JPWO2015119025A1 - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10…弾性波装置
10A…圧電基板
11…第1のIDT電極
11a…第1のバスバー
11a1…バスバー端部
11a2…バスバー本体部
11a3…開口部
11a4…連結部
11b…第2のバスバー
11c…第1の電極指
11c1…太幅部
11d…第2の電極指
11d1…太幅部
12…第2のIDT電極
12a…第4のバスバー
12a1…バスバー端部
12a2…バスバー本体部
12a3…開口部
12a4…連結部
12b…第3のバスバー
12c…第3の電極指
12c1…太幅部
12d…第4の電極指
12d1…太幅部
13,14…反射器
15,16…反射器
17…段間接続部
17a…連結部
17b…開口部
20…フィルタ装置
21…帯域通過型フィルタ
30…弾性波装置
31…第1のIDT電極
31a…第1のバスバー
31c…第1の電極指
31c1…音速低下膜
31d…第2の電極指
31d1…音速低下膜
32…第2のIDT電極
32b…第4のバスバー
32c…第3の電極指
32c1…音速低下膜
32d…第4の電極指
32d1…音速低下膜
40…共通バスバー
V1…音速
V2A,V2B…音速
V3A,V3B…音速
V4…音速
V4A…音速
V4B…音速
V5A…音速
V6…音速
V10…音速
V11…音速
V12A,V12B…音速
V13A,V13B…音速
V14…音速
V14A,V14B…音速
V15B…音速
V16…音速
1000…弾性波装置
1001…第1のIDT電極
1002…第2のIDT電極
1003…電極指
1004…電極指
1005…音速低下膜
1007…段間バスバー
Claims (6)
- 弾性波共振子を、複数段の弾性波共振子ユニットに、直列に複数段分割することにより構成されている弾性波装置であって、
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、第1の弾性波共振子ユニットを構成している第1のIDT電極と、
前記圧電基板上に形成されており、かつ前記第1の弾性波共振子ユニットに直列に接続されている第2の弾性波共振子ユニットを構成している第2のIDT電極と、
前記第1の弾性波共振子ユニットと、前記第2の弾性波共振子ユニットとを接続している段間接続部とを備え、
前記第1のIDT電極が、第1のバスバーと、前記第1のバスバーと隔てられて配置された第2のバスバーと、
前記第1のバスバーに基端が電気的に接続されており、前記第2のバスバー側に延びる複数本の第1の電極指と、前記第2のバスバーに基端が接続されており、前記第1のバスバー側に向かって延びる複数本の第2の電極指とを有し、
前記第2のIDT電極が、第3のバスバーと、前記第3のバスバーと隔てられて配置された第4のバスバーと、
前記第3のバスバーに基端が電気的に接続されており、前記第4のバスバー側に延びる複数本の第3の電極指と、前記第4のバスバーに基端が接続されており、前記第3のバスバー側に向かって延びている複数本の第4の電極指とを有し、
前記第1のIDT電極と、前記第2のIDT電極とが、前記段間接続部を介して電極指が延びる方向に連ねられており、
前記第1及び第2のIDT電極のそれぞれにおいて、電極指の延びる方向中央に中央領域が設けられており、前記電極指の延びている方向において前記中央領域の両外側に、前記中央領域に比べて弾性波伝搬速度が低い低音速領域が設けられており、前記電極指の延びる方向において前記低音速領域の両外側に、前記中央領域よりも弾性波伝搬速度が高い高音速領域が設けられており、
前記第1のIDT電極において前記第1のバスバー側に設けられている前記高音速領域の前記電極指の延びる方向の寸法をWa、前記第2のIDT電極において前記第4のバスバー側に設けられている前記高音速領域の前記電極指の延びる方向の寸法をWb、前記電極指の延びる方向における前記段間接続部の寸法をWcとしたときに、Wc<(Wa+Wb)とされている、弾性波装置。 - 前記第1,第2のIDT電極の電極指周期で定まる波長をλとしたときに、Wc<6λである、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1,第2のIDT電極の電極指周期で定まる波長をλとしたときに、Wc<4λである、請求項2に記載の弾性波装置。
- 前記第1のIDT電極の前記第2のバスバーと、前記第2のIDT電極の前記第3のバスバーとが共通バスバーとして共通化されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記共通バスバーに、前記弾性波伝搬方向に沿って配置された複数の開口部が設けられており、該開口部が設けられている領域において、前記中央領域に比べて前記弾性波伝搬速度が高い高音速領域が設けられており、前記共通バスバーにおいて、前記電極指の延びる方向において前記開口部の両外側に前記低音速領域が設けられている、請求項4に記載の弾性波装置。
- 前記低音速領域における前記第1,第2のIDT電極の形状が、前記中央領域よりも弾性波の伝搬速度が遅くなる形状とされている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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WO2018096783A1 (ja) * | 2016-11-22 | 2018-05-31 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、フロントエンド回路および通信装置 |
JP6791266B2 (ja) * | 2016-12-20 | 2020-11-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
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JP6935220B2 (ja) * | 2017-04-13 | 2021-09-15 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波素子、フィルタおよびマルチプレクサ |
US10873313B2 (en) * | 2017-09-01 | 2020-12-22 | Skyworks Solutions, Inc. | Piston mode lamb wave resonators |
JP6747604B2 (ja) * | 2017-09-27 | 2020-08-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2019138813A1 (ja) * | 2018-01-12 | 2019-07-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路、及び通信装置 |
CN108155916A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-06-12 | 深圳市盛路物联通讯技术有限公司 | 射频信号接收电路、电路板、芯片及终端 |
DE102018131952A1 (de) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustischer Resonator mit unterdrückter Anregungtransversaler Spaltmoden und verringerten transversalen Moden |
WO2020261763A1 (ja) * | 2019-06-24 | 2020-12-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US11811392B2 (en) | 2019-10-23 | 2023-11-07 | Skyworks Solutions, Inc. | Surface acoustic wave resonator with suppressed transverse modes using selective dielectric removal |
US11870421B2 (en) | 2019-10-23 | 2024-01-09 | Skyworks Solutions, Inc. | Surface acoustic wave resonator with suppressed transverse modes using second bus bar |
DE102019132304B4 (de) * | 2019-11-28 | 2021-11-18 | RF360 Europe GmbH | Akustische Oberflächenwellen-Resonator-Kaskade |
JP7188402B2 (ja) * | 2020-01-31 | 2022-12-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ |
WO2023090172A1 (ja) * | 2021-11-18 | 2023-05-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3600710A (en) * | 1968-08-12 | 1971-08-17 | Zenith Radio Corp | Acoustic surface wave filter |
JPS59131213A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-07-28 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタ |
JPH1032463A (ja) * | 1996-05-14 | 1998-02-03 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波多重モードフィルタ |
JPH10303682A (ja) * | 1997-04-23 | 1998-11-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波共振器及び共振器形弾性表面波フィルタ |
JPH11225038A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
JPH11298286A (ja) * | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波導波路構造及びそれを用いたデバイス |
JP2003347897A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 横結合二重モードsawフィルタ |
JP2006311180A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波フィルタおよび分波器 |
JP2007507130A (ja) * | 2003-07-10 | 2007-03-22 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 横方向のモードが抑制される音波により動作する変換器 |
JP2009521142A (ja) * | 2005-12-23 | 2009-05-28 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 音波で動作する変換器および当該変換器を有するフィルタ |
JP2012186808A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Triquint Semiconductor Inc | トリミング効果とピストンモードでの不安定性を最小化する音響波導波装置および方法 |
JP2013518455A (ja) * | 2010-01-25 | 2013-05-20 | エプコス アーゲー | 横方向放射損失を低減させ,横方向モードの抑制により性能を高めた電気音響変換器 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4900420B2 (ja) * | 2009-05-27 | 2012-03-21 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US8294331B2 (en) * | 2009-09-22 | 2012-10-23 | Triquint Semiconductor, Inc. | Acoustic wave guide device and method for minimizing trimming effects and piston mode instabilities |
US7939989B2 (en) | 2009-09-22 | 2011-05-10 | Triquint Semiconductor, Inc. | Piston mode acoustic wave device and method providing a high coupling factor |
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3600710A (en) * | 1968-08-12 | 1971-08-17 | Zenith Radio Corp | Acoustic surface wave filter |
JPS59131213A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-07-28 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタ |
JPH1032463A (ja) * | 1996-05-14 | 1998-02-03 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波多重モードフィルタ |
JPH10303682A (ja) * | 1997-04-23 | 1998-11-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波共振器及び共振器形弾性表面波フィルタ |
JPH11225038A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
JPH11298286A (ja) * | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波導波路構造及びそれを用いたデバイス |
JP2003347897A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 横結合二重モードsawフィルタ |
JP2007507130A (ja) * | 2003-07-10 | 2007-03-22 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 横方向のモードが抑制される音波により動作する変換器 |
JP2006311180A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波フィルタおよび分波器 |
JP2009521142A (ja) * | 2005-12-23 | 2009-05-28 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 音波で動作する変換器および当該変換器を有するフィルタ |
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