JP7061275B2 - 水晶振動素子および水晶振動子 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 255
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 130
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 52
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 34
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 21
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 16
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 8
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 8
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000006023 eutectic alloy Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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Description
しかしながら、励振電極部の中心が振動部の中心よりもこの接着箇所から遠い側に位置することで、励振電極部の中心が振動部の中心よりも水晶片の中心から離れる位置することになり、振動部の主面および水晶片の外縁に対して励振電極部が偏った位置に設けられていることになる。この励振電極部の位置の偏りによって、振動分布の対称性の低下等の問題が生じてしまう。また、励振電極部が振動部の主面に対して接着箇所から遠い側に位置することによって、接着箇所に近い側にある励振電極部の一辺から同側にある振動部の一辺までの距離が大きくなり、すなわち、接着箇所に近い側にある振動部の励振電極部に挟まられていない部分が広くなり、振動漏れ等が生じてしまう。
このように、振動分布の対称性の低下、振動漏れの増大等の問題が発生する。
<水晶振動子1>
まず、図1および図2を参照しつつ、第1実施形態に係る水晶振動子(Quartz Crystal Resonator Unit)1を説明する。ここで、図1は、水晶振動子1の分解斜視図であり、図2は図1のII-II線断面図である。なお、図2において、水晶振動素子10の各種電極の図示は省略されている。
続いて、図1および図2を参照しつつ、第1実施形態に係る水晶振動素子10の各構成について詳細に説明する。第1実施形態に係る水晶振動素子10は、ATカットの水晶片11と、この水晶片11に形成されている一対の励振電極14a,14b、電極パッド16a,16bおよび引出電極15a,15bとを備える。
続いて、図3を参照しつつ、第1実施形態に係る水晶片11の外縁、中央部11aおよび励振電極14の位置関係について詳細に説明する。図3は、第1実施形態に係る水晶振動素子10の各構成の位置関係を説明するための図である。
しかしながら、このような構成では、平面視すると、励振電極14の中心が中央部主面111の中心よりも水晶片11の外縁の中心からより離れた位置にあり、励振電極14が中央部主面111および水晶片11の外縁の中心からより偏った位置にある。この励振電極14の位置の偏りによって、振動分布の対称性が低下する問題が生じてしまう。また、励振電極14が中央部主面111に対して保持位置から遠い側に位置することによって、保持位置に近い側にある励振電極14の短辺から同側にある中央部主面111の短辺までの距離が大きくなり、振動漏れ等が生じてしまう。このような振動分布の対称性の低下や振動漏れの増大等の問題が発生すると、振動特性が悪化してしまう。
これに対して、第1実施形態に係る水晶振動素子10は、後述するような簡易な構成を用いて、保持による振動阻害を軽減するとともに、振動分布の対称性の向上および振動漏れの減少を実現し、良好な振動特性を得ることを可能としている。
また、水晶振動素子10を平面視する場合において、水晶片11の外縁の平面視形状の中心(図心)を「水晶片中心C1」とし、中央部主面111の平面視形状の中心(図心)を「中央部中心C2」とし、励振電極14の平面視形状の中心(図心)を「励振電極中心C3」とする。なお、水晶片中心C1、中央部中心C2および励振電極中心C3を「中心C1~C3」と総称することもある。
さらに、水晶片短辺S1の中点と水晶片短辺S2の中点とを連結する仮想線を「仮想線S12」とし、水晶片11の対向する一対の長辺の中点を連結する仮想線を「仮想線S21」とする。なお、第1実施形態では、仮想線S12と仮想線S21との交点は、水晶片中心C1となる。
続いて、図4を参照しつつ、第2実施形態に係る水晶片11の外縁、中央部11aおよび励振電極14の位置関係について詳細に説明する。図4は、第2実施形態に係る水晶振動素子10の各構成の位置関係を説明するための図である。
第2実施形態は、第1実施形態と異なり、中心C1~C3の位置関係を着目せず、水晶振動素子10の各構成の外縁における位置関係を着目して、水晶振動素子10の各構成の位置関係を捉える実施形態である。また、第2実施形態では、第1実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点、すなわち水晶振動素子10の各構成の位置関係のみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については言及しない。
本発明の一実施形態に係る水晶振動素子10では、中央部11aと、中央部11aよりも厚み方向における寸法が小さい周辺部11bとを有する水晶片11と、中央部11aの厚み方向の両側にある中央部主面111のそれぞれに設けられている励振電極14と、周辺部11bに設けられており、励振電極14と電気的に接続されている電極パッド16とを備える水晶振動素子10であって、水晶振動素子10を平面視して、中央部主面111の中央部中心C2は、水晶片11の水晶片中心C1よりも電極パッド16から遠い側に位置しており、励振電極14の励振電極中心C3は、中央部中心C2よりも電極パッド16に近い側に位置している。
上記構成によれば、簡易な構成を有する水晶振動素子を用いても、保持による振動阻害を軽減するとともに、振動分布の対称性の向上および振動漏れの減少を実現し、良好な振動特性を得ることができる。
上記構成によれば、振動分布の対称性を向上することによって、良好な振動特性を得ることができる。
上記構成によれば、中央部主面以外の部分が励振されることを抑制することができる。
上記構成によれば、励振特性を向上することができるとともに、より振動分布の対称性の向上および振動漏れの減少を実現することができる。
上記構成によれば、振動分布の対称性を向上することができる。
上記構成によれば、短辺方向の振動分布の対称性を向上することができる。
上記構成によれば、簡易な構成を有する水晶振動素子を用いても、保持による振動阻害を軽減するとともに、振動分布の対称性の向上および振動漏れの減少を実現し、良好な振動特性を得ることができる。
上記構成によれば、励振電極は中央部主面の内側に形成されることとなり、中央部主面以外の部分が励振されることを抑制することができる。
上記構成によれば、励振特性を向上することができるとともに、より振動分布の対称性の向上および振動漏れの減少を実現することができる。
上記構成によれば、中央部主面以外の部分を励振されることを抑制することができる。
上記構成によれば、振動の漏れを軽減することができるとともに、振動分布の対称性を向上することができる。
上記構成によれば、広い温度範囲で極めて高い周波数安定性を得ることができる。
上記構成によれば、簡易な構成を有する水晶振動素子を用いても、保持による振動阻害を軽減するとともに、振動分布の対称性の向上および振動漏れの減少を実現し、良好な振動特性を得ることができる。
上記構成によれば、簡易な構成を有する水晶振動素子を用いても、保持による振動阻害を軽減するとともに、振動分布の対称性の向上および振動漏れの減少を実現し、良好な振動特性を得ることができる。
[変形例]
本発明は、上記実施形態に限定されることなく種々に変形して適用することが可能である。以下では、本発明に係る変形例について説明する。
Claims (12)
- 中央部と、前記中央部の周辺に位置し、前記中央部よりも厚み方向における寸法が小さい周辺部と、を有する水晶片と、
前記中央部の厚み方向の両側にある中央部主面のそれぞれに設けられている励振電極と、
前記周辺部に設けられており、前記励振電極と電気的に接続されている接続電極と、
を備える水晶振動素子であって、
前記水晶振動素子を平面視して、前記中央部主面の中央部中心は、前記水晶片の水晶片中心よりも前記接続電極から遠い側に位置しており、前記励振電極の励振電極中心は、前記励振電極における前記中央部主面の範囲内の領域の中心であって、前記中央部中心よりも前記接続電極に近い側に位置している、水晶振動素子。 - 前記水晶振動素子を平面視して、前記励振電極中心は、前記中央部中心と前記水晶片中心との間の領域に位置する、請求項1に記載の水晶振動素子。
- 前記水晶振動素子を平面視して、前記励振電極は、少なくとも前記接続電極に近い側にある外縁の一部が前記中央部主面の内側に配置されている、請求項2に記載の水晶振動素子。
- 前記水晶振動素子を平面視して、前記励振電極の外縁と、当該接続電極に近い側に形成されている前記中央部主面の外縁との最小距離は12μm以上21μm以下である、請求項3に記載の水晶振動素子。
- 前記水晶振動素子を平面視して、前記水晶片、前記中央部主面および前記励振電極はいずれも矩形状である、請求項1乃至4の何れか一項に記載の水晶振動素子。
- 前記水晶振動素子を平面視して、前記水晶片中心と、前記励振電極中心と、前記中央部中心とは一直線に形成されている、請求項1乃至5の何れか一項に記載の水晶振動素子。
- 中央部と、前記中央部よりも厚み方向における厚みが小さい周辺部とを有する、水晶片と、
前記中央部の厚み方向の両側にある中央部主面にそれぞれ設けられている励振電極と、
前記周辺部に形成され、前記励振電極と電気的に接続されている接続電極と、
を備える水晶振動素子であって、
前記水晶振動素子を平面視して、
前記水晶片、前記中央部主面および前記励振電極はいずれも矩形状であり、
前記中央部主面は、前記接続電極に近い側にある第1中央部辺と、前記接続電極から遠い側に前記第1中央部辺と対向するように設けられている第2中央部辺とを有し、前記第1中央部辺から前記接続電極に近い側にある第1水晶片辺までの第1距離は、前記第2中央部辺から前記第1水晶片辺と対向する前記水晶片の第2水晶片辺までの第2距離より大きく設けられており、
前記励振電極は、前記接続電極に近い側にある第1励振電極辺と、前記接続電極から遠い側に前記第1励振電極辺と対向するように設けられている第2励振電極辺とを有し、前記第1励振電極辺から前記第1水晶片辺までの第3距離は、前記第2励振電極辺から前記第2水晶片辺まで第4距離よりも大きい、または前記第4距離と同じであり、
前記第4距離は、前記第2距離よりも大きく、
前記第3距離と前記第1距離との差である第5距離は、前記第4距離と前記第2距離との差である第6距離よりも小さい、
水晶振動素子。 - 前記第3距離は、前記第1距離よりも大きい、請求項7に記載の水晶振動素子。
- 前記第5距離は、12μm以上21μm以下である、請求項8に記載の水晶振動素子。
- 前記水晶片のカット角が、ATカットである、請求項1乃至9の何れか一項に記載の水晶振動素子。
- 請求項1乃至10の何れか一項に記載の水晶振動素子と、
前記水晶振動素子を励振可能に支持する基板と、
を備え、
前記水晶振動素子は、前記基板上に導電性保持部材を介して励振可能に支持される、水晶振動子。 - 前記基板に接合材を介して接合された蓋部材をさらに備え、
前記水晶振動素子が前記基板と前記蓋部材との内部空間に設けられている、請求項11に記載の水晶振動子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018182094 | 2018-09-27 | ||
JP2018182094 | 2018-09-27 | ||
PCT/JP2019/037602 WO2020067157A1 (ja) | 2018-09-27 | 2019-09-25 | 水晶振動素子および水晶振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020067157A1 JPWO2020067157A1 (ja) | 2021-06-10 |
JP7061275B2 true JP7061275B2 (ja) | 2022-04-28 |
Family
ID=69953505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020549287A Active JP7061275B2 (ja) | 2018-09-27 | 2019-09-25 | 水晶振動素子および水晶振動子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7061275B2 (ja) |
WO (1) | WO2020067157A1 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013172222A (ja) | 2012-02-20 | 2013-09-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動素子及び圧電デバイス |
JP2014030116A (ja) | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
JP2017153010A (ja) | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 京セラ株式会社 | 水晶素子および水晶デバイス |
-
2019
- 2019-09-25 JP JP2020549287A patent/JP7061275B2/ja active Active
- 2019-09-25 WO PCT/JP2019/037602 patent/WO2020067157A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013172222A (ja) | 2012-02-20 | 2013-09-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動素子及び圧電デバイス |
JP2014030116A (ja) | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
JP2017153010A (ja) | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 京セラ株式会社 | 水晶素子および水晶デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2020067157A1 (ja) | 2021-06-10 |
WO2020067157A1 (ja) | 2020-04-02 |
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