JPS6261412A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、たとえば遅延線、フィルタ等に用いられる弾
性表面波装置に関する。

［発明の技術的背景とその問題点］ 従来から、たとえばフィルタとして用いられる弾性表面
波装置は、圧電基板上に、正極のくし歯電極と負極のく
し歯電極とを交差してなる一対のくし歯電極からなる励
振電極と、この励振電極から励振された弾性表面波の伝
播方向に所定の間隔をおいて配置され正極のくし歯電極
と負極のくし歯電極とを交差してなる一対のくし歯電極
からなる受信電極とが形成されている。またこれらくし
歯電極の電極指間のピッチは１／４λ０　（ただしλ０
は弾性表面波の波長を示す。すなわち中心周波数をＦｏ
および弾性表面波の伝播速度をＶ　ｓａｗとすると、波
長λｏ＝Ｖｓａｗ／Ｆｏとする）とざれている。

このように電極指間のピッチが１／４λ０で形成された
くし歯電極は、音響反射を相殺する効果があるが、その
反面、電気反射が生じることがある。このため弾性表面
波装置とこの弾性表面波装置（ζ接続される外部回路と
のインピーダンス整合をとり、挿入損失を小ざくすると
、電気反射の発生が大となり、その結果トリプルトラン
ジットエコーが大きくなり、帯域内にリップルが表われ
るため、挿入損失を小さくすることができないという欠
点があった。

このような欠点を補うため、第４図に示すように、ピッ
チが１／４λ０とされた電極指１．１・・・１の中で、
同一のくし歯電極内で隣接する電極指間を短絡する部分
１ａ、１ａ・・・１ａを形成して音響反則部を設けて音
響反射を生じさせ、さらにこの音響反射を電気反射と同
一の振幅とさせ、かつ反転した位相とざぜるような音響
反射要素を設けることにより、音響反射により電気反射
を相殺することができる。

ところで電気反射を相殺する程度の音響反射」を得るた
めには、圧電基板上の電極部と電極部以外の部分との音
響インピーダンスの差をかなり大きくしなければならず
、このため電極部全体の膜厚を厚くする必要がある。

しかしながら電極部全体の膜厚を厚くしたとき、上述し
た程度の音響反射ｍを得ることができるが、その反面、
バルク波の発生量が増大する。このため帯域外にバルク
波による影響が生じ、帯域外の減衰量のレベルが低下し
なくなるという問題があった。

［発明の目的］ 本発明はかかる事情に対処してなされたもので、所定の
量の音響反射を得ることができ、かつバルク波の発生を
抑えることのできる弾性表面波装置を提供することを目
的としている。

［発明の概要］ すなわち本発明の弾性表面波装置は、圧電基板と、この
圧電基板上に形成された一対のくし歯電極を少なくとも
その一部が複数本ずつ交差するよう各電極指を交差ざヒ
てなる励振電極と、この励ｊ辰電極から励振された弾性
表面波の伝播方向に形成された一対のクシ歯電極を少な
くともその一部が複数本ずつ交差するよう各電極指を交
差させてなる受信電極とを備え、前記励振電極および前
記受信電極のくし歯電極が、それぞれ同一のくし歯電極
内で前記複数本ずつ交差させた電極指の隣接する電極指
間を短絡してなる音響反射部を備えた弾性表面波装置に
おいて、前記音響反射部の電極部の膜厚が、非音響反射
部の電極部の膜厚より厚くされていることにより、所定
の量の音響反射を得ることができ、かつバルク波の発生
を抑えることができるようにしたものである。

［発明の実施例］ 以下、本発明の実施例の詳細を図面に基づいて説明する
。

この実施例の弾性表面波装置は、フィルタとして用いら
れるものであり、圧電基板上に、正極のくし歯電極と負
極のクシ゛歯電極とを交差してなる一対のくし歯電極か
らなる励振電極と、この励振電極から励振された弾性表
面波の伝播方向に所定の間隔をおいて配置され正極のく
し歯電極と負極のくし歯電極とを交差してなる一対のく
し歯電極からなる受信電極とが形成されている。またこ
れらくし歯電極の電極指間のピッチは１／４λＯとされ
ている。

また第１図はこの実施例の弾性表面波装置の一部拡大平
面図であり、同図に示すように、これら励振電極および
受信電極のくし歯電極２．２・・・２の電極指３．３・
・・３は、同一のくし歯電極内で隣接する電極指間を短
絡する部分４．４・・・４を形成することにより設けら
れた音響反則部３ａ、３ａ・・・３ａと、短絡されてい
ない非音響反射部３ｂ、３ｂ・・・３ｂとからなる。さ
らに音響反射部３ａ、３ａ・・・３ａの電極部の膜厚は
、１μｍ〜２μｍとされ、非音響反射部３ｂ、３ｂ・・
・３ｂの電極部の膜厚は、０．５μ■以下とされている
。

このように構成された弾性表面波装置は、圧電基板上の
音響反則部３ａ、３ａ・・・３ａの電極部の膜厚を厚く
しているため、この音響反射部３ａ、３ａ・・・３ａの
電極部と電極部以外の部分との音響インピーダンスの差
が大きくなり、電気反射を相殺することのできる程度の
音響反射を得ることができる。

さらに音響反射に必要のない非音響反射部３ｂ、３ｂ・
・・３ｂの電極部の膜厚を薄くしたことにより、バルク
波の発生】は小さくなり、帯域内の減衰量のレベルが低
くなる。

このような帯域外の減衰量のレベルが低下する効果を第
２図および第３図のグラフに示す。

第２図は従来例の第４図で示した弾性表面波装置の電極
部の膜厚を均一に１．６μｍとしたときの振幅特性を示
すグラフである。

また第３図はこの実施例の弾性表面波装置の音響反射部
の電極部のみ１．６μｍとし、他の電極部を０．５μｍ
としたときの振幅特性を示すグラフである。

これらグラフの示すように、バルク波の影響は中心周波
数よりも高域側に表われるが、第２図と第３図とを比較
したとき、第３図の本実施例の弾性表面波装置のほうが
高域側の帯域外が約１０ｄＢ減衰している。つまりこの
実施例の弾性表面波装置によれば、バルク波の発生Ｉが
従来例の弾性表面波装置と比較して減少したことになる
。

なお本実施例における弾性表面波装置の製造方法として
は、２層蒸着がある。つまり１層目で全体のパターンを
薄くなる部分の膜厚で形成し、２層目で厚くなる部分の
膜厚つまり音響反射部の電極部を形成する。なお、この
とき１層目と２層目とは同一の金属を使う必要はなく、
たとえば１層目でアルミ、２層目でクロム等のように、
２層目に比重の重い金属を使えばさらに効果的である。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の弾性表面波装置によれば、
音響反射部の電極部の膜厚が、非音響反射部の電極部の
膜厚より厚くされていることにより、所定の量の音響反
射を得ることができ、かつバルク波の発生を抑えること
ができる。

部拡大平面図、第２図は従来例の弾性表面波装置の振幅
特性を示すグラフ、第３図はこの実施例の弾性表面波装
置の振幅特性を示すグラフ、第４図は従来例の弾性表面
波装置の一部拡大平面図である。

２．２・・・訃・・・・・・・・・・・・・・くし歯電
極３．３・・・３・・・・・・・・・・・・・・・電極
指３ａ、３ａ・・・３ａ・・・・・・音響反射部３ｂ、
３ｂ・・・３ｂ・・・・・・非音響反則品出願人　　　
　　株式会社　東芝 代理人弁理士　　須　山　佐　− 第２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電基板と、この圧電基板上に形成された一対の
   くし歯電極を少なくともその一部が複数本ずつ交差する
   よう各電極指を交差させてなる励振電極と、この励振電
   極から励振された弾性表面波の伝播方向に形成された一
   対のくし歯電極を少なくともその一部が複数本ずつ交差
   するよう各電極指を交差させてなる受信電極とを備え、
   前記励振電極および前記受信電極のくし歯電極が、それ
   ぞれ同一のくし歯電極内で前記複数本ずつ交差させた電
   極指の隣接する電極指間を短絡してなる音響反射部を備
   えた弾性表面波装置において、前記音響反射部の電極部
   の膜厚が、非音響反射部の電極部の膜厚より厚くされて
   いることを特徴とする弾性表面波装置。
2. （２）音響反射部の電極部の膜厚が、１μｍ〜２μｍで
   ある特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波装置。
3. （３）非音響反射部の電極部の膜厚が、０．５μｍ以下
   である特許請求の範囲第１項または第２項記載の弾性表
   面波装置。