WO2016140301A1

WO2016140301A1 - 水晶振動子

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Publication number: WO2016140301A1
Application number: PCT/JP2016/056559
Authority: WO
Inventors: 和幸能登; 開田　弘明
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2015-03-03
Filing date: 2016-03-03
Publication date: 2016-09-09
Also published as: JP6052651B1; CN107408935A; US10848125B2; CN107408935B; JPWO2016140301A1; US20170366162A1

Abstract

水晶振動子（１）は、水晶ブランク（１１０）と、水晶ブランク（１１０）の外周を囲む枠体（１２０）と、枠体（１２０）と水晶ブランク（１１０）を連結する連結部材（１１１ａ，１１１ｂ）とを含む水晶振動素子（１００）と、リッド部材（２００）と、ベース部材（３００）と、を備え、複数の外部電極（３２２，３２４，３２６，３２８）のうち第１及び第２外部電極（３２４，３２８）の少なくとも一つは、連結部材（１１１ａ，１１１ｂ）が連結された側において、枠体（１２０）、リッド部材（２００）及びベース部材（３００）のそれぞれの端面に形成され、かつ、機械的品質係数Ｑｍが前記枠体より小さい。

Description

水晶振動子

　本発明は、水晶振動子に関する。

　発振装置や帯域フィルタなどに用いられる基準信号の信号源に、厚みすべり振動を主振動とする水晶振動子が広く用いられている。また、特許文献１に開示されるように、水晶振動子の一態様として、ＡＴカットの水晶材からなる圧電基板の表裏主面にリッド部及びベース部がそれぞれ封止材によって接合されており、ベース部に設けられた外部電極が、ベース部の四隅に形成されたキャスタレーションの貫通電極を介して、圧電基板の引出電極に電気的に接続された構成が知られている。

　しかしながら、かかる構成によれば、圧電基板から封止材を介してリッド部及びベース部の上下の基材に漏れ出た励振振動が、各基材の端面（外周側面）で反射し、かかる反射波の影響により圧電基板の特性が悪化する場合があった。すなわち従来の構成では不要振動の発生によって水晶振動子の品質が損なわれることがあった。

特開２０１２－９００８１号公報

　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、不要振動を低減することによって水晶振動子の品質の向上を図ることを目的とする。

　本発明に係る水晶振動子は、第１面と第２面にそれぞれ第１励振電極と第２励振電極が設けられた水晶ブランクと、水晶ブランクの外周を囲む枠体と、枠体と水晶ブランクを連結する連結部材と、を含む水晶振動素子と、水晶ブランクの第１面に対向して配置され、枠体の全周に接合されたリッド部材と、水晶ブランクの第２面に対向して配置され、枠体の全周に接合されたベース部材と、を備え、ベース部材は、水晶振動素子と対向する面とは反対側の面において外部と電気的に接続可能である複数の外部電極を有し、複数の外部電極は、第１励振電極に電気的に接続された第１外部電極と、第２励振電極に電気的に接続された第２外部電極とを有し、リッド部材及びベース部材はそれぞれ水晶又はガラスによって形成され、第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、連結部材が設けられた側において、枠体、リッド部材及びベース部材のそれぞれの端面に形成され、かつ、機械的品質係数Ｑｍが枠体より小さい。

　上記構成によれば、連結部材が設けられた側において、枠体、リッド部材及びベース部材のそれぞれの端面に外部電極が形成され、かつ、当該外部電極は機械的品質係数Ｑｍが枠体より小さい。これにより水晶振動素子から漏れ出た振動のうち、リッド部材及びベース部材の端部から外部電極に伝搬した振動エネルギーが、外部電極内で消費され、外部電極によって減衰した反射波を反射させることができる。したがって、かかる反射波の影響を緩和又は分散させることができ、水晶振動素子の特性が悪化することを抑制することができ、水晶振動子の品質の向上を図ることができる。

　上記水晶振動子において、第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、リッド部材の端面の上側縁に至るまで形成されてもよい。

　上記水晶振動子において、第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、リッド部材の端面を経由してリッド部材における水晶振動素子と対向する面とは反対の面に形成されてもよい。

　上記水晶振動子において、枠体には、第１励振電極又は第２励振電極と電気的に接続され、かつ、枠体の外縁に接する接続電極が設けられ、第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、枠体、リッド部材及びベース部材のそれぞれの端面側において接続電極と接続されてもよい。

　上記水晶振動子において、枠体、リッド部材及びベース部材は、いずれも平面視して略矩形の外形形状を有していてもよい。

　上記水晶振動子において、枠体、リッド部材及びベース部材の各端面は、少なくとも連結部材が設けられた側において面一であり、第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、面一である各端面を覆って設けられてもよい。

　上記水晶振動子において、第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、枠体の各辺のうち連結部材が設けられた側に隣接する２辺のそれぞれの側において、枠体、リッド部材及びベース部材のそれぞれの端面に形成されてもよい。

　上記水晶振動子において、リッド部材及びベース部材が平板であってもよい。

　上記水晶振動子において、水晶ブランクのうち第１及び第２励振電極を除く部分の厚さが、枠体の厚さと同一であってもよい。

　上記水晶振動子において、第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、機械的品質係数Ｑｍがリッド部材及びベース部材のいずれよりも小さくてもよい。

　上記水晶振動子において、枠体、リッド部材及びベース部材で囲まれた内部空間が真空であってもよい。

　本発明によれば、不要振動を低減することによって水晶振動子の品質の向上を図ることができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係る水晶振動子の分解斜視図である。図２Ａは、図１のＩＩＡ－ＩＩＡ線断面図である。図２Ｂは、図１のＩＩＢ－ＩＩＢ線断面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係るベース部材の平面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る水晶振動子の斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図６は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図７は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図８は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図９は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図１０は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図１１は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図１２は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図１３は、本発明の第１実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図１４は、本発明の第２実施形態に係るベース部材の平面図である。図１５は、本発明の第２実施形態に係る水晶振動子の斜視図である。図１６は、本発明の第２実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図１７は、本発明の第２実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。図１８は、本発明の第２実施形態の変形例に係る水晶振動子の斜視図である。

　以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施の形態に限定して解するべきではない。

　（第１実施形態）
　図１～図４を参照しつつ、本発明の第１実施形態に係る水晶振動子を説明する。ここで、図１は本実施形態に係る水晶振動子の分解斜視図であり、図２Ａは図１のＩＩＡ－ＩＩＡ線断面図であり、図２Ｂは図１のＩＩＢ－ＩＩＢ線断面図であり、図３はベース部材の平面図である。また、図４は水晶振動子の斜視図である。なお、図１においてはベース部材の外部電極は省略している。

　図１に示すように、本実施形態に係る水晶振動子１は、水晶振動素子１００と、リッド部材２００と、ベース部材３００とを備える。

　水晶振動素子１００は、例えばＡＴカットの水晶基板から構成されている。ＡＴカットの水晶基板は、人工水晶の結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうち、Ｙ軸及びＺ軸をＸ軸の周りにＹ軸からＺ軸の方向に３５度１５分±１分３０秒回転させた軸をそれぞれＹ´軸及びＺ´軸とした場合、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される面と平行な面を主面として切り出されたものである。ＡＴカット水晶基板を用いた水晶振動素子は、広い温度範囲で極めて高い周波数安定性を有し、また、経時変化特性にも優れている上、低コストで製造することが可能である。また、ＡＴカット水晶振動素子は、厚みすべり振動モード（Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ　Ｓｈｅａｒ　Ｍｏｄｅ）を主振動として用いられることが多い。以下、ＡＴカットの軸方向を基準として水晶振動子の各構成を説明する。なお、水晶振動素子１００はＡＴカット以外の他のカットによる水晶基板から構成されたものを用いてもよい。

　リッド部材２００及びベース部材３００は、水晶振動素子１００の一部（水晶ブランク）を収容するためのケース又はパッケージである。水晶振動素子１００、リッド部材２００及びベース部材３００は、それぞれ略同一の寸法及び平面視した場合の外形形状（例えば略矩形の外形形状）を有している。ウエハ状態のまま水晶ブランクのパッケージングまでを行う製法（ウエハレベルＣＳＰ：Ｃｈｉｐ　Ｓｉｚｅ　Ｐａｃｋａｇｅとも呼ばれる。）を採用した場合は、リッド部材に相当するウエハ、水晶振動素子に相当するウエハ及びベース部材に相当するウエハからなる３層構造を一括してダイシングして個々の水晶振動子１を製造するため、水晶振動素子１００、リッド部材２００及びベース部材３００は実質的に同一の寸法及び外形形状を有する。

　水晶振動素子１００は、水晶ブランク１１０と、水晶ブランク１１０の外周を囲む枠体１２０と、水晶ブランク１１０と枠体１２０を連結する連結部材１１１ａ，１１１ｂとを備える。水晶ブランク１１０、枠体１２０及び連結部材１１１ａ，１１１ｂはいずれもＡＴカットの水晶基板から形成されたものであってもよい。水晶振動素子１００は、全体として、Ｘ軸方向に平行な長手方向と、Ｚ´軸方向に平行な短手方向と、Ｙ´軸方向に平行な厚さ方向とを有している。図１に示す例においては、連結部材１１１ａ，１１１ｂは、いずれも、水晶ブランク１１０の長手方向の一方端（Ｘ軸負方向側）に配置されている。すなわち、水晶ブランク１１０は、枠体１２０から離れて設けられており、両者は連結部材１１１ａ，１１１ｂによって連結されている。なお、図１に示す例では長手方向の一方端側に配置された２個の連結部材が示されているが、連結部材の個数やその配置等は特に限定されるものではない。

　水晶振動素子１００の各コーナー１０２，１０４，１０６，１０８の形状は特に限定されるものではなく、図１に示すように切欠きがない角であってもよい。あるいは、図１に示す例とは別に、各コーナーは、当該コーナーの一部が円筒曲面状（又はキャスタレーション形状）に切断して形成された切り欠き側面をもって形成されていてもよい。この場合、リッド部材２００及びベース部材３００においても、各コーナーが上記切り欠き側面をもって形成されてもよい。このような切り欠き側面は、ウエハレベルＣＳＰと呼ばれるウエハ状態のままパッケージングまでを行う製法を採用したことに伴って形成されることが多く、この場合、水晶振動素子１００、リッド部材２００及びベース部材３００のうち、対応するコーナーにおける各切り欠き側面はそれぞれＹ´軸方向に一致して配置されている。なお、切り欠き側面が形成される場合のその形状は円筒曲面状以外の形状であってもよい。

　水晶ブランク１１０の主面には第１及び第２励振電極１３０，１４０が形成されている。水晶ブランク１１０のうち、第１及び第２励振電極１３０，１４０が対向する部分は励振部分（第１及び第２励振電極１３０，１４０を除く部分）となる。水晶ブランク１１０の厚さは特に限定されるものではないが、図２Ａに示すように、水晶ブランク１１０の励振部分の厚さは、枠体１２０の厚さと実質的に同一であってもよい。このような平板構造のような水晶振動素子１００においては、メサ構造と比べて振動が拡散しにくく、振動漏れによる影響を受けやすい。そのため、平板構造に本実施形態に係る構成を採用することで、漏れ振動による不要振動が抑制できるため、効果的である。また、水晶ブランク１１０の主面の法線方向に沿った厚みにおいて、連結部材１１１ａ，１１１ｂの厚さは、水晶ブランク１１０の励振部分となる水晶部分の厚さよりも薄くてもよい。これによって、水晶ブランク１１０をメサ構造に類似した構成とすることができるため、枠体１２０の厚さによって水晶振動素子１００の機械的強度を保ちつつ、連結部材１１１ａ，１１１ｂによる振動エネルギーの閉じ込め性の向上を図ることができる。

　第１励振電極１３０は、水晶ブランク１１０の第１面１１２（Ｙ´軸正方向側の面）に形成され、他方、第２励振電極１４０は、水晶ブランク１１０の第２面１１４（Ｙ´軸負方向側の面）に形成されている。第１及び第２励振電極１３０，１４０は、一対の電極として略全体が重なり合うように配置されている。また、枠体１２０の第１面１２２には、第１励振電極１３０に電気的に接続された延出電極１３２が形成されている。延出電極１３２は、第１励振電極１３０から一方の連結部材１１１ａを通って延出された後、枠体１２０の第１面１２２上を通って、コーナー１０８に向かって延出され、枠体１２０の第２面１２４に形成された接続電極１３４に電気的に接続されている。他方、枠体１２０の第２面１２４には、第２励振電極１４０に電気的に接続された延出電極１４２が形成されている。延出電極１４２は、第２励振電極１４０から他方の連結部材１１１ｂを通って延出された後、枠体１２０の第２面１２４を通って、コーナー１０４に向かって延出され、枠体１２０の第２面１２４に形成された接続電極１４４に電気的に接続されている。このように、図１に示す例では、第１及び第２励振電極１３０，１４０に電気的に接続された接続電極１３４，１４４が、枠体１２０の対向するコーナー１０８，１０４に配置されている。接続電極１３４，１４４は枠体１２０の外縁に接して設けられている。

　なお、第１及び第２励振電極１３０，１４０に電気的に接続される接続電極１３４，１４４の配置は特に限定されるものではなく、例えば、枠体１２０のＸ軸負方向側の２つのコーナー１０２，１０４に配置されてもよい。あるいは、接続電極１３４，１４４は、枠体１２０の外縁に接していればよく、枠体のいずれかのコーナーを除く領域に配置されていてもよい。

　第１及び第２励振電極１３０，１４０を含む上記各電極は、例えば、下地をクロム（Ｃｒ）層で形成し、クロム層の表面に金（Ａｕ）層を形成する。なお、各電極は、上記の材料にのみ限定されるものではない。

　リッド部材２００は、水晶ブランク１１０の第１面１１２に対向して枠体１２０の第１面１２２の側に配置され、ベース部材３００は、水晶ブランク１１０の第２面１１４に対向して枠体１２０の第２面１２４の側に配置され、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３００はこの積層の順番で３層構造をなしている。リッド部材２００は、第１面２０２と、第１面２０２と反対であって水晶振動素子１００に対向する第２面２０４とを有する。また、ベース部材３００は、水晶振動素子１００に対向する第１面３０２と、第１面３０２と反対の第２面３０４とを有する。なお、ベース部材３００の第２面３０４は、外部と電気的に接続される実装面であってもよい。

　図３に示すように、ベース部材３００の第２面３０４には、各コーナーにおいて、外部電極３２２，３２４，３２６，３２８が形成されている。具体的には、Ｘ軸負方向側の２つのコーナーには外部電極３２２，３２４が形成され、Ｘ軸正方向側の２つのコーナーには外部電極３２６，３２８が形成されている。水晶振動素子１００がベース部材３００に搭載されると、外部電極３２８が延出電極１３２及び接続電極１３４を介して第１励振電極１３０に電気的に接続され、外部電極３２４が延出電極１４２及び接続電極１４４を介して第２励振電極１４０に電気的に接続されることになる。残りの外部電極３２２，３２６は、第１及び第２励振電極１３０，１４０のいずれとも電気的に接続されていないダミー電極（又は浮き電極とも呼ばれる。）であってもよく、当該ダミー電極は水晶振動子１が実装される基板に設けられた端子であって他のいずれの電子素子とも接続されない端子に接続されたものであってもよい（以下、外部電極についてダミー電極という場合に同じ。）。なお、図３に示す例では、第１及び第２励振電極１３０，１４０に電気的に接続される外部電極３２４，３２８は、ベース部材３００の対向するコーナーに配置されているが、これに限定されるものではなく他のコーナーに配置することもできる。また、ベース部材３００の各コーナーにキャスタレーション形状などの切り欠き側面が形成される場合、各外部電極は対応する各コーナーにおいて、ベース部材３００の第２面３０４から切り欠き側面に至るように延出されていてもよい。なお、図３は、水晶振動素子が搭載された側から見たベース部材３００の平面図を示している。

　外部電極３２２，３２４，３２６，３２８は、例えば、クロム（Ｃｒ）や金（Ａｕ）などで形成される。その形成方法はスパッタ法又はメッキ法を用いた。なお、外部電極３２２，３２４，３２６，３２８は上記の材料に特に限定されるものではなく公知の導電材料を用いることができる。その形成方法も上位の形成方法以外の公知の形成方法を用いることができる。また、本実施形態においては４つの外部電極からなる４端子構造を示すが、外部電極の数は特に限定されるものではなく、例えば２つの外部電極からなる２端子構造を適用してもよい（２端子構造については後述の第２実施形態参照）。

　リッド部材２００及びベース部材３００は、平板な基板であってもよい。また、リッド部材２００及びベース部材３００の材質は、ガラス（例えばケイ酸塩ガラス、又はケイ酸塩以外を主成分とする材料であって、昇温によりガラス転移現象を有する材料）から構成されていてもよいし、あるいは水晶振動素子１００と同一材質である水晶（例えばＡＴカット水晶）から構成されていてもよい。このようにリッド部材２００及びベース部材３００が平板な基板である場合、リッド部材２００及びベース部材３００に連結部材を通って漏れ出た励振振動に基づく振動が水晶振動素子１００に伝搬しやすい。また、リッド部材２００及びベース部材３００が水晶振動素子１００と同一材質である場合、両者間に振動が伝搬しやすい。すなわち、これらのいずれの構成においても不要振動の低減が要求されるため、本実施形態に係る構成を採用すると効果的である。

　図１及び図２Ａに示すように、リッド部材２００は枠体１２０の第１面１２２の全周に第１封止部材１７０を介して接合され、他方、ベース部材３００は、枠体１２０の第２面１２４の全周に第２封止部材１７２を介して接合される。第１及び第２封止部材１７０，１７２が枠体１２０の各面の全周に設けられることにより、水晶ブランク１１０が内部空間（キャビティ）に密封封止される。内部空間の圧力は、大気圧力よりも低圧な真空状態であることが、第１励振電極１３０、第２励振電極１４０の酸化による経時変化などが低減できるため好ましい。第１及び第２封止部材１７０，１７２は、各部材の接合面同士を接合するとともに内部空間を密封封止できればその材料は限定されるものではなく、例えば、低融点ガラス（例えば鉛ホウ酸系や錫リン酸系等）などのガラス接着材料であってもよいし、あるいは、樹脂接着剤を用いてもよい。ガラス接着材料に比べ機械的品質係数Ｑｍが小さな樹脂材料を含む接着材料を用いて、枠体１２０がリッド部材２００及びベース部材３００に接合された場合、枠体１２０から第１及び第２封止部材１７０，１７２を介して伝搬する振動が接着材料でより大きく消費されるため望ましい。また、第１及び第２封止部材１７０，１７２が、水晶振動素子の端面から内側に所定の隙間を有する場合、端面に設けられる外部電極３２４ａが所定の隙間に入り込んで配置することができる。この場合、端面に引き出される配線と外部電極３２４ａとの接合面積を大きくすることができるため、接合強度が高くなり好ましい。さらに、外部電極３２４ａが第１又は第２封止部材１７０，１７２と直接接触する場合、外部電極３２４ａが第１又は第２封止部材１７０，１７２との間に空気層を有して隔てる場合に比べて、音響インピーダンスの差を小さくできるため、振動の反射を小さくすることができる。

　本実施形態においては、図２Ａに示されるように、枠体１２０における連結部材１１１ｂが連結されたＸ軸負方向側において、外部電極３２４ａ（第２励振電極１４０に電気的に接続されている）が枠体１２０、リッド部材２００及びベース部材３００のそれぞれの端面に形成され、かつ、当該外部電極３２４ａは機械的品質係数Ｑｍが枠体１２０より小さい。これにより、水晶振動素子１００の水晶ブランク１１０から漏れ出た振動が、枠体１２０よりも機械的品質係数Ｑｍが小さい外部電極３２４ａ内で熱エネルギーなどに消費される。したがって、外部電極３２４ａに伝搬して、外部電極３２４ａの端面から反射する反射波の振動エネルギーを減衰させることができため、かかる反射波の影響を緩和又は分散させることができる。よって、水晶振動素子１００の特性が、不要振動によって悪化することを抑制することができる。特に、水晶振動素子１００の振動漏れは、連結部材１１１ａ，１１１ｂを介して枠体１２０、リッド部材２００及びベース部材３００へ伝搬することから、少なくとも、連結部材１１１ａ，１１１ｂが連結された側の枠体１２０の一辺に対して、各部材の端面に外部電極３２４ａを形成することにより、反射波による不要振動を効果的に低減することができる。さらに、外部電極３２４ａのＱｍが枠体１２０、リッド部材２００及びベース部材３００のいずれのＱｍより小さい構成であれば、水晶ブランク１１０から漏れる振動エネルギーを減衰が大きくなるためより好ましい。

　また図２Ｂに示すように、外部電極３２４ａは、枠体１２０、リッド部材２００及びベース部材３００のそれぞれの端面側において、枠体１２０の外縁に接して設けられた接続電極１４４（接続電極１４４は、延出電極１４２を介して第２励振電極１４０に電気的に接続されている。）と接続されている。また、図２Ｂに示すように、枠体１２０、リッド部材２００及びベース部材３００の各端面は、連結部材１１１ｂが設けられた側において面一であり、外部電極３２４ａは、当該面一である各端面を覆って設けられている。これによれば、枠体１２０、リッド部材２００及びベース部材３００の積層構造の各部材の境界からのリーク発生を抑制することができる。したがって、耐リーク性の向上も図ることができる。

　なお、外部電極３２４ａの形成方法としては、例えばスパッタ法等によって導電材料を成膜することによって形成してもよいし、スパッタ法等の後、さらにメッキ処理によって導電材料を追加的に形成してもよい。外部電極３２４ａは、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３００のそれぞれの端面に形成する。具体的には、上記したウエハレベルＣＳＰと呼ばれる製法を採用し、各ウエハを第１及び第２封止部材１７０，１７２を介して互いに接合し、その後、ダイシングすることによって得られる、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３００からなる積層体の露出面（端面）に外部電極３２４ａを形成することができる。

　さらに具体的に説明すると、図４に示す例では、水晶振動子１におけるＸ軸負方向側のＹ´Ｚ´面（Ｙ´軸及びＺ´軸によって特定される面。以下他の面についても同じ。）には、外部電極３２４ａ及び外部電極３２２ａが形成されており、一方の外部電極３２４ａは、第２励振電極１４０と電気的に接続された外部電極３２４と電気的に接続され、他方の外部電極３２２ａは、上記ダミー電極である外部電極３２２と電気的に接続されている。水晶振動子１におけるＹ´Ｚ´面は、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３００の各端面から構成されており、各外部電極３２４ａ，３２２ａは、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３００のそれぞれの端面に亘る領域に延出されている。また、各外部電極３２４ａ，３２２ａは相互に離れて配置されており、これにより両者が電気的に導通しないようになっている。また、各外部電極３２４ａ，３２２ａは、水晶振動子１のＹ´Ｚ´面におけるＹ´軸正方向側の縁（すなわちリッド部材２００の上側縁）から所定間隔をあけて設けられている（すなわち、リッド部材２００の端面のうち上側縁付近は露出している）。

　かかる構成によれば、外部電極３２４ａ（及び外部電極３２２ａ）を、水晶振動子１におけるＹ´Ｚ´面の一部（ただし、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３００のそれぞれの端面に亘る領域を含む。）に形成することができる。このため、水晶振動素子１００の連結部材１１１ａ，１１１ｂを介してリッド部材２００及びベース部材３００へ漏れ出た振動のうち、リッド部材２００及びベース部材３００の端部から外部電極３２４ａを伝搬して反射した反射波が減衰されるため、かかる反射波の影響を緩和又は減少させることができる。なお、水晶振動子１（枠体１２０）の端部で発生する反射を小さくするため、例えば、外部電極３２４ａが、端部の表面に設けられる第１電極層と、第１電極層の外側に設けられる第２電極層とを有し、第１電極層の音響インピーダンスが第２電極層と水晶との音響インピーダンスの間の音響インピーダンスであることが好ましい。

　このように本実施形態に係る水晶振動子１によれば、反射波の影響を低減させることができ、反射波の影響による不要振動を低減することによって水晶振動子の品質の向上を図ることができる。

　なお、水晶振動子１におけるＹ´Ｚ´面に形成される外部電極３２４ａ，３２２ａの層構造及び材質は、ベース部材３００の第２面に形成される外部電極３２４，３２２と同一であってもよく、あるいは反射波の減衰と、良好な電気的接続という各目的に応じてより好適な異なる態様を用いてもよい。

　また上記実施形態においては、水晶ブランク１１０の２つの連結部材１１１ａ，１１１ｂが同一辺側（Ｘ軸負方向側）に配置された例を示したが、例えば、２つの連結部材のうち一方の連結部材がＸ軸負方向側に配置され、他方の連結部材がＸ軸正方向側に配置されていてもよく、この場合、少なくとも一方の連結部材が配置された側において、枠体１２０、リッド部材２００及びベース部材３００の各端面に外部電極が形成されていればよい。この場合、２つの連結部材の内、振動の伝搬量が小さい方の端面に外部電極が形成されることが好ましい。さらに、外部電極が、一方の連結部材側と他方の連結部材側の両方の端面に形成すれば、反射波の影響をより減らすことができるため好ましい。

　また上記実施形態においては、枠体１２０における連結部材１１１ｂが連結されたＸ軸負方向側において、枠体１２０、リッド部材２００及びベース部材３００のそれぞれの端面がＹ´Ｚ´面において面一となっている態様を説明したが、これに限定されるものではなく、例えばそれぞれの端面が互いにずれて配置されていてもよい。

　本実施形態に係る外部電極の態様は様々に変形して適用することが可能である。以下、図５～図１３を参照しつつ、本実施形態に係る水晶振動子の変形例を説明する。なお、以下の説明においては上記実施形態で説明した内容と異なる点を説明する。

　図５は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子２の斜視図である。この水晶振動子２はベース部材３０５を含み、ベース部材３０５における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極３２２，３２４が形成されている。本変形例においては、水晶振動子２におけるＹ´Ｚ´面において外部電極３２４ｂ（外部電極３２４に電気的に接続されている。）のみが形成されており、この点で本変形例は図４に示す構成と異なっている。外部電極３２４ｂは、水晶振動子２のＹ´Ｚ´面におけるＺ´軸方向の幅全体を覆うように形成され、また、Ｙ´軸正方向側の縁（すなわちリッド部材２００の上側縁）から所定間隔をあけて設けられている（すなわち、リッド部材２００の端面のうち上側縁付近は露出している）。なお、外部電極３２４ｂは、ダミー電極である外部電極３２２とは電気的に接続されていない。

　図６は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子３の斜視図である。この水晶振動子３はベース部材３０６を含み、ベース部材３０６における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極３２２，３２４が形成されている。水晶振動子３におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極３２４ｃ及び外部電極３２２ｃが形成されており、一方の外部電極３２４ｃは、第２励振電極と電気的に接続された外部電極３２４と電気的に接続され、他方の外部電極３２２ｃは、ダミー電極である外部電極３２２と電気的に接続されている。そして、本変形例においては、各外部電極３２４ｃ，３２２ｃは、水晶振動子３のＹ´Ｚ´面におけるＹ´軸正方向側の縁（すなわち、リッド部材２００の端面のうち上側縁）に至るまで形成されており、この点で本変形例は図４に示す構成と異なっている。

　図７は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子４の斜視図である。この水晶振動子４はベース部材３０７を含み、ベース部材３０７における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極３２２，３２４が形成されている。水晶振動子４におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極３２４ｄ（外部電極３２４に電気的に接続されている。）が形成されている。そして、本変形例においては、外部電極３２４ｄは、水晶振動子４のＹ´Ｚ´面におけるＹ´軸正方向側の縁（すなわち、リッド部材２００の端面のうち上側縁）に至るまで形成されており、この点で本変形例は図５に示す構成と異なっている。

　図８は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子５の斜視図である。この水晶振動子５はベース部材３０８を含み、ベース部材３０８における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極３２２，３２４が形成されている。水晶振動子５におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極３２４ｅ（外部電極３２４に電気的に接続されている。）が形成されている。また、リッド部材２００における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面には、外部電極３２４ｆ及び外部電極３３２が形成されており、一方の外部電極３２４ｆは、Ｙ´Ｚ´面の外部電極３２４ｅに電気的に接続され、他方の外部電極３３２はいずれの外部電極とも電気的に接続されないダミー電極となっている。リッド部材２００の外部電極３２４ｆは、ベース部材３０８の外部電極３２２に対してＹ´軸方向に一致して配置され、他方、リッド部材２００の外部電極３３２は、ベース部材３０８の外部電極３２４に対してＹ´軸方向に一致して配置されている。このように水晶振動子のＸ軸周りに回転対称となるように外部電極を形成することにより、表裏のいずれにおいても同じ電極配置をもって実装することが可能となる。なお、外部電極３２２及び外部電極３３２はそれぞれ、第２励振電極に電気的に接続された外部電極３２４，３２４ｅ，３２４ｆとは電気的に接続されていない。

　図９は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子６の斜視図である。この水晶振動子６はベース部材３０９を含み、ベース部材３０９における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、外部電極３２２，３２５が形成されている。外部電極３２５は、外部電極３２２よりも面積が大きい点を除き、その他は既に説明した外部電極３２４と同様の構成を適用することができる。水晶振動子６におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極３２５ａ（外部電極３２５に電気的に接続されている。）が形成されている。また、リッド部材２００における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面には、外部電極３２５ｂ及び外部電極３３２が形成されており、一方の外部電極３２５ｂは、Ｙ´Ｚ´面の外部電極３２５ａに電気的に接続され、他方の外部電極３３２はいずれの外部電極とも電気的に接続されないダミー電極となっている。リッド部材２００の外部電極３２５ｂは、ベース部材３０９の外部電極３２２と部分的に重なるようにＹ´軸方向の上方に配置され、他方、リッド部材２００の外部電極３３２は、ベース部材３０９の外部電極３２５と部分的に重なるようにＹ´軸方向の上方に配置されている。そして、リッド部材２００の外部電極３２５ｂは、ベース部材３０９の外部電極３２５と実質的に同一面積を有しており、また、ダミー電極である外部電極３２２及び外部電極３３２よりも面積が大きくなっており、この点で本変形例は図８に示す構成と異なっている。

　図１０は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子７の斜視図である。この水晶振動子７はベース部材３１０を含み、ベース部材３１０における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、外部電極３２３，３２４が形成されている。外部電極３２３は、図示するように水晶振動子７のＹ´Ｚ´面から離れて設けられており、この点を除き、その他は既に説明した外部電極３２２と同様の構成を適用することができる。水晶振動子７におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極３２４ｇ（外部電極３２４に電気的に接続されている。）が形成されている。また、リッド部材２００における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面には、外部電極３２４ｈ及び外部電極３３３が形成されており、一方の外部電極３２４ｈは、Ｙ´Ｚ´面の外部電極３２４ｇに電気的に接続され、他方の外部電極３３３はいずれの外部電極とも電気的に接続されないダミー電極となっている。リッド部材２００の外部電極３２４ｈは、ベース部材３１０の外部電極３２３と部分的に重なるようにＹ´軸方向の上方に配置され、他方、リッド部材２００の外部電極３３３は、ベース部材３１０の外部電極３２４と部分的に重なるようにＹ´軸方向の上方に配置されている。そして、リッド部材２００の外部電極３３３は、ベース部材３１０の外部電極３２３と同様に、図示するように水晶振動子７のＹ´Ｚ´面から離れて設けられており、外部電極３２４ｇは、水晶振動子７のＹ´Ｚ´面の全面に形成されている。

　図１１は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子８の斜視図であり、既に説明した図９及び図１０の各構成の組み合わせに係る変形例である。この水晶振動子８はベース部材３１１を含み、ベース部材３１１における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、外部電極３２５，３２３が形成されている。水晶振動子８におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極３２５ｃ（外部電極３２５に電気的に接続されている。）が形成されている。また、リッド部材２００における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面には、外部電極３２５ｄ及び外部電極３３３が形成されており、一方の外部電極３２５ｄは、Ｙ´Ｚ´面の外部電極３２５ｃに電気的に接続され、他方の外部電極３３３はいずれの外部電極とも電気的に接続されないダミー電極となっている。リッド部材２００の外部電極３２５ｄは、ベース部材３１１の外部電極３２３と部分的に重なるようにＹ´軸方向の上方に配置され、他方、リッド部材２００の外部電極３３３は、ベース部材３１１の外部電極３２５と部分的に重なるようにＹ´軸方向の上方に配置されている。第２励振電極に電気的に接続される外部電極３２５，３２５ｄはそれぞれダミー電極である外部電極３２３，３３３よりも面積が大きくなっている。そして、リッド部材２００の外部電極３３３は、ベース部材３１１の外部電極３２３と同様に、図示するように水晶振動子８のＹ´Ｚ´面から離れて設けられており、外部電極３２５ｃは、水晶振動子８のＹ´Ｚ´面の全面に形成されている。

　図１２は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子９の斜視図である。この水晶振動子９はベース部材３１２を含み、ベース部材３１２における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極３２２，３２４が形成されている。水晶振動子９におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極３２４ｉ（外部電極３２４に電気的に接続されている。）が形成されている。外部電極３２４ｉは、水晶振動子９のＹ´Ｚ´面におけるＹ´軸正方向側の縁（すなわち、リッド部材２００の端面
のうち上側縁）に至るまで形成されている。そして、本変形例においては、さらにリッド部材２００における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面に、外部電極３２４ｊが形成されており、この点で本変形例は図７に示す構成と異なっている。なお、リッド部材２００の外部電極３２４ｊは、リッド部材２００のＸＺ´面におけるＺ´軸方向の幅全体を覆うように形成され、ベース部材３１２の外部電極３２２，３２４の長さと同じ程度Ｘ軸正方向に向かって延出されている。

　図１３は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子１０の斜視図である。この水晶振動子１０はベース部材３１３を含み、ベース部材３１３における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極３２２，３２４が形成されている。水晶振動子１０におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極３２４ｅ（外部電極３２４に電気的に接続されている。）が形成されている。また、リッド部材２００における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面には、外部電極３２４ｆ及び外部電極３３２が形成されており、一方の外部電極３２４ｆは、Ｙ´Ｚ´面の外部電極３２４ｅに電気的に接続され、他方の外部電極３３２はいずれの外部電極とも電気的に接続されないダミー電極となっている。リッド部材２００の外部電極３２４ｆは、ベース部材３１３の外部電極３２２に対してＹ´軸方向に一致して配置され、他方、リッド部材２００の外部電極３３２は、ベース部材３１３の外部電極３２４に対してＹ´軸方向に一致して配置されている。そして、本変形例においては、水晶振動素子１００のＸ軸負方向側の辺、すなわち連結部材１１１ａ，１１１ｂが配置されている側の辺（図１参照）に隣接する２辺の側において、水晶振動子１０のそれぞれのＸＹ´面に外部電極３２４ｋ，３２４ｌが形成されている。具体的には、外部電極３２４ｋは、Ｚ´正方向側のＸＹ´面に形成され、外部電極３２４ｌは、Ｚ´負方向側のＸＹ´面に形成されている。水晶振動子１０における各ＸＹ´面は、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３１３の各端面から構成されており、各外部電極３２４ｋ，３２４ｌはリッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３１３のそれぞれの端面に亘る領域に延出されている。また、外部電極３２４ｋは、リッド部材２００のダミー電極である外部電極３３２と電気的に接続しないように、リッド部材２００の上側縁から所定間隔あけて設けられ、他方、外部電極３２４ｌも、ベース部材３１３のダミー電極である外部電極３２２と電気的に接続しないように、ベース部材３１３の下側縁から所定間隔あけて設けられている。

　以上のとおり、上記各変形例で説明したいずれの構成においても、水晶振動子におけるＹ´Ｚ´面の少なくとも一部（ただし、リッド部材、水晶振動素子及びベース部材のそれぞれの端面に亘る領域を含む。）に外部電極を形成することができるため、リッド部材及びベース部材の端部から反射した反射波を減衰させることができる。かかる外部電極は、水晶振動子におけるＹ´Ｚ´面を可能な限り広く覆うことが好ましく、例えばリッド部材２００の端面（Ｙ´Ｚ´面）の上側縁（Ｙ´軸正方向側の縁）に至るまで形成されると（図６，７，１０～１２等参照）、リッド部材２００の端部で反射する反射波を効果的に減衰させることができるため好ましい。また、典型的には図１２に示すように、反射波を減衰させるための外部電極は、水晶振動子のＹ´Ｚ´面を経由してリッド部材における水晶振動素子と対向する面とは反対の面にも形成されると、上記に加えてさらに外部電極を伝搬する振動エネルギーの消費効果が得られるので、さらに反射波による影響を抑制することができる。また、図１３のように、連結部材が連結された側のみならず、それに隣接する２辺のそれぞれの側においても、水晶振動子の端面に外部電極を設けることにより、リッド部材及びベース部材の端部からの反射波をより効果的に減衰させることができる。

　なお、図４～図１３においては、Ｘ軸負方向側のＹ´Ｚ´面における外部電極３２４，３２２の構成を説明したが、Ｘ軸正方向側のＹ´Ｚ´面における外部電極３２８，３２６も同様の構成を採用してもよい。この場合、水晶振動子のＸ軸周り及びＺ´軸周りにそれぞれ回転対称となるように外部電極の構成を適用してもよい。

　（第２実施形態）
　図１４及び図１５を参照しつつ、本発明の第２実施形態に係る水晶振動子を説明する。なお、以下の実施形態においては、上記第１実施形態と相違する部分について説明することとし、既に説明した内容と重複する部分については省略する。ここで、図１４は本実施形態に係るベース部材の平面図であり、図１５は水晶振動子の斜視図である。

　本実施形態に係る水晶振動子は２つの外部電極からなる２端子構造を採用している点で、上記第１実施形態と異なっている。すなわち、本実施形態においては、図１４に示すように、ベース部材４００の第２面４０４（すなわち水晶振動素子と対向する面とは反対の面）には、その長さ方向であるＸ軸方向について、Ｘ軸負方向側の一方端に外部電極４２４が形成され、Ｘ軸正方向側の他方端に外部電極４２８が形成されている。なお、水晶振動素子１００等の構成は第１実施形態で説明したとおりであり（例えば図１参照）、水晶振動素子１００がベース部材４００に搭載されると、連結部材１１１ａ，１１１ｂはベース部材４００のＸ軸負方向側に配置され、また、外部電極４２８は延出電極１３２を介して第１励振電極１３０に電気的に接続され、外部電極４２４は延出電極１４２を介して第２励振電極１４０に電気的に接続される。なお、図１４は、水晶振動素子が搭載された側から見たベース部材４００の平面図を示している。

　図１５に示すように、水晶振動子１１におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極４２４ａが形成されており、この外部電極４２４ａは、外部電極４２４（第２励振電極に電気的に接続されている。）に電気的に接続されている。水晶振動子１１におけるＹ´Ｚ´面は、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材４００の各端面から構成されており、外部電極４２４ａは、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材４００のそれぞれの端面に亘る領域に延出されている。また、外部電極４２４ａは、水晶振動子１１のＹ´Ｚ´面におけるＹ´軸正方向側の縁（すなわちリッド部材２００の上側縁）から所定間隔をあけて設けられている（すなわち、リッド部材２００の端面のうち上側縁付近は露出している）。

　かかる構成においても、上記第１実施形態と同様に、外部電極４２４ａによって、水晶振動子１１におけるＹ´Ｚ´面の一部（ただし、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材４００のそれぞれの端面に亘る領域を含む。）に形成することができるため、水晶振動素子１００の連結部材を介してリッド部材２００及びベース部材４００へ漏れ出た振動のうち、水晶振動素子１００、リッド部材２００及びベース部材４００の端面に連続して設けられた外部電極４２４ａに伝搬した振動が、外部電極４２４ａ内部に伝搬時の振動エネルギーの消費により、外部電極４２４ａの端部から減衰した反射波を反射するため、かかる反射波の影響を緩和又は分散させることができる。

　本実施形態においても、外部電極の態様は様々に変形して適用することが可能である。以下、図１６～図１８を参照しつつ、本実施形態に係る水晶振動子の変形例を説明する。なお、以下の説明においては上記実施形態で説明した内容と異なる点を説明する。

　図１６は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子１２の斜視図である。この水晶振動子１２はベース部材４０５を含み、ベース部材４０５における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極４２４が形成されている。水晶振動子１２におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極４２４ｂ（外部電極４２４に電気的に接続されている。）が形成されている。そして、本変形例においては、外部電極４２４ｂは、水晶振動子１２のＹ´Ｚ´面におけるＹ´軸正方向側の縁（すなわち、リッド部材２００の端面のうち上側縁）に至るまで形成されており、この点で本変形例は図１５に示す構成と異なっている。

　図１７は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子１３の斜視図である。この水晶振動子１３はベース部材４０６を含み、ベース部材４０６における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極４２４が形成されている。水晶振動子１３におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極４２４ｂ（外部電極４２４に電気的に接続されている。）が形成されている。外部電極４２４ｂは、水晶振動子１３のＹ´Ｚ´面におけるＹ´軸正方向側の縁（すなわち、リッド部材２００の端面のうち上側縁）に至るまで形成されている。そして、本変形例においては、さらにリッド部材２００における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面に、外部電極４２４ｃが形成されており、この点で本変形例は図１６に示す構成と異なっている。なお、リッド部材２００の外部電極４２４ｃは、リッド部材２００のＸＺ´面におけるＺ´軸方向の幅全体を覆うように形成され、ベース部材４０６の外部電極４２４の長さと同じ程度Ｘ軸正方向に向かって延出されている。

　図１８は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子１４の斜視図である。この水晶振動子１４はベース部材４０７を含み、ベース部材４０７における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面（実装面）のうちＸ軸負方向側には、既に説明した外部電極４２４が形成されている。水晶振動子１４におけるＹ´Ｚ´面には、外部電極４２４ｂ（外部電極４２４に電気的に接続されている。）が形成されている。また、リッド部材２００における水晶振動素子１００と対向する面とは反対の面には、外部電極４２４ｃが形成されており、外部電極４２４ｃは、Ｙ´Ｚ´面の外部電極４２４ｂに電気的に接続されている。そして、本変形例においては、水晶振動素子１００のＸ軸負方向側の辺、すなわち連結部材１１１ａ，１１１ｂが配置されている側の辺（図１参照）に隣接する２辺の側において、水晶振動子１４のそれぞれのＸＹ´面に外部電極４２４ｄ，４２４ｅが形成されている。具体的には、外部電極４２４ｄは、Ｚ´軸正方向側のＸＹ´面に形成され、外部電極４２４ｅは、Ｚ´軸負方向側のＸＹ´面に形成されている。水晶振動子１４におけるＸＹ´面は、リッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材３１３の各端面から構成されており、各外部電極４２４ｄ，４２４ｅはリッド部材２００、水晶振動素子１００及びベース部材４０７のそれぞれの端面に亘る領域に延出されている。なお、外部電極４２４ｄ，４２４ｅは、水晶振動子のＸＹ´面におけるＹ´軸方向の幅全体を覆うように形成され、外部電極４２４，４２４ｃの長さと同じ程度Ｘ軸正方向に向かって延出されている。

　以上のとおり、上記各変形例で説明したいずれの構成においても、既に説明したとおり、反射波の影響を緩和又は分散させることができ、不要振動を低減することによって水晶振動子の品質の向上を図ることができる。

　なお、以上説明した各実施形態（変形例を含む。）においては、ＡＴカット水晶振動素子の一例として、Ｘ軸方向に平行な長手方向、及び、Ｚ´軸方向に平行な短手方向を有する態様を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、Ｚ´軸方向に平行な長手方向、及び、Ｘ軸方向に平行な短手方向を有するＡＴカット水晶振動素子に本発明を適用してもよい。また、以上の説明においては２つの連結部材を有する態様を説明したが、連結部材の個数は限定されるものではなく、例えば水晶ブランクと枠体とが１つの連結部材によって連結されていてもよい。

　なお、以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

　　１～１４　水晶振動子
　　　１００　水晶振動素子
　　　１１０　水晶ブランク
　　　１１１ａ，１１１ｂ　連結部材
　　　１３０　第１励振電極
　　　１４０　第２励振電極
　　　２００　リッド部材
　　　３００，３０５～３１３　ベース部材
　　　３２４，３２４ａ～ｌ　外部電極
　　　３２５，３２５ａ～ｄ　外部電極
　　　４００，４０５～４０７　ベース部材
　　　４２４，４２４ａ～ｅ　外部電極

Claims

　第１面と第２面にそれぞれ第１励振電極と第２励振電極が設けられた水晶ブランクと、当該水晶ブランクの外周を囲む枠体と、当該枠体と前記水晶ブランクを連結する連結部材と、を含む水晶振動素子と、
　前記水晶ブランクの前記第１面に対向して配置され、前記枠体の全周に接合されたリッド部材と、
　前記水晶ブランクの前記第２面に対向して配置され、前記枠体の全周に接合されたベース部材と、
を備え、
　前記ベース部材は、前記水晶振動素子と対向する面とは反対側の面において外部と電気的に接続可能である複数の外部電極を有し、
　前記複数の外部電極は、前記第１励振電極に電気的に接続された第１外部電極と、前記第２励振電極に電気的に接続された第２外部電極とを有し、
　前記リッド部材及び前記ベース部材はそれぞれ水晶又はガラスによって形成され、
　前記第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、前記連結部材が設けられた側において、前記枠体、前記リッド部材及び前記ベース部材のそれぞれの端面に形成され、かつ、機械的品質係数Ｑｍが前記枠体より小さい、水晶振動子。
　前記第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、前記リッド部材の前記端面の上側縁に至るまで形成された、請求項１記載の水晶振動子。
　前記第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、前記リッド部材の前記端面を経由して前記リッド部材における前記水晶振動素子と対向する面とは反対の面に形成された、請求項１又は２記載の水晶振動子。
　前記枠体には、前記第１励振電極又は第２励振電極と電気的に接続され、かつ、前記枠体の外縁に接する接続電極が設けられ、
　前記第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、前記枠体、前記リッド部材及び前記ベース部材のそれぞれの端面側において前記接続電極と接続された、請求項１から３のいずれか一項に記載の水晶振動子。
　前記枠体、前記リッド部材及び前記ベース部材は、いずれも平面視して略矩形の外形形状を有する、請求項１から４のいずれか一項に記載の水晶振動子。
　前記枠体、前記リッド部材及び前記ベース部材の各端面は、少なくとも前記連結部材が設けられた側において面一であり、
　前記第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、前記面一である各端面を覆って設けられた、請求項５記載の水晶振動子。
　前記第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、前記枠体の各辺のうち前記連結部材が設けられた側に隣接する２辺のそれぞれの側において、前記枠体、前記リッド部材及び前記ベース部材のそれぞれの端面に形成された、請求項５又は６に記載の水晶振動子。
　前記リッド部材及び前記ベース部材が平板である、請求項１から７のいずれか一項に記載の水晶振動子。
　前記水晶ブランクのうち前記第１及び第２励振電極を除く部分の厚さが、前記枠体の厚さと同一である、請求項１から８のいずれか一項に記載の水晶振動子。
　前記第１及び第２外部電極の少なくとも一つは、前記機械的品質係数Ｑｍが前記リッド部材及び前記ベース部材のいずれよりも小さい、請求項１から９のいずれか一項に記載の水晶振動子。
　前記枠体、前記リッド部材及び前記ベース部材で囲まれた内部空間が真空である、請求項１から１０のいずれか一項に記載の水晶振動子。