JPWO2016111045A1 - 圧電振動部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態に係る圧電振動部品40の分解斜視図である。同図に示すように、圧電振動部品40は、主に、圧電振動子20と、圧電振動子20が実装される主面11を有する基板10と、圧電振動子20を外気から密閉するためのリッド30とを備えている。圧電振動子20は、厚み方向に対向する二つの面を有する平板状の圧電板21と、圧電板21の一方の面に形成された励振電極22と、圧電板21の他方の面に形成された励振電極23とを備えている。励振電極22,23に交流電圧を印加すると、圧電板21は、厚みすべりモードで振動する。圧電板21は、圧電特性を示す圧電材質(例えば、水晶板や圧電セラミックスなど)からなる。励振電極22,23は、例えば、金、クロム、ニッケル、アルミニウム、チタン等の導電性薄膜からなる。
11…主面
12…導電性接着剤
13…配線
14…切欠き部
15…導電性接着剤
16…配線
17…切欠き部
20…圧電振動子
21…圧電板
22…励振電極
23…励振電極
30…リッド
31…凹部
32…フランジ部
33…接合面
34…先端面
35…上面
40…圧電振動部品
51…接着層
52…接着層
53…接着層
Claims (8)
- 圧電振動子を実装する主面を有する基板と、
前記主面に対向するように開口された凹部及び前記凹部の開口中心から開口縁に向かって前記開口縁から突出するフランジ部を有するリッドと、
前記圧電振動子を前記凹部と前記主面との間の空間に密閉封止するように前記基板と前記リッドとを接合する接着層とを備え、
前記接着層は、前記フランジ部の先端及び上部を被覆する、圧電振動部品。 - 請求項1に記載の圧電振動部品であって、
前記フランジ部は、前記接着層を介して前記主面に接合する接合面を有する、圧電振動部品。 - 請求項2に記載の圧電振動部品であって、
前記接合面の表面粗さは、前記凹部の表面粗さより粗い、圧電振動部品。 - 請求項2又は3に記載の圧電振動部品であって、
前記フランジ部の前記上部は、前記接合面の裏面である上面であり、
前記フランジ部の前記先端は、前記接合面と前記上面とを接続する先端面であり、
前記接着層は、前記接合面、前記先端面、及び前記上面を包囲するように屈曲しながら前記フランジ部の先端を被覆する、圧電振動部品。 - 請求項1乃至4のうち何れか1項に記載の圧電振動部品であって、
前記リッドは、金属材質である、圧電振動部品。 - 請求項1乃至5のうち何れか1項に記載の圧電振動部品であって、
前記接着層は、低融点ガラス接着剤である、圧電振動部品。 - 請求項1乃至5のうち何れか1項に記載の圧電振動部品であって、
前記接着層は、エポキシ系接着剤である、圧電振動部品。 - 圧電振動子を実装する主面を有する基板を準備する工程と、
前記主面に対向するように開口された凹部及び前記凹部の開口中心から開口縁に向かって前記開口縁から突出するフランジ部を有するリッドを準備する工程と、
前記フランジ部の先端に第1の接着層を形成する工程と、
前記フランジ部の周縁が前記主面に接合されるべき位置に合わせて略枠状に第2の接着層を前記主面に形成する工程と、
前記リッド及び前記基板を相対的に押圧することにより、前記第1及び前記第2の接着層が結合してなる接着層が前記フランジ部の先端及び上部を被覆するように促して、前記圧電振動子を前記凹部と前記主面との間の空間に密閉封止する工程と、
を備える圧電振動部品の製造方法。
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