KR100491020B1 - 평면표시소자의 제조방법 - Google Patents

평면표시소자의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대향 배치된 한쌍의 기판을 갖는 평면표시소자의 제조방법에 관한 것으로서, 평면표시소자의 제조방법에 있어서 한쌍의 기판에 전극패턴을 각각 형성하고, 기판의 한쪽에 전극패턴의 주위를 둘러싸는 제품 시일과, 공기배출구를 갖고 이 제품 시일의 외측을 포위한 외부둘레 시일을 형성하고, 공기배출구 영역의 갭을 유지하는 갭 유지부재를 제품 시일의 외측에서 공기배출구 근방에 형성하고, 제품 시일 및 외부둘레 시일을 통하여 한쌍의 기판을 서로 붙이는 접합 후, 기판을 가압하여 기판 사이의 여분의 공기를 상기 공기배출구로부터 배출하고, 서로 붙여진 기판의 적어도 한쪽의 상기 공기배출구에 인접한 측면 가장자리부를 상기 외부둘레 시일 외측에서 절단하고, 공기배출구를 밀봉제에 의해 밀봉한 후, 적어도 한쪽 기판의 외면을 연마하는 것을 특징으로 한다.

Description

평면표시소자의 제조방법{METHOD OF MANUFACTURING FLAT DISPLAY ELEMENT}
본 발명은 대향 배치된 한쌍의 기판을 갖는 평면표시소자의 제조방법에 관한 것이다.
평면표시소자로서 각각 유리기판 등으로 이루어져 대향 배치된 한쌍의 기판과, 이들 기판 간의 간격에 밀봉된 액정층 등의 광변조층을 구비한 평면표시소자가 알려져 있다. 이러한 평면표시소자는 박형 및 경량이기 때문에 다양한 분야에서 널리 이용되고 있다. 최근, 이러한 평면표시소자의 한층 박형 및 경량화가 요구되고 있다. 평면표시소자의 박형 경량화는 기판의 두께를 얇게 하는 것으로 실현 가능하다.
이 목적으로 기판으로서 종래보다도 얇은 유리기판을 사용하여 이 얇은 유리기판 상에 스위칭소자나 화소전극 또는 대향전극 등을 형성하는 구성을 고려할 수 있다. 그러나, 이 경우, 각종 제조설비에서의 스테이지의 높이를 유리기판의 두께에 따라서 조정하지 않으면 안되어 제조설비의 개선을 필요로 한다. 그 때문에 제조비용 상승을 초래하고 있었다. 또한, 얇은 유리기판은 취급이 어렵다. 유리기판이 얇아질수록 휘어짐이나 굴곡량, 온도에 대한 유리기판의 변형이 증대하여 평면표시소자의 생산성을 저하시킨다.
또한, 크기가 큰 임의의 얇은 유리기판을 얻는 것은 곤란하며, 원하는 바와 같은 얇은 유리판을 얻고자 하면 원가상승이 야기된다. 또, 크기가 큰 유리기판은 제조공정에 있어서 각 제조설비 사이에서 반송하는 동안 변형이 크고, 제조설비와 접촉하는 것 등으로 유리기판에 클럭이나 흠 등이 생기게 되어 제조생산성을 현저하게 저하시킨다. 이 때문에 유리기판의 박판화나 머더유리의 크기 확대에 한계가 생기고 있었다.
그래서, 원가상승을 생기게 하는 일 없이 또 높은 제조생산성으로 기판의 박형 경량화를 얻기 위해서 일본 특허공개공보 2001-13489에 개시되어 있는 바와 같이, 종래 두께의 유리기판 상에 스위칭소자나 화소전극 또는 대향전극 등을 형성하여 이루어지는 한쌍의 전극기판을 대향 배치하여 표시셀을 형성한 후, 유리기판의 외면을 기계연마(메카니컬에칭) 또는 화학연마(케미컬에칭)하여 유리기판을 박판화한 평면표시소자가 개발되고 있다. 이러한 평면표시소자를 예를 들면 멀티제법에 의해 제조하는 경우, 복수의 전극패턴 및 각 전극패턴을 둘러싸는 제품 시일이 형성된 머더유리와, 복수의 전극패턴이 형성된 다른 머더유리를 준비한다. 또, 한쪽 머더유리에는 그 둘레가장자리를 따라서 연장된 외부둘레 시일을 형성한다. 각 제품 시일에는 액정주입구를, 또 외부둘레 시일에는 공기배출구를 각각 형성하여 둔다. 이들 한쌍의 머더유리를 외부둘레 시일 및 제품 시일에 의해 서로 붙인다. 이어서, 머더유리를 가압하여 공기배출구로부터 공기를 뺀 후, 한쌍의 머더유리를 평행하게 유지한 상태에서 공기배출구에서 밀봉제를 빨아들여 공기배출구를 밀봉한다. 그 후, 양쪽 머더유리의 외면을 연마하였다.
그러나, 종래의 제조방법에 있어서는 한쌍의 머더유리를 서로 붙여, 가압하여 공기 배출을 하였을 때, 공기배출구 부분에서 양쪽 머더유리 사이의 갭이 과도하게 좁아지게 된다. 그 결과, 공기배출구에서 밀봉제를 빨아들이게 할 수 없는 경우가 발생할 우려가 있었다. 공기배출구를 밀봉제로 완전하게 밀봉하지 않은 상태 그대로 머더유리의 외면을 연마한 경우, 공기배출구로부터 머더유리 사이에 연마제 또는 에칭액 등이 침입하게 된다. 특히, 화학연마인 경우 침입한 에칭액이 머더유리의 내면도 에칭하게 되고, 에칭액이 침입한 영역의 유리기판 두께가 극히 얇게 된다. 그 결과, 유리기판의 균열이나 결함이 생기기 쉬워진다.
또, 공기배출구로부터 머더유리 사이에 침입한 연마제나 에칭액 등은 또한 액정주입구로부터 전극패턴의 형성 영역 내까지 침입하여 평면표시소자의 표시품위에 현저한 악영향을 미칠 우려도 갖고 있었다.
본 발명은 이상의 점에 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 원가상승이나 제조생산성의 저하, 더 나아가서는 표시품위의 저하를 초래하지 않고 박형, 경량의 평면표시소자를 얻을 수 있는 평면표시소자의 제조방법을 제공하는 데에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 태양에 따른 제조방법은, 한쌍의 기판을 준비하고, 상기 각 기판에 전극패턴을 형성하고, 상기 기판의 한쪽에 상기 전극패턴의 주위를 둘러싸는 제품 시일과, 공기배출구를 갖고 이 제품 시일의 외측을 포위한 외부둘레 시일을 형성하고, 상기 공기배출구 영역의 갭을 유지하는 갭 유지부재를 상기 제품 시일의 외측에서 상기 공기배출구 근방에 형성하고, 상기 갭 유지부재의 형성 후, 상기 제품 시일 및 외부둘레 시일을 통하여 상기 한쌍의 기판을 서로 붙이고, 상기 기판을 서로 붙인 후, 상기 기판을 가압하여 기판 사이의 여분의 공기를 상기 공기배출구로부터 배출하고, 상기 서로 붙인 기판의 적어도 한쪽의 상기 공기배출구에 인접한 측 가장자리부를 상기 외부둘레 시일 외측에서 절단하고, 상기 절단 후, 상기 공기배출구를 밀봉제에 의해 밀봉하고, 상기 밀봉 후 적어도 한쪽 기판의 외면을 연마한다.
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상기와 같이 구성된 제조방법에 의하면 외부둘레 시일에 형성된 공기배출구에서 밀봉제를 충분히 빨아들이게 하여 공기배출구를 확실하게 밀봉하는 것이 가능해진다. 이에 의해 공기배출구로부터의 연마제나 에칭액 등의 침입을 확실하게 방지하고, 기판 내면의 에칭에 의한 균열이나 찌그러짐을 방지하여 생산성 향상을 도모할 수 있다. 또, 연마제나 에칭액 등이 표시영역에까지 침입하는 것을 확실하게 방지하여, 평면표시소자의 표시품위 열화를 방지할 수 있다.
본 발명의 추가적인 목적 및 이점은 다음의 설명에 따르고, 부분적으로는 상기 설명에서 명백해지거나 본 발명을 실행함으로써 알 수 있을 것이다. 상기 본 발명의 목적 및 이점은 이하에서 특히 강조되는 수단 및 결합에 의해 실현되고 얻어질 수 있다.
명세서에서 구체화되고 그 일부를 구성하는 첨부 도면은 본 발명의 적절한 실시예를 바로 도시하고, 상기한 개략적 설명 및 후술되는 적절한 실시예의 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리를 설명한다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 관한 평면표시소자의 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다. 또, 본 제조방법에 의해 제조되는 평면표시소자로서 액정표시소자를 일례로서 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이 액정표시소자(18)는 크기 221.7×169.5㎜, 대각치수 10.4인치, 두께 1.0㎜로 박층화된 액정표시소자이다. 이 액정표시소자(18)는 어레이기판(11) 및 대향기판(12)을 구비하고, 이들 기판은 그 둘레가장자리부끼리 제품 시일(23)을 통하여 서로 붙여져 소정의 간격을 두고 대향하고 있다.
어레이기판(11)은 판두께 0.5㎜의 유리기판(11a)을 구비하고, 이 유리기판(11a) 상에는 박막 트랜지스터(이하 TFT라 약칭한다)(11b), 유리필터층(11c), 매트릭스형상으로 패턴 형성되는 화소전극(11d), 및 배향막(11e)이 형성되어 있다. 대향기판(12)은 판두께 0.5㎜의 유리기판(12a)을 구비하고, 이 유리기판(12a) 상에는 대향전극(12b) 및 배향막(12c)이 형성되어 있다. 어레이기판(11)과 대향기판(12)은 복수의 스페이서(13)를 사이에 두고 대향 배치되고, 또 이들 기판 사이에는 광변조층인 액정층(17)이 밀봉되어 있다.
다음에, 상기 구성을 갖는 액정표시소자(18)의 제조방법에 대해서 설명한다. 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 액정표시소자(18)의 어레이기판(11) 및 대향기판(12)을 예를 들면 4개씩 형성 가능한 면적 400×500㎜, 두께 0.7㎜의 머더유리(21, 22)를 준비한다. 머더유리(21) 상에는 각각에 성막 기술 및 포토리소그래피기술에 의해 각각 800×480도트의 매트릭스형상으로 형성된 4면분의 어레이기판 패턴(21a~21d)을 형성한다. 각 어레이기판 패턴(21a~21d)은 매트릭스형상으로 배치된 1면분의 화소전극(11d)과 이들을 구동하는 박막 트랜지스터(11b) 및 이 박막 트랜지스터(11b)를 구동하는 구동배선으로 이루어진다.
또 머더유리(22) 상에는 각각에 성막기술 및 포토리소그래피기술에 의해 4면분의 대향기판 패턴(22a~22d)을 각각 형성한다. 또한, 어레이기판 패턴(21a~21d), 대향기판패턴(22a~22d) 상에 각각 배향막(11e, 12c)을 형성 후 이들을 배향 처리한다.
다음에 머더유리(22) 상의 대향기판 패턴(22a~22d) 상에 스페이서(13)를 산포(散布)한다. 또, 각 어레이기판 패턴(21a~21d)의 둘레가장자리를 둘러싸도록 틀형상의 제품 시일(23)을 머더유리(21) 상에 형성한다. 제품 시일(23)에는 각각 액정을 주입하기 위한 주입구(23a)를 설치해둔다. 구동배선을 구동용 집적회로(TAB-IC)와 접속하기 위한 접속단자는 제품 시일(23)의 외측에 노출되도록 연장된다. 또 주지와 같이 구동용 집적회로를 박막 트랜지스터로 어레이기판 상에 만드는 경우에, 이 구동용 집적회로는 필요에 따라서 제품 시일(23)의 내측 또는 외측 또는 제품 시일(23)과 오버랩하도록 배치된다.
또, 이들 제품 시일(23)은 에폭시수지계 접착제를 디스펜서에 의한 도포 또는 인쇄 등에 의해 접착 폭이 1.0㎜가 되도록 형성된다.
이어서, 4면분의 어레이기판 패턴(21a~21d) 및 제품 시일(23)을 둘러싸도록 틀형상의 외부둘레 시일(26)을 머더유리(21) 상의 둘레가장자리부에 형성한다. 그 때 외부둘레 시일(26)의 한변부에 공기배출구(26a)를 설치한다. 또, 외부둘레 시일(26)은 에폭시수지계 접착제를 디스펜서에 의한 도포 또는 인쇄 등에 의해 접착 폭이 1.0㎜가 되도록 형성한다.
그 후, 각 어레이기판 패턴(21a~21d)의 구동영역에 트랜스퍼제를 도포한다. 이 때, 머더유리(21) 상에 있어서 공기배출구(26a) 내로 트랜스퍼제를 높이 약 5㎛의 섬형상으로 도포하고, 갭 유지부재로서 기능하는 예를 들면 2개의 개구부 스페이서(27)를 형성한다. 트랜스퍼제로서는 은페이스트 등을 이용할 수 있다.
다음에 도 4에 도시한 바와 같이 2장의 머더유리(21, 22)를 위치 정합하여 대향 배치하고, 제품 시일(23) 내측의 영역(각 어레이기판 패턴(21a~21d)을 피한 영역의 임의의 위치에 배치된 임시 고정제에 의해 유리끼리 임시 고정한다. 그리고 양쪽 머더유리(21, 22) 사이를 소정의 간격이 되도록 이들 머더유리를 기계적으로 가압하고, 동시에 공기배출구(26a)로부터 머더유리(21, 22) 사이의 여분의 공기를 뺀다. 그 후, 머더유리(21, 22)를 가열하여 제품 시일(23) 및 외부둘레시일(26)을 경화시켜 2장의 머더유리를 서로 붙인다.
또한 서로 붙인 한쌍의 머더유리(21, 22)를 복수조 서로 겹쳐서 가압하고, 복수조의 머더유리쌍(21, 22)을 평행한 가압상태로 하여, 공기배출구(26a)로부터 유리 사이의 여분의 쌓인 공기를 밀어낸다. 이어서, 각각의 머더유리쌍(21, 22)을 공기배출구(26a)를 위로 하여 수직으로 유지하고, 이 상태에서 공기배출구(26a)에서 밀봉제(28)를 빨아들여 공기배출구(26a)를 밀봉한다.
공기배출구(26a)에 개구부 스페이서(27)가 설치되어 있기 때문에 상술한 머더유리(21, 22)의 접합공정 및 공기배출공정에서의 양쪽 머더유리(21, 22) 사이의 가압조작에 관계없이, 공기배출구(26a) 부분에서 양쪽 머더유리(21, 22) 사이의 갭이 과도하게 좁아지는 일이 없다. 그 때문에 공기배출구(26a)는 밀봉제(28)를 빨아들이는 데에 필요한 간격을 확보할 수 있다. 따라서, 공기배출구(26a)로부터 밀봉제(28)를 충분히 빨아들여, 공기배출구(26a)를 밀봉제(28)에 의해 확실하게 밀봉할 수 있다.
이와 같이 외부둘레 시일(26) 및 밀봉제(28)로 머더유리(21, 22)의 간격을 확실하게 시일한 후, 머더유리(21, 22)를 예를 들면 화학연마한다. 이 경우, 서로 붙인 머더유리(21, 22)를 도시하지 않은 에칭조 내의 불산을 베이스로 하는 에칭액에 침지하고, 양쪽 머더유리(21, 22)가 각각 0.5㎜가 될때까지 균등하게 연마한다.
연마 종료 후, 빠르게 머더유리(21, 22)를 세정하여 부착에칭액을 완전하게 제거한다. 이 후, 서로 붙인 머더유리(21, 22)를 각 제품 시일(23)의 주위에서 절단하고 표시셀마다 잘라낸다. 이어서, 진공주입법에 의해 잘라낸 각 표시셀의 주입구(23a)로부터 제품 시일(23)로 둘러싸인 표시영역에 액정을 주입하고 액정층(17)을 형성한다. 그 후, 주입구(23a)를 밀봉하여 두께 1.0㎜의 박형 경량의 액정표시소자(18)를 완성한다.
이상과 같이 구성된 제조방법에 의하면 공기배출구(26a)에 개구부 스페이서(27)를 형성한 상태에서 머더유리를 서로 붙여 공기배출구(26a)가 좁아지는 것을 방지하고 있다. 그 때문에 공기배출구(26a)에서 밀봉제(28)를 충분히 빨아들일 수 있고, 공기배출구(26a)를 확실하게 밀봉할 수 있다. 따라서, 유리기판(11a, 12a)을 박층화하기 위해서 머더유리(21, 22)를 연마하는 사이, 공기배출구(26a)로부터 에칭액이 머더유리쌍(21, 22)의 간격에 침입하는 것을 확실히 방지할 수 있다. 그 결과, 머더유리(21, 22) 내면이 에칭되어 균열이나 결함에 의한 불량을 생기게 하는 일 없이, 박형 경량의 액정표시소자(18)의 제조생산성을 향상시킬 수 있다. 또, 에칭액이 주입구(23a)로부터 액정표시소자(18)의 표시액정 내부에 도달할 우려가 전혀 없고, 에칭액의 침입에 기인하는 표시불량의 발생을 확실하게 방지할 수 있어 표시품위가 향상된 박형 경량의 액정표시소자(18)를 얻을 수 있다.
다음에, 본 발명의 제 2 실시예에 관한 제조방법에 대하여 설명한다. 제 2 실시예는 제 1 실시예에 있어서 개구부 스페이서를 형성하지 않고서 접합 공정에서 좁아진 공기배출구의 일부를 커트하여 밀봉제를 빨아들이기 쉽게 하는 것이다. 제 2 실시예의 다른 구성은 제 1 실시예와 동일하기 때문에 제 1 실시예와 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
도 5에 도시한 바와 같이 제 2 실시예에 의하면 액정표시소자(18)를 제조하는 경우, 머더유리(21)에 제품 시일(23) 및 외부둘레 시일(26)을 도포한 후, 공기배출구(26a)에 개구부 스페이서(27)를 형성하지 않고 각 어레이기판 패턴(21a~21d)의 구동영역에 트랜스퍼제를 도포한다. 이 후, 2장의 머더유리(21, 22)를 대향 배치하고, 제품 시일(23) 및 외부둘레 시일(26)을 경화하여 2장의 머더유리(21, 22)를 서로 붙인다. 이어서 머더유리(21, 22)를 가압하여 공기배출구(26a)로부터 머더유리 사이의 여분의 쌓인 공기를 압출한다.
머더유리(21, 22)를 서로 붙여 가압한 후, 공기배출구(26a)가 형성되어 있는 측에서 외부둘레 시일(26)로부터 약 1.0㎜ 외측을 도 5 및 도 6에 도시한 점선 A-A'을 따라서 머더유리(21, 22)의 적어도 한쪽, 예를 들면 머더유리(22)를 스크라이브하고, 머더유리(22)의 한측 가장자리부를 커트한다. 이에 의해 공기배출구(26a)는 머더유리(21, 22)의 외부둘레측에서 갭이 좁아진 영역이 커트된다. 따라서, 공기배출구(26a) 내, 액정표시소자(18) 형성영역에 가깝게 표시영역 내의 스페이서(13)에 의해 갭이 넓게 확보된 영역이 노출된다. 이 후, 공기배출구(26a)를 위로 하여 머더유리(21, 22)를 수직으로 유지한 상태에서 공기배출구(26a)에서 밀봉제(28)를 빨아들여 공기배출구(26a)를 밀봉한다. 이에 의해 밀봉제(28)는 갭이 확보된 공기배출구(26a)로부터 충분히 빨아들여진다. 따라서 공기배출구(26a)는 밀봉제(28)에 의해 확실히 밀봉된다.
이어서, 제 1 실시예와 동일하게 양쪽 머더유리(21, 22)를 각각 0.5㎜가 될때까지 균등하게 연마한 후 각각의 표시셀로 잘라 나눈다.
이러한 제조방법에 의하면 접합공정 또는 공기배출공정에 의해 공기배출구(26a)의 갭이 좁아진 영역을 커트함으로써 갭이 넓게 확보되어 있는 영역을 노출하여, 공기배출구(26a)로 밀봉제(28)를 충분히 빨아들이게 할 수 있다. 이에 의해 공기배출구(26a)를 확실히 밀봉할 수 있다. 따라서, 제 1 실시예와 동일하게 유리기판(11a, 12a)을 박층화하기 위해서 머더유리(21, 22)를 연마하는 사이, 공기배출구(26a)로부터 에칭액이 머더유리(21, 22)의 간격으로 침입하는 것을 확실히 방지할 수 있다. 그 결과, 머더유리(21, 22) 내면이 에칭되어 균열이나 찌그러짐에 의한 불량을 생기게 하는 일 없이 박형 경량의 액정표시소자(18)의 제조생산성을 향상시킬 수 있다. 또, 액정표시소자(18)의 표시영역 내부로의 에칭액의 침입을 확실하게 방지하고, 주입구(23a)로부터의 에칭액의 침입에 의한 표시불량을 확실하게 방지할 수 있어 표시품위가 향상한 박형 경량의 액정표시소자(18)를 얻을 수 있다.
해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 추가적인 이점 및 변형예를 용이하게 생각할 수 있을 것이다. 그러므로, 더 폭넓은 측면에서의 본 발명은 본 명세서에 도시되고 설명된 특정 상세 설명 및 대표적인 실시예에 제한되지 않는다. 따라서, 첨부한 특허청구범위 및 그에 상당하는 것에 의해 한정된 바와 같은 일반적인 발명의 개념의 정신 또는 범주에서 벗어나지 않고서 다양한 변형예가 만들어질 수 있다.
예를 들면 액정표시소자의 구조 등은 임의이며, 스위칭소자의 구조나 매트릭스형상의 화소전극의 도트수 등은 상술한 실시예에 한정되지 않는다. 또, 컬러필터를 대향기판측에 배치하여도 좋다.
머더유리의 크기나 머더유리 상에 형성하는 평면표시소자의 면수 등은 임의이다. 예를 들면 도 6에 도시한 변형예에 관한 제조방법에 의하면 머더유리(21, 22) 상에 어레이기판 패턴(21a) 및 대향기판패턴(22a)을 1면분씩 형성하고, 한쪽 머더유리에 제품 시일(23) 및 이 제품 시일을 포위한 외부둘레 시일(26)을 형성한다. 동시에 외부둘레 시일(26)의 공기배출구(26a)에 개구부 스페이서(27)를 형성한다. 그리고, 양쪽 머더유리(21, 22)를 제품 시일(23) 및 외부둘레 시일(26)을 통하여 서로 붙이고, 또한 가압하여 공기를 뺀 후, 공기배출구(26a)에서 밀봉제(28)를 빨아들여 공기배출구를 밀봉한다. 그 후 제품 시일(23)과 외부둘레 시일(26)과의 사이에서 머더유리(21, 22)를 절단하고, 하나의 표시셀을 형성한다. 그 후, 제품 시일(23)의 주입구(23a)로부터 액정을 주입하고, 또한 주입구를 밀봉함으로써 액정표시소자가 얻어진다.
개구부 스페이서의 재질이나 형성상황 등은 임의이며, 공기배출구의 갭을 넓게 확보 가능하다면 공기배출구의 중앙 부근에 1개 설치하는 구성이라도 좋다. 개구부 스페이서는 트랜스퍼제 외, 머더유리를 서로 붙일 때의 임시 고정제 등을 이용하여 형성하여도 좋다. 또, 개구부 스페이서는 트랜스퍼제 또는 임시 고정제의 도포 시에 동일한 타이밍으로 형성하여도 좋고, 전혀 다른 재질을 이용하여 단독으로 형성하여도 좋다.
기판의 연마방법은 연마제를 이용하여 압력을 가하여 기계 연마하거나, 또는 필요에 따라서 기계연마한 후에 화학연마를 하는 등 임의이다. 또한 평면표시소자의 박층화를 위해서 기판의 양면을 연마하는 것은 아니며, 예를 들면 한쪽 기판에 보호필름 등이 형성되어 있는 경우에 있어서는 보호필름으로 보호되지 않는 노출된 다른쪽 기판만을 연마하여도 좋다. 연마하는 양도 기판의 강도를 유지할 수 있는 범위라면 상기 실시예에 한정되지 않는다.
또한, 상술한 실시예에서는 한쌍의 기판을 서로 붙여 연마한 후에 액정을 진공 주입하는 방법으로 하였지만, 제품 시일로 둘러싸인 영역에 액정을 적하 주입한 후, 기판끼리를 서로 붙이는 방법으로 하여도 좋다. 이 경우, 제품 시일의 주입구는 불필요하게 된다.
이상과 같이 본 발명은 원가상승이나 제조생산성이 저하되지 않고, 또한 표시품위가 저하되지 않는 박형, 경량의 평면표시소자를 얻을 수 있는 평면표시소자의 제조방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제조방법에 의해 제조되는 액정표시소자의 일례를 나타내는 단면도,
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제조방법에 있어서 머더유리 상에 전극패턴 및 시일을 형성한 상태는 나타내는 평면도,
도 3은 상기 제조방법에 있어서, 다른 머더유리 상에 전극패턴을 형성한 상태를 나타내는 평면도,
도 4는 상기 제조방법에 있어서 2장의 머더유리를 서로 붙인 상태를 나타내는 사시도,
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제조방법에 있어서 2장의 머더유리를 서로 붙인 상태를 나타내는 사시도,
도 6은 상기 제 2 실시예에 따른 제조방법에 있어서, 한쪽 머더유리의 한측 가장자리부를 잘라낸 상태를 나타내는 사시도, 및
도 7은 본 발명의 변형예에 따른 제조방법에 있어서 2장의 머더유리를 서로 붙인 상태를 나타내는 사시도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11: 어레이기판 11a, 12a: 유리기판
11b: 박막 트랜지스터(TFT) 11c: 컬러필터층
11d: 화소전극 11e, 12c: 배향막
12: 대향기판 12b: 대향전극
13: 스페이서 17: 액정층
18: 액정표시소자 21, 22: 머더유리
21a~21d: 어레이기판 패턴 22a~22d: 대향기판 패턴
23: 제품 시일 23a: 주입구
26: 외부둘레 시일 26a: 공기배출구
27: 개구부 스페이서 28: 밀봉제

Claims (11)

  1. 평면표시소자의 제조방법에 있어서,
    한쌍의 기판을 준비하는 단계;
    상기 각 기판에 전극패턴을 형성하는 단계;
    상기 기판의 한쪽에 상기 전극패턴의 주위를 둘러싸는 제품 시일과, 공기배출구를 갖고 상기 제품 시일의 외측을 포위하는 외부둘레 시일을 형성하는 단계;
    상기 공기배출구 영역의 갭을 유지하는 갭 유지부재를 상기 제품 시일의 외측에서 상기 공기배출구 근방에 형성하는 단계;
    상기 갭 유지부재의 형성 후, 상기 제품 시일 및 외부둘레 시일을 통하여 상기 한쌍의 기판을 서로 붙여 접합하는 단계;
    상기 기판을 접합한 후, 상기 기판을 가압하여 기판 사이의 여분의 공기를 상기 공기배출구로부터 배출하는 단계;
    상기 서로 붙여진 기판의 적어도 한쪽의 상기 공기배출구에 인접한 측면 가장자리부를 상기 외부둘레 시일 외측에서 절단하는 단계;
    상기 절단 후, 상기 공기배출구를 밀봉제에 의해 밀봉하는 단계; 및
    상기 밀봉 후, 적어도 한쪽 기판의 외면을 연마하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면표시소자의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 갭 유지부재를 상기 공기배출구에 섬형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 평면표시소자의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판에 임시 고정제를 도포하여 상기 갭 유지부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 평면표시소자의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판에 트랜스퍼제를 도포하여 상기 갭 유지부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 평면표시소자의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 기판은 복수개의 평면표시소자들을 형성할 수 있는 크기의 기판을 이용하여,
    상기 각 기판에 상기 복수개에 대응하는 복수의 전극패턴을 형성하는 단계;
    상기 기판의 한쪽에 각각 전극패턴의 주위를 둘러싸는 복수의 제품 시일과, 상기 복수의 제품 시일의 외측을 포위한 외부둘레 시일을 형성하는 단계; 및
    상기 연마 종료 후, 상기 기판을 복수개의 평면표시소자로 절단하여 나누는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면표시소자의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 연마는 기계연마에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 평면표시소자의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 연마는 화학연마에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 평면표시소자의 제조방법.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005077945A (ja) * 2003-09-02 2005-03-24 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd 表示装置の製造方法
JP4783115B2 (ja) 2005-10-18 2011-09-28 東芝モバイルディスプレイ株式会社 基板装置
FI20060177L (fi) * 2006-02-23 2007-08-24 Picodeon Ltd Oy Menetelmä tuottaa hyvälaatuisia pintoja ja hyvälaatuisen pinnan omaava tuote
JP4738212B2 (ja) * 2006-03-06 2011-08-03 カシオ計算機株式会社 液晶表示装置の製造方法
JP4997434B2 (ja) * 2007-08-07 2012-08-08 株式会社ジャパンディスプレイイースト 液晶表示装置の製造方法
JP5388159B2 (ja) * 2007-09-12 2014-01-15 株式会社ジャパンディスプレイ 液晶表示装置の製造方法
JP5297316B2 (ja) * 2009-09-15 2013-09-25 新明和工業株式会社 真空シール用の接続構造およびこの接続構造を備えた真空装置
JP5637699B2 (ja) * 2010-02-24 2014-12-10 株式会社ジャパンディスプレイ 電気的固体装置用基板の製造方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0764100A (ja) * 1993-08-30 1995-03-10 Hitachi Ltd 液晶表示素子
JPH0829795A (ja) * 1994-07-20 1996-02-02 Sharp Corp 液晶表示装置およびその製造方法
JPH09197416A (ja) * 1996-01-18 1997-07-31 Hitachi Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JPH1184399A (ja) * 1997-09-10 1999-03-26 Canon Inc 液晶パネルおよびその製造方法
JP2000180878A (ja) * 1998-12-16 2000-06-30 Sharp Corp 液晶表示パネルとその製造方法
JP2000206546A (ja) * 1999-01-07 2000-07-28 Sharp Corp 液晶表示素子
JP2001013489A (ja) * 1999-06-30 2001-01-19 Toshiba Corp 液晶表示装置の製造方法
JP2001117107A (ja) * 1999-10-15 2001-04-27 Hitachi Ltd 液晶表示装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2722798B2 (ja) * 1990-09-07 1998-03-09 カシオ計算機株式会社 薄型液晶表示素子の製造方法
JP2678325B2 (ja) * 1992-03-06 1997-11-17 カシオ計算機株式会社 液晶表示素子の製造方法
JP2864464B2 (ja) * 1994-12-22 1999-03-03 日本ビクター株式会社 反射型アクティブ・マトリクス・ディスプレイ・パネル及びその製造方法
JP3271691B2 (ja) * 1996-02-29 2002-04-02 セイコーインスツルメンツ株式会社 表示装置の製造方法
JP2918875B1 (ja) * 1998-03-02 1999-07-12 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 反射型液晶素子、製造方法およびプロジェクション表示装置
JP3979750B2 (ja) * 1998-11-06 2007-09-19 株式会社荏原製作所 基板の研磨装置
US6206476B1 (en) * 1999-02-08 2001-03-27 Txi Operations, Lp Waste concrete container
KR100434362B1 (ko) * 1999-12-15 2004-06-04 엘지전자 주식회사 전자교환기의 가상 녹음부를 구비한 안내방송 장치
KR100493870B1 (ko) * 1999-12-29 2005-06-10 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시장치의 씰 패턴 형성방법
KR100504569B1 (ko) * 1999-12-31 2005-08-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 격벽 상에 전극을 가지는 액정표시소자 및 그 제조방법

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0764100A (ja) * 1993-08-30 1995-03-10 Hitachi Ltd 液晶表示素子
JPH0829795A (ja) * 1994-07-20 1996-02-02 Sharp Corp 液晶表示装置およびその製造方法
JPH09197416A (ja) * 1996-01-18 1997-07-31 Hitachi Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JPH1184399A (ja) * 1997-09-10 1999-03-26 Canon Inc 液晶パネルおよびその製造方法
JP2000180878A (ja) * 1998-12-16 2000-06-30 Sharp Corp 液晶表示パネルとその製造方法
JP2000206546A (ja) * 1999-01-07 2000-07-28 Sharp Corp 液晶表示素子
JP2001013489A (ja) * 1999-06-30 2001-01-19 Toshiba Corp 液晶表示装置の製造方法
JP2001117107A (ja) * 1999-10-15 2001-04-27 Hitachi Ltd 液晶表示装置

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Publication number Publication date
US6864949B2 (en) 2005-03-08
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