JPWO2023048062A5 - - Google Patents
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Claims (11)
- （ａ）ポリシロキサンと、（ｂ）有機塩と、（ｃ）溶剤と、（ｄ）感光剤を含有する樹脂組成物であって、前記（ｂ）有機塩の１．０質量％水溶液におけるｐＨ値が３．０～５．５であり、前記（ｄ）感光剤が光重合開始剤またはキノンジアジド化合物であることを特徴とする硬化膜形成用シロキサン樹脂組成物。
- 前記（ｂ）有機塩の含有量が、前記（ａ）ポリシロキサン１００質量部に対して、０．０１～５．００質量部である請求項１記載の硬化膜形成用シロキサン樹脂組成物。
- 前記（ｂ）有機塩が、下記一般式（１）～（３）のいずれかで表される構造を有する有機酸類と、アミン類とから成る有機塩である請求項１記載の硬化膜形成用樹シロキサン脂組成物。
一般式（３）中、ｎは０、１または２を表す。ｎ＝１のとき、一般式（３）中のＲ３は炭素数１～３０の１価の有機基または炭素数１～３０の２価の有機基を表す。ｎ＝２のとき、一般式（３）中のＲ３は同じであっても異なってもよく、水素、炭素数１～３０の１価の有機基、または炭素数１～３０の２価の有機基を表す。 - 前記アミン類が、複素環アミン類または芳香族アミン類である請求項３記載の硬化膜形成用シロキサン樹脂組成物。
- 前記一般式（１）～（３）のいずれかで表される構造を有する有機酸類が、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、プロパンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、ｐ－トルエンスルホン酸、キシレンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、トリフルオロエタンスルホン酸、トリフルオロプロパンスルホン酸、およびトリフルオロ酢酸からなる群から選ばれた有機酸類である請求項３記載の硬化膜形成用シロキサン樹脂組成物
- 前記複素環アミン類または芳香族アミン類が、ピリジン、２，４－ジメチルピリジン、２，６－ジメチルピリジン、３，５－ジメチルピリジン、２，４，６－トリメチルピリジンおよびアニリンからなる群から選ばれたアミン類である請求項４記載の硬化膜形成用シロキサン樹脂組成物
- 前記（ａ）ポリシロキサンが、側鎖基に芳香族基および／または置換芳香族基を有し、樹脂組成物中のベンゼン、トルエン、キシレン、アニリン、スチレンおよびナフタレンの含有量がそれぞれ１ｐｐｍ未満である請求項１記載の硬化膜形成用シロキサン樹脂組成物。
- 前記硬化膜が、永久膜である請求項１記載の硬化膜形成用シロキサン樹脂組成物。
- 請求項１～８いずれかに記載の硬化膜形成用樹脂組成物を硬化させてなる、硬化膜。
- 走査型分析電子顕微鏡（ＳＥＭ－ＥＤＸ）測定によるＮのＳｉに対する原子数比が０．００５以上０．２００以下であり、かつＳ、Ｐ、Ｆから選ばれる少なくとも１種の原子のＳｉに対する原子数比が０．００５以上０．２００以下である請求項９記載の硬化膜。
- 原料としてアルコキシシラン化合物を用いて、加水分解および熱縮合の触媒として有機塩を用いるポリシロキサン溶液の製造方法であって、前記有機塩の１．０質量％水溶液におけるｐＨ値が３．０～５．５であることを特徴とするポリシロキサン溶液の製造方法。
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