JP2006211310A - 振動子パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶ウエハ101の一方の面側に、連結部113を通る配線122,枠部110に配設された金属層123,金属層123に接続して角部110a及び角部110bに配設された外部接続層124が形成された状態とする。金属層123は、枠部110の周方向に連続して配設されている。同様に、水晶ウエハ101の他方の面側に、連結部114を通る配線132,枠部110に配設された金属層133,金属層133に接続して角部110c及び角部110dに配設された外部接続層134が形成された状態とする。
【選択図】 図1
Description
Claims (1)
- 枠部とこの内側に配置された圧電振動片とが一体に形成された略矩形の圧電基板と、
前記圧電振動片の第1面側に形成された第1電極と、
前記圧電振動片の前記第1面と反対側の第2面側に形成された第2電極と、
前記第1電極に接続して前記第1面側の前記枠部に形成された第1金属層と、
前記第2電極に接続して前記第2面側の前記枠部に形成された第2金属層と、
前記第1金属層に接合して前記第1面側の前記圧電基板に設けられた第1カバーと、
前記第2金属層に接合して前記第2面側の前記圧電基板に設けられた第2カバーと、
前記第1カバーの一方の端部の外側面,前記第1カバーの一方の端部の側部,前記枠部の一方の端部外側側部,前記第2カバーの一方の端部の側部,及び前記第2カバーの一方の端部の外側面にかけて配設された第1端子と、
前記第1カバーの他方の端部の外側面,前記第1カバーの他方の端部の側部,前記枠部の他方の端部外側側部,前記第2カバーの他方の端部の側部,及び前記第2カバーの他方の端部の外側面にかけて配設された第2端子と
を少なくとも備え、
前記第1金属層は、前記第1面側の前記枠部の前記一方の端部の外側部分に延在する第1外部接続層を備え、
前記第2金属層は、前記第2面側の前記枠部の前記他方の端部の外側部分に延在する第2外部接続層を備え、
前記第1端子は、前記第1外部接続層に接続され、
前記第2端子は、前記第2外部接続層に接続されている
ことを特徴とする振動子パッケージ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016140301A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
WO2022044397A1 (ja) * | 2020-08-24 | 2022-03-03 | 株式会社村田製作所 | 共振装置、集合基板、及び共振装置の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06252687A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 圧電共振素子 |
JPH08148962A (ja) * | 1994-11-21 | 1996-06-07 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
-
2005
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06252687A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 圧電共振素子 |
JPH08148962A (ja) * | 1994-11-21 | 1996-06-07 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016140301A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
JP6052651B1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-12-27 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
CN107408935A (zh) * | 2015-03-03 | 2017-11-28 | 株式会社村田制作所 | 晶体振子 |
CN107408935B (zh) * | 2015-03-03 | 2018-11-09 | 株式会社村田制作所 | 晶体振子 |
US10848125B2 (en) | 2015-03-03 | 2020-11-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal resonator unit |
WO2022044397A1 (ja) * | 2020-08-24 | 2022-03-03 | 株式会社村田製作所 | 共振装置、集合基板、及び共振装置の製造方法 |
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