JP2010273006A - 振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パッケージベース20と、パッケージベース20に接合される蓋体30と、パッケージベース20及び蓋体30によって囲まれた内部空間に収容される水晶振動片10と、を備え、パッケージベース20に、内部空間から外部に連通する貫通孔26が形成され、パッケージベース20は、外底面23に、外底面23の対向する一対の辺23a,23bと平行な第1軸方向Bの一方の端部に設けられた第1端子27及び他方の端部に設けられた第2端子28と、第1端子27と第2端子28との間に設けられた第3端子29とを有し、第1端子27及び第2端子28が、水晶振動片10と電気的に接続され、第3端子29が、蓋体30と電気的に接続され、第3端子29と貫通孔26とが、外底面23の平面視において互いに離れて配置され、貫通孔26が、封止材70により封止されている。
【選択図】図1
Description
これにより、振動デバイスは、実装用端子に放電された静電気が、電極部を介して振動片に達することから、この静電気のエネルギーの大きさによっては、振動片が損傷を被り特性が劣化する虞がある。
また、振動デバイスは、振動片が損傷を被るまでにいたらなくても、蓋体に留まった静電気によって浮遊容量が変動し、振動片の振動特性が劣化する虞がある。
この結果、振動デバイスは、例えば、静電気が蓋体に放電された際に、蓋体と電気的に接続されている第3端子を介して、振動デバイスが実装されている外部の機器の実装基板などへ静電気を逃がしやすくなる。
したがって、振動デバイスは、放電された静電気に起因する浮遊容量の変動、振動片の損傷などが回避されることから、良好な振動特性を維持することができる。
この結果、振動デバイスは、例えば、外部の機器に実装される際に、第3端子と貫通孔とが近接している場合と比較して、第3端子から貫通孔へ実装用のはんだが流出することを回避できる。
したがって、振動デバイスは、はんだに起因する封止材の劣化が回避できることから、封止材による貫通孔の封止の信頼性を良好に維持することができる。
この結果、振動デバイスは、パッケージベースが、小型・薄型化可能なことから、全体のサイズを小型・薄型化することができる。
この結果、振動デバイスは、パッケージベースが、小型・薄型化可能なことから、全体のサイズを小型・薄型化することができる。
この結果、振動デバイスは、例えば、パッケージベースの製造過程における、外底面と対向する対向面押圧時の、パッケージベースのうねりなどの変形を、第3端子と第1端子または第2端子とで第2軸方向の形成範囲が異なる場合と比較して、好適に抑制できる。
(実施形態)
ここでは、振動デバイスの一例として圧電振動デバイスである水晶振動子を例に取り説明する。
図1は、本実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図1(a)は蓋体側から見た表平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A線での断面図、図1(c)は、パッケージベース側から見た裏平面図である。
なお、表平面図では、理解を容易にするために蓋体を省略し、蓋体の外形を2点鎖線で表している。
パッケージベース20は、平面形状が略矩形で平板状の底基板21と、底基板21に搭載された水晶振動片10を囲み、底基板21に積層される枠状の枠基板22とを備えている。
底基板21及び枠基板22には、セラミックグリーンシートを成形して焼成した酸化アルミニウム質焼結体などが用いられている。
枠基板貫通孔25は、平面視において底基板貫通孔24と重なる位置に形成されている。また、底基板貫通孔24の平面サイズは、枠基板貫通孔25の平面サイズより大きく形成されている。
この底基板貫通孔24、枠基板貫通孔25により、パッケージベース20は、枠基板22の蓋体30側の面22aから底基板21の外底面23に達する段付きの貫通孔26が形成される。
以下、底基板貫通孔24と、枠基板貫通孔25とを区別する必要がないときは、貫通孔26という。
そして、パッケージベース20の外底面23には、第1端子27と第2端子28との間に第3端子29が設けられている。
これにより、第3端子29は、貫通孔26側の一部が切り欠かれた略矩形形状となっている。
なお、第1端子27及び第2端子28に濡れ広がった実装用はんだが貫通孔26まで流出しないように、第1端子27及び第2端子28と貫通孔26とは、第3端子29と貫通孔26との距離以上に離れて形成されていることが好ましい。
水晶振動片10は、励振電極と電気的に接続されているマウント電極が基部11に形成され、マウント電極が内部電極21b,21cと重なるように搭載されている。これにより、水晶振動子1は、水晶振動片10の励振電極と内部電極21b,21cとが導通される。
これにより、第1端子27及び第2端子28は、水晶振動片10と電気的に接続されている。
なお、内部電極21b,21cは、上記各端子と同様に、タングステンなどのメタライズ層にニッケル、金などの各被膜をメッキなどにより積層した金属被膜からなる。
ここで、図1(b)に示すように、第3端子29は、底基板21及び枠基板22を貫通するビア29aなどを用いた内部配線、接合部材50を介して、蓋体30と電気的に接続されている。
なお、ここでは、パッケージベース20、蓋体30、接合部材50を含んでなる、水晶振動片10を収容する収容部をパッケージ60という。そして、パッケージ60によって囲まれ、水晶振動片10を収容する空間を内部空間という。
なお、封止材70は、略球状に形成され、反転されたパッケージ60の底基板貫通孔24に載置された状態で、レーザー光や電子ビームなどの照射またはヒーターなどを用いて加熱溶融されることにより、貫通孔26に充填される。なお、底基板貫通孔24が確実に封止されていれば、枠基板貫通孔25内には、必ずしも封止材70が充填されている必要はない。
この結果、水晶振動子1は、例えば、静電気が蓋体30に放電された際に、蓋体30と電気的に接続されている第3端子29を介して、水晶振動子1が実装されている外部の機器の実装基板などへ静電気を逃がしやすくなる。
したがって、水晶振動子1は、静電気が蓋体30に留まり浮遊容量が変動することや、静電気が第1端子27及び第2端子28を介して水晶振動片10に達し、水晶振動片10が損傷を被ることを回避できることから、良好な振動特性を維持することができる。
この結果、水晶振動子1は、例えば、外部の機器に実装される際に、第3端子29と貫通孔26とが近接している場合と比較して、第3端子29に濡れ広がったはんだが、貫通孔26へ流出することを回避できる。
したがって、水晶振動子1は、はんだとの接触に起因する封止材70の劣化(はんだにより封止材70が食われる現象、具体的には、はんだによる封止材70に含まれる金成分の溶融や拡散など)が回避できることから、封止材70による貫通孔26の封止の信頼性を良好に維持することができる。
これにより、水晶振動子1は、第3端子29がない場合と比較して、各端子間の距離が、短くなる。
この結果、水晶振動子1は、上記の底基板21のうねりなどの変形を、第2軸方向Cにおける第3端子29の形成範囲が、同方向における第2端子28の全幅Lより狭い場合と比較して、より抑制できる。
この結果、水晶振動子1は、例えば、底基板21が2層になっている構成と比較して、パッケージベース20が小型・薄型化可能なことから、全体のサイズを小型・薄型化することができる。
なお、本実施形態では、枠基板貫通孔25全体が、平面視において底基板貫通孔24と重なる領域内に形成されている構成を例に取り説明したが、枠基板貫通孔25の少なくとも一部が底基板貫通孔24と重なる領域内に配置されている構成であれば、パッケージベース20の小型・薄型化が可能である。
(変形例1)
図2は、変形例1の水晶振動子の概略構成を示す模式断面図である。なお、断面位置は、図1(b)の断面図と同位置である。また、上記実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、上記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
水晶振動子101は、底基板121に形成された底基板貫通孔124の一部が、平面視において枠基板122と重なるように形成されている。具体的には、枠基板122は、水晶振動片10を収容するための孔が形成されているが、封止用の貫通孔が形成されていない。そして、平面視において枠基板122の下面側(底基板121に接する面側)の内側の縁が底基板貫通孔124の領域内に位置するように、枠基板122が底基板121上に配置されている。
したがって、水晶振動子101は、上記実施形態と比較して、平面サイズをより小型化することができる。
図3は、変形例2の水晶振動子の概略構成を示す模式裏平面図である。なお、上記実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、上記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
水晶振動子201は、上記実施形態と比較して、第3端子229のパッケージベース20の第1軸方向Bにおける全幅L1が狭く形成されていることにより、第3端子229と第1端子27との間隔が広がっている。
図4は、変形例3の水晶振動子の概略構成を示す模式裏平面図である。なお、上記実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、上記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
水晶振動子301は、上記実施形態と比較して、第3端子329のパッケージベース20の第1軸方向Bと直交する第2軸方向Cにおける全幅L2が、第2端子28の全幅Lより狭く形成されていることにより、第3端子329と貫通孔26との間隔が広がっている。
これによれば、水晶振動子301は、例えば、外部の機器に実装される際に、各端子に濡れ広がったはんだが、貫通孔26へ流出することを略均等に回避できる。
なお、変形例2,3の構成は、変形例1にも適用できる。
また、圧電振動片の材料としては、水晶以外にタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどを用いてもよい。
更にまた、水晶振動片10の代わりに圧電振動片以外の各種振動片を用いることも可能であり、例えばシリコン基板を加工して形成されたMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動片などを用いてもよい。
Claims (4)
- パッケージベースと、前記パッケージベースに接合される蓋体と、前記パッケージベース及び前記蓋体によって囲まれた内部空間に収容される振動片と、を備え、
前記パッケージベースに、前記内部空間から外部に連通する貫通孔が形成され、
前記パッケージベースは、外底面に、前記外底面の対向する一対の辺と平行な第1軸方向の一方の端部に設けられた第1端子及び他方の端部に設けられた第2端子と、前記第1端子と前記第2端子との間に設けられた第3端子とを有し、
前記第1端子及び前記第2端子が、前記振動片と電気的に接続され、
前記第3端子が、前記蓋体と電気的に接続され、
前記第3端子と前記貫通孔とが、前記外底面の平面視において互いに離れて配置され、
前記貫通孔が、封止材により封止されていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1に記載の振動デバイスにおいて、前記パッケージベースが、底基板と、前記振動片を囲み前記底基板に積層される枠基板とを備え、
前記底基板に、前記貫通孔の少なくとも一部である底基板貫通孔が形成され、
前記底基板貫通孔は、平面視において前記枠基板と少なくとも一部が重なっていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項2に記載の振動デバイスにおいて、前記枠基板に、前記貫通孔の一部であり前記枠基板の厚み方向に貫通する枠基板貫通孔が形成され、
前記枠基板貫通孔が、平面視において前記底基板の前記底基板貫通孔の領域内に形成されていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の振動デバイスにおいて、前記第3端子の少なくとも一部が、前記パッケージベースの前記第1軸と直交する第2軸方向において、前記第1端子または前記第2端子の前記第2軸方向の全幅に亘って形成されていることを特徴とする振
動デバイス。
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