 건식 에칭 또는 습식 에칭에 의해 비전도층(102)이 에칭되어 트렌치(501)가 형성된다(참조, 도 6c).
다음 단계에서, 카본 나노튜브(105)를 전체적으로 비전도층(102)의 위가 아닌 트렌치(501)의 하부 표면 위로 돌출될 정도의 길이가 되도록 결정핵형성층(301)위에 성장시킨다(참조, 도 6d).
도 6e에 도시된 바와 같이, 다음 방법 단계에서, 제 2 전도층(106)을 CVD 공정에 의해 트렌치(501) 내 및 비전도층(102)의 위에 증착한다.
제 2 전도층(106)은 적합한 에칭 공정, 화학 기계적 연마 공정에 의해 또는 이온 빔 에칭에 의해 원하는 두께로 감소되며, 그에 따라 제 2 전도층(106)의 표면은 비전도층(102)의 표면과 동일 평면 상에 놓일 수 있게 된다.
전술한 실시예에 대한 여러 선택 방안이 이하에서 설명된다.
CVD 공정은 일산화탄소(CO), 메탄(CH4) 또는 아세틸렌(C2H2)을 사용하는 CVD공정이거나 플라즈마 확장 CVD 공정일 수 있다.
또한, 카본 나노튜브(105)가 비전도층의 표면 위 또는 트렌치(501)의 하부 표면 위로 돌출되는 것이 필수적인 것은 아니다. 선택적으로, 카본 나노튜브(105)는 (이온 빔 에칭 중에 이온이 콘택트 홀을 심각하게 관통할 수 없을 정도의) 소정 경사각으로 이온 빔 에칭 또는 화학적 기계 연마하여 필요한 길이로 될 수 있다. 즉, 카본 나노튜브(105)는 적어도 제 2 전도층(106)과 접촉할 수 있을 정도의 길이로 될 수 있다.
만일 카본 나노튜브(105)의 일부가 제 2 전도층 위로 돌출되면, 그들은 애싱(ashing) 공정에 의해 제거될 수 있는데, 이 공정은 금속 에칭을 위해 레지스트 마스크를 이용하는 경우에 필요하다. 또한, 카본 나노튜브는 예를 들어, 유기 물질을 패턴닝하는데 사용되는 것과 같은, 비등방성 플라즈마 에칭 공정에 의해 필요한 길이로 될 수 있다.
본 발명은 3층 구조로 제한되는 것은 아니다. 반도체 소자는 임의의 원하는 반도체 구조에 이용될 수 있다. 즉, 반도체 소자의 두 개의 전도층 사이에 콘택트를 형성하기 위해, 상당히 많은 층을 포함하는 소정 반도체 소자의 부분적인 반도체 소자를 형성할 수 있다.
명백히, 본 발명은 반도체 소자에 있어서 소정의 비전도층에 의해 서로 전기적으로 분리되어 있는 두 개의 전기적 전도층이 카본 나노튜브에 의해 콘택트 홀을 통해 서로 전기적으로 전도 접속된다는 특징이 있다. 이러한 방식에 의해, 기존의 반도체 소자에 대한 표준 형성 공정에 약간의 변형을 가하여 고도의 안정성을 갖는 반도체 소자를 얻을 수 있다.
또한, 콘택트 홀을 통해 형성된 콘택트는 대략 1000에 달하는 높은 종횡비를 이룰 수 있다.
선택적으로, 본 발명의 문맥에 있어서, CVD 공정 대신에 스퍼터링 공정 또는 물리적 증기 증착 공정이 용이하게 사용될 수 있다.
다음의 문헌이 본 출원에서 인용되었다.
[1] C. Dekker, Carbon Nanotubes as Molecular Quantum Wires, Physics Today, pp. 22-28, May 1999.
[2] Jung Sang Suh and Jin Seung Lee, Highly Ordered Two-Dimensonal Carbon Nanotubes Areas, Applied Physics Letters, Vol. 75, No. 14, pp. 2047-2049, October 1999.
Claims (21)
- 제 1 전도층,상기 제 1 전도 층 위의 비전도층,상기 비전도층 위의 제 2 전도층,상기 비전도층을 관통하는 적어도 하나의 홀,상기 홀에서 성장하여, 상기 제 1 전도층을 상기 제 2 전도층과 전도성 접속시키는 적어도 하나의 나노튜브를 포함하는전자 부품.
- 제 1 항에 있어서,상기 나노튜브가 카본 나노튜브인전자 부품.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,다수의 나노튜브가 상기 홀 내에 마련되어, 각각 상기 제 1 전도층을 상기 제 2 전도층과 전도성 접속시키는데 이용되는전자 부품.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 전도층 위에 상기 나노튜브가 성장할 수 있는 결정핵형성층을 갖는전자 부품.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 결정핵형성층이 상기 나노튜브의 성장에 있어서 촉매작용하는 금속 입자를 갖는전자 부품.
- 제 5 항에 있어서,상기 금속 입자는 니켈, 및/또는 철, 및/또는 이트륨, 및/또는 코발트, 및/또는 플래티늄 중에서 적어도 하나를 포함하는전자 부품.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 비전도층이 인터메탈 유전체를 포함하는전자 부품.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 전도층 및/또는 상기 제 2 전도층이 금속 또는 각종 금속의 조합을 포함하는전자 부품.
- 제 8 항에 있어서,상기 제 1 전도층 및/또는 상기 제 2 전도층이 구리 및/또는 알루미늄 및/또는 Ta, TaN, Ti, TiN의 조합물을 포함하는전자 부품.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 전자 부품은 반도체 부품인전자 부품.
- 전자 부품에서 전도성 접속을 형성하는 방법에 있어서,비전도층을 제 1 전도층 위에 증착하는 단계,상기 비전도층을 관통하여 홀을 형성하는 단계,적어도 하나의 나노튜브를 상기 홀 내에 성장시키는 단계,제 2 전도층을 증착하여, 상기 제 1 전도층이 상기 나노튜브에 의해 상기 제 2 전도층에 전도적으로 접속되게 하는 단계를 포함하는전도성 접속 형성 방법.
- 전자 부품을 형성하는 방법에 있어서,제 1 전도층을 제공하는 단계,비전도층을 상기 제 1 전도층 위에 증착하는 단계,상기 비전도층을 관통하여 홀을 형성하는 단계,적어도 하나의 나노튜브를 상기 홀 내에서 성장시키는 단계,제 2 전도층을 증착하여, 상기 제 1 전도층이 상기 나노튜브에 의해 상기 제 2 전도층에 전도적으로 접속되게 하는 단계를 포함하는전자 부품 형성 방법.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 홀은 상기 비전도층을 관통하여 에칭되는전자 부품 형성 방법.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,사용된 상기 나노튜브가 카본 나노튜브인전자 부품 형성 방법.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,다수의 나노튜브는 상기 홀 내에서 성장하고, 각각의 나노튜브는 상기 제 1 전도층을 상기 제 2 전도층에 전도적으로 접속시키는전자 부품 형성 방법.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,적어도 상기 홀 영역 내에서 결정핵형성층이 상기 제 1 전도층에 제공되고,상기 나노튜브가 상기 홀 내의 상기 결정핵형성층 상에서 성장하는전자 부품 형성 방법.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 나노튜브의 성장을 위한 결정핵형성층 용으로 촉매 작용의 금속 입자가 사용되는전자 부품 형성 방법.
- 제 17 항에 있어서,이용된 상기 금속 입자는 니켈, 및/또는 철, 및/또는 이트륨, 및/또는 코발트, 및/또는 플래티늄 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는전자 부품 형성 방법.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,인터메탈 유전체가 상기 비전도층용으로 사용되는전자 부품 형성 방법.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,금속이 상기 제 1 및/또는 상기 제 2 전도층용으로 사용되는전자 부품 형성 방법.
- 제 20 항에 있어서,구리 및/또는 알루미늄 및/또는 Ta, TaN, Ti, TiN의 조합물이 상기 제 1 전도층 및/또는 상기 제 2 전도층 용으로 사용되는전자 부품 형성 방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10006964A DE10006964C2 (de) | 2000-02-16 | 2000-02-16 | Elektronisches Bauelement mit einer leitenden Verbindung zwischen zwei leitenden Schichten und Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauelements |
DE10006964.9 | 2000-02-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20020079854A KR20020079854A (ko) | 2002-10-19 |
KR100494248B1 true KR100494248B1 (ko) | 2005-06-13 |
Family
ID=7631134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2002-7010550A KR100494248B1 (ko) | 2000-02-16 | 2001-02-02 | 전자 부품, 전도성 접속 형성 방법 및 전자 부품 형성 방법 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7321097B2 (ko) |
EP (1) | EP1264344A1 (ko) |
JP (1) | JP4549002B2 (ko) |
KR (1) | KR100494248B1 (ko) |
DE (1) | DE10006964C2 (ko) |
TW (1) | TW503482B (ko) |
WO (1) | WO2001061753A1 (ko) |
Families Citing this family (100)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7084507B2 (en) | 2001-05-02 | 2006-08-01 | Fujitsu Limited | Integrated circuit device and method of producing the same |
JP2002341060A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Seiko Instruments Inc | 複合電気部品、地板構造体及びこれを用いた電子時計 |
US6919592B2 (en) | 2001-07-25 | 2005-07-19 | Nantero, Inc. | Electromechanical memory array using nanotube ribbons and method for making same |
DE10144704B4 (de) * | 2001-09-11 | 2007-10-04 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Verbinden eines Bauelements mit einem Träger |
US8062702B2 (en) * | 2001-11-20 | 2011-11-22 | William Marsh Rice University | Coated fullerenes, composites and dielectrics made therefrom |
US6921462B2 (en) * | 2001-12-17 | 2005-07-26 | Intel Corporation | Method and apparatus for producing aligned carbon nanotube thermal interface structure |
SE0200868D0 (sv) * | 2002-03-20 | 2002-03-20 | Chalmers Technology Licensing | Theoretical model för a nanorelay and same relay |
DE10220194A1 (de) * | 2002-05-06 | 2003-11-27 | Infineon Technologies Ag | Kontaktierung von Nanoröhren |
US20030211724A1 (en) * | 2002-05-10 | 2003-11-13 | Texas Instruments Incorporated | Providing electrical conductivity between an active region and a conductive layer in a semiconductor device using carbon nanotubes |
US6891724B2 (en) * | 2002-06-12 | 2005-05-10 | Intel Corporation | Increasing thermal conductivity of thermal interface using carbon nanotubes and CVD |
US7507987B2 (en) * | 2002-10-11 | 2009-03-24 | Massachusetts Institute Of Technology | Method of making packets of nanostructures |
DE10250868B8 (de) | 2002-10-31 | 2008-06-26 | Qimonda Ag | Vertikal integrierter Feldeffekttransistor, Feldeffekttransistor-Anordnung und Verfahren zum Herstellen eines vertikal integrierten Feldeffekttransistors |
AU2003304249A1 (en) * | 2002-11-19 | 2005-01-13 | William Marsh Rice University | Method for creating a functional interface between a nanoparticle, nanotube or nanowire, and a biological molecule or system |
EP1563530A4 (en) * | 2002-11-19 | 2009-04-29 | Univ Rice William M | FABRICATION OF FULLERENES COATED WITH LUMINESCENT FILM AND THEIR APPLICATION IN THE FIELD OF LUMINESCENCE IN VIVO |
CN1720606A (zh) * | 2002-11-29 | 2006-01-11 | 日本电气株式会社 | 半导体器件及其制造方法 |
US7656027B2 (en) * | 2003-01-24 | 2010-02-02 | Nanoconduction, Inc. | In-chip structures and methods for removing heat from integrated circuits |
US7316061B2 (en) * | 2003-02-03 | 2008-01-08 | Intel Corporation | Packaging of integrated circuits with carbon nano-tube arrays to enhance heat dissipation through a thermal interface |
WO2004072334A2 (en) * | 2003-02-12 | 2004-08-26 | Nantero, Inc. | Nanofabric articles and methods of making the same |
DE10307815B3 (de) * | 2003-02-24 | 2004-11-11 | Infineon Technologies Ag | Integriertes elektronisches Bauelement mit gezielt erzeugten Nanoröhren in vertikalen Strukturen und dessen Herstellungsverfahren |
JP4454242B2 (ja) * | 2003-03-25 | 2010-04-21 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置およびその製造方法 |
KR100982419B1 (ko) * | 2003-05-01 | 2010-09-15 | 삼성전자주식회사 | 탄소나노튜브를 이용한 반도체 소자의 배선 형성 방법 및이 방법에 의해 제조된 반도체 소자 |
DE10324377A1 (de) * | 2003-05-28 | 2005-01-05 | Infineon Technologies Ag | Wärmeableiteinrichtung, deren Verwendung und Halbleiterbauelementeanordnung |
US7168484B2 (en) * | 2003-06-30 | 2007-01-30 | Intel Corporation | Thermal interface apparatus, systems, and methods |
JP2005041835A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Fuji Xerox Co Ltd | カーボンナノチューブ構造体、その製造方法、カーボンナノチューブ転写体および溶液 |
JP4689218B2 (ja) * | 2003-09-12 | 2011-05-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
DE10351230B3 (de) * | 2003-11-03 | 2005-03-10 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Abscheidung eines Katalysators |
DE10359424B4 (de) * | 2003-12-17 | 2007-08-02 | Infineon Technologies Ag | Umverdrahtungsplatte für Halbleiterbauteile mit engem Anschlussraster und Verfahren zur Herstellung derselben |
AU2003301031A1 (en) | 2003-12-18 | 2005-08-03 | International Business Machines Corporation | Carbon nanotube conductor for trench capacitors |
US7180174B2 (en) * | 2003-12-30 | 2007-02-20 | Intel Corporation | Nanotube modified solder thermal intermediate structure, systems, and methods |
US7456052B2 (en) * | 2003-12-30 | 2008-11-25 | Intel Corporation | Thermal intermediate apparatus, systems, and methods |
US7135773B2 (en) * | 2004-02-26 | 2006-11-14 | International Business Machines Corporation | Integrated circuit chip utilizing carbon nanotube composite interconnection vias |
US20060086994A1 (en) | 2004-05-14 | 2006-04-27 | Susanne Viefers | Nanoelectromechanical components |
DE102004031128A1 (de) * | 2004-06-28 | 2006-01-19 | Infineon Technologies Ag | Elektrischer Schaltkreis mit einer Kohlenstoff-Leiterstruktur und Verfahren zum Herstellen einer Kohlenstoff-Leiterstruktur eines elektrischen Schaltkreises |
DE102004035368B4 (de) * | 2004-07-21 | 2007-10-18 | Infineon Technologies Ag | Substrat mit Leiterbahnen und Herstellung der Leiterbahnen auf Substraten für Halbleiterbauteile |
KR100689813B1 (ko) | 2004-09-08 | 2007-03-08 | 삼성전자주식회사 | 탄소나노튜브를 가진 반도체 메모리 장치 및 이의 제조 방법 |
US20080020499A1 (en) * | 2004-09-10 | 2008-01-24 | Dong-Wook Kim | Nanotube assembly including protective layer and method for making the same |
US7943418B2 (en) * | 2004-09-16 | 2011-05-17 | Etamota Corporation | Removing undesirable nanotubes during nanotube device fabrication |
US7776307B2 (en) * | 2004-09-16 | 2010-08-17 | Etamota Corporation | Concentric gate nanotube transistor devices |
US7345296B2 (en) | 2004-09-16 | 2008-03-18 | Atomate Corporation | Nanotube transistor and rectifying devices |
US7462890B1 (en) | 2004-09-16 | 2008-12-09 | Atomate Corporation | Nanotube transistor integrated circuit layout |
JP2006108210A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Fujitsu Ltd | 配線接続構造およびその形成方法 |
JP4167212B2 (ja) | 2004-10-05 | 2008-10-15 | 富士通株式会社 | カーボンナノチューブ構造体、半導体装置、および半導体パッケージ |
JP2006120730A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Fujitsu Ltd | 層間配線に多層カーボンナノチューブを用いる配線構造及びその製造方法 |
JP2006148063A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-06-08 | Renesas Technology Corp | 配線構造、半導体装置、mramおよび半導体装置の製造方法 |
US20100065820A1 (en) * | 2005-02-14 | 2010-03-18 | Atomate Corporation | Nanotube Device Having Nanotubes with Multiple Characteristics |
US7271079B2 (en) * | 2005-04-06 | 2007-09-18 | International Business Machines Corporation | Method of doping a gate electrode of a field effect transistor |
KR100707190B1 (ko) * | 2005-05-07 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 나노 와이어를 포함하는 상변환 메모리 소자 및 그 제조방법 |
KR100645064B1 (ko) * | 2005-05-23 | 2006-11-10 | 삼성전자주식회사 | 금속 산화물 저항 기억소자 및 그 제조방법 |
JP5009511B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2012-08-22 | 富士通株式会社 | 電気的接続構造、その製造方法および半導体集積回路装置 |
US20060281306A1 (en) * | 2005-06-08 | 2006-12-14 | Florian Gstrein | Carbon nanotube interconnect contacts |
WO2007002297A2 (en) | 2005-06-24 | 2007-01-04 | Crafts Douglas E | Temporary planar electrical contact device and method using vertically-compressible nanotube contact structures |
US20070105356A1 (en) * | 2005-11-10 | 2007-05-10 | Wei Wu | Method of controlling nanowire growth and device with controlled-growth nanowire |
CN1964028B (zh) * | 2005-11-11 | 2010-08-18 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 散热器 |
US7990037B2 (en) | 2005-11-28 | 2011-08-02 | Megica Corporation | Carbon nanotube circuit component structure |
US7625817B2 (en) * | 2005-12-30 | 2009-12-01 | Intel Corporation | Method of fabricating a carbon nanotube interconnect structures |
KR100721020B1 (ko) * | 2006-01-20 | 2007-05-23 | 삼성전자주식회사 | 콘택 구조체를 포함하는 반도체 소자 및 그 형성 방법 |
JP2007268692A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujitsu Ltd | カーボンナノチューブ連結体及びその製造方法、並びに、標的検出素子及び標的検出方法 |
KR100822799B1 (ko) | 2006-04-25 | 2008-04-17 | 삼성전자주식회사 | 나노크기의 도전성 구조물을 위한 선택적인 촉매 형성 방법및 선택적인 나노크기의 도전성 구조물 형성 방법 |
KR101322310B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-10-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전기발광소자 및 그 제조방법 |
US8354855B2 (en) * | 2006-10-16 | 2013-01-15 | Formfactor, Inc. | Carbon nanotube columns and methods of making and using carbon nanotube columns as probes |
US8130007B2 (en) | 2006-10-16 | 2012-03-06 | Formfactor, Inc. | Probe card assembly with carbon nanotube probes having a spring mechanism therein |
CA2666815C (en) * | 2006-10-17 | 2013-05-28 | Purdue Research Foundation | Electrothermal interface material enhancer |
KR100874912B1 (ko) * | 2006-12-06 | 2008-12-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조방법 |
FR2910706B1 (fr) | 2006-12-21 | 2009-03-20 | Commissariat Energie Atomique | Element d'interconnexion a base de nanotubes de carbone |
US8168495B1 (en) | 2006-12-29 | 2012-05-01 | Etamota Corporation | Carbon nanotube high frequency transistor technology |
DE102007006175A1 (de) | 2007-02-07 | 2008-08-14 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Wärmeleitfähige Schicht und Verfahren zur Herstellung einer wärmeleitfähigen Schicht |
KR100827524B1 (ko) * | 2007-04-06 | 2008-05-06 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조 방법 |
US20080272361A1 (en) * | 2007-05-02 | 2008-11-06 | Atomate Corporation | High Density Nanotube Devices |
FR2917893B1 (fr) | 2007-06-22 | 2009-08-28 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'une connexion electrique a base de nanotubes de carbone |
FR2919111B1 (fr) | 2007-07-17 | 2009-10-09 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'une connexion electrique a base de nanotubes et ayant des cavites d'air |
US8149007B2 (en) * | 2007-10-13 | 2012-04-03 | Formfactor, Inc. | Carbon nanotube spring contact structures with mechanical and electrical components |
US8919428B2 (en) * | 2007-10-17 | 2014-12-30 | Purdue Research Foundation | Methods for attaching carbon nanotubes to a carbon substrate |
US8283786B2 (en) * | 2007-12-21 | 2012-10-09 | Advanced Micro Devices, Inc. | Integrated circuit system with contact integration |
WO2009088882A2 (en) * | 2007-12-31 | 2009-07-16 | Atomate Corporation | Edge-contacted vertical carbon nanotube transistor |
US8110476B2 (en) | 2008-04-11 | 2012-02-07 | Sandisk 3D Llc | Memory cell that includes a carbon-based memory element and methods of forming the same |
WO2009151397A1 (en) * | 2008-06-13 | 2009-12-17 | Qunano Ab | Nanostructured mos capacitor |
US7858506B2 (en) | 2008-06-18 | 2010-12-28 | Micron Technology, Inc. | Diodes, and methods of forming diodes |
US8039380B2 (en) | 2008-06-27 | 2011-10-18 | Commissariat A L'energie Atomique | Procedure for obtaining nanotube layers of carbon with conductor or semiconductor substrate |
FR2933106B1 (fr) | 2008-06-27 | 2010-12-24 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'obtention de tapis de nanotubes de carbone sur substat conducteur ou semi-conducteur |
KR100997788B1 (ko) * | 2008-06-30 | 2010-12-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 패키지 |
US8557685B2 (en) | 2008-08-07 | 2013-10-15 | Sandisk 3D Llc | Memory cell that includes a carbon-based memory element and methods of forming the same |
US9494615B2 (en) * | 2008-11-24 | 2016-11-15 | Massachusetts Institute Of Technology | Method of making and assembling capsulated nanostructures |
US7943989B2 (en) * | 2008-12-31 | 2011-05-17 | Alpha And Omega Semiconductor Incorporated | Nano-tube MOSFET technology and devices |
US9508805B2 (en) | 2008-12-31 | 2016-11-29 | Alpha And Omega Semiconductor Incorporated | Termination design for nanotube MOSFET |
JP5423029B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2014-02-19 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US8541058B2 (en) * | 2009-03-06 | 2013-09-24 | Timothy S. Fisher | Palladium thiolate bonding of carbon nanotubes |
US20100252317A1 (en) * | 2009-04-03 | 2010-10-07 | Formfactor, Inc. | Carbon nanotube contact structures for use with semiconductor dies and other electronic devices |
US8272124B2 (en) * | 2009-04-03 | 2012-09-25 | Formfactor, Inc. | Anchoring carbon nanotube columns |
US8299494B2 (en) | 2009-06-12 | 2012-10-30 | Alpha & Omega Semiconductor, Inc. | Nanotube semiconductor devices |
US7910486B2 (en) * | 2009-06-12 | 2011-03-22 | Alpha & Omega Semiconductor, Inc. | Method for forming nanotube semiconductor devices |
US7892924B1 (en) * | 2009-12-02 | 2011-02-22 | Alpha And Omega Semiconductor, Inc. | Method for making a charge balanced multi-nano shell drift region for superjunction semiconductor device |
KR101015507B1 (ko) * | 2010-01-25 | 2011-02-22 | 삼성전자주식회사 | 탄소나노튜브를 이용한 반도체 소자의 배선 형성 방법 및 이 방법에 의해 제조된 반도체 소자 |
US8946903B2 (en) | 2010-07-09 | 2015-02-03 | Micron Technology, Inc. | Electrically conductive laminate structure containing graphene region |
US8872176B2 (en) | 2010-10-06 | 2014-10-28 | Formfactor, Inc. | Elastic encapsulated carbon nanotube based electrical contacts |
CN102468220B (zh) * | 2010-11-08 | 2013-12-25 | 中国科学院微电子研究所 | 一种金属互连结构及其形成方法 |
JP5813682B2 (ja) * | 2013-03-08 | 2015-11-17 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
US9406888B2 (en) | 2013-08-07 | 2016-08-02 | GlobalFoundries, Inc. | Carbon nanotube device |
US9391023B2 (en) * | 2014-02-14 | 2016-07-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Method for producing salicide and a carbon nanotube metal contact |
US10002826B2 (en) * | 2014-10-27 | 2018-06-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Semiconductor device structure with conductive pillar and conductive line and method for forming the same |
KR101728986B1 (ko) | 2016-07-18 | 2017-04-20 | 박달수 | 간에 이로운 한약재 추출물을 이용한 식품 제조방법 및 그 식품 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5192835A (en) * | 1990-10-09 | 1993-03-09 | Eastman Kodak Company | Bonding of solid state device to terminal board |
US5698496A (en) * | 1995-02-10 | 1997-12-16 | Lucent Technologies Inc. | Method for making an anisotropically conductive composite medium |
US5712607A (en) * | 1996-04-12 | 1998-01-27 | Dittmer; Timothy W. | Air-dielectric stripline |
US5818700A (en) * | 1996-09-24 | 1998-10-06 | Texas Instruments Incorporated | Microelectronic assemblies including Z-axis conductive films |
JP3740295B2 (ja) | 1997-10-30 | 2006-02-01 | キヤノン株式会社 | カーボンナノチューブデバイス、その製造方法及び電子放出素子 |
JP3363759B2 (ja) | 1997-11-07 | 2003-01-08 | キヤノン株式会社 | カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法 |
US6730541B2 (en) | 1997-11-20 | 2004-05-04 | Texas Instruments Incorporated | Wafer-scale assembly of chip-size packages |
KR19990043770A (ko) * | 1997-11-29 | 1999-06-15 | 정선종 | 탄소 나노튜브를 이용한 전계 방출 소자의 제조 방법 |
US6870263B1 (en) | 1998-03-31 | 2005-03-22 | Infineon Technologies Ag | Device interconnection |
JP3955386B2 (ja) | 1998-04-09 | 2007-08-08 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US6297063B1 (en) * | 1999-10-25 | 2001-10-02 | Agere Systems Guardian Corp. | In-situ nano-interconnected circuit devices and method for making the same |
US7335603B2 (en) * | 2000-02-07 | 2008-02-26 | Vladimir Mancevski | System and method for fabricating logic devices comprising carbon nanotube transistors |
-
2000
- 2000-02-16 DE DE10006964A patent/DE10006964C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-02-02 WO PCT/DE2001/000419 patent/WO2001061753A1/de active IP Right Grant
- 2001-02-02 EP EP01909557A patent/EP1264344A1/de not_active Ceased
- 2001-02-02 US US10/204,180 patent/US7321097B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-02-02 JP JP2001560448A patent/JP4549002B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-02-02 KR KR10-2002-7010550A patent/KR100494248B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-02-15 TW TW090103370A patent/TW503482B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4549002B2 (ja) | 2010-09-22 |
TW503482B (en) | 2002-09-21 |
DE10006964A1 (de) | 2001-09-13 |
US20030179559A1 (en) | 2003-09-25 |
US7321097B2 (en) | 2008-01-22 |
JP2003523608A (ja) | 2003-08-05 |
EP1264344A1 (de) | 2002-12-11 |
DE10006964C2 (de) | 2002-01-31 |
KR20020079854A (ko) | 2002-10-19 |
WO2001061753A1 (de) | 2001-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100494248B1 (ko) | 전자 부품, 전도성 접속 형성 방법 및 전자 부품 형성 방법 | |
US7575693B2 (en) | Method of aligning nanotubes and wires with an etched feature | |
EP1975999B1 (en) | Method of manufacturing an electronic device comprising carbon nanotube vias | |
KR101638463B1 (ko) | 나노구조 프로세싱을 위한 도전성 보조층의 증착과 선택적 제거 | |
US20100270675A1 (en) | Semiconductor device having damascene interconnection structure that prevents void formation between interconnections having transparent dielectric substrate | |
US20070085213A1 (en) | Selective electroless-plated copper metallization | |
US7250366B2 (en) | Carbon nanotubes with controlled diameter, length, and metallic contacts | |
US20100264544A1 (en) | Device including contact structure and method of forming the same | |
CN102171797A (zh) | 用于改进的间隙填充、可靠性以及减小的电容的双金属互连 | |
US7638423B2 (en) | Semiconductor device and method of forming wires of semiconductor device | |
US9269586B2 (en) | Selective metal deposition over dielectric layers | |
WO1999027571A1 (en) | Unlanded via structure and method for making same | |
US6086777A (en) | Tantalum barrier metal removal by using CF4 /o2 plasma dry etch | |
KR100419021B1 (ko) | 반도체소자의 구리 배선 제조방법 | |
US6376357B1 (en) | Method for manufacturing a semiconductor device with voids in the insulation film between wirings | |
CN100459098C (zh) | 铅直结构中具特制纳米管的集成电子组件及其制造方法 | |
US6475913B1 (en) | Method for forming damascene type of metal wires in semiconductor devices | |
JP3924501B2 (ja) | 集積回路装置の製造方法 | |
KR100283107B1 (ko) | 반도체 소자의 구리배선 형성방법 | |
TWI322484B (en) | Oblique recess for interconnecting conductors in a semiconductor device | |
KR960004078B1 (ko) | 금속박막 적층구조를 사용한 콘택 형성방법 | |
KR100396687B1 (ko) | 반도채장치의금속배선형성방법 | |
EP1608013B1 (en) | Method of formation of airgaps around interconnecting line | |
KR19990017092A (ko) | 반도체 소자의 초미세 콘택 형성 방법 | |
KR20040002012A (ko) | 반도체 소자의 금속배선 형성방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130523 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140522 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150521 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |