JPWO2020084981A1 - デバイス連結体の製造方法、及び、デバイス連結体 - Google Patents
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Abstract
Description
無機基板と、樹脂層と、前記樹脂層上に間隔を置いて搭載された複数のデバイスとをこの順で有する第1の積層体を準備する工程Aと、
前記第1の積層体上に、前記複数のデバイスと前記間隔部分とを覆うようにエラストマー層を形成して第2の積層体を得る工程Bと、
前記無機基板を剥離する工程Cとを含み、
前記樹脂層は、予め少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数形成されたものであるか、又は、前記無機基板を剥離する工程Cの後に前記樹脂層の一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層として形成されるものであることを特徴とする。
ここで、前記樹脂層は、(1)予め少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数形成されたものであるか、又は、(2)前記無機基板を剥離する工程Cの後に前記樹脂層の一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層として形成されるものである。すわなち、各デバイスには樹脂層が積層されているものの、各デバイスに対応する樹脂層は、連続していない。従って、1のデバイスと他のデバイスとは、エラストマー層のみで連結されている。その結果、本発明に係る製造方法により得られたデバイス連結体は、伸縮性を有する。
また、前記第2の積層体を得る工程Bに先立って、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成する構成とすれば、無機基板上でのレーザ照射となるため、樹脂層へのレーザ照射の位置精度を確保しやすい。
前記デバイス連結体の製造方法は、さらに、前記支持基材を剥離する工程Dを含むことが好ましい。
前記一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層を形成する工程Fとを有することが好ましい。
エラストマー層と、
前記エラストマー層に付着する複数の樹脂層と、
前記エラストマー層と前記複数の樹脂層との間に介在する複数のデバイスと、
前記複数のデバイス間を接続する伸縮性の配線パターンとを備えることを特徴とする。
無機基板と、樹脂層と、前記樹脂層上に間隔を置いて搭載された複数のデバイスとをこの順で有する第1の積層体を準備する工程Aと、
前記第1の積層体上に、前記複数のデバイスと前記間隔部分とを覆うようにエラストマー層を形成して第2の積層体を得る工程Bと、
前記無機基板を剥離する工程Cとを少なくとも含み、
前記樹脂層は、予め少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数形成されたものであるか、又は、前記無機基板を剥離する工程Cの後に前記樹脂層の一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層として形成されるものである。
図1、図2A、図3A、図4〜図8は、第1実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。図2Bは、図2Aの平面図である。図3Bは、図3Aの平面図である。
第1の積層体10は、無機基板12と、樹脂層14と、樹脂層14上に間隔を置いて搭載された複数のデバイス16とをこの順で有する。
無機基板12は、樹脂層14上にデバイスを形成する際の支持体の役割を有する。無機基板12は、デバイス連結体が完成するまでのいずれかの段階で、樹脂層14から剥離される。
樹脂層14としては、樹脂で形成された層であれば特に限定されないが、耐熱高分子フィルムであることが好ましい。樹脂層14が耐熱高分子フィルムであると、耐熱高分子フィルム上にデバイス16を形成する際の熱に耐え得る。
ただし、前記高分子フィルムは、450℃以上の熱処理を伴うプロセスに用いられることが多い。前記高分子フィルムのなかでも好ましくは、所謂スーパーエンジニアリングプラスチックを用いたフィルムであり、より具体的には、芳香族ポリイミドフィルム、芳香族アミドフィルム、芳香族アミドイミドフィルム、芳香族ベンゾオキサゾールフィルム、芳香族ベンゾチアゾールフィルム、芳香族ベンゾイミダゾールフィルム等が挙げられる。
無機基板に対して樹脂層を90°の角度で引き剥がす。
5回測定を行い、平均値を測定値とする。
測定温度 ; 室温(25℃)
剥離速度 ; 100mm/min
雰囲気 ; 大気
測定サンプル幅 ; 2.5cm
接着層としては、前記90°初期剥離強度、及び、前記加熱後90°剥離強度を満たすものであれば、特に限定されないが、シランカップリング剤層であることが好ましい。
本明細書においてデバイスとは、電気配線を担う片面、両面、あるいは多層構造を有する配線基板、トランジスタ、ダイオードなどの能動素子や、抵抗、キャパシタ、インダクタなどの受動デバイスを含む電子回路、他、圧力、温度、光、湿度などをセンシングするセンサー素子、バイオセンサー素子、発光素子、液晶表示、電気泳動表示、自発光表示などの画像表示素子、無線、有線による通信素子、演算素子、記憶素子、MEMS素子、太陽電池等の発電素子、蓄電素子、薄膜トランジスタなどをいう。
本明細書において、デバイス連結体は、1種類のデバイスを複数有する構成であってもよく、複数種類のデバイスを有する構成であってもよい。複数種類のデバイスの組み合わせは、特に制限されず、例えば、上記のデバイスのなかから適宜複数を組み合わせることができる。
支持基材30は、エラストマー層32を支持するためのものである。
エラストマー層32は、デバイス連結体として完成した際に、伸縮性を有する。エラストマー層32は、硬化性の材料で形成されていてもよく、可塑性の材料で形成されていてもよい。エラストマー層32は、デバイス連結体として完成する前は、伸縮性を有していなくてもよい。例えば、エラストマー層32が硬化性の材料で形成されている場合、硬化前のエラストマー層32は伸縮性を有していなくてもよい。
第2実施形態に係るデバイス連結体の製造方法は、樹脂層に切断線を形成するタイミングと、樹脂層のうち、デバイスが積層されていない部分を切断線に沿って除去するタイミングとが異なること以外は、第1実施形態と共通する。そこで、以下では、共通する部分については、説明を省略又は簡略化し、異なる部分について主に説明する。また、第1実施形態と共通する構成については、同一の符号を用いることとする。
第2実施形態では、無機基板12を剥離する工程Cの後に、樹脂層14の一部を除去するための切断線18をレーザ照射により樹脂層14に形成し(工程E)、前記一部を除去することで、複数のデバイス16に対応する位置に複数の樹脂層14を形成(工程F)しているため、デバイス16をエラストマー層32へ埋め込んだ後の形状を確認した上で、不要な樹脂層14の部分を除去することができる。すなわち、工程Bにおいて、エラストマー層32や第1の積層体10(特に、樹脂層14)が変形する可能性があるが、第2実施形態では、これらの変形を確認した上で、不要な樹脂層部分を選択して除去することが可能となる。
第3実施形態に係るデバイス連結体の製造方法は、デバイス同士を接続する配線を設ける点で異なる。そこで、以下では、第1実施形態と共通する部分については、説明を省略又は簡略化し、異なる部分について主に説明する。また、第1実施形態と共通する構成については、同一の符号を用いることとする。
また、配線パターン34は、導電性フィラーを含む導電性組成物を塗布すること等によって形成される伸縮性金属ペースト配線であってもよい。配線パターン34としては、例えば、国際公開第2015/005204号に記載の導電性パターンを採用することもできる。配線パターン34が、蛇腹型金属配線又は伸縮性金属ペースト配線であれば、デバイス16間の電気的接続を保ちつつ、デバイス16間の好適な伸縮性を保つことができる。
第4実施形態に係るデバイス連結体の製造方法は、配線パターン、及び、回路引き出し配線を樹脂層14上に形成する点で、第3実施形態とは異なる。そこで、以下では、第3実施形態と共通する部分については、説明を省略又は簡略化し、異なる部分について主に説明する。また、第3実施形態と共通する構成については、同一の符号を用いることとする。
(実施例1)
直径200mm、厚さ0.7mmのガラス基板を準備した。前記ガラス基板に超音波水洗浄、及び、紫外線/オゾン洗浄(UV/O3洗浄)を行った。紫外線/オゾン洗浄は、UVオゾン洗浄改質装置(ランテクニカルサービス社製、SKR1102N−03)を用い、ランプからの距離30mmにて1分間の照射を行った。
12 無機基板
14 樹脂層
14a 表面
15 間隔部分
15a 表面
16 デバイス
18 切断線
30 支持基材
32 エラストマー層
32a 表面
34、74 配線パターン
35、75 回路引き出し配線
36、37、76 第2の積層体
40、42、44、78 デバイス連結体
52 金属層
54 電極取り出し用配線
56 バンプ
58 バンプ
Claims (10)
- 無機基板と、樹脂層と、前記樹脂層上に間隔を置いて搭載された複数のデバイスとをこの順で有する第1の積層体を準備する工程Aと、
前記第1の積層体上に、前記複数のデバイスと前記間隔部分とを覆うようにエラストマー層を形成して第2の積層体を得る工程Bと、
前記無機基板を剥離する工程Cとを含み、
前記樹脂層は、予め少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数形成されたものであるか、又は、前記無機基板を剥離する工程Cの後に前記樹脂層の一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層として形成されるものであることを特徴とするデバイス連結体の製造方法。 - 前記第2の積層体を得る工程Bに先立って、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成する工程Xを有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス連結体の製造方法。
- 前記第2の積層体を得る工程Bは、支持基材付きのエラストマー層を前記第1の積層体に積層する工程B−1を含み、
前記デバイス連結体の製造方法は、さらに、
前記支持基材を剥離する工程D
を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のデバイス連結体の製造方法。 - 前記エラストマー層は、その表面に前記デバイス間を接続するための伸縮性の配線パターンを有することを特徴とする請求項3に記載のデバイス連結体の製造方法。
- 前記配線パターンは、蛇腹型金属配線又は伸縮性金属ペースト配線であることを特徴とする請求項4に記載のデバイス連結体の製造方法。
- 前記無機基板を剥離する工程Cの後に、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成する工程Eと、
前記一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層を形成する工程Fとを有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス連結体の製造方法。 - 前記第2の積層体を得る工程Bに先立って、前記第1の積層体上に、前記複数のデバイス間を接続する伸縮性の配線パターンを形成する工程Gを有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス連結体の製造方法。
- 前記デバイスが、センサ素子又は発光素子であることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載のデバイス連結体の製造方法。
- エラストマー層と、
前記エラストマー層に付着する複数の樹脂層と、
前記エラストマー層と前記複数の樹脂層との間に介在する複数のデバイスと、
前記複数のデバイス間を接続する伸縮性の配線パターンとを備えることを特徴とするデバイス連結体。 - 前記エラストマー層が、前記複数の樹脂層同士の間隔部分の表面まで連続し、かつ、前記間隔部分において前記エラストマー層の表面が前記樹脂層の表面に対して、段差なく形成されていることを特徴とする請求項9に記載のデバイス連結体。
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