JP2006005019A - 電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一方の面に開放されたキャビティ7と電極及び配線パターン5とをそれぞれ有する複数のベース1からなるベース板2を形成し、各ベースのキャビティ内に圧電振動片6を固定する。複数のリッド9からなるリッド板10を形成し、その一方の面11に低融点ガラス12を付着する。ベース板とリッド板とを重ね合わせ、ハロゲンランプ15で加熱して低融点ガラスを溶融させ、各ベースにリッドを気密に接合封止する。一体に接合されたベース板及びリッド板を各ベース及びリッドの外形16に沿ってダイシングにより切断し、圧電振動子を個片化する。
【選択図】 図4
Description
本発明の第1実施例によれば、図1に示すように、多数のベース1からなるベース板2を形成する。ベース板2は、図2(A)に示すように、2枚のセラミックシート3,4を積層して接着することにより形成される。下側のセラミックシート3には、図2(B)に良く示すように、圧電振動片を実装するために必要な所定数の電極及び配線パターン5が縦及び横方向に連続して予め形成されている。上側のセラミックシート4には、圧電振動片を収納するキャビティを画定するために必要な所定数の開口6が縦及び横方向に連続して予め形成されている。これらのセラミックシート3,4によって、その上面にキャビティ7を開放させた前記所定数のベース1を縦及び横方向に連続させて一体に形成したベース板2が形成される。ベース板2の各ベース1には、それぞれ圧電振動片8をキャビティ7内に実装し、前記電極に接続して固定する。
Claims (10)
- その一方の面に開放されたキャビティと電極及び配線パターンとをそれぞれ有する複数のベースからなるベース板を形成し、前記各ベースの前記キャビティ内に電子部品を固定しかつ電気的に接続する工程と、
所定の外形寸法を有する複数のリッドからなるリッド板を形成し、かつその一方の面に低融点ガラスを付着する工程と、
前記ベース板の前記一方の面に前記リッド板の前記一方の面を、前記各ベースと前記各リッドとを整合させて重ね合わせ、加熱して前記低融点ガラスを溶融させることにより前記各ベースに前記リッドを気密に接合封止する工程と、
前記ベース板及びリッド板を前記ベース及びリッドの外形に沿って切断し、電子デバイスを個片化する工程とを有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - その一方の面に開放されたキャビティと電極及び配線パターンとをそれぞれ有する複数のベースからなるベース板を形成し、前記各ベースの前記キャビティ内に電子部品を固定しかつ電気的に接続する工程と、
所定の外形寸法を有する複数のリッドを形成し、かつその一方の面に低融点ガラスを付着する工程と、
前記ベース板の前記一方の面に前記リッドの前記一方の面を、前記各ベースと前記各リッドとを整合させて重ね合わせ、加熱して前記低融点ガラスを溶融させることにより前記各ベースに前記リッドを気密に接合封止する工程と、
前記ベース板を前記ベースの外形に沿って切断し、電子デバイスを個片化する工程とを有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - その一方の面に開放されたキャビティと電極及び配線パターンとを有する複数のベースを形成し、前記各ベースの前記キャビティ内にそれぞれ電子部品を固定しかつ電気的に接続する工程と、
所定の外形寸法を有する複数のリッドからなるリッド板を形成し、かつその一方の面に低融点ガラスを付着する工程と、
前記リッド板の前記一方の面に前記各ベースの前記一方の面を、前記各ベースと前記各リッドとを整合させて重ね合わせ、加熱して前記低融点ガラスを溶融させることにより前記各ベースに前記リッドを気密に接合封止する工程と、
前記リッド板を前記リッドの外形に沿って切断し、電子デバイスを個片化する工程とを有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記低融点ガラスを前記リッド板の前記一方の面全面に付着させることを特徴とする請求項1又は3に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記低融点ガラスを前記リッドの前記一方の面全面に付着させることを特徴とする請求項2に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記低融点ガラスを前記リッドの前記一方の面の前記ベースとの接合部分にのみ付着させることを特徴とする請求項2に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記電子デバイスを個片化した後に、再加熱する工程を更に有することを特徴とする請求項1、3又は4のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記各ベースと前記各リッドとを整合させて重ね合わせる際に、前記各リッドを前記各ベースに向けて押圧することを特徴とする請求項1又は2に記載の電子デバイスの製造方法。
- ハロゲンランプを用いて加熱することにより、前記低融点ガラスを溶融させることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記電子部品が圧電振動片であることを特徴とする請求項1記載の電子デバイスの製造方法。
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JP2004177486A JP2006005019A (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 電子デバイスの製造方法 |
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JP2004177486A Withdrawn JP2006005019A (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 電子デバイスの製造方法 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007281370A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-10-25 | Epson Toyocom Corp | 蓋体、圧電デバイスおよび電子デバイスの製造方法 |
JP2008035303A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電デバイスの製造方法 |
US8020265B2 (en) * | 2008-02-18 | 2011-09-20 | Seiko Instruments Inc. | Method of manufacturing a piezoelectric vibrator |
KR101122165B1 (ko) * | 2009-04-29 | 2012-03-15 | 김홍권 | 피스톤의 실링장치 |
JP2015216322A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 日本電気硝子株式会社 | セラミック−ガラス複合パッケージの製造方法及びセラミック−ガラス複合パッケージ |
-
2004
- 2004-06-15 JP JP2004177486A patent/JP2006005019A/ja not_active Withdrawn
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