JPS59131213A - 高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタ - Google Patents
高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタInfo
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- JPS59131213A JPS59131213A JP57130140A JP13014082A JPS59131213A JP S59131213 A JPS59131213 A JP S59131213A JP 57130140 A JP57130140 A JP 57130140A JP 13014082 A JP13014082 A JP 13014082A JP S59131213 A JPS59131213 A JP S59131213A
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- H03H9/6456—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
- H03H9/6459—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode
- H03H9/6463—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode the tracks being electrically cascaded
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波（以下ＳＡＷと称する）又はすべり
波（以下５８ＢＷ： ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉｎｇ
Ｂｕｌｋ Ｗａｖｅ と称する）共振器にド・フィル
タに関する。
波（以下５８ＢＷ： ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉｎｇ
Ｂｕｌｋ Ｗａｖｅ と称する）共振器にド・フィル
タに関する。
従来５０ＭＨｚ以上の周波数帯に於ける帯域通過フィル
タとしてはＬＣフィルタ、スパイラル・フィルタ、ＳＡ
Ｗフィルタ或は帯域通過フィルタの基本回路中の共振素
子又はインダクタンスをＳＡＷ共振子に置換したものが
用いられていた。
タとしてはＬＣフィルタ、スパイラル・フィルタ、ＳＡ
Ｗフィルタ或は帯域通過フィルタの基本回路中の共振素
子又はインダクタンスをＳＡＷ共振子に置換したものが
用いられていた。
しかしながら上述の通過帯域フィルタは夫々以Ｆに述べ
る如き欠陥を有するものであった。
る如き欠陥を有するものであった。
即ち、ＬＣ又はスパラル・フィルタはいずれもＱが低い
のみならず、特に後者は形状も大型である。
のみならず、特に後者は形状も大型である。
一部、８ＡＷフィルタは帯域が比較的広く。
挿入損失が大なることに加えてＴＴＢ （三重反射エコ
ー）の為パスバンド内にリップルを生じ易いという欠点
がある。
ー）の為パスバンド内にリップルを生じ易いという欠点
がある。
又２通過帯域フィルタ基本回路中の共振素子をＳＡＷ共
振器に置換したフィルタは一般的な水晶フィルタと同種
のものであるが１００ＭＨｚを越える高周波帯で使用す
る場合、各素子の共振周波数及びそれらの差を高精度で
得ることが極めて困難となるものであった。
振器に置換したフィルタは一般的な水晶フィルタと同種
のものであるが１００ＭＨｚを越える高周波帯で使用す
る場合、各素子の共振周波数及びそれらの差を高精度で
得ることが極めて困難となるものであった。
本発明は上述の如き従来の通過帯域フィルタの欠点を除
去する為になされたものであって。
去する為になされたものであって。
個別部品の組み合わせに依存することなく：、ＳＡＷ或
は８ＳＢＷ 共振器を単一圧電基板上に近接配置するこ
とにより生起する複数個の相異なる振動モードに対応す
る異った共振周波数を利用する多重モード・フィルタに
於いて前記複数の振動モードを生ぜしむるに必要な各共
振器間の音響的結合の発生条件を実験的に解明すると共
にこの条件を適用した高周波狭帯域多重モード・フィル
タを提供することを目的とする。
は８ＳＢＷ 共振器を単一圧電基板上に近接配置するこ
とにより生起する複数個の相異なる振動モードに対応す
る異った共振周波数を利用する多重モード・フィルタに
於いて前記複数の振動モードを生ぜしむるに必要な各共
振器間の音響的結合の発生条件を実験的に解明すると共
にこの条件を適用した高周波狭帯域多重モード・フィル
タを提供することを目的とする。
以下１本発明を前記各共振器間の音響的結合の条件に関
与するパラメータを予想する理論とこれに弗拠した実験
の結果とに基づいて詳細に説明する。
与するパラメータを予想する理論とこれに弗拠した実験
の結果とに基づいて詳細に説明する。
従来からＳＡＷ共振器の音響的結合を利用したフィルタ
についての構想は二、三存在するがこれらはいずれも構
想の段階に止まっており現実に音響的結合を生ぜしめる
為のＳＡＷ共振器電極構造の条件に言及したものは事実
上存在しグｔＡ。
についての構想は二、三存在するがこれらはいずれも構
想の段階に止まっており現実に音響的結合を生ぜしめる
為のＳＡＷ共振器電極構造の条件に言及したものは事実
上存在しグｔＡ。
本願発明者等は上述の音響的結合条件を検討するに当っ
て従来からの８ＡＷ共振器或は８ＳＢＷ共振器に於ける
研究結果を基にして以下の如き技術的推定を行った。
て従来からの８ＡＷ共振器或は８ＳＢＷ共振器に於ける
研究結果を基にして以下の如き技術的推定を行った。
先ず説明の繁雑を避ける為二個のＳＡＷ共振器を用いる
場合について述べるならば、第１図（ａ）乃至（Ｃ）に
示す如く圧電基板１トに二個の８１共振器２及び３を並
行に近接配置するものとしこれら両共振器２及び３が励
起するＳＡＷが相互に音響的結合を生じた場合、同図（
ｂ）及び（Ｃ）に示す如き二つの振動モード、即ち、一
般に対称モード（Ｓ−モード）及び反対称モード（ａ−
モード）と呼ばれる振動モードが発生するはずである。
場合について述べるならば、第１図（ａ）乃至（Ｃ）に
示す如く圧電基板１トに二個の８１共振器２及び３を並
行に近接配置するものとしこれら両共振器２及び３が励
起するＳＡＷが相互に音響的結合を生じた場合、同図（
ｂ）及び（Ｃ）に示す如き二つの振動モード、即ち、一
般に対称モード（Ｓ−モード）及び反対称モード（ａ−
モード）と呼ばれる振動モードが発生するはずである。
斯る二つの振動モードを現出せしめる音響的結合は前記
両共振器２及び３のＱ（振動エネルギ閉じ込めの程度）
と両共振器２及び３の近接の度合いに専ら依存するもの
と考えられるが。
両共振器２及び３のＱ（振動エネルギ閉じ込めの程度）
と両共振器２及び３の近接の度合いに専ら依存するもの
と考えられるが。
８ＡＷ共振器のＱがその電極指４及び５の対数Ｎを一定
とすれば電極指交叉長Ｗに依存することは本願発明者等
が既に出願した特許等（例えば特願昭５６−５６７１０
．８ＳＢＷ共振器については特願昭５６−１３１７３９
）で明らかにした通りである。
とすれば電極指交叉長Ｗに依存することは本願発明者等
が既に出願した特許等（例えば特願昭５６−５６７１０
．８ＳＢＷ共振器については特願昭５６−１３１７３９
）で明らかにした通りである。
従ってＳＡＷ共振器の電極指交叉長Ｗが音響的結合条件
を規定するパラメータの−であることには疑問の余地が
ない。
を規定するパラメータの−であることには疑問の余地が
ない。
次に第１図（ａ）に示す如く構成するＳＡＷ共振器２及
び３の間の音響的結合とはいかなる状態ある。即ち、単
体のＳＡＷ共振器の共振状態を観察すると振動によるエ
ネルギが前記電極指交叉長Ｗの幅を越えて漏出すること
が知られている。このエネルギの漏出の程度が少ない程
振動エネルギ閉じ込めの程度が高く従ってＱも高いとい
うことになる。
び３の間の音響的結合とはいかなる状態ある。即ち、単
体のＳＡＷ共振器の共振状態を観察すると振動によるエ
ネルギが前記電極指交叉長Ｗの幅を越えて漏出すること
が知られている。このエネルギの漏出の程度が少ない程
振動エネルギ閉じ込めの程度が高く従ってＱも高いとい
うことになる。
而して音響的結合が存在するということはこの単体共振
器に近接配置した他の共振器（点線で表示）の振動領域
が前記変位領域に影響を与えることであると考えられる
。
器に近接配置した他の共振器（点線で表示）の振動領域
が前記変位領域に影響を与えることであると考えられる
。
以上の考察から第３図（ａ）に示す如く二つのＳＡＷ共
振器２及び３を可能な限り近接せしめても前記電極指交
叉長Ｗが一定限度を越えれば両共振器間に音響的結合は
生じないであろうと推測される。
振器２及び３を可能な限り近接せしめても前記電極指交
叉長Ｗが一定限度を越えれば両共振器間に音響的結合は
生じないであろうと推測される。
又、同図（ｂ）に誇張して描いた如く前記両共振器２及
び３の共通パスパー６を挾む電極指非交叉長ｇを考え、
この値が一定以上離隔していれば他のパラメータを実用
可能の範囲でいかに変化しても両共振器２及び３の間に
は音響的結合は生じないものと推測しつる。
び３の共通パスパー６を挾む電極指非交叉長ｇを考え、
この値が一定以上離隔していれば他のパラメータを実用
可能の範囲でいかに変化しても両共振器２及び３の間に
は音響的結合は生じないものと推測しつる。
従って音響的結合条件を決定するパラメータとしてｆｊ
Ｍ記両共振器２及び３の電極指交叉長Ｗ及び共通パスパ
ー６を挾む電極指非交叉長ｇを選べばよいという結論を
得た。
Ｍ記両共振器２及び３の電極指交叉長Ｗ及び共通パスパ
ー６を挾む電極指非交叉長ｇを選べばよいという結論を
得た。
即ち、電記Ｗ及びｇをある値以下に選ぶことが両共振器
２及び３の間の音響的結合を生ぜしめる条件であり、又
その結合の強さもＷ及びｇに大きく存在するはずであっ
てその条件を満足する如く二つのＰｙＡＷ共振器を隣接
配置することにより音響的結合が生じその結果対称９反
対称の二つのモードの振動が発生するであろうこと前述
の通りである。
２及び３の間の音響的結合を生ぜしめる条件であり、又
その結合の強さもＷ及びｇに大きく存在するはずであっ
てその条件を満足する如く二つのＰｙＡＷ共振器を隣接
配置することにより音響的結合が生じその結果対称９反
対称の二つのモードの振動が発生するであろうこと前述
の通りである。
尚９以上説明した如く構成するＳＡＷ二重モード・フィ
ルタは第４図に示す如き等価回路で表現することが可能
であり、Ｌａ、（：ａ を含むアーム及びＬｓ、 Ｃｓ
を含むアームの共振周波散失々ｆａ及びｆｓが各々反
対称モード（ａ−モード）及び対称モード（Ｓ−モード
）に対応すると共に常にｆａ ＞ ｆｓの関係にあって
その周波数差△ｆ＝ｆａ−ｆＳが生じる。又、この値の
２倍、即し、２△ｆがフィルタのバンド幅にはマ等しく
なる。尚、第５図はフィルタの減衰特性と前記画周波数
ｆａ及びｆｓ の関係を定性的に示したものである。
ルタは第４図に示す如き等価回路で表現することが可能
であり、Ｌａ、（：ａ を含むアーム及びＬｓ、 Ｃｓ
を含むアームの共振周波散失々ｆａ及びｆｓが各々反
対称モード（ａ−モード）及び対称モード（Ｓ−モード
）に対応すると共に常にｆａ ＞ ｆｓの関係にあって
その周波数差△ｆ＝ｆａ−ｆＳが生じる。又、この値の
２倍、即し、２△ｆがフィルタのバンド幅にはマ等しく
なる。尚、第５図はフィルタの減衰特性と前記画周波数
ｆａ及びｆｓ の関係を定性的に示したものである。
以上の論理的考察を基にして前記Ｗ及びｇをパラメータ
とした場合前記Δｆがどのように変化するかについて実
験を行った結果を以丁に説明する。
とした場合前記Δｆがどのように変化するかについて実
験を行った結果を以丁に説明する。
先ず、実験に使用するフィルタの圧電基板としてカット
角３７°のＳＴカット水晶基板を用いることとし、ポリ
ッシュ加工を施した主表面上にフォト・エツチングによ
ってｋｌ電極を構成した。而してその電極膜厚は励起す
る表面波々長の１．５，２．２及び３．０％の３種類と
し１両電極の電極指位相は同一とした。もっともこれは
必ずしも同一である必要性はないが、この位相をずらし
た場合いかなる効果を生ずるかについては後述する。
角３７°のＳＴカット水晶基板を用いることとし、ポリ
ッシュ加工を施した主表面上にフォト・エツチングによ
ってｋｌ電極を構成した。而してその電極膜厚は励起す
る表面波々長の１．５，２．２及び３．０％の３種類と
し１両電極の電極指位相は同一とした。もっともこれは
必ずしも同一である必要性はないが、この位相をずらし
た場合いかなる効果を生ずるかについては後述する。
又、電極指対数Ｎは４００，５００，６００及びＳＯＯ
対の４種類、中心周波数ｆを２８０１ｖｙ（ｚとした、
以上の設定条件の丁に＋ｉＴＪ記Ｗ及びｇを数種選んで
実験したところ第６図及び＠７図に示す如き結果を辱だ
。
対の４種類、中心周波数ｆを２８０１ｖｙ（ｚとした、
以上の設定条件の丁に＋ｉＴＪ記Ｗ及びｇを数種選んで
実験したところ第６図及び＠７図に示す如き結果を辱だ
。
即ち、第６図はＷを固定しｇを変化した場合の結合の程
度を示すものであり第７図は逆にｇを固定した場片の結
果である。
度を示すものであり第７図は逆にｇを固定した場片の結
果である。
両図からも明らかな如く両共振器間の音響的結合に与え
る影響は共通パスパーを挾む電極非交叉長ｇの方が電極
指交叉長Ｗよりもはるかに大きいことが判明した。
る影響は共通パスパーを挾む電極非交叉長ｇの方が電極
指交叉長Ｗよりもはるかに大きいことが判明した。
そこで前記Ｗ及びｇの両パラメータをその影響の程度を
基に統合したパラメータとしてｏ、３ｃｗ／；ｔ ）＋
ｏ、Ｂｇ／λ）＝Ｄを考えるとこのフィルタの中心周波
数ｆ（−、ｆａ）と、前記ａ−モード及びＳ−モードの
二つの周波数差Δｆとの比”ｆ／ −Ｋｅ ”なる実
験式を得る。
基に統合したパラメータとしてｏ、３ｃｗ／；ｔ ）＋
ｏ、Ｂｇ／λ）＝Ｄを考えるとこのフィルタの中心周波
数ｆ（−、ｆａ）と、前記ａ−モード及びＳ−モードの
二つの周波数差Δｆとの比”ｆ／ −Ｋｅ ”なる実
験式を得る。
上述の実験に於いては比例定数には２．２ Ｘ １０−
”となった。
”となった。
Ｓ＄８図はこの結果を図示したものであるが。
現実のフィルタを設計する場合にはその仕様に応じてＷ
及びｇの値を適宜選択すればよいことが理解されよう。
及びｇの値を適宜選択すればよいことが理解されよう。
尚、前述の如く本実験に於いては上述のＷ及びｇの他に
電極膜厚、電極指対数を変化した場合についても検討し
たが、その結果は゛第８図のカーブが夫々はゾ平行にわ
ずかに移動するのみで前記両パラメータの変動は音響的
結合にはｔ重大な影響を生ぜしめるものではないことが
判明したので繁雑を避ける為詳述を省略する。
電極膜厚、電極指対数を変化した場合についても検討し
たが、その結果は゛第８図のカーブが夫々はゾ平行にわ
ずかに移動するのみで前記両パラメータの変動は音響的
結合にはｔ重大な影響を生ぜしめるものではないことが
判明したので繁雑を避ける為詳述を省略する。
但し、これらのパラメータを変化することによって前記
比例定数にの値は幾分の変動を示すことはいうまでもな
く１例えば電極膜厚が０．５〜４％ （対表面波々長λ
比）、電極指対数４００〜ＳＯＯ対の範囲でＫの値は１
．５Ｘ１０−”〜３ Ｘ １０−”の範囲にあるという
結果を得たことを述べるに止める。
比例定数にの値は幾分の変動を示すことはいうまでもな
く１例えば電極膜厚が０．５〜４％ （対表面波々長λ
比）、電極指対数４００〜ＳＯＯ対の範囲でＫの値は１
．５Ｘ１０−”〜３ Ｘ １０−”の範囲にあるという
結果を得たことを述べるに止める。
次に前記両共振子の音響的結合を生ぜしめる前記両パラ
メータＷ及びｇの限界値について検討した結果第９図の
表に示す如き結果を得た。
メータＷ及びｇの限界値について検討した結果第９図の
表に示す如き結果を得た。
即ち、前記Ｗ及びｇを変化させたフィルタにつきインピ
ーダンス特性から結合の有無を判定するに前記ｇの限界
は６λ程度、Ｗは２０λ程度であることが判った。
ーダンス特性から結合の有無を判定するに前記ｇの限界
は６λ程度、Ｗは２０λ程度であることが判った。
現実のフィルタを構成する場合はその仕様にもよるがＷ
の値が５λ以下では共振器のＱが極めて低く実用は困難
と思われる。一方、Ｗの値が２０λ近傍となると振動エ
ネルギが前記電極指交叉範囲にはゾ完全に閉じ込められ
ｇの値を製造可能な限界まで狭くしても結合が微弱で極
端に狭帯域のフィルタとなりやはり実用性に欠ける。
の値が５λ以下では共振器のＱが極めて低く実用は困難
と思われる。一方、Ｗの値が２０λ近傍となると振動エ
ネルギが前記電極指交叉範囲にはゾ完全に閉じ込められ
ｇの値を製造可能な限界まで狭くしても結合が微弱で極
端に狭帯域のフィルタとなりやはり実用性に欠ける。
尚１本形式の共振器に於いては前記−りの値が既ね２０
を越えると再び共振器のＱが低トすることが判っている
のでＷを大きくすれば再び結合が強まりそうに思われる
が、現実には両共振器の中心間距離の増大によって結合
は微弱となりフィルタの機能を発揮しなくなることが判
明した。
を越えると再び共振器のＱが低トすることが判っている
のでＷを大きくすれば再び結合が強まりそうに思われる
が、現実には両共振器の中心間距離の増大によって結合
は微弱となりフィルタの機能を発揮しなくなることが判
明した。
従って９以上の実験結果からＳＡＷ多重モード−フィル
タを構成するには前記Ｗの値を２０％以下９ｇの値は６
λ以下望ましくは３′）−以下とする必要があるという
結論を得た。
タを構成するには前記Ｗの値を２０％以下９ｇの値は６
λ以下望ましくは３′）−以下とする必要があるという
結論を得た。
以上の結論を換言するならば、斯るタイプのフィルタの
帯域幅はｏ、ａ （Ｗ、／Ａ）＋０．７ ＜ｇｈ ＞＝
妙りに依存する。即ちｇの値はＷの値に対して約２．５
倍も音響的結合に影響を与えしかもｇの値は従来常識で
は考えられない程小さな値に設定することによって初め
てフィルタとして機能することが明らかとなった。
帯域幅はｏ、ａ （Ｗ、／Ａ）＋０．７ ＜ｇｈ ＞＝
妙りに依存する。即ちｇの値はＷの値に対して約２．５
倍も音響的結合に影響を与えしかもｇの値は従来常識で
は考えられない程小さな値に設定することによって初め
てフィルタとして機能することが明らかとなった。
例えば狭帯域フィルタとはその比帯域幅が１０−４乃至
１０−３を想定するものであるから中心周波数２８０Ｍ
Ｈｚ、帯域幅２８０ＫＨｚ の７ イルタに於いてはＷ
を１０λとすればｇの値は約１０μｍとなり前記共通パ
スバー６の幅は高々５μｍしかとれないことになる。
１０−３を想定するものであるから中心周波数２８０Ｍ
Ｈｚ、帯域幅２８０ＫＨｚ の７ イルタに於いてはＷ
を１０λとすればｇの値は約１０μｍとなり前記共通パ
スバー６の幅は高々５μｍしかとれないことになる。
これは共振器のインタディジタル・トランスジューサ電
極指一本の幅員（約２．８μｍ）の２倍弱であって従来
考えられていたオーミク・ロスを考慮する必要のない共
通パスバーとは全く異なる極めて細いものとする必要の
あることを意味する。これは８ＡＷ多重モード・フィル
タをフィルタとして機能せしめる必須要件となる以上こ
の共通パスバーを後述する如きオーミック・ロスを最少
に押えＱの低下を防止する方策を講する必要な生せしめ
るものである。
極指一本の幅員（約２．８μｍ）の２倍弱であって従来
考えられていたオーミク・ロスを考慮する必要のない共
通パスバーとは全く異なる極めて細いものとする必要の
あることを意味する。これは８ＡＷ多重モード・フィル
タをフィルタとして機能せしめる必須要件となる以上こ
の共通パスバーを後述する如きオーミック・ロスを最少
に押えＱの低下を防止する方策を講する必要な生せしめ
るものである。
さて再び前述の実験条件について付言するに。
上記実験に於いて、は圧電基板としてカット角３７゜の
８Ｔカツト水晶を用いたがこれは周知の如く゛磁極付着
による水晶の周波数〜温度特性の頂点温度のずれを補償
する為に選択したものである。
８Ｔカツト水晶を用いたがこれは周知の如く゛磁極付着
による水晶の周波数〜温度特性の頂点温度のずれを補償
する為に選択したものである。
しかしながら前述した如く電極膜厚の値は音響的結合に
はあまり重大な影響を及ぼさないので使用しつる水晶基
板としては回転Ｙカッ）系であってカット角３０°乃至
４３°程度の範囲にあると考えてよ、い。困゛みにカッ
ト角３０°は電極膜厚のスプリアス等を生じない限界５
〜６％（対表面波々長比）の場合頂点温度を常温に合わ
せる角度であり、同４３°は無電極時のＳＴカフ）頂点
温度を常温とするカット角である。
はあまり重大な影響を及ぼさないので使用しつる水晶基
板としては回転Ｙカッ）系であってカット角３０°乃至
４３°程度の範囲にあると考えてよ、い。困゛みにカッ
ト角３０°は電極膜厚のスプリアス等を生じない限界５
〜６％（対表面波々長比）の場合頂点温度を常温に合わ
せる角度であり、同４３°は無電極時のＳＴカフ）頂点
温度を常温とするカット角である。
以上、ＳＡＷ共振器を用いた多重モード・フィルタにつ
いてのみ説明してきたが９本発明は５８ＢＷ共振器を用
いた多重モード・フィルタにもそのまま適用しつるもの
である。
いてのみ説明してきたが９本発明は５８ＢＷ共振器を用
いた多重モード・フィルタにもそのまま適用しつるもの
である。
８ＳＢＷは周知の如く圧電基板表面直下を伝播する波動
であり０例えば回転Ｙカット系水晶のカット角マイナス
５０°近傍のものを用いその主表面にインタディジタル
・トランスジューｆ電極を付着すると共に波の伝播方向
をＺ′方向とすることにより励起しつる。
であり０例えば回転Ｙカット系水晶のカット角マイナス
５０°近傍のものを用いその主表面にインタディジタル
・トランスジューｆ電極を付着すると共に波の伝播方向
をＺ′方向とすることにより励起しつる。
而してその振動エネルギ閉じ込めの態様、特にインタデ
ィジタル・トランスジューサ電極指交叉長方向のエネル
ギ分布はＳＡＷ共振子のそれと全く同一といっても過言
でないこと前述した本願発明者等の特許出願明細書中に
開示した通りである。
ィジタル・トランスジューサ電極指交叉長方向のエネル
ギ分布はＳＡＷ共振子のそれと全く同一といっても過言
でないこと前述した本願発明者等の特許出願明細書中に
開示した通りである。
従ってその共振子を上述の実験の結果から導びかれた結
論通りに配置すれば同様に結合を生じるであろうことは
全く疑う余地がない。
論通りに配置すれば同様に結合を生じるであろうことは
全く疑う余地がない。
最後に本発明に係るＳＡＷ或は８ＳＢＷ二重モード・フ
ィルタを実用化するに際し揃題点につき説明する。
ィルタを実用化するに際し揃題点につき説明する。
本形式のフィルタは前述の通り共通パスパーの幅員が極
めて狭いものとなりそのオーミックなロスを極限するこ
とが必須である。
めて狭いものとなりそのオーミックなロスを極限するこ
とが必須である。
この為にはＡｉｌ記共通パスパーを短かくすればよい。
しかしながら共通パスパーを短かくすることは共振器の
電極指対数を減少することであり共振器のＱは低下する
。この問題を解決する為には第１０図に示す如く共振器
２及び３の両側に反射器７及び８を設けることが有効で
あろう。釘に前記共通パスパー６は前述の如く５μｍ程
度の幅員しかとれないのでこれに直接ボンディング・ワ
イヤを付着することは事実上不可能である。そこで前記
共通パスパー６を前記反射器７及び８と一体化し１反射
器のパスパーを介して接地するよう構成すればよい。
電極指対数を減少することであり共振器のＱは低下する
。この問題を解決する為には第１０図に示す如く共振器
２及び３の両側に反射器７及び８を設けることが有効で
あろう。釘に前記共通パスパー６は前述の如く５μｍ程
度の幅員しかとれないのでこれに直接ボンディング・ワ
イヤを付着することは事実上不可能である。そこで前記
共通パスパー６を前記反射器７及び８と一体化し１反射
器のパスパーを介して接地するよう構成すればよい。
斯くすることによって前記共通バスパー６Ｇ９オーミツ
クなロスを低減し、以ってフィルタのロスを小さくする
ことができる。
クなロスを低減し、以ってフィルタのロスを小さくする
ことができる。
尚、前述の二個の共振器２及び３のインタディジタル・
トランス−ジューサ電極指の位相は必ずしも同位相であ
る必要はなく、これを故意に所要量だけずらすことによ
って減衰極の位置を制御することができる。
トランス−ジューサ電極指の位相は必ずしも同位相であ
る必要はなく、これを故意に所要量だけずらすことによ
って減衰極の位置を制御することができる。
基本的構成をベースにして更に以上の如く変形。
発展させることが可能である。
第１１図は前述の二重モード・フィルタを電気的に多段
縦続接続した多セクシヨン二重モード・フィルタの電極
パターンを示す図である。
縦続接続した多セクシヨン二重モード・フィルタの電極
パターンを示す図である。
即ち、二重モード・フィルタ９及び１０の両連続のパタ
ーンで接続したものである。
ーンで接続したものである。
更に第１２図に示す如く複数個の共振器１５゜１５、・
・・及びこれらの両側に付した反射器１６．１６゜・・
・及び１７．１７．・・・を多段近接配置したものであ
る。
・・及びこれらの両側に付した反射器１６．１６゜・・
・及び１７．１７．・・・を多段近接配置したものであ
る。
斯くの如く構成したフィルタはその変位分布の音響的結
合により発生する各モードの共振周波数によって高次の
減衰傾度と高い保証減衰瀘とを実現しつるものであり、
前述の二重モード・フィルタ或はこれを多段接続したフ
ィルタが偶数次の減衰傾度のみを？８るのに対し奇数次
のそれを実現することも可能となる。
合により発生する各モードの共振周波数によって高次の
減衰傾度と高い保証減衰瀘とを実現しつるものであり、
前述の二重モード・フィルタ或はこれを多段接続したフ
ィルタが偶数次の減衰傾度のみを？８るのに対し奇数次
のそれを実現することも可能となる。
以上説明した多セクション・フィルタを設計する場合に
は１例えば動作パラメータ法を適用し、′ｌ＃極チェピ
ンエフ特性より等価変換を行い各共振器の等価定数に置
換してゆく方法を用いればよい。
は１例えば動作パラメータ法を適用し、′ｌ＃極チェピ
ンエフ特性より等価変換を行い各共振器の等価定数に置
換してゆく方法を用いればよい。
本発明は以し説明した如く構成するので数１０ＭＨｚ乃
至ＩＧＨｚの高周波帯に於いて使用するのに適した高い
Ｑと安定度とを有する狭帯域フィルタを極めて小型かつ
安価に提供することができ、しかもその通過帯域幅はか
なりの自由度を以って設計することが可能となるから、
筒周波化の傾向の著しい移動無線機器等の中間ｆ波設を
これに付随する局部発振器等を含めて除去しつるもので
あり、これら機器の小型軽喰化。
至ＩＧＨｚの高周波帯に於いて使用するのに適した高い
Ｑと安定度とを有する狭帯域フィルタを極めて小型かつ
安価に提供することができ、しかもその通過帯域幅はか
なりの自由度を以って設計することが可能となるから、
筒周波化の傾向の著しい移動無線機器等の中間ｆ波設を
これに付随する局部発振器等を含めて除去しつるもので
あり、これら機器の小型軽喰化。
低価格化に著しい効果を発揮するものである。
第１図（ａ）乃至（Ｃ）は夫々本発明の弾性表面波参重
モード・フィルタの基本的電極構造及びこれによって発
生する共振の二つのパターンを示ス図、第２図は本発明
のフィルタの基本構成要素たる弾性表面波共振器の表面
波変位の状態を説明する図、第３図（ａ）及びΦ）は夫
々第１図に示す二つの振動モードと共振器のパラメタＪ
ヂも関係を説明する図、第４図はその等価回路図、第図
は夫々共振器のパラメータとして電極指交叉長・を固定
した場合及び電極指非交叉長りを固定した場合のｇ及び
Ｗが音響的結合に及ぼす影響を測定した実験データを示
す図、第８図は前記両データを統合した実験データを示
す図、＄９図は前ｄＵ！両パラメータｇ及びＷを変化し
た場り 合、現実に音響的結合が生じたか否か奪軍羊実験データ
を示す表、第１０図乃至第１２図は夫々本発明を適用し
たフィルタの構成例を示す図である。 １・・・圧ル基板、 ２，３，９．１０及び１５．１
５．・・・・・・インタディジタル・トランスジューサ
電極、４及び５・・・電極指、６・・・共通パスパー、
Ｗ・・・電極指交叉長１ｇ・・・電極指非交叉長 特許出願人 東洋通信機株式会社 手続補正書（自発） 昭和５８年 ７ 月３０日 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和５７年 特許 願第１３０１４０号２、発明の
名称高周波狭帯域多重モード・フィルタ３、補正をする
者 事件との関係特許出願人 ５、補正により増加する発明の数 なし６、補正の対象
特許請求の範囲９発明の詳細な説明及び図面 補正の内容 １、特許請求の範囲（１）全以下の如く補正する。 ｒ（１１６圧電基板上に夫々が同一共振周波数で振動す
る複数個のインタディジタル・トランスジューサ電極を
これらが励起する弾性表面波の伝播方向と直交する方向
に相互に並行近接して配Ｉ４シ、前記各インタディジタ
ル・トランスジューサ電極によって励起した弾性表面波
の伝播方向と直交する方向に生起する波動の音響的な結
合に起因する複敬の相異なる振動モードの共振周波数を
利用した弾性表面波多重モード・フィルタに於いて、前
記各インタディジタル・トランスジューサ′醒極の電極
指交叉長Ｗと、前記各インタディジタル・トランスジュ
ーサ電極の隣接部に於ける共通のバスバーを挾んだ電極
指非交叉長ｇとが夫々Ｗ≦２０λ１ｇ≦６λ、望ましく
Ｑまｇ≦３λ（但しλは励起した弾性表面波々長）であ
ること全特徴とする高周波狭帯域多重モード・フィルタ
。」 ρ）前記インクディジタル・トランスジー−サ電極が励
起する波がＳＳＢＷ（ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉｎｇ
Ｂｕｌｋ Ｗａｖｅ）であることを特徴とする特許請
求の範囲１記載の高周波狭帯域多重モード・フィルタ。 （３）特許請求の範囲１又は２記載の多重モード・フィ
ルタ金ηｉ位セクションとしてこれを多数個縦続接続す
ることにより減衰傾度及び保証減衰量を確保したことを
特徴とする高周波狭Ｍ１：域多セクションの多重モード
・フィルタ。 ２、発明の詳細な説明を以下の如く補正する。 （ｉ）ｐ−５／Ａ’−６ｒ・・・・・・・・・ 場合に
ついて述べるならば、・・・・・・・」を「・・山・川
場合について述べる。即ち、・・・・・・・・・」と
補正する。 （ｉｉ）ｐ−５／Ａ！−１２ｒモー ）” （Ｓ −モ
ー ）’ ） 及ヒ−・・・・・・」ヲ「モード（Ｓ−
モード）及ヒ・旧・・・・・」 と補正する。 、ｊ ＜ 何）Ｉ）−５／ｌ−１ヰ〜１字 「・・・萌・・する柊
ずである。」を「・・・・・・・・・する。」と補正す
る。 （ロ）ｐ−５／ノー１５〜ｐ−７／１ｌ−６全削除して
代りに次の文章を挿入する。 「そこでこのような音響的結合を生ぜしめる条件を考察
する。第２図は単体の８ＡＷ共振器の振動モードを示す
図であるが本図に示す如く振動エネルギは前記′電極指
交叉長盃全越えて漏出すること及びその振動の態様は前
記キの値に依存することが知られているので前記ヤが両
共振器の間の音響的結合の程度全決定するパラメータの
−であることは明らかである。 一方、両共振器間に音響的結合が存在するということは
相隣り合う共振器の撮動エネルギが相互に影響し合うこ
とと考えれば両共撮器間の間隙を充分に近接させる必要
があることは自明である。 ダ 第３図（ａ）及び（ｂ） Ｆｓ、前記−の大小に基づく
振動の態様と音響的結合の程度との関係を定性的に示し
た図であって前記共通バスパー６會挾む両共振器の電極
指非交叉長ｇが両共振器の近接の程度を示すパラメータ
となること全示唆するものである。」 ｔｖ）ｐ−７／Ａ’−７〜９ ［又、・・・・・・・
・・叉長ｇ全考え、この値・・・・・・・・・Ｊｔ−ｒ
即ち、同図（ｂ）に誇張して描いた如く、前記ｇの値・
・・・・・・・・」と補正する。 Ｍ’ ｐ−７／ｌ−１７「即ち、電記魯及び・・・・・
・・・・」をす 「即ち、前記中及び・・・・・・・・・」と補正する。 ？１）ｐ−９／ｌ−２ｒしてカット角・・・・・・・・
・」全［シて周波数一温度特性の良好なカット角・・・
・・・・・・Ｊと補正する。 ｔｉ）’ ｐ−９／ｌ −７ｒ・・・・・・位相は同一
とした。、・・１０６１１．」を［・・・・・・・・・
位相は同一（第１図に示す如く共通バスバー６に対して
上下対称の電極構造）とした。・・・・・・・・・」と
補正する。 ｖｎ＋ｐ−１０／１ｌ−２Ｏｒ・・・・・・・・・結合
には重」を「四・・・・・結合には」と補正する。 ４ｉＩ）’ ｐ−１２／ｌ−５〜ｌ−１１ｒ同、・・・
・・・・・・明した。」を削除する。 ４ｉｉｐ−１４／ｌ−１２と１−１３との間に以下の文
章を挿入する。 ［伺、上述した水晶基板のナツト角は現在知られている
ものの円最良の周波数一温度特性を示すものであるが現
実のフィルタを製造する場合必ずしもこれにのみ限定す
る必ｇ！はす〈製品のスペックによっては他のカットの
水晶音用いてもよい。］ ＠ｐ−１５／ｌ−１５からｐ−１６／ｌ−４の「う。」
までを削除し代りに以下の文章を挿入する。 「本発明に係るフィルタを構成する共振器としてはその
Ｑｔ−高める為多対のインタディジタル・トランスジー
−サ′ａ ｆｆｌ ’に用いる所謂多対型共振器につい
てのみ説明してきたが、共振器のＱ向上の為には共振器
の両側に反射器を配置した所請反射器型共振器を用いる
ことも考慮すべきである。 この型式の共振器は少数のインタディジタルくなりオー
ミック・ロスを低減し得るのみならず特性インピーダン
ス金任意に設計することが可能となるので本発明のフィ
ルタ′ｊｋＩＦＢ成する上では前記多対型共振器全使用
するよりむしろ優れていると考えられる。 即ち、第１０図に示す如く共振器２及び３の両側に反射
器７及び８を配置しインタディジタル・トランスジー−
サ電極指本数を多対型のそれの数分の−とじた場合にも
インタディジタル・トランスジューサ電極２及び３の電
極指本数及び反射器７及び８の電極本数の合計を等しく
した多対型共振器に比して同等以上のＱｔ得ることがで
きる。 この場合前記反射器７及び８の電極のピッチ極のそれよ
りわずか（数百分の−）小さく設計することによって励
起した波動を効率よく反射することができ一層効果的で
ある。 （ｘ）ｐ−１６／ｌ−４ｒ更に前記・・・・・・・・・
」ヲ「このような構成をとる反射器型共振器を用いたフ
ィルタに於いて前記・・・・・・・・・」と補正する。 ３、図面全添付別紙の如く補正する。 以上 手続補正書 ■、小事件表示 昭和５７年 特許 願第１３０１４０号２・発明０
名称 高周波狭帯域多重モード・フィルタ ３、補正をする者 事件との関係特許出願人 ５、補正により増加する発明の数 なし６、補正の対象
発明の詳細な説明及び図面の簡単な説明 ７・補正ｎ 内Ｍ 添付別紙の通シ 補正の内容 １、 発明の詳細な説明を以下の如く補正する。 第１１頁】２行目「肘した結果第９図の表に示す・・・
・・・・・・−１とあるのを「討した結果第９図に示す
・・・・・−・・・１と補正する。 ２、 図面の簡単な説明全以下の如く補正する。 第１９頁１３行目「験データを示す表、・・・・・・・
・・」とあるのを［験データ全示す図、・・・・・・・
・何と補正する。 以 上
モード・フィルタの基本的電極構造及びこれによって発
生する共振の二つのパターンを示ス図、第２図は本発明
のフィルタの基本構成要素たる弾性表面波共振器の表面
波変位の状態を説明する図、第３図（ａ）及びΦ）は夫
々第１図に示す二つの振動モードと共振器のパラメタＪ
ヂも関係を説明する図、第４図はその等価回路図、第図
は夫々共振器のパラメータとして電極指交叉長・を固定
した場合及び電極指非交叉長りを固定した場合のｇ及び
Ｗが音響的結合に及ぼす影響を測定した実験データを示
す図、第８図は前記両データを統合した実験データを示
す図、＄９図は前ｄＵ！両パラメータｇ及びＷを変化し
た場り 合、現実に音響的結合が生じたか否か奪軍羊実験データ
を示す表、第１０図乃至第１２図は夫々本発明を適用し
たフィルタの構成例を示す図である。 １・・・圧ル基板、 ２，３，９．１０及び１５．１
５．・・・・・・インタディジタル・トランスジューサ
電極、４及び５・・・電極指、６・・・共通パスパー、
Ｗ・・・電極指交叉長１ｇ・・・電極指非交叉長 特許出願人 東洋通信機株式会社 手続補正書（自発） 昭和５８年 ７ 月３０日 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和５７年 特許 願第１３０１４０号２、発明の
名称高周波狭帯域多重モード・フィルタ３、補正をする
者 事件との関係特許出願人 ５、補正により増加する発明の数 なし６、補正の対象
特許請求の範囲９発明の詳細な説明及び図面 補正の内容 １、特許請求の範囲（１）全以下の如く補正する。 ｒ（１１６圧電基板上に夫々が同一共振周波数で振動す
る複数個のインタディジタル・トランスジューサ電極を
これらが励起する弾性表面波の伝播方向と直交する方向
に相互に並行近接して配Ｉ４シ、前記各インタディジタ
ル・トランスジューサ電極によって励起した弾性表面波
の伝播方向と直交する方向に生起する波動の音響的な結
合に起因する複敬の相異なる振動モードの共振周波数を
利用した弾性表面波多重モード・フィルタに於いて、前
記各インタディジタル・トランスジューサ′醒極の電極
指交叉長Ｗと、前記各インタディジタル・トランスジュ
ーサ電極の隣接部に於ける共通のバスバーを挾んだ電極
指非交叉長ｇとが夫々Ｗ≦２０λ１ｇ≦６λ、望ましく
Ｑまｇ≦３λ（但しλは励起した弾性表面波々長）であ
ること全特徴とする高周波狭帯域多重モード・フィルタ
。」 ρ）前記インクディジタル・トランスジー−サ電極が励
起する波がＳＳＢＷ（ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉｎｇ
Ｂｕｌｋ Ｗａｖｅ）であることを特徴とする特許請
求の範囲１記載の高周波狭帯域多重モード・フィルタ。 （３）特許請求の範囲１又は２記載の多重モード・フィ
ルタ金ηｉ位セクションとしてこれを多数個縦続接続す
ることにより減衰傾度及び保証減衰量を確保したことを
特徴とする高周波狭Ｍ１：域多セクションの多重モード
・フィルタ。 ２、発明の詳細な説明を以下の如く補正する。 （ｉ）ｐ−５／Ａ’−６ｒ・・・・・・・・・ 場合に
ついて述べるならば、・・・・・・・」を「・・山・川
場合について述べる。即ち、・・・・・・・・・」と
補正する。 （ｉｉ）ｐ−５／Ａ！−１２ｒモー ）” （Ｓ −モ
ー ）’ ） 及ヒ−・・・・・・」ヲ「モード（Ｓ−
モード）及ヒ・旧・・・・・」 と補正する。 、ｊ ＜ 何）Ｉ）−５／ｌ−１ヰ〜１字 「・・・萌・・する柊
ずである。」を「・・・・・・・・・する。」と補正す
る。 （ロ）ｐ−５／ノー１５〜ｐ−７／１ｌ−６全削除して
代りに次の文章を挿入する。 「そこでこのような音響的結合を生ぜしめる条件を考察
する。第２図は単体の８ＡＷ共振器の振動モードを示す
図であるが本図に示す如く振動エネルギは前記′電極指
交叉長盃全越えて漏出すること及びその振動の態様は前
記キの値に依存することが知られているので前記ヤが両
共振器の間の音響的結合の程度全決定するパラメータの
−であることは明らかである。 一方、両共振器間に音響的結合が存在するということは
相隣り合う共振器の撮動エネルギが相互に影響し合うこ
とと考えれば両共撮器間の間隙を充分に近接させる必要
があることは自明である。 ダ 第３図（ａ）及び（ｂ） Ｆｓ、前記−の大小に基づく
振動の態様と音響的結合の程度との関係を定性的に示し
た図であって前記共通バスパー６會挾む両共振器の電極
指非交叉長ｇが両共振器の近接の程度を示すパラメータ
となること全示唆するものである。」 ｔｖ）ｐ−７／Ａ’−７〜９ ［又、・・・・・・・
・・叉長ｇ全考え、この値・・・・・・・・・Ｊｔ−ｒ
即ち、同図（ｂ）に誇張して描いた如く、前記ｇの値・
・・・・・・・・」と補正する。 Ｍ’ ｐ−７／ｌ−１７「即ち、電記魯及び・・・・・
・・・・」をす 「即ち、前記中及び・・・・・・・・・」と補正する。 ？１）ｐ−９／ｌ−２ｒしてカット角・・・・・・・・
・」全［シて周波数一温度特性の良好なカット角・・・
・・・・・・Ｊと補正する。 ｔｉ）’ ｐ−９／ｌ −７ｒ・・・・・・位相は同一
とした。、・・１０６１１．」を［・・・・・・・・・
位相は同一（第１図に示す如く共通バスバー６に対して
上下対称の電極構造）とした。・・・・・・・・・」と
補正する。 ｖｎ＋ｐ−１０／１ｌ−２Ｏｒ・・・・・・・・・結合
には重」を「四・・・・・結合には」と補正する。 ４ｉＩ）’ ｐ−１２／ｌ−５〜ｌ−１１ｒ同、・・・
・・・・・・明した。」を削除する。 ４ｉｉｐ−１４／ｌ−１２と１−１３との間に以下の文
章を挿入する。 ［伺、上述した水晶基板のナツト角は現在知られている
ものの円最良の周波数一温度特性を示すものであるが現
実のフィルタを製造する場合必ずしもこれにのみ限定す
る必ｇ！はす〈製品のスペックによっては他のカットの
水晶音用いてもよい。］ ＠ｐ−１５／ｌ−１５からｐ−１６／ｌ−４の「う。」
までを削除し代りに以下の文章を挿入する。 「本発明に係るフィルタを構成する共振器としてはその
Ｑｔ−高める為多対のインタディジタル・トランスジー
−サ′ａ ｆｆｌ ’に用いる所謂多対型共振器につい
てのみ説明してきたが、共振器のＱ向上の為には共振器
の両側に反射器を配置した所請反射器型共振器を用いる
ことも考慮すべきである。 この型式の共振器は少数のインタディジタルくなりオー
ミック・ロスを低減し得るのみならず特性インピーダン
ス金任意に設計することが可能となるので本発明のフィ
ルタ′ｊｋＩＦＢ成する上では前記多対型共振器全使用
するよりむしろ優れていると考えられる。 即ち、第１０図に示す如く共振器２及び３の両側に反射
器７及び８を配置しインタディジタル・トランスジー−
サ電極指本数を多対型のそれの数分の−とじた場合にも
インタディジタル・トランスジューサ電極２及び３の電
極指本数及び反射器７及び８の電極本数の合計を等しく
した多対型共振器に比して同等以上のＱｔ得ることがで
きる。 この場合前記反射器７及び８の電極のピッチ極のそれよ
りわずか（数百分の−）小さく設計することによって励
起した波動を効率よく反射することができ一層効果的で
ある。 （ｘ）ｐ−１６／ｌ−４ｒ更に前記・・・・・・・・・
」ヲ「このような構成をとる反射器型共振器を用いたフ
ィルタに於いて前記・・・・・・・・・」と補正する。 ３、図面全添付別紙の如く補正する。 以上 手続補正書 ■、小事件表示 昭和５７年 特許 願第１３０１４０号２・発明０
名称 高周波狭帯域多重モード・フィルタ ３、補正をする者 事件との関係特許出願人 ５、補正により増加する発明の数 なし６、補正の対象
発明の詳細な説明及び図面の簡単な説明 ７・補正ｎ 内Ｍ 添付別紙の通シ 補正の内容 １、 発明の詳細な説明を以下の如く補正する。 第１１頁】２行目「肘した結果第９図の表に示す・・・
・・・・・・−１とあるのを「討した結果第９図に示す
・・・・・−・・・１と補正する。 ２、 図面の簡単な説明全以下の如く補正する。 第１９頁１３行目「験データを示す表、・・・・・・・
・・」とあるのを［験データ全示す図、・・・・・・・
・何と補正する。 以 上
Claims (3)
- （１）回転Ｙカット圧電基板上に夫々が同一共振周波数
で振動する複数個のインタディジタル・トランスジュー
サ電極をこれらが励起する弾性表面波の伝播方向と直交
する方向に相互に並行近接して配置し、前記各インタデ
ィジタル・トランスジューサ電極（＝よって励起した弾
性表面波の伝播方向と直交する方向に生起する波動の音
響的な結合に起因する複数の相異なる振動モードの共振
周波数を利用した弾性表面波多重モード・フィルタに於
いて、前記各インタディジタル・トランスジューサ電極
の電極指交叉長Ｗと、前記各インタディジタル・トラン
スジューサ電極の隣接部に於ける共通のパスパーを挾ん
だ電極指非交叉長ｇとが夫々Ｗ≦２０λ９ｇ≦６λ、望
ましくはσ ／ １） ｌ １日 １．） ｚ→・ｇ
ｈま己 ＋１−虐滅什壽面力υンｉ 易 ）であること
を特徴とする高周波狭帯域多重モード・フィルタ。 - （２）前記インタディジタル・トランスジューサ電極が
励起する波が８ＳＢＷ（Ｓｕ、ｒｆａｃｅ８ｋｉｍｍｉ
ｎｇ Ｂｕｌｋ Ｗａｖｅ）であることを特徴とする特
許請求の範囲１記載の高周波狭帯域多重モード・フィル
タ。 - （３）特許請求の範囲１又は２記載の多重モード・フィ
ルタを単位セクションとしてこれを多数個縦続接続する
ことにより減衰傾度及び保証減衰量を確保したことを特
徴とする高周波狭帯域多セクションの多重モード・フィ
ルタ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57130140A JPS59131213A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタ |
| DE8383107258T DE3382058D1 (de) | 1982-07-26 | 1983-07-23 | Hochfrequentes multimodefilter mit schmalem durchlassband. |
| US06/517,511 US4542356A (en) | 1982-07-26 | 1983-07-26 | High frequency narrow-band multi-mode filter |
| US06/849,527 USRE33957E (en) | 1982-07-26 | 1986-04-08 | High frequency narrow-band multi-mode filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57130140A JPS59131213A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59131213A true JPS59131213A (ja) | 1984-07-28 |
| JPH0216613B2 JPH0216613B2 (ja) | 1990-04-17 |
Family
ID=15026915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57130140A Granted JPS59131213A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4542356A (ja) |
| JP (1) | JPS59131213A (ja) |
| DE (1) | DE3382058D1 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5909157A (en) * | 1994-10-31 | 1999-06-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Surface acoustic wave filter device and transducer therefor having unidirectional and bidirectional structures |
| US5990762A (en) * | 1996-05-23 | 1999-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter and multistage filter with multiple inside busbar lead-out electrodes |
| US6348845B2 (en) | 1996-05-23 | 2002-02-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter and multistage surface acoustic wave filter |
| US6384698B1 (en) | 1999-04-28 | 2002-05-07 | Seiko Epson Corporation | Transverse double mode saw filter |
| US6801100B2 (en) | 1996-05-23 | 2004-10-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inter-digital transducer, surface acoustic wave filter and communication apparatus using the same |
| JPWO2015119025A1 (ja) * | 2014-02-04 | 2017-03-23 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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