JP2010252051A - 圧電デバイス及びその製造方法 - Google Patents
圧電デバイス及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010252051A JP2010252051A JP2009099389A JP2009099389A JP2010252051A JP 2010252051 A JP2010252051 A JP 2010252051A JP 2009099389 A JP2009099389 A JP 2009099389A JP 2009099389 A JP2009099389 A JP 2009099389A JP 2010252051 A JP2010252051 A JP 2010252051A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric device
- layer
- substrate
- electrically connected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】圧電デバイスは、励振電極26Bを備えた電子素子層と、外部電極44A、44Bを備えた被接合部材との接合面に金属ロウ材を施し接合してなる圧電デバイスであって、前記電子素子層は、前記励振電極26Bと電気的に接続する接続電極25A、25B上に凹部28A、28Bを形成し、前記被接合部材は、前記外部電極44A、44Bと電気的に接続させると共に、前記接合面に突出させて前記凹部28A、28Bに嵌合して前記接続電極と電気的に接続する貫通電極を形成している。
【選択図】図2
Description
特許文献1に開示された圧電発振子は、図13に示すように一対の振動電極81a,81bを備えた圧電振動子80と、圧電振動子80の両主面に接合する絶縁性支持板82と、保護板83を備え、絶縁性接着剤85を介した三層接合時に、絶縁性支持板82の底面にそれぞれ設けられた2つのリード端子84a,84bと、絶縁性支持板82の厚み方向に形成された接続用孔86a,86b内の導電部材87a,87bにより、リード端子84a,84bの突出部88a,88bと引出電極89a,89bとが接続する。これによりリード端子84a,84bと振動電極81a,81bが電気的に接続される。
〔適用例1〕励振電極を備えた電子素子層と、外部電極を備えた被接合部材との接合面に金属ロウ材を施し接合してなる圧電デバイスであって、前記電子素子層は、前記励振電極と電気的に接続する接続電極上に凹部を形成し、前記被接合部材は、前記外部電極と電気的に接続させると共に、前記接合面側に突出させて前記凹部に嵌合して前記接続電極と電気的に接続する貫通電極を形成したことを特徴とする圧電デバイス。
これによれば、金属ボールを封止孔に落とし込んだときに封止孔の底面に位置する凹部で金属ボールを固定することができる。従って、封止孔の内部で金属ボールが転がることがなく、レーザー照射による金属ボールの照射位置決めを容易に行なうことができる。
電子素子層と被接合部材の接合の際、凹部に貫通電極の先端が嵌め合うことにより、接続電極と外部電極を電気的に接続させることができる。これにより電気的接続の信頼性を向上させることができる。
電子素子層と被接合部材の接合の際、凹部にバンプの先端が嵌め合うことにより、接続電極と外部電極を電気的に接続させることができる。またバンプと凹部の嵌め合いの際に、貫通電極が被接合部材から脱落することを防止できる。
これによれば、貫通電極と凹部の嵌め合いの際に、貫通電極が被接合部材から脱落することを防止できる。
これによれば、凹部と貫通電極の接触面積を広くすることができるため、電気抵抗率が低下する。従ってCI値の向上を図ることができる。
図1は本発明に係る圧電デバイスの一実施例である実施例1の圧電振動子を第1基板の斜め上方から見た分解斜視図である。図2は前記圧電振動子の第2基板の斜め下方から見た分解斜視図である。図3は実施例1の圧電振動子の断面図である。なお図1〜3はいずれも貫通電極を除いた圧電振動子を示している。
電子素子層となる振動体基板20は、振動体21と、この振動体21の外周と所定の間隔を隔てて振動体21を囲む枠体22とから構成されている。振動体21と枠体22とは連結部23A,23Bを介して一体形成されている。なお本実施形態の振動体21は、枠体22よりも薄肉に形成されており、連結部23A,23Bはテーパ状に形成している。連結部23Aと対角線上に位置する枠体には突出部24を形成している。連結部23Aと突出部24の裏面(第2基板40側)には、一対の接続電極25A,25Bが形成されている。
尚、前記TLP接合により接合された前記第1接合部50及び第2接合部60において、Au−In接合のみならず水晶α−β転移温度573度以下で行われる接合であれば良く、インサート金属にSnやSnIn、接合金属層をCuとしても良い。また、接合用金属層を共晶金属であるAu−20Sn(融点:280度)、Au−12Ge(融点:375度)、Au−6Si(融点:370度)などを直接形成されても良い。
さらに第2基板40の外面には、封止孔42A、42Bを夫々含むように(封止孔42と電気的に接続するように)外部電極44A、44Bを蒸着法又はスパッタ法等により形成している。
Claims (7)
- 励振電極を備えた電子素子層と、外部電極を備えた被接合部材との接合面に金属ロウ材を施し接合してなる圧電デバイスであって、
前記電子素子層は、前記励振電極と電気的に接続する接続電極上に凹部を形成し、
前記被接合部材は、前記外部電極と電気的に接続させると共に、前記接合面側に突出させて前記凹部に嵌合して前記接続電極と電気的に接続する貫通電極を形成したことを特徴とする圧電デバイス。 - 前記貫通電極は、金属ボールを溶融して形成したことを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記貫通電極は、前記凹部と対向する前記被接合部材を貫通させて凸状に形成した電極であることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記貫通電極は、前記外部電極と電気的に接続した配線パターン上に形成したバンプであることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記貫通電極は、前記電子素子層との前記接合面から前記被接合部材の裏面に向けて異径となるテーパ状に形成されたことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の圧電デバイス。
- 前記凹部は、開口から底面に向けて径小となるテーパ状に形成されたことを特徴とする請求項3乃至5の何れか1項に記載の圧電デバイス。
- 励振電極を備えた電子素子層と、外部電極を備えた被接合部材とを接合してなる圧電デバイスの製造方法であって、
前記電子素子層の接合面側の前記励振電極と電気的に接続する接続電極上に形成した凹部と、前記被接合部材の接合面側に突出形成した貫通電極とを嵌め合わせて、前記電子素子層と前記被接合部材が積層体を形成する工程を有することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009099389A JP5262946B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 電子デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009099389A JP5262946B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 電子デバイス |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010252051A true JP2010252051A (ja) | 2010-11-04 |
JP2010252051A5 JP2010252051A5 (ja) | 2012-05-31 |
JP5262946B2 JP5262946B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=43313886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009099389A Expired - Fee Related JP5262946B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 電子デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5262946B2 (ja) |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011087275A (ja) * | 2009-09-16 | 2011-04-28 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動デバイス及び圧電振動デバイスの製造方法 |
WO2015093300A1 (ja) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2015122568A (ja) * | 2013-12-20 | 2015-07-02 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2016152478A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
WO2016132765A1 (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-25 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動デバイス及びその製造方法 |
WO2016140301A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
JP2018019200A (ja) * | 2016-07-27 | 2018-02-01 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの製造方法 |
JP2018133787A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | リバーエレテック株式会社 | ウェハレベルパッケージ |
JP2018133789A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | リバーエレテック株式会社 | ウェハレベルパッケージの製造方法 |
CN109155620A (zh) * | 2016-06-29 | 2019-01-04 | 株式会社大真空 | 压电振动器件及压电振动器件的制造方法 |
US10600953B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-03-24 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
JP2020088589A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2020122179A1 (ja) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2020123906A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-13 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2020141358A (ja) * | 2019-03-01 | 2020-09-03 | 株式会社大真空 | 圧電振動板及び圧電振動デバイス |
US10771037B2 (en) | 2015-03-27 | 2020-09-08 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11152911B2 (en) | 2016-09-16 | 2021-10-19 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11152910B2 (en) | 2016-11-17 | 2021-10-19 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11165390B2 (en) | 2015-06-12 | 2021-11-02 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11342899B2 (en) | 2016-11-16 | 2022-05-24 | Daishinku Corporation | Crystal resonator device |
WO2022131213A1 (ja) | 2020-12-16 | 2022-06-23 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
US11637544B2 (en) | 2016-11-24 | 2023-04-25 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device and system-in-package module including the same |
US11824512B2 (en) | 2018-03-13 | 2023-11-21 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS606338U (ja) * | 1983-06-24 | 1985-01-17 | キンセキ株式会社 | 水晶振動子 |
JP2004096721A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-03-25 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子用パッケージ並びに圧電振動子および圧電デバイス |
JP2004208236A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2007243378A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2008166884A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイスの製造方法、およびその製造方法による圧電振動デバイス |
JP2009065520A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイスおよびその製造方法 |
-
2009
- 2009-04-15 JP JP2009099389A patent/JP5262946B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS606338U (ja) * | 1983-06-24 | 1985-01-17 | キンセキ株式会社 | 水晶振動子 |
JP2004096721A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-03-25 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子用パッケージ並びに圧電振動子および圧電デバイス |
JP2004208236A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2007243378A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2008166884A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイスの製造方法、およびその製造方法による圧電振動デバイス |
JP2009065520A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイスおよびその製造方法 |
Cited By (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8429800B2 (en) | 2009-09-16 | 2013-04-30 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Methods for manufacturing piezoelectric vibrating pieces |
JP2011087275A (ja) * | 2009-09-16 | 2011-04-28 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動デバイス及び圧電振動デバイスの製造方法 |
CN106416066A (zh) * | 2013-12-20 | 2017-02-15 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
WO2015093300A1 (ja) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2015122568A (ja) * | 2013-12-20 | 2015-07-02 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
US10630255B2 (en) | 2013-12-20 | 2020-04-21 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
JP2016152478A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
WO2016132765A1 (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-25 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動デバイス及びその製造方法 |
JP6052651B1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-12-27 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
WO2016140301A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
US10848125B2 (en) | 2015-03-03 | 2020-11-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal resonator unit |
US10771037B2 (en) | 2015-03-27 | 2020-09-08 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11165390B2 (en) | 2015-06-12 | 2021-11-02 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US10600953B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-03-24 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11342897B2 (en) | 2016-06-29 | 2022-05-24 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device and method for manufacturing piezoelectric resonator device |
CN109155620A (zh) * | 2016-06-29 | 2019-01-04 | 株式会社大真空 | 压电振动器件及压电振动器件的制造方法 |
JP2018019200A (ja) * | 2016-07-27 | 2018-02-01 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの製造方法 |
US11152911B2 (en) | 2016-09-16 | 2021-10-19 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11342899B2 (en) | 2016-11-16 | 2022-05-24 | Daishinku Corporation | Crystal resonator device |
US11152910B2 (en) | 2016-11-17 | 2021-10-19 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11637544B2 (en) | 2016-11-24 | 2023-04-25 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device and system-in-package module including the same |
JP2018133787A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | リバーエレテック株式会社 | ウェハレベルパッケージ |
JP2018133789A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | リバーエレテック株式会社 | ウェハレベルパッケージの製造方法 |
US11824512B2 (en) | 2018-03-13 | 2023-11-21 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11411550B2 (en) | 2018-11-26 | 2022-08-09 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
WO2020110557A1 (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2020088589A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2020122179A1 (ja) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
US11362641B2 (en) | 2018-12-14 | 2022-06-14 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
TWI729621B (zh) * | 2018-12-14 | 2021-06-01 | 日商大真空股份有限公司 | 壓電振動器件 |
JP7305971B2 (ja) | 2019-01-31 | 2023-07-11 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2020123906A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-13 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP2020141358A (ja) * | 2019-03-01 | 2020-09-03 | 株式会社大真空 | 圧電振動板及び圧電振動デバイス |
WO2022131213A1 (ja) | 2020-12-16 | 2022-06-23 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5262946B2 (ja) | 2013-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5262946B2 (ja) | 電子デバイス | |
US7486160B2 (en) | Electronic component and manufacturing method thereof | |
JP5538974B2 (ja) | 電子デバイスパッケージの製造方法及び電子デバイスパッケージ | |
JP2009278562A (ja) | 圧電デバイス及びその封止方法 | |
JP2011010143A (ja) | 電子デバイス及びその製造方法 | |
WO2006025139A1 (ja) | 回路基板とその製造方法及びこれを用いた電子部品 | |
JP5365851B2 (ja) | 電子部品 | |
JP5853702B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2011155506A (ja) | 電子デバイス、電子機器、及び電子デバイスの製造方法 | |
JP5152012B2 (ja) | 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法 | |
JP5991452B2 (ja) | 水晶振動装置及びその製造方法 | |
JP2011082870A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2011091586A (ja) | 圧電振動子、電子部品 | |
JP2013031133A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP5440148B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP2003318692A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2017130827A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2010263114A (ja) | 電子部品とその製造方法 | |
JP2009239475A (ja) | 表面実装型圧電発振器 | |
JP2013045880A (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP2011055033A (ja) | 圧電発振器 | |
WO2023008138A1 (ja) | 水晶発振器及びその製造方法 | |
JP2013026919A (ja) | 電子デバイスパッケージの製造方法、電子デバイスパッケージ及び発振器 | |
JPH11274892A (ja) | 圧電振動子、ならびにその製造方法 | |
JP2004281545A (ja) | 圧電デバイス用パッケージの封止方法並びにパッケージの蓋体及び圧電デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120410 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |