KR100330338B1 - 기능성 박막의 형성방법 및 형성장치 - Google Patents

기능성 박막의 형성방법 및 형성장치 Download PDF

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Abstract

기능성 박막을 진공증착법에 의하여 형성하는 경우, 기능성 재료를 상방으로부터 가열하므로써, 기능성 재료의 증발시에 기능성 재료 자신의 돌비(bumping)나 튀김(splashing)이 발생하지 않는, 기능성 박막의 형성방법을 제공한다. 구체적으로는 기능성 재료(7)를 수납용기(8)에 수납하고, 상방으로부터 기능성 재료(7)를 상방 가열 히이터(9)로 가열함으로써, 돌비나 튀김을 억제하여 기공(pinhole)이 없는 균질한 기능성 박막을 얻을 수 있게 된다.

Description

기능성 박막의 형성방법 및 형성장치{METHOD AND APPARATUS FOR FORMING THIN FUNCTIONAL FILM}
현재, 광 기록 매체 및 감광 드럼 등의 정보 기록 요소, 칼라 필터(color filter) 및 박막 EL (electroluminescence) 패널 등의 정보 표시 요소, 나아가서는 태양 전지 등의 에너지 변환 요소, 의료 진단 요소 등의 폭이 넓은 분야에 있어서 여러 가지의 기능성 박막이 사용되고 있다. 이것들 박막은, 어느 것이나 스핀코우트와 같은 습식법 또는 진공 증착, 스퍼터 등의 건식법으로 형성되어 있다.
그중에서도, 광 기록 매체의 하나로서, 유기 색소 재료를 사용하여 정보기록층을 기판상에 형성한 추기형(追記型) 광 디스크(CD-R)가, CD 플레이어 또는 CD-ROM 구동으로 신호를 판독할 수 있다고 하는 편리성으로부터 최근, 주목을 받고 있다. 종래, 이 기록층은, 유기 색소 재료의 용액을 스핀코우트로 기판에 도포하여 건조시키는 습식법에 의하여 형성되고 있으나, 만족하여야 할 광 기록 매체를 얻으려면, 허용되는 제조 조건 범위가 좁기때문에, 경험적인 노하우 및 숙련도가 필요하게 되어 있다.
이에 대하여, 두께 및 광학적 성질이 균일한 기능석 박막을 비교적 용이하게 형성할 수 있는 진공증착을 사용하여 건식법으로 기록층을 형성하는 시도가 연구되고 있다. 예컨대, 일본국 특공평 8-13572호 공보에는, 프탈로시아닌계의 유기 색소 재료를 함유한 몰리브덴 보우트(boat)를 가열하여 유기 색소 재료를 증발시켜, 이것을 기판 표면에 증착시킴으로써 기판상에 기록층으로서의 유기 색소 재료의 박막을 형성시킴에 따라, 제조되는 광 기록 매체가 개재되어 있다. 또, 그와 같은 증착을 실시하는 장치의 예가 특공평 7-62249호 공보에 개재되어 있다.
본 발명은, 기능성 박막의 형성방법 및 형성장치에 관한 것이다. 본 발명에 있어서, 기능성 박막이라 함은, 예컨대 정보의 기록, 정보의 표시, 광학적 특성의 조절 또는 변경, 에너지의 변환 등의 여러 가지의 기능을 부여하기 위하여, 여러 가지의 물질(예컨대 유기화합물)이 박막의 형태로 대상 물체에, 증착에 의하여 부착되었음을 의미한다. 보다 구체적으로는, 광 기록 매체의 기판상에 형성된 정보기록층으로서의 유기 색소 재료의 박막, 태양 전지 패널의 기판상에 형성된 광전(光電) 변환 소자용의 증감 재료의 박막 및 감광 드럼(drum)의 전하 수송층인 OPC(Optical Photo Conductivity)재료의 박막 등을 예시할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 기능성 박막의 형성장치를 모식적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 실시형태 1에 관한 상방 가열 히이터의 형상을 모식적으로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 실시형태 2에 관한 기능성 박막의 형성장치를 모식적으로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 의하여 얻을 수 있는 광 기록 매체의 기판에 수직한 방향에서의 모식적 단면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 밑판 2 : 진공탱크
3 : 진공펌프 4 : 기판
5 : 막 두께 모니터 6 : 셔터
7 : 기능성 재료 8 : 수납 용기
9 : 상방 가열 히이터 10 : 보조 가열 히이터
11 : 리이드 선 12 : 전극 도입 단자
13 : 광 비임 도입통 14 : 도입 유리창
15 : 광 비임원(源) 16 : 집광기구
17 : 광 기록막층 18 : 반사막층
19 : 보호막층
그러나 상술한 진공증착법에서는, 보우트 내의 유기 색소 재료를 가열하였을 때에 돌비 및 튀김이 빈번하게 발생하여, 형성되는 박막에 핀 호울 등의 막의 결함이 발생하기 쉽다고 하는 문제가 있으며, 증착법을 공업적으로 유효한 것으로 하려면, 그와 같은 문제점을 해결하는 것이 요망된다. 이와 같은 문제점은, 진공 증착법에 의하여 정보 기록층을 형성하는 경우에 한정되는 것은 아니고, 다른 여러 가지의 기능성 박막을 형성하기 위하여, 여러 가지 물질을 증발시켜서 그것을 대상 물체에 증착시키는 경우에 공통하는 문제점이다.
본 발명은, 그와 같은 문제점을 경감, 바람직하기는 실질적으로 해소하여, 결함이 적은 균질한 기능성 박막을 형성하는 방법, 및 형성장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그 위에, 본 명세서에 있어서는, 광 기록 매체용의 기판상에 색소 재료를 증착시켜서 기능성 박막으로서의 기록층을 형성하는 경우를 예로하여 본 발명의 방법 및 장치를 설명하는데, 그와 같은 본 발명은, 다른 여러 가지의 기능성 박막의 형성에도 적용할 수 있다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하는 본 발명은, 기능성 박막을 형성하는 재료(「기능성 재료」이라고도 호칭한다)를, 바람직하기는 증발용기에 넣어서, 감압하에, 바람직하기는 높은 진공중에서 그와 같은 재료를 가열하여 증발시키고, 증발한 재료를 기판과 같은 대상 물체상에 증착시켜서 기판에 기능성 박막을 형성시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 핀 호울(기공)과 같은 결함이 크게 감소한 고 품질의 기능성 박막을 형성할 수 있다.
즉, 본 발명은, 감압하에 기능성 재료를 증발시켜서 대상 물체상에 증착시키므로서 기능성 박막을 형성하는, 기능성 박막의 형성방법으로서, 기능성 재료를 바람직하기는 증발용기에 넣어서, 그와 같은 기능성 재료를 상방으로부터 가열하여, 증발시키는 것을 특징으로 하는 방법을 제공한다.
또, 본 발명은 감압하에, 기능성 재료를 증발시켜서 대상 물체상에 증착시킴으로써 기능성 박막을 형성하는, 기능성 박막의 형성장치로서, 기능성 박막을 형성하는 재료를 수납하는 증발용기, 및 증발용기에 넣은 기능성 재료를 상방으로부터 가열하는 가열수단을 구비하여서 된 형성장치를 제공한다.
본 발명은 기능성 박막을 형성함에 있어서, 기능성 박막에 형성하여야 할 기능성 재료를 상방으로부터 가열하는 일에 본질적으로 존재하는 것으로, 이에 따라서 기능성 재료, 예컨대 증발용기에 넣은 기능성 재료는, 그 상부의 온도가 그 보다 밑에 위치하는 부분 또는 내부의 온도보다 높아진다. 이와 같은 가열을 계속하면, 기능성 재료는, 상부가 가장 고온으로 되어, 상부로부터 순차 증발하여, 기능성 재료가 돌비나 튀김(splash)을 일으키는 일이 없이 증발한다.
이에 대하여, 종래와 같은 증발용기 자체를 가열하는 방법으로 증발용기 내의 기능성 재료는, 그 내부 또는 하부의 온도의 편이 상부보다도 높아지도록 가열되므로, 온도가 높은 내부 또는 하부에 있어서 상부보다 우선적으로 증발이 일어나서, 증발한 재료(즉, 발생한 증발 분자)가 온도가 낮은 기능성 재료의 상부속을 통과하기 때문에, 돌비나 튀김이 발생하였다.
본 발명에 있어서, 기능성 박막의 형성은 형성하여야 할 기능성 박막에 따라서, 기능성 재료에 따라서, 어느 적당한 조건(가열 온도, 가열시의 조작 압력)에 있어서 가열하여도 좋으나, 일반적으로는, 감압하에, 통상은 고 진공하에 실시할 수 있다. 예컨대 광 기록 매체(CD-R, DVD-R 등)의 제조에 있어서는, 예를 들면 100∼ 500℃의 온도, 10-3토르(torr) 이하의 조작 압력(구체적으로는 250℃, 10-4토르)에서 실시할 수 있다. 또, 감광드럼의 제조의 경우에 대하여는, 100∼500℃의 온도, 10-3∼10-7토르의 조작 압력이어도 좋다.
기능성 박막을 형성하는 재료, 즉, 기능성 재료는, 목적으로 하는 기능성 박막에 따라서 선택된다. 예컨대 광 기록 매체의 제조에 있어서는, 함유 금속아조계 색소, 프탈로시아닌계 색소 등의 유기 색소 재료이어도 좋다. 또, 감광드럼의 제조의 경우에 대하여는, 기능성 재료는 프탈로시아닌이어도 좋다. 기능성 재료는, 어느형태 였어도 좋으며, 가열전은, 통상 미입자로 형성된 분말형태이지만 덩어리 형상이어도 좋다.
기능성 박막을 형성하는 대상 물체는, 기능성 박막의 용도에 따라서 어느 대상 물체였어도 좋다. 광 기록 매체의 경우에는, 빛을 투과할 수 있는 플라스틱(예컨대 폴리카아보네이트)기판이 였어도 좋다. 또, 감광드럼의 제조의 경우에 대하여는, 알루미늄기재였어도 좋다.
그 위에, 기능성 박막이라 함은, 비교적 엷은 일정한 기능성을 나타내는 막을 의미하지만, 그 두께는 특히 한정되는 것은 아니며, 예컨대 0.01∼10㎛정도이어도 좋다.
기능성 재료를 넣는 증발용기는, 기능성 재료를 수용할 수 있으며, 수용된 기능성 재료를 상방으로부터 가열할 수 있다면, 어느 재료, 구조이어도 좋다. 예컨대, 금속 또는 세라믹으로 만들어진 보우트(boat), 도가니 등의 형태이어도 좋다. 일반적으로는, 상방이 적어도 부분적으로 개구하고, 가장 바람직하기는 실질적으로 전면적으로 개구하며, 가열에 의하여 증발하는 재료(즉, 증발분자)가 증발용기로부터 나와서 대상물체로 향하는 이동, 예컨대 상승을 저해하지 않는 것이 바람직하다.
기능성 재료를 가열하는 수단은, 기능성 재료를 상방으로부터 가열할 수 있는 것이라면 특히 한정되는 것은 아니다. 구체적으로는, 증발용기의 상방에 배치되는 전기 히이터, 증발용기의 상부를 가열하도록 배치된 빛 에너지를 공급하는 수단, 예컨대 광 비임원, 복사 에너지를 방사하는 가열원 등을 예시할 수 있으며, 이것들을 조합하는 것도 가능하다. 또, 기능성 재료의 증발이 시작하지 않은 온도까지, 기능성 재료를 가열하는 보조 가열수단을 기능성 재료를 상방으로부터 가열할 수 있는 수단과 조합하여 사용하여도 좋다. 그와 같은 보조 가열수단은, 종래부터 사용되고 있는 것이라도 좋고, 예컨대 증발용기 자체를 가열하는 수단이어도 좋다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1 및 도 3은 본 발명의 기능성 박막의 형성장치를, 도 2는 여러 가지의 가열수단을 또, 도 4는 실시예에 있어서 제조되는 광 기록 매체의 기본구조의 단면을 각기 모식적으로 설명한다.
(실시형태 1)
도 1은 본 발명의 기능성 박막의 형성장치의 제1 형태를 옆에서 보았을 경우의 모식도이다. 이 장치는, 광 기록 매체용의 기판상에 기록층으로서 기능하는 기능성 박막을 형성하는 장치이며, 밑판(1) 및 이 위에 배치된 속이 잘보이는 유리종형식(bell-jar type)의 진공탱크(2)를 포함한다. 진공탱크(2)의 속은, 확산 펌프, 크라이오 펌프(cryopump), 터어보 분자 펌프 등의 진공 펌프(3)에 의하여 배기되어, 고 진공상태로 유지된다.
이 진공탱크(2) 내의 상부에는 기능성 박막을 위에 증착하여야 할 기판(4), 증착되는 막 두께를 측정하는 모니터(5) 및 증발분자가 기판으로 향하는 진행을 차단할 수 있는 셔터(6)(도해한 형태에서는 닫쳐있다)가 배치되고, 하부에는 기능성 재료(7)를 수납하는 증발용기(8), 상방 가열 수단(9), 보조 가열수단(10)이 배치되어 있다. 기판(4)과 증발용기(8)와의 간격은 약 20∼30㎝이며, 기판(4)과 셔터(6)와의 간격은 약 3∼5㎝이다. 상방 가열 수단(9) 및 보조 가열수단(10)은 전기적으로 가열하는 수단이어도 좋다. 도면으로부터 명백한 바와 같이, 상방 가열 수단(9)은 기능성 재료(7)의 상방에 배치되므로 기능성 재료의 상부를 우선적으로 가열하며, 그 보다 아래부분은, 가열된 상부의 기능성 재료로부터의 전열에 의하여 가열된다.
막 두께 모니터(5)는 수정 진동자형의 일반적인 것이다. 기판(4)은 폴리카아보네이트, 폴리올레핀, 폴리메틸메타아크릴레이트 등의 플라스틱재료이다.
기능성 재료(7)는 프탈로시아닌계, 나프탈로시아닌계, 스콰릴륨계, 크로코늄계, 피릴륨계, 나프토퀴논계, 안트라퀴논계, 크산텐계, 트리페닐메탄계, 아줄렌계, 테트라히드로코린계, 페난트렌계, 트리페노티아진계 염료, 폴리메틴계 색소, 아조계 색소 등의 유기 색소 재료이다.
증발용기(8)의 형상은, 증발한 분자가 증발용기에서 상방으로 위치하는 기판(4)으로 향하여 나올 수 있는 구조인 한, 특히 한정되는 것은 아니다. 일반적으로는, 정상부분이 적어도 부분적으로 개구하고 있는 구조(예컨대 보우트구조)가 바람직하다. 증발용기(8)의 재질은, 금속이어도, 세라믹이어도 좋으며, 500℃정도의 내열성이 있을 것, 또, 악영향이 일어나므로 가열시에 가스방출(즉, 불순물가스)이 발생하지 않을 것을 요구한다. 금속에 비하여 열전도율이 낮은 세라믹 등을 사용한다면 열 효율이 좋은 증착을 할 수 있다.
상방 가열수단(9)은, 탄탈, 몰리브덴, 텅스텐 등의 고융점 금속재료 또는 세라믹스 등으로 만들어진 전기적으로 가열되는 히이터이어도 좋고, 히이터의 재료는 큰 방사율을 구비한 것이 바람직하다. 히이터는, 어떠한 적당한 형상을 구비하여도 좋다. 구체적으로는, 도 2에 모식적으로 나타낸 히이터를 사용할 수 있다.
A는 일반적인 와이어형의 히이터이며, B는, 와이어형의 히이터를 소용돌이 형상으로 감은 나사선형의 히이터이며, C는, 여러개의 커다란 개구부를 구비한 그물코형의 히이터이며, D는 평판에 여러개(바람직하게는 다수)의 관통구멍을 설치한 다공형의 히이터이다. 그중에서도 평판형상의 다공형의 히이터(D)는 증발효율에 뛰어나있다.
보조 가열수단(10)은, 니크롬선 형식의 히이티로 구성되있고, 발열시에 가스방출이 거의 일어나지 않도록 설계되어 있다. 이 보조 히이터는, 증발을 시작하는 온도까지 기능성 재료를 예열하기 때문에, 또는 증발이 시작한 후에는, 기능성 재료의 온도강하를 방지하기 위하여 보조적으로 사용할 수 있다.
각 히이터는 각기 도선(11a, 11b)으로 전극도입단자(12a, 12b)와 접속되어 있다.
상술한 바와 같은 박막형성장치를 사용하여, 다음에 설명하는 바와 같이, 박막형성방법을 실시한다.
먼저, 기능성 재료(7)인 유기 색소 재료를 증발용기(8)에 넣고, 기판(4)을 진공탱크의 상방부에 위치하도록 배치하여, 도시한 바와 같이 셔터(6)를 폐쇄하여 둔다. 진공탱크(2)를 밑판(1)에 재치하여 내부를 진공펌프(3)로 예컨대 1×10-5토르까지 배기한다.
다음에 상방 가열 히이터(9)에 전류를 흘려서 유기 색소 재료를 그 상부로부터 가열한다. 여기서, 전류를 증가하여 나아가면 유기 색소 재료의 상부로부터 증발이 시작한다.
그리고 나서, 셔터(6)를 개방하여 기판(4)에 박막을 형성시킨다. 여기서, 막 두께 모니터(5)로 증착하는 막 두께를 관측하면서, 일정한 막 두께의 기능성 박막이 형성되면, 셔터(6)를 폐쇄한다. 셔터의 개방시간은 예컨대 약 1분간이다.
유기 색소 재료를 가열함에 있어서, 상방 가열 히이터(9)를 사용하여 가열하기 전에 증발이 일어나지 않는 범위내에서 보조 가열 히이터(10)를 사용하여 유기 색소 재료를 가열하면, 상방 가열 히이터(9)를 사용하여 가열하였을 때에, 증발개시까지의 시간을 단축할 수 있으며, 또, 증발율이 높게 되어, 보다 단시간에 좋은 효율로 증착할 수 있다.
보조 가열 히이터(10)만을 사용하여, 유기 색소 재료를 하부로부터 가열하여 증발시키려 하면, 미립형태의 유기 색소 재료인 경우, 입자사이에 진공의 틈새가 존재하기 때문에, 하부의 유기 색소 재료의 입자로부터 그보다 상방에 위치하는 유기 색소 재료의 입자에의 열 전도가 불량하게 되고, 그 결과, 유기 색소 재료의 내부와 상방에서 온도차가 발생한다. 따라서, 저온의 상부에 고온의 하방의 증발 분자가 들어가기 때문에 돌비나 튀김이 일어나기 쉽다.
(실시형태 2)
도 3에 나타낸 본 발명의 제2 형태의 장치는, 상술한 실시형태 1과 유사하나, 상방 가열수단으로서, 상방 가열 히이터(9) 대신에, 광 비임 도입통(13)과 도입 유리창(14) 및 집광기구(16)를 구비한 광 비임원(15)을 가진점에서 다르다.
광 비임원(15)은, 진공탱크(2)의 외부로부터 빛 에너지를 진공탱크(2)내의 유기 색소 재료(7)의 상부에 공급하는 것으로, 예컨대 할로겐 램프 등이 사용된다. 광 비임원(15)은 발생한 빛 에너지를 좋은 효율로 사용하기 위하여, 오목면 거울로된 집광기구(16)가 조합하게 된다. 광 비임원(15)으로부터 발생하는 빛은, 기능성 재료(7)의 상부에 조사되어, 그 에너지에 따라서, 기능성 재료(7)의 그 부분이 가열된다. 그 위에, 도입유리창(14)은 빛 흡수가 적은 예컨대 석영판으로 되어 있다. 광 비임 도입통(13)은 진공탱크(2)에 추가 가공하여 설치되어 있다.
또, 집광기구를 지닌 광 비임원 대신에 레이저광원을 사용하여도, 기능성 재료의 상부를 가열할 수 있음은 말할 것도 없다.
이러한 경우와 같이, 빛 에너지에 의한 가열을 사용하는 박막형성방법은, 기능성 재료(7)의 가열을 광 비임원(15)으로 실시하는 것 이외는, 상술한 실시형태 1과 실질적으로 마찬가지로 실시할 수 있다.
다음에, 본 발명의 구체예로서, 광 기록 매체용의 기판상에 유기 색소 재료로된 기능성 박막을 형성하는 실시예에 의하여, 본 발명을 더욱 구체적으로 설명한다.
본 실시예에서는, 두께 1.2mm의 폴리카아보네이트 기판상에 막 두께 0.15㎛의 프탈로시아닌계의 기능성 재료로된 광 기록막층을 본 발명에 따라서 형성하고(기능성 재료의 증발 개시 온도 300℃, 진공도 5×10-5토르), 계속 그 위에, 0.1㎛의 금의 반사막층을 스퍼터법에 의하여 형성하고 나서, 진공탱크로부터 기판을 꺼내어, 다시금 그 위에 자외선 경화수지로된 보호막층(4)을 스핀 코우터법에 의하여 5㎛ 형성하여 광 기록 매체(CD-R)를 제적하였다.
도 4에 이와 같이하여 제작한 광 기록 매체의 단면의 모식도를 나타내었다. 광 기록 매체는, 나사형상의 글루우브가 새겨져있는 폴리카아보네이트의 기판(3)위에 프탈로시아닌계의 광 기록막층(17)을 구비하여, 그 위에 금의 반사막층(18) 및 자외선 경사수지의 보호막층(19)을 구비하여 되어 있다.
(실시예 1)
도 1의 장치를 사용하여, 상방 가열 히이터(9)에 직류전류 70 암페어를 흘려서(보조 가열 히이터(10)를 사용않는다), 증발용기(보우트형, 몰리브덴제)(8)에 넣은 프탈로시아닌계의 색소재료를 상방으로부터 가열하고, 증발시켜서 기판에 색소재료의 박막을 형성시킨 광 기록 매체를 30장 시험 제작하였다.
(실시예 2)
도 3의 장치를 사용하여, 광 비임원(15)에 200와트의 전력을 투입하여 프탈로시아닌계의 색소재료를 상방으로부터 가열한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로하여, 증발시켜서 기판에 색소재료의 박막을 형성시킨 광 기록 매체 30장을 시험 제작하였다.
(비교예)
도 1에 있어서, 상방 가열 히이터(9)는 사용하지 않고, 보조 가열 히이터(10)에 150 와트의 전력을 투입하여 프탈로시아닌계의 색소재료를 보조 가열 히이터(10)만을 사용하여 하방으로부터 가열한 이외는, 실시예 1과 같게 하여, 증발시켜서 기판에 색소재료의 박막을 형성시킨 광 기록 매체를 30장 시험 제작하였다.
상술한 바와 같이하여 수득한 광 기록 매체에 대하여 비트 오차율을 측정하고, 또한, 전체영역에 있어서 치수가 30㎛ 이상의 핀 호울의 수를 구한 다음, 1장당의 핀 호울의 수가 기준치인 10개를 초과한 디스크의 장수를 헤아렸다.
(1) 비트 오차율
비트 오차율은 1초당의 바이트 오차수이고, 176400바이트/초로 구성하였을 때, 1바이트의 오차 발생 빈도가 비트 오차율 5.6×10-6에 상당한다.
(2) 핀 호울
핀 호울은, 디스크의 이면으로부터 빛을 조사하여, 육안으로 그 개수를 계산한다.
그 결과, 실시예 1에 있어서 얻은 광 기록 매체에 관하여는, 30장의 평균 비트 오차율은 2.0×10-5이고, 핀 호울 수가 기준을 초과한 디스크는 1장이였다.
실시예 2에 있어서 수득한 광 기록 매체에 관하여는, 30장의 평균 비트 오차율은 1.0×10-5이고, 핀 호울수가 기준을 초과한 디스크 수는 0이였다.
비교예에 있어서 수득한 광 기록 매체에 관하여는, 30장의 평균 비트 오차율은 1.0×10-5이고, 핀 호울 수가 기준을 초과한 디스크는 16장이였다.
이러한 결과로부터, 프탈로시아닌계의 색소재료를 상방으로부터 가열하여, 증발시켜서 기판에 색소재료의 박막을 형성한다면, 핀 호울이 적은, 균질화를 도모한 광 기록 매체를 만들 수 있어, 비트 오차율 등의 품질이 향상한다.
본 발명을, 기능성 박막으로서 유기 색소 재료의 기록층을 플라스틱 기판상에 구비한 광 기록 매체의 제조를 특히 인용하여 상세 또한 구체적으로 설명하였으나, 본 발명은, 다른 기능성 박막을 다른 대상 물체상에 형성하는 경우에도 마찬가지로 적용할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 대상 물체상에 기능성 박막을 형성할 때에, 기능성 재료를 상방으로부터 가열함으로써, 기능성 재료의 돌비나 튀김 등을 억제할 수 있으며, 그 결과, 박막의 결함을 가져오게 하는 날려오는 물체인 튀김, 그 빈 껍질인 핀 호울 등이 없는 균질한 기능성 박막을 대상 물체상에 형성할 수 있다.

Claims (16)

  1. 감압하에, 기능성 박막을 형성하는 기능성 재료로서의 유기 색소 재료를 가열하여 증발시킴으로써 기능성 박막을 대상 물체 위에 형성하는 방법에 있어서, 기능성 재료를 상방으로부터 전기 히이터, 광 비임 또는 레이저광에 의하여 가열하여 증발시키는 것을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성방법.
  2. 제1항에 있어서, 증발용기에 기능성 재료를 넣고, 증발용기에 넣은 기능성 재료를 상방으로부터 가열하여 증발시키는 것을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성방법.
  3. 제1항에 있어서, 증발용기를 기능성 재료의 증발온도 이하의 온도까지, 별도로 보조적으로 가열하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성방법.
  4. 감압하에, 기능성 박막을 형성하는 기능성 재료를 증발시켜서 증착시킴으로써 기능성 박막을 대상물체 위에 형성하는 기능성 박막의 형성장치로서, 기능성 재료를 수납하는 증발용기 및 증발용기에 수납된 기능성 재료를 상방으로부터 가열하는 가열수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성장치.
  5. 제4항에 있어서, 기능성 재료를 상방으로부터 가열하는 가열수단은, 증발용기의 상방에 배치되어 있는 전기 히이터임을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성장치.
  6. 제5항에 있어서, 상방으로부터 가열하는 수단은, 여러개의 관통구멍을 구비한 평판형상 전기 히이터임을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성장치.
  7. 제4항에 있어서, 기능성 재료를 상방으로부터 가열하는 가열수단은, 기능성 재료의 상부에 빛 에너지를 조사하는 수단임을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성장치.
  8. 제7항에 있어서, 기능성 재료의 상부에 빛 에너지를 조사하는 수단은, 집광기구를 구비한 광 비임원 또는 레이저광원임을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제2항에 있어서, 증발용기를 기능성 재료의 증발온도 이하의 온도까지, 별도로 보조적으로 가열하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성방법.
  13. 제4항에 있어서, 증발용기를 기능성 재료의 증발온도 이하로 가열하는 보조가열수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성장치.
  14. 제13항에 있어서, 기능성 재료를 상방으로부터 가열하는 가열수단은, 증발용기의 상방에 배치되어 있는 전기 히이터임을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성장치.
  15. 제1항 내지 제3항 및 제12항 중의 어느 한 항에 있어서, 대상 물체가 광 기록 매체용 기판이고, 기능성 재료가 유기 색소 재료이며, 기능성 박막은 기록층임을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성방법.
  16. 제4항 내지 제8항, 제13항 및 제14항 중의 어느 항에 있어서, 대상 물체가 광 기록 매체용 기판이고, 기능성 재료가 유기 색소 재료이며, 기능성 박막은 기록층임을 특징으로 하는 기능성 박막의 형성장치.
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