JPH11225038A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH11225038A JPH11225038A JP10025810A JP2581098A JPH11225038A JP H11225038 A JPH11225038 A JP H11225038A JP 10025810 A JP10025810 A JP 10025810A JP 2581098 A JP2581098 A JP 2581098A JP H11225038 A JPH11225038 A JP H11225038A
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- wave device
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/14529—Distributed tap
- H03H9/14532—Series weighting; Transverse weighting
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】製造・加工のときなどに、高温状態になること
によって生じる櫛形電極の欠損が原因で起こる挿入損失
の増大や、周波数帯域の変化を防ぐ。 【解決手段】圧電基板11と、該圧電基板11上に形成され
るバスバー21a、21b、21c、21dおよびフィンガ22からな
る櫛形電極20a、20bとから構成される弾性表面波装置30
において、前記フィンガ22のうち少なくとも一本と、前
記バスバー21a、21b、21c、21dとの接続が少なくとも二
以上の経路によりなされている。
によって生じる櫛形電極の欠損が原因で起こる挿入損失
の増大や、周波数帯域の変化を防ぐ。 【解決手段】圧電基板11と、該圧電基板11上に形成され
るバスバー21a、21b、21c、21dおよびフィンガ22からな
る櫛形電極20a、20bとから構成される弾性表面波装置30
において、前記フィンガ22のうち少なくとも一本と、前
記バスバー21a、21b、21c、21dとの接続が少なくとも二
以上の経路によりなされている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電基板上に櫛形
電極が形成された弾性表面波装置に関する。
電極が形成された弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の弾性表面波装置を、図6に基づい
て説明する。従来の弾性表面波装置130は、LiTaO3、LiN
bO3などからなる圧電基板111上に、互いに対向する一対
の櫛形電極120がAlなどにより形成されている。そし
て、櫛形電極120は複数のフィンガ122と、フィンガの一
端において全てのフィンガと接続しているバスバー121
とから構成されている。
て説明する。従来の弾性表面波装置130は、LiTaO3、LiN
bO3などからなる圧電基板111上に、互いに対向する一対
の櫛形電極120がAlなどにより形成されている。そし
て、櫛形電極120は複数のフィンガ122と、フィンガの一
端において全てのフィンガと接続しているバスバー121
とから構成されている。
【０００３】また、圧電基板111上には、バスバー121と
接続されるように、ボンディングパッド113が形成され
ている。弾性表面波フィルタは、ここでは図示しないパ
ッケージに収納され、ボンディングパッド113とパッケ
ージに形成されたパッドとがワイヤボンディングによっ
て接続されていた。
接続されるように、ボンディングパッド113が形成され
ている。弾性表面波フィルタは、ここでは図示しないパ
ッケージに収納され、ボンディングパッド113とパッケ
ージに形成されたパッドとがワイヤボンディングによっ
て接続されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近年、移動体通信など
においては高周波化が進んでおり、それに使用される弾
性表面波装置も高周波化に対応したものが求められてい
る。弾性表面波装置は、電気機械結合係数や反射器の反
射率等の材料定数をもとに設計されるが、これらの材料
定数は櫛形電極の膜厚（ｈ）を波長（λ）比で示した値
（ｈ／λ）に依存する。通常、この波長比膜厚（ｈ／
λ）の範囲は弾性表面波装置の電気的特性から数％〜10
％程度に限定される。したがって、弾性表面波装置にお
いて短波長化すなわち高周波化に対応するためには、櫛
形電極の膜厚の薄化が必要となる。
においては高周波化が進んでおり、それに使用される弾
性表面波装置も高周波化に対応したものが求められてい
る。弾性表面波装置は、電気機械結合係数や反射器の反
射率等の材料定数をもとに設計されるが、これらの材料
定数は櫛形電極の膜厚（ｈ）を波長（λ）比で示した値
（ｈ／λ）に依存する。通常、この波長比膜厚（ｈ／
λ）の範囲は弾性表面波装置の電気的特性から数％〜10
％程度に限定される。したがって、弾性表面波装置にお
いて短波長化すなわち高周波化に対応するためには、櫛
形電極の膜厚の薄化が必要となる。
【０００５】ところで、弾性表面波装置を製造・加工す
る際、または使用する際には高温状態に晒されることが
ある。このように高温状態になると、圧電基板と櫛形電
極との線膨張係数の差のために、薄膜化されて強度の弱
くなった櫛形電極に欠損が生じることがある。この欠損
は面積の広い場所に生じることが多く、したがって櫛形
電極のバスバーに生じることが多い。また、特にバスバ
ーのエッジに生じることが多い。ここで、欠損が櫛形電
極のフィンガとバスバーの接続部分に生じた場合、フィ
ンガとバスバーが断線された状態となる。フィンガとバ
スバーが断線されると、挿入損失が大きくなったり、周
波数帯域に変化が生じるなど、弾性表面波装置の特性上
の問題が生じる。
る際、または使用する際には高温状態に晒されることが
ある。このように高温状態になると、圧電基板と櫛形電
極との線膨張係数の差のために、薄膜化されて強度の弱
くなった櫛形電極に欠損が生じることがある。この欠損
は面積の広い場所に生じることが多く、したがって櫛形
電極のバスバーに生じることが多い。また、特にバスバ
ーのエッジに生じることが多い。ここで、欠損が櫛形電
極のフィンガとバスバーの接続部分に生じた場合、フィ
ンガとバスバーが断線された状態となる。フィンガとバ
スバーが断線されると、挿入損失が大きくなったり、周
波数帯域に変化が生じるなど、弾性表面波装置の特性上
の問題が生じる。
【０００６】本発明の弾性表面波装置は、上述の問題を
鑑みてなされたものであり、これらの問題を解決し、特
性劣化の少ない弾性表面波装置を提供することを目的と
している。
鑑みてなされたものであり、これらの問題を解決し、特
性劣化の少ない弾性表面波装置を提供することを目的と
している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、圧電基板と、該圧電基板上に形成されるバス
バーおよびフィンガからなる櫛形電極とから構成される
弾性表面波装置において、前記フィンガのうち少なくと
も一本と、前記バスバーとの接続が少なくとも二以上の
経路によりなされている。
本発明は、圧電基板と、該圧電基板上に形成されるバス
バーおよびフィンガからなる櫛形電極とから構成される
弾性表面波装置において、前記フィンガのうち少なくと
も一本と、前記バスバーとの接続が少なくとも二以上の
経路によりなされている。
【０００８】また、それぞれ同じバスバーに接続され互
いに隣接する前記フィンガ同士が、バスバーとの接続部
付近でフィンガ接続用電極により接続されている。
いに隣接する前記フィンガ同士が、バスバーとの接続部
付近でフィンガ接続用電極により接続されている。
【０００９】さらに、前記フィンガ接続用電極とバスバ
ーとが、バスバー接続用電極により接続されている。
ーとが、バスバー接続用電極により接続されている。
【００１０】さらにまた、圧電基板と、該圧電基板上に
形成されるバスバーおよびフィンガからなる櫛形電極と
から構成される弾性表面波装置において、前記バスバー
と前記フィンガとの接続部付近で、それぞれ同じバスバ
ーに接続され互いに隣接するフィンガ同士を接続するよ
うに残余バスバーを残して、少なくとも一個所の前記バ
スバーと前記フィンガとの接続部付近のバスバーを一部
削除している。
形成されるバスバーおよびフィンガからなる櫛形電極と
から構成される弾性表面波装置において、前記バスバー
と前記フィンガとの接続部付近で、それぞれ同じバスバ
ーに接続され互いに隣接するフィンガ同士を接続するよ
うに残余バスバーを残して、少なくとも一個所の前記バ
スバーと前記フィンガとの接続部付近のバスバーを一部
削除している。
【００１１】さらにまた、互いに隣接するフィンガ同士
を接続するように残された前記残余バスバーと、該残余
バスバーと本体バスバーとを接続するように架橋バスバ
ーを残して、少なくとも一個所の前記バスバーと前記フ
ィンガとの接続部付近のバスバーを一部削除している。
を接続するように残された前記残余バスバーと、該残余
バスバーと本体バスバーとを接続するように架橋バスバ
ーを残して、少なくとも一個所の前記バスバーと前記フ
ィンガとの接続部付近のバスバーを一部削除している。
【００１２】これらにより、たとえ圧電基板と櫛形電極
との線膨張係数の差によって、櫛形電極のバスバーとフ
ィンガとの接続部に欠損が生じたとしても、他の経路に
よってフィンガとバスバーとの導通が可能となる。した
がって弾性表面波装置が、挿入損失の増大や周波数帯域
の変化を起こさないようになる。
との線膨張係数の差によって、櫛形電極のバスバーとフ
ィンガとの接続部に欠損が生じたとしても、他の経路に
よってフィンガとバスバーとの導通が可能となる。した
がって弾性表面波装置が、挿入損失の増大や周波数帯域
の変化を起こさないようになる。
【００１３】また前記フィンガとバスバーとの接続用の
二経路の電極、前記フィンガ接続用電極、前記バスバー
接続用電極、前記残余バスバー、前記架橋バスバーの線
幅を、前記フィンガの線幅と略同幅にしている。
二経路の電極、前記フィンガ接続用電極、前記バスバー
接続用電極、前記残余バスバー、前記架橋バスバーの線
幅を、前記フィンガの線幅と略同幅にしている。
【００１４】これにより、狭線幅による電気抵抗の増
大、および広線幅による欠損発生確率の増大をともに防
ぐことができる。
大、および広線幅による欠損発生確率の増大をともに防
ぐことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例である弾性
表面波装置を、図1に基づいて説明する。なお、図1は弾
性表面波装置の一部分である。図1に示すように弾性表
面波装置30は、LiTaO3、LiNbO3および水晶などの圧電基
板11上に、互いに対向する一対の櫛形電極20a、20bがAl
などにより形成されている。櫛形電極20a、20bは複数の
フィンガ22と、全てのフィンガ22に接続されているバス
バー21a、21b、21c、21dとからなり、フォトリソグラフ
ィにより所望の特性が得られるようなフィンガ22の線幅
ピッチや電極20a、20bの厚さに形成される。
表面波装置を、図1に基づいて説明する。なお、図1は弾
性表面波装置の一部分である。図1に示すように弾性表
面波装置30は、LiTaO3、LiNbO3および水晶などの圧電基
板11上に、互いに対向する一対の櫛形電極20a、20bがAl
などにより形成されている。櫛形電極20a、20bは複数の
フィンガ22と、全てのフィンガ22に接続されているバス
バー21a、21b、21c、21dとからなり、フォトリソグラフ
ィにより所望の特性が得られるようなフィンガ22の線幅
ピッチや電極20a、20bの厚さに形成される。
【００１６】また、この実施例においては、弾性表面波
装置30をトランスヴァーサル型弾性表面波フィルタ10に
用いている。圧電基板11上には、バスバー21a、21b、21
c、21dとそれぞれ接続されるようにボンディングパッド
13a、13b、13c、13dが形成されている。弾性表面波フィ
ルタ10はパッケージ16に収納され、ボンディングパッド
13a、13b、13c、13dとパッケージ16に形成されたパッド
15とが、ワイヤ14によって接続されている。入力用櫛形
電極20aの入力ボンディングパッド13aから入力された信
号は、櫛形電極のフィンガ部で励振される。そして圧電
基板11や櫛形電極20a、20bフィルタとして機能する。な
お、入力用櫛形電極20aのボンディングパッド13bと、出
力用櫛形電極20bのボンディングパッド13cは、パッケー
ジ16のパッド15を通してアースに接続されている。
装置30をトランスヴァーサル型弾性表面波フィルタ10に
用いている。圧電基板11上には、バスバー21a、21b、21
c、21dとそれぞれ接続されるようにボンディングパッド
13a、13b、13c、13dが形成されている。弾性表面波フィ
ルタ10はパッケージ16に収納され、ボンディングパッド
13a、13b、13c、13dとパッケージ16に形成されたパッド
15とが、ワイヤ14によって接続されている。入力用櫛形
電極20aの入力ボンディングパッド13aから入力された信
号は、櫛形電極のフィンガ部で励振される。そして圧電
基板11や櫛形電極20a、20bフィルタとして機能する。な
お、入力用櫛形電極20aのボンディングパッド13bと、出
力用櫛形電極20bのボンディングパッド13cは、パッケー
ジ16のパッド15を通してアースに接続されている。
【００１７】ここで図2に、櫛形電極20aのフィンガ22と
バスバー21aの接続部分の図を示す。図2に示すようにｎ
本（ｎは1以上の自然数）のフィンガ22とバスバー21aと
からなる櫛形電極20aのフィンガｋ（ｋは1以上ｎ以下の
自然数）は、バスバー21aとの接続部分付近で2経路ka、
kbに分岐している。このため、1本のフィンガｋは2ヶ所
においてバスバー21aと接続されることになる。このよ
うにすることにより、たとえバスバー21aとフィンガka
との接続部分で欠損が生じ、断線が起こったとしても、
フィンガkbによりフィンガｋとバスバー21aとの導通は
保たれる。したがって、バスバー21aとフィンガｋの断
線により、挿入損失の増大や周波数帯域が変化する可能
性が減少する。以上図2においては、櫛形電極20aのバス
バー21aを用いて説明したが、図1に示すようにバスバー
21b、櫛形電極20bのバスバー21c、21d付近においても、
2経路に分かれている。
バスバー21aの接続部分の図を示す。図2に示すようにｎ
本（ｎは1以上の自然数）のフィンガ22とバスバー21aと
からなる櫛形電極20aのフィンガｋ（ｋは1以上ｎ以下の
自然数）は、バスバー21aとの接続部分付近で2経路ka、
kbに分岐している。このため、1本のフィンガｋは2ヶ所
においてバスバー21aと接続されることになる。このよ
うにすることにより、たとえバスバー21aとフィンガka
との接続部分で欠損が生じ、断線が起こったとしても、
フィンガkbによりフィンガｋとバスバー21aとの導通は
保たれる。したがって、バスバー21aとフィンガｋの断
線により、挿入損失の増大や周波数帯域が変化する可能
性が減少する。以上図2においては、櫛形電極20aのバス
バー21aを用いて説明したが、図1に示すようにバスバー
21b、櫛形電極20bのバスバー21c、21d付近においても、
2経路に分かれている。
【００１８】次に、本発明の第二の実施例について説明
する。なお、先の実施例と同一の部分の説明は省略し、
櫛形電極のバスバーとフィンガの接続部分のみを、図3
を用いて説明する。
する。なお、先の実施例と同一の部分の説明は省略し、
櫛形電極のバスバーとフィンガの接続部分のみを、図3
を用いて説明する。
【００１９】図3に示すように、ｎ本（ｎは2以上の自然
数）のフィンガ22とバスバー21eからなる櫛形電極20eの
フィンガｋ（ｋは1以上ｎ−1以下の自然数）とフィンガ
ｋ＋1とが、バスバー21eとフィンガ22との接続部付近
で、フィンガ接続用電極23により接続されている。この
ようにすることにより、たとえ櫛形電極20eのフィンガ
ｋとバスバー21eとの接続部分が欠損し、断線が起こっ
たとしても、フィンガｋはフィンガ接続用電極23によ
り、他のフィンガを通して導通が保たれる。したがっ
て、フィンガｋとバスバー21eとの接続経路が増え、バ
スバー21eとフィンガｋの断線により、挿入損失の増大
や周波数帯域が変化する可能性が、さらに減少する。
数）のフィンガ22とバスバー21eからなる櫛形電極20eの
フィンガｋ（ｋは1以上ｎ−1以下の自然数）とフィンガ
ｋ＋1とが、バスバー21eとフィンガ22との接続部付近
で、フィンガ接続用電極23により接続されている。この
ようにすることにより、たとえ櫛形電極20eのフィンガ
ｋとバスバー21eとの接続部分が欠損し、断線が起こっ
たとしても、フィンガｋはフィンガ接続用電極23によ
り、他のフィンガを通して導通が保たれる。したがっ
て、フィンガｋとバスバー21eとの接続経路が増え、バ
スバー21eとフィンガｋの断線により、挿入損失の増大
や周波数帯域が変化する可能性が、さらに減少する。
【００２０】さらに、本発明の第三の実施例について説
明する。なお、第一の実施例と同一の部分の説明は省略
し、櫛形電極のバスバーとフィンガの接続部分のみを、
図4を用いて説明する。
明する。なお、第一の実施例と同一の部分の説明は省略
し、櫛形電極のバスバーとフィンガの接続部分のみを、
図4を用いて説明する。
【００２１】図4に示すように、ｎ本（ｎは2以上の自然
数）のフィンガ22とバスバー21fからなる櫛形電極20fの
フィンガｋ（ｋは1以上ｎ−1以下の自然数）とフィンガ
ｋ＋1とが、バスバー21fとフィンガ22との接続部付近で
フィンガ接続用電極23により接続されている。さらに、
フィンガ接続用電極23とバスバー21fとが、バスバー接
続用電極24によって接続されている。このようにするこ
とにより、たとえ櫛形電極20fのフィンガｋとバスバー2
1fとの接続部分が欠損し、断線が起こったとしても、フ
ィンガｋはフィンガ接続用電極23により他のフィンガ、
またはバスバー接続用電極24を通して導通が保たれる。
したがって、フィンガｋとバスバー21fとの接続経路が
さらに増え、バスバー21fとフィンガｋの断線により、
挿入損失の増大や周波数帯域が変化する可能性が、さら
にまた減少する。
数）のフィンガ22とバスバー21fからなる櫛形電極20fの
フィンガｋ（ｋは1以上ｎ−1以下の自然数）とフィンガ
ｋ＋1とが、バスバー21fとフィンガ22との接続部付近で
フィンガ接続用電極23により接続されている。さらに、
フィンガ接続用電極23とバスバー21fとが、バスバー接
続用電極24によって接続されている。このようにするこ
とにより、たとえ櫛形電極20fのフィンガｋとバスバー2
1fとの接続部分が欠損し、断線が起こったとしても、フ
ィンガｋはフィンガ接続用電極23により他のフィンガ、
またはバスバー接続用電極24を通して導通が保たれる。
したがって、フィンガｋとバスバー21fとの接続経路が
さらに増え、バスバー21fとフィンガｋの断線により、
挿入損失の増大や周波数帯域が変化する可能性が、さら
にまた減少する。
【００２２】これらの実施例において櫛形電極20a、20
b、20e、20fおよびボンディングパッド13a、13b、13c、
13dは、フォトリソグラフィにより形成されている。第
一の実施例におけるフィンガｋが分岐したフィンガka、
kbもまたフォトリソグラフィにより櫛形電極20a、20b、
20e、20fおよびボンディングパッド13a、13b、13c、13d
と同時に形成され、第二、第三の実施例におけるフィン
ガ接続用電極23やバスバー接続用電極24もまたフォトリ
ソグラフィにより櫛形電極20a、20b、20e、20fおよびボ
ンディングパッド13a、13b、13c、13dと同時に形成され
ている。この時フィンガka、kb、フィンガ接続用電極2
3、バスバー接続用電極24の線幅はフィンガｋの線幅と
ほぼ同じ幅で形成されている。これらを、フィンガｋの
線幅より狭くした場合、狭くなった部分での電気抵抗が
大きくなり、挿入損失が大きくなる。また、逆にフィン
ガｋの線幅より広くした場合、面積が大きくなるため欠
損する可能性が高くなる。したがって、フィンガka、k
b、フィンガ接続用電極23、バスバー接続用電極24の線
幅はフィンガｋの線幅とほぼ同じ幅にすることが、弾性
表面波装置30の特性上望ましい。
b、20e、20fおよびボンディングパッド13a、13b、13c、
13dは、フォトリソグラフィにより形成されている。第
一の実施例におけるフィンガｋが分岐したフィンガka、
kbもまたフォトリソグラフィにより櫛形電極20a、20b、
20e、20fおよびボンディングパッド13a、13b、13c、13d
と同時に形成され、第二、第三の実施例におけるフィン
ガ接続用電極23やバスバー接続用電極24もまたフォトリ
ソグラフィにより櫛形電極20a、20b、20e、20fおよびボ
ンディングパッド13a、13b、13c、13dと同時に形成され
ている。この時フィンガka、kb、フィンガ接続用電極2
3、バスバー接続用電極24の線幅はフィンガｋの線幅と
ほぼ同じ幅で形成されている。これらを、フィンガｋの
線幅より狭くした場合、狭くなった部分での電気抵抗が
大きくなり、挿入損失が大きくなる。また、逆にフィン
ガｋの線幅より広くした場合、面積が大きくなるため欠
損する可能性が高くなる。したがって、フィンガka、k
b、フィンガ接続用電極23、バスバー接続用電極24の線
幅はフィンガｋの線幅とほぼ同じ幅にすることが、弾性
表面波装置30の特性上望ましい。
【００２３】最後に、本発明の第四の実施例について説
明する。なお、第一の実施例と同一の部分の説明は省略
し、櫛形電極のバスバーとフィンガの接続部分のみを、
図5を用いて説明する。
明する。なお、第一の実施例と同一の部分の説明は省略
し、櫛形電極のバスバーとフィンガの接続部分のみを、
図5を用いて説明する。
【００２４】本実施例においては、ｎ本（ｎは2以上の
自然数）のフィンガ22とバスバー21gとから櫛形電極20g
が形成されている。そして、フィンガ22とバスバー21g
の接続部付近のバスバー21gが、一部削除される。この
とき、同じバスバー21gに接続され互いに隣接するフィ
ンガ22が、削除されずに残った残余バスバー25により接
続された状態となる。また、残余バスバー25と広い面積
をもつ本体バスバー27とが架橋バスバー26により接続さ
れた状態となる。このようにすることにより、たとえ櫛
形電極20gの架橋バスバー26の一つと、本体バスバー27
との接続部分が欠損し、断線が起こったとしても、フィ
ンガ22は残余バスバー25により、他の架橋バスバー26を
通して導通が保たれる。したがって、フィンガ22と本体
バスバー27との接続経路がさらに増え、本体バスバー27
と架橋バスバー26の断線により、挿入損失の増大や周波
数帯域が変化する可能性が減少する。
自然数）のフィンガ22とバスバー21gとから櫛形電極20g
が形成されている。そして、フィンガ22とバスバー21g
の接続部付近のバスバー21gが、一部削除される。この
とき、同じバスバー21gに接続され互いに隣接するフィ
ンガ22が、削除されずに残った残余バスバー25により接
続された状態となる。また、残余バスバー25と広い面積
をもつ本体バスバー27とが架橋バスバー26により接続さ
れた状態となる。このようにすることにより、たとえ櫛
形電極20gの架橋バスバー26の一つと、本体バスバー27
との接続部分が欠損し、断線が起こったとしても、フィ
ンガ22は残余バスバー25により、他の架橋バスバー26を
通して導通が保たれる。したがって、フィンガ22と本体
バスバー27との接続経路がさらに増え、本体バスバー27
と架橋バスバー26の断線により、挿入損失の増大や周波
数帯域が変化する可能性が減少する。
【００２５】また、本実施例においても前述の理由によ
り、残余バスバー25、架橋バスバー26はフィンガ22と、
ほぼ同一の線幅を有している。
り、残余バスバー25、架橋バスバー26はフィンガ22と、
ほぼ同一の線幅を有している。
【００２６】なお、圧電基板上に圧電膜を形成して櫛形
電極を形成したものや、櫛形電極を含む圧電基板上に圧
電膜を形成した弾性表面波装置にも本発明は使用でき
る。また、トランスヴァーサル型弾性表面波フィルタだ
けでなく、他の共振子型弾性表面波フィルタ等にも本発
明は使用できる。
電極を形成したものや、櫛形電極を含む圧電基板上に圧
電膜を形成した弾性表面波装置にも本発明は使用でき
る。また、トランスヴァーサル型弾性表面波フィルタだ
けでなく、他の共振子型弾性表面波フィルタ等にも本発
明は使用できる。
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、弾性表面
波装置の櫛形電極において、一本のフィンガとバスバー
との接続が二経路以上によってなされている。これによ
り、たとえバスバーとフィンガとの接続部で欠損が生じ
たとしても、別の経路によりバスバーとフィンガとの導
通が保たれる。したがって、バスバーとフィンガとの断
線による挿入損失の増大や、周波数帯域の変化を防ぐこ
とができ、信頼性の高い弾性表面波装置を供給すること
ができる。
波装置の櫛形電極において、一本のフィンガとバスバー
との接続が二経路以上によってなされている。これによ
り、たとえバスバーとフィンガとの接続部で欠損が生じ
たとしても、別の経路によりバスバーとフィンガとの導
通が保たれる。したがって、バスバーとフィンガとの断
線による挿入損失の増大や、周波数帯域の変化を防ぐこ
とができ、信頼性の高い弾性表面波装置を供給すること
ができる。
【００２８】また本発明によれば、弾性表面波装置の櫛
形電極において、バスバーとフィンガとの接続部付近に
おいて、同一バスバーに接続され互いに隣接するフィン
ガをフィンガ接続用電極により接続した。さらに、フィ
ンガ接続用電極とバスバーとを、バスバー接続用電極に
より接続した。これにより、従来のフォトリソグラフィ
による櫛形電極の形成と比較して、さらなる手間もかけ
ずにバスバーとフィンガとの断線による挿入損失の増大
や、周波数帯域の変化を、さらに防ぐことができる。
形電極において、バスバーとフィンガとの接続部付近に
おいて、同一バスバーに接続され互いに隣接するフィン
ガをフィンガ接続用電極により接続した。さらに、フィ
ンガ接続用電極とバスバーとを、バスバー接続用電極に
より接続した。これにより、従来のフォトリソグラフィ
による櫛形電極の形成と比較して、さらなる手間もかけ
ずにバスバーとフィンガとの断線による挿入損失の増大
や、周波数帯域の変化を、さらに防ぐことができる。
【００２９】さらに本発明によれば、フィンガ接続用電
極やバスバー接続用電極などの、フィンガから分岐した
経路の電極の線幅を、フィンガの線幅と略同幅にした。
これにより、電気抵抗増加による挿入損失の増大や、面
積増加による欠損発生確率の増大を起こさないようにす
ることができる。
極やバスバー接続用電極などの、フィンガから分岐した
経路の電極の線幅を、フィンガの線幅と略同幅にした。
これにより、電気抵抗増加による挿入損失の増大や、面
積増加による欠損発生確率の増大を起こさないようにす
ることができる。
【図１】本発明の弾性表面波フィルタの部分概略斜視図
である。
である。
【図２】本発明の第一の実施例における櫛形電極のバス
バーとフィンガ部分の拡大平面図である。
バーとフィンガ部分の拡大平面図である。
【図３】本発明の第二の実施例における櫛形電極のバス
バーとフィンガ部分の拡大平面図である。
バーとフィンガ部分の拡大平面図である。
【図４】本発明の第三の実施例における櫛形電極のバス
バーとフィンガ部分の拡大平面図である。
バーとフィンガ部分の拡大平面図である。
【図５】本発明の第四の実施例における櫛形電極のバス
バーとフィンガ部分の拡大平面図である。
バーとフィンガ部分の拡大平面図である。
【図６】従来の弾性表面波装置の斜視図である。
10 弾性表面波フィルタ 11 圧電基板 13a,13b,13c,13d ボンディングパッド 14 ワイヤ 16 パッケージ 20a,20b,20e,20f,20g 櫛形電極 21a,21b,21c,21d,21e,21f,21g バスバー 22 フィンガ 23 フィンガ接続用電極 24 バスバー接続用電極 25 残余バスバー 26 架橋バスバー 27 本体バスバー 30 弾性表面波装置
Claims (6)
- 【請求項１】圧電基板と、該圧電基板上に形成されるバ
スバーおよびフィンガからなる櫛形電極とから構成され
る弾性表面波装置において、 前記フィンガのうち少なくとも一本と、前記バスバーと
の接続が少なくとも二以上の経路によりなされているこ
とを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】それぞれ同じバスバーに接続され互いに隣
接する前記フィンガ同士が、バスバーとの接続部付近で
フィンガ接続用電極により接続されていることを特徴と
する請求項1記載の弾性表面波装置。 - 【請求項３】前記フィンガ接続用電極とバスバーとが、
バスバー接続用電極により接続されていることを特徴と
する請求項2記載の弾性表面波装置。 - 【請求項４】圧電基板と、該圧電基板上に形成されるバ
スバーおよびフィンガからなる櫛形電極とから構成され
る弾性表面波装置において、 前記バスバーと前記フィンガとの接続部付近で、それぞ
れ同じバスバーに接続され互いに隣接するフィンガ同士
を接続するように残余バスバーを残して、少なくとも一
個所の前記バスバーと前記フィンガとの接続部付近のバ
スバーを一部削除することを特徴とする弾性表面波装
置。 - 【請求項５】互いに隣接するフィンガ同士を接続するよ
うに残された前記残余バスバーと、該残余バスバーと本
体バスバーとを接続するように架橋バスバーを残して、
少なくとも一個所の前記バスバーと前記フィンガとの接
続部付近のバスバーを一部削除することを特徴とする請
求項4記載の弾性表面波装置。 - 【請求項６】前記フィンガとバスバーとの接続用の二経
路の電極、前記フィンガ接続用電極、前記バスバー接続
用電極、前記残余バスバー、前記架橋バスバーの線幅
が、前記フィンガの線幅と略同幅であることを特徴とす
る請求項1〜5記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025810A JPH11225038A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 弾性表面波装置 |
| SG1999000234A SG74698A1 (en) | 1998-02-06 | 1999-01-28 | Surface acoustic wave device |
| US09/241,205 US6072377A (en) | 1998-02-06 | 1999-02-01 | Surface acoustic wave device with multiple connecting routes for connecting fingers to bus bars |
| KR1019990003878A KR100320722B1 (ko) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | 탄성 표면파 장치 |
| EP99400265A EP0935341A3 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025810A JPH11225038A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11225038A true JPH11225038A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12176239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10025810A Pending JPH11225038A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 弾性表面波装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6072377A (ja) |
| EP (1) | EP0935341A3 (ja) |
| JP (1) | JPH11225038A (ja) |
| KR (1) | KR100320722B1 (ja) |
| SG (1) | SG74698A1 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003087083A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-03-20 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波用のくし型電極部、弾性表面波装置、通信装置 |
| JP2005295049A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタおよびその弾性表面波フィルタ用いた通信用フィルタ |
| JP2009521142A (ja) * | 2005-12-23 | 2009-05-28 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 音波で動作する変換器および当該変換器を有するフィルタ |
| US7671705B2 (en) | 2006-09-29 | 2010-03-02 | Tdk Corporation | Surface acoustic wave filter and resonator utilizing a branch electrode with an electrically opened end |
| JP2014500681A (ja) * | 2010-12-07 | 2014-01-09 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 横方向放出による損失を減じ、横方向モードの抑制により動作を改善した電子音響変換器 |
| JP2014502809A (ja) * | 2010-12-22 | 2014-02-03 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電子音響共振器 |
| JPWO2015119025A1 (ja) * | 2014-02-04 | 2017-03-23 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3412611B2 (ja) * | 2000-09-25 | 2003-06-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| JP2002152001A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-05-24 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波フィルタ装置 |
| JP3780415B2 (ja) * | 2001-06-12 | 2006-05-31 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ、およびそれを用いた通信機装置 |
| EP1324489A1 (en) * | 2001-12-21 | 2003-07-02 | Temex | Method for realising surface acoustic wave filter arrangements and filter arrangement obtained in accordance to this method |
| US6781818B2 (en) * | 2002-11-22 | 2004-08-24 | Siemens Energy & Automation | Bus brace comb assembly |
| DE10331323B4 (de) * | 2003-07-10 | 2013-09-05 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitender Wandler mit Unterdrückung transversaler Moden |
| US7453334B1 (en) * | 2005-03-21 | 2008-11-18 | Triquint Semiconductor, Inc. | Leaky SAW resonator and method |
| KR101652297B1 (ko) | 2015-03-31 | 2016-08-31 | (주)와이솔 | Saw 필터 |
| JP6098775B1 (ja) * | 2015-07-03 | 2017-03-22 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
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| US4160963A (en) * | 1977-07-21 | 1979-07-10 | Texas Instruments Incorporated | Plural supply path acoustic surface wave device |
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-
1998
- 1998-02-06 JP JP10025810A patent/JPH11225038A/ja active Pending
-
1999
- 1999-01-28 SG SG1999000234A patent/SG74698A1/en unknown
- 1999-02-01 US US09/241,205 patent/US6072377A/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-05 EP EP99400265A patent/EP0935341A3/en not_active Withdrawn
- 1999-02-05 KR KR1019990003878A patent/KR100320722B1/ko not_active IP Right Cessation
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| US9391256B2 (en) | 2010-12-07 | 2016-07-12 | Epcos Ag | Electroacoustic transducer with reduced losses due to transverse emission and improved performance due to suppression of transverse modes |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990072441A (ko) | 1999-09-27 |
| US6072377A (en) | 2000-06-06 |
| EP0935341A2 (en) | 1999-08-11 |
| SG74698A1 (en) | 2000-08-22 |
| KR100320722B1 (ko) | 2002-01-19 |
| EP0935341A3 (en) | 2000-12-27 |
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