JPH01112805A - 圧電部品の製造方法 - Google Patents
圧電部品の製造方法Info
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- JPH01112805A JPH01112805A JP26910987A JP26910987A JPH01112805A JP H01112805 A JPH01112805 A JP H01112805A JP 26910987 A JP26910987 A JP 26910987A JP 26910987 A JP26910987 A JP 26910987A JP H01112805 A JPH01112805 A JP H01112805A
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- piezoelectric
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はチップ型圧電部品の製造方法に関する。
第５図は特開昭５８−１３８１１５号公報に開示された
チップ型圧電部品の概略断面図である。図に示す如（、
矩形の絶縁板１．３はその中心部に通人の円形穴からな
る振動空洞部１ａ＋３ａを有し、前記絶縁板１．３の間
には、これらよりも長平方向の寸法が大きい圧電基板２
が配され、該圧電基板２と前記絶縁板１，３とはその接
触面に塗布された加熱硬化型樹脂等の接着剤５により接
着されている。
チップ型圧電部品の概略断面図である。図に示す如（、
矩形の絶縁板１．３はその中心部に通人の円形穴からな
る振動空洞部１ａ＋３ａを有し、前記絶縁板１．３の間
には、これらよりも長平方向の寸法が大きい圧電基板２
が配され、該圧電基板２と前記絶縁板１，３とはその接
触面に塗布された加熱硬化型樹脂等の接着剤５により接
着されている。
また、前記圧電基板２の両面には振動電極２ｘ、２ｙを
蒸着形成してあり、これらの一端は振動空洞部１ａ、３
ａに面し、他端は相対向する端部側へ延在させである。
蒸着形成してあり、これらの一端は振動空洞部１ａ、３
ａに面し、他端は相対向する端部側へ延在させである。
また前記絶縁Ｆｉ１．３の端部はコ字状金属キャップ６
．６が把持し、該金属キャップ６゜６の縦辺部は前記圧
電基板２の端面に接している。
．６が把持し、該金属キャップ６゜６の縦辺部は前記圧
電基板２の端面に接している。
一方、前記絶縁板１．３の端面および前記金属キャップ
６．６の把持部には夫々導電膜４，４が塗着され、前記
金属キャップ６．６を介して振動電極２ｘ、２ｙと外部
との電気的導通がとられている。
６．６の把持部には夫々導電膜４，４が塗着され、前記
金属キャップ６．６を介して振動電極２ｘ、２ｙと外部
との電気的導通がとられている。
上述した如き従来品においては、圧電基板２と絶縁板１
．３との接触面に塗布された接着剤５を加熱して硬化さ
せる場合に、振動空洞部１ａ、３ａ内の空気が膨張して
外部へ流出していくこと、および接着剤５に含まれる有
機溶剤からガスが発生することにより、接着剤５の内部
に空孔が生じ、そのまま硬化させると振動空洞部１ａ、
３ａ内の気密性が保てず、圧電部品としての信頼性が低
いという問題があった。
．３との接触面に塗布された接着剤５を加熱して硬化さ
せる場合に、振動空洞部１ａ、３ａ内の空気が膨張して
外部へ流出していくこと、および接着剤５に含まれる有
機溶剤からガスが発生することにより、接着剤５の内部
に空孔が生じ、そのまま硬化させると振動空洞部１ａ、
３ａ内の気密性が保てず、圧電部品としての信頼性が低
いという問題があった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その
目的とするところは、振動空洞部内の気密性を確保し、
信頼性が高い圧電部品の製造方法を提供することにある
。
目的とするところは、振動空洞部内の気密性を確保し、
信頼性が高い圧電部品の製造方法を提供することにある
。
本発明に斯かる圧電部品の製造方法は、振動空洞部を設
けた２枚の絶縁板の間に、振動電極を両面に設けた圧電
基板を配し接着してなる圧電部品を製造する方法におい
て、前記振動空洞部と外部とを連通ずる通気孔を設け、
接着後前記通気孔を塞ぐことを特徴とする。
けた２枚の絶縁板の間に、振動電極を両面に設けた圧電
基板を配し接着してなる圧電部品を製造する方法におい
て、前記振動空洞部と外部とを連通ずる通気孔を設け、
接着後前記通気孔を塞ぐことを特徴とする。
本発明方法にあっては、接着剤の加熱硬化時に振動空洞
部内の膨張した空気および前記接着剤に含まれる有機溶
剤から発生するガスが通気孔から外部へ放出され、該空
気孔は前記接着剤の加熱硬化終了後に塞がれる。
部内の膨張した空気および前記接着剤に含まれる有機溶
剤から発生するガスが通気孔から外部へ放出され、該空
気孔は前記接着剤の加熱硬化終了後に塞がれる。
以下、本発明方法をその実施例を示す図面に基づき具体
的に説明する。第１図は本発明方法により作製されたチ
ップ型圧電部品の１例を示す概略断面図であり、第２図
、第４図は絶縁板１，３の平面図である。これらの図に
示す如（、矩形の絶縁板１．３はその中心部に過大の円
形孔からなる振動空洞部１ａ、３ａを有し、また該振動
空洞部１ａ、３ａに面し、これらの直径より′も小径で
あり、夫々相対向する端部側へ偏心させた位置に通気孔
１ｂ、３ｂが前記絶縁板１．３を貫通して設けられてい
る。
的に説明する。第１図は本発明方法により作製されたチ
ップ型圧電部品の１例を示す概略断面図であり、第２図
、第４図は絶縁板１，３の平面図である。これらの図に
示す如（、矩形の絶縁板１．３はその中心部に過大の円
形孔からなる振動空洞部１ａ、３ａを有し、また該振動
空洞部１ａ、３ａに面し、これらの直径より′も小径で
あり、夫々相対向する端部側へ偏心させた位置に通気孔
１ｂ、３ｂが前記絶縁板１．３を貫通して設けられてい
る。
第３図は圧電基板２の平面図であり、第１図および第３
図に示す如＜、絶縁板１．３と平面寸法が等しく、これ
らの間に配すべくなされた圧電基板２の両面には、振動
空洞部１ａ、３ａの直径よりも小径であり、該振動空洞
部１ａ、３ａに面するように設けられた円板状の励振電
極２ａ、２ｄと、絶縁板１゜３の端部側に位置する矩形
の引出し電極２ｂ、２ｅとを細幅部分２ｃ、２ｆで接続
した形状を有する振動電極２ｘ、２ｙが圧電基板２に蒸
着されている。また、圧電基板２および絶縁板１．３は
、夫々の接触させるべき面に加熱硬化型樹脂等の接着剤
５を塗布後積層して整合し、その後、この積層体を加熱
することによって前記接着剤５を硬化させ、硬化終了後
通気孔１ｂ、３ｂを外側表面からエポキシ樹脂で塞ぐ。
図に示す如＜、絶縁板１．３と平面寸法が等しく、これ
らの間に配すべくなされた圧電基板２の両面には、振動
空洞部１ａ、３ａの直径よりも小径であり、該振動空洞
部１ａ、３ａに面するように設けられた円板状の励振電
極２ａ、２ｄと、絶縁板１゜３の端部側に位置する矩形
の引出し電極２ｂ、２ｅとを細幅部分２ｃ、２ｆで接続
した形状を有する振動電極２ｘ、２ｙが圧電基板２に蒸
着されている。また、圧電基板２および絶縁板１．３は
、夫々の接触させるべき面に加熱硬化型樹脂等の接着剤
５を塗布後積層して整合し、その後、この積層体を加熱
することによって前記接着剤５を硬化させ、硬化終了後
通気孔１ｂ、３ｂを外側表面からエポキシ樹脂で塞ぐ。
次に振動電極２に、２Ｙと外部との電気的導通をとるべ
く前記積層体の端面に導電膜４．４を塗着し、さらにそ
の外側をコ字状金属キャップ６゜６に把持させる。
く前記積層体の端面に導電膜４．４を塗着し、さらにそ
の外側をコ字状金属キャップ６゜６に把持させる。
以上述べた如き本発明方法に係る圧電部品においては、
接着剤５の加熱硬化時に振動空洞部１ａ、３ａ内の膨張
した空気および接着剤５に含まれる有機溶剤から発生す
るガスが通気孔１ｂ、３ｂから外部へ放出される。
接着剤５の加熱硬化時に振動空洞部１ａ、３ａ内の膨張
した空気および接着剤５に含まれる有機溶剤から発生す
るガスが通気孔１ｂ、３ｂから外部へ放出される。
以上に詳述した如く、本発明方法においては、接着剤の
加熱硬化時に振動空洞部内の膨張した空気および前記接
着剤に含まれる有機溶剤からのガス発生による接着剤内
部の空孔の発生をなくし、加熱硬化終了後通気孔を塞ぐ
ことによって振動空洞部内の気密性が保たれ、圧電部品
としての信頼性が向上する等価れた効果を奏する。
加熱硬化時に振動空洞部内の膨張した空気および前記接
着剤に含まれる有機溶剤からのガス発生による接着剤内
部の空孔の発生をなくし、加熱硬化終了後通気孔を塞ぐ
ことによって振動空洞部内の気密性が保たれ、圧電部品
としての信頼性が向上する等価れた効果を奏する。
第１図は本発明方法の実施により作製された圧電部品の
断面図、第２図乃至第４図は第１図に示した圧電部品を
構成する絶縁板ｌ、圧電基板２゜絶縁板３のそれぞれ平
面図、第５図は従来の圧電部品の断面図である。 １．３・・・絶縁板 ２・・・圧電基板 １ａ、３ａ・
・・振動空洞部 １ｂ、３ｂ・・・通気孔、５・・・接
着剤特 許 出願人 住友金属工業株式会社代理人
弁理士 河 野 登 夫第 １ 口 第 ２ 口 案 ３ 日 第 ４ （２） Ｊ− 第 ５ 図
断面図、第２図乃至第４図は第１図に示した圧電部品を
構成する絶縁板ｌ、圧電基板２゜絶縁板３のそれぞれ平
面図、第５図は従来の圧電部品の断面図である。 １．３・・・絶縁板 ２・・・圧電基板 １ａ、３ａ・
・・振動空洞部 １ｂ、３ｂ・・・通気孔、５・・・接
着剤特 許 出願人 住友金属工業株式会社代理人
弁理士 河 野 登 夫第 １ 口 第 ２ 口 案 ３ 日 第 ４ （２） Ｊ− 第 ５ 図
Claims (1)
- １．振動空洞部を設けた２枚の絶縁板 の間に、振動電極を両面に設けた圧電基板を配し接着し
てなる圧電部品を製造する方法において、前記振動空洞
部と外部とを連通する通気孔を設け、接着後前記通気孔
を塞ぐことを特徴とする圧電部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26910987A JPH01112805A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 圧電部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26910987A JPH01112805A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 圧電部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112805A true JPH01112805A (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=17467796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26910987A Pending JPH01112805A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 圧電部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01112805A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0336218U (ja) * | 1989-08-22 | 1991-04-09 | ||
| JPH03148906A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-25 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型電子部品の製造方法 |
| JPH03103623U (ja) * | 1990-02-09 | 1991-10-28 | ||
| JPH04101507A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-04-03 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JP2006067256A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 圧電共振器 |
-
1987
- 1987-10-23 JP JP26910987A patent/JPH01112805A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0336218U (ja) * | 1989-08-22 | 1991-04-09 | ||
| JPH03148906A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-25 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型電子部品の製造方法 |
| JPH03103623U (ja) * | 1990-02-09 | 1991-10-28 | ||
| JPH04101507A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-04-03 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JP2006067256A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 圧電共振器 |
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