JPS62286305A

JPS62286305A - 弾性表面波装置

Info

Publication number: JPS62286305A
Application number: JP12915486A
Authority: JP
Inventors: Masao Nozaki; 野崎　正男; Yoshihiko Yasuhara; 安原　吉彦
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-06-05
Filing date: 1986-06-05
Publication date: 1987-12-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】３、発明の詳細な説明〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、弾性表面波装置に関するものである。

（従来の技術）従来から、たとえばフィルタとして用いられる弾性表面
波装置は、圧電基板上に、正極のくし歯電極と負極のく
し歯電極とを交差してなる一対のくし歯電極からなる励
振電極と、この励振電極から励振された弾性表面波の伝
播方向に所定の間隔をおいて配置され正極のくし歯電極
と負極のくし歯電極とを交差してなる一対のくし歯電極
からなる受信電極とが形成されている。

通常、弾性表面波装置の外部回路とインピーダンス整合
をとり、挿入損失を小さくすると、トリプル・トランジ
ット・エコーや帯域内リップルが生じることとなる。そ
こで１本出願人は、トリプル・トランジット・エコーを
おさえ、がっ帯域内リップルを生じない構造のものを作
成した。

この弾性表面波装置は、＜シ歯電極のピッチを工λ。（
但し、λ。は弾性表面波の波長を示す。

すなわち、中心周波数ｆ０と弾性表面波の伝搬速度ＶＳ
ＡＷとで決まる波長λ。をＶｓＡｗ／ｆ、とする。）と
し、複数本ある同極の電極指の同一の電極指間を短絡さ
せる分割、音響要素を設けることにより、音響反射を生
じさせ、電気反射と相殺（キャンセル）させることがで
きる。

しかしながら、この分割音響要素がある電極部と、この
分割音響要素がない電極部とでは、弾性表面波の位相速
度が異なる。このため、この分割音響要素がない電極部
を通過する伝搬速度に、この分割音響要素がある電極部
を通過する伝搬速度を合わせると、この分割音響要素が
ある電極部においては、＜シ歯電極のピッチがずれ、こ
のため周波数振幅特性および群遅特性にひずみが生じる
こととなる。

その上、この弾性表面波装置を製造する際、分割音響反
射要素間はくし歯電極で囲まれることとなり、通常用い
るウェット・エツチングを用いると、エツチング液が、
この分割音響反射要素とくし歯電極とで囲まれた部分に
たまる傾向が強く、エツチングが困難となり、所望の電
極パターンが形成できなくなる危険がある。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は上述の問題点すなわち、弾性表面波の位相速度
の不均一性による周波数振幅特性、群遅延特性の劣化、
および製造面においてエツチングが困難なことにより所
望のパターン形成が望めなくなり、所望のインパルス応
答が得られない点を鑑みてなされたものであり、所契の
ベシ４ル＾岑筈が得も木娠句点（隊外（へ集処本為の℃
へ悌）所望のインパルス応答が得られる弾性表面波装置
を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）上述の目的を達成するため、本発明の弾性表面波装置は
、となり合う電極指のあいとなり合う電極エツジに少な
くとも切欠部または凸部が設けられていることを特徴と
する。

（作　用）本発明の弾性表面波装置は、電画エツジをななめにカッ
トする等して、音響反射波を発生させ、励振された弾性
表面波が電極に入力することによって生じる電気反射波
をこの音響反射波で相殺させることができる。

（実施例）以下、図面を参照して本発明の弾性表面波装置の一実施
例を説明する。なお、以下説明するにあたって弾性表面
波フィルタを例にとり説明する。

第１図において、ＬｉＴａ０．等からなる圧電基板■上
にアルミニウムからなる励振電極（イ）と、この励振電
極（１）から励振された弾性表面波を受（８するアルミ
ニウムからなる受信電極■とが形成されて、弾性表面波
フィルタを構成してなる。この励振電極（イ）と受信電
極■とは、それぞれくし歯形電極■。

（３）、■、　（６０が交差して構成されている。この
くし歯電極■、■、■、（０を構成する電極指（２０１
）。

（３０１）、　（５０１）、　（６０１）の幅はよλ。

（但し、λ。は弾性表面波の波長を示す。すなわち中心
周波数ｆ。

と弾性表面波の伝搬速度ＶＳＡＷとで決まる波長λ。

をＶｓＡｗ／ｆ、とする。）である。また、この電極指
（２０１）　、　（３０＋、）、　（５０１）、　（６
０１）間の間隙は丁λ。である。

さて、この励振電極（イ）を構成する一方のくし歯電極
■の電極指（３０１）の一部と、この受信電極■を構成
する一方のくし歯電極０の電極指（６０１）の一部とに
は、傾斜角度５度以上の切欠部（３０３）　。

（６０３）が形成されている。この切欠部（３０３）　
、　（６０３）の傾斜角度は望ましくは５度乃至４５度
の範囲が良い。

次に第２図および第３図を参照してこの切欠部（６０３
）の作用効果を説明する。

弾性表面波（８）が受信電極■に入射すると、電極指（
６０１，）のエツジで音響反射波（１１）、（１２Ｌ（
１３）。

（１４）、　（１５）　、　（１６）　、　（１７）　
、　（１８）が生じる。電極指（６０１）のエツジがな
なめにカットしている部分においては、音響反射波（１
４）、　（１５）は励振＠極方向に進まず、特性には影
響が生じない。この音響反射波（１，１）、（１，２）
、（１３）、（１４）、（１５）、（１，６）、（１７
）、（１８）　　を第２図に示した一点鎖線（２１）を
反射の基準面とじたベクトル図が第３図である。

第３図において、音響反射波（１１）、　（１２）　、
　（１３）　。

（１６）　、　（１７）　、　（１８）のベクトルを合
成した音響反射波（２２）の位相が、励振電極から励振
された入射波等が受信電極に入射し、この入射波により
出力抵抗Ｒで生ずる再励起作用による電気反射波（２３
）の位相と逆相となるため、音響反射波（２２）で電気
反射波（２３）を相殺することができる。これにより、
電気反射波が生じ、不所望な周波数振幅特性および群遅
延特性にひずみが生じることが防止されることとなる。

この際、音響反射波（２２）の位相が、電気反射波（２
３）の位相と完全逆相とするためには、電気反射波の位
相をインダクタンスＬで調整すれば足りる。

また、電気反射波を音響反射波により相殺することがで
きるので、第１図において、切欠部（３０３）を形成す
ることによって、音響反射波の生じない部分（Ａ）と音
響反射波の生じる部分（Ｂ）との弾性表面波の位相速度
を一致させることができる。この上、製造面においては
、切欠部（６０３）を設けることにより１分割音響反射
要素（６０５）間が電極で囲まれることがなくなり、ウ
ェットエツチングの際に、エツチング液の流動性が良好
となり、所望の電極パターンが形成できる。したがって
、・所望のインパルス応答が得られることとなる。

上述の説明においては、受信電極についてしか説明しな
かったので、次に励振電極についても説明する。一般に
励振電極から励振された弾性表面波は受信電極に入射さ
れるが、一部の弾性表面波は受信電極で反射し、この反
射波が励振電極に入射し、再励振し、電気反射波が生じ
ることとなる。

この電気反射波を音響反射波によって相殺するために、
励振電極に切欠部を形成することに効果が゛ある。

次に、本発明の弾性表面波装置の他の実施例を説明する
。

第４図において、励振電極、受信電極の少なくとも一方
が一様な交差幅でない場合には、例えば励振電極（イ）
のくし歯電極■、■の電極指間に生じる空隙（３０６）
を補償する様に、音響反射部（３０７）に凸部を設ける
ことにより、音響反射の生じない部分（Ｅ）と音響反射
の反射の生じる部分ＣＦ）　、　（Ｇ）との弾性表面波
の位相速度を合わせることができる。

第５図において、励振電極、受信電極の少なくとも一方
の電極を構成する異極どつしのくし歯電極にも本発明は
適用できる。

なお、本発明は、励振電極または受信電極の少なくとも
一方に適用することができることは言うまでもない。

〔発明の効果〕

上述の構成をとることにより、本発明の弾性表面波装置
は、所望のインパルス応答を得るためのパターン形成が
容易となり１周波数振幅特性および群遅延特性にひずも
が生じなくなる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の弾性表面波装置の一実施例を第４図乃
至第５図は本発明の弾性表面波装置の他の実施例を示す
模式平面図である。 ■・・・圧電基板　　　■、■、■、０・・・くし歯電
極■・・・励振電極　　　■・・・受信電極（６０３）
・・・切欠部代理人　弁理士　則　近　憲　佑同　　大胡典夫第３図第４図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）圧電基板と、この圧基板上に設けられた正極のくし歯電極と負極のく
し歯電極とを交差してなる励振電極と、この圧電基板上
に設けられかつこの励振電極から励振された弾性表面波
の伝搬方向に設けられた正極のくし歯電極と負極のくし
歯電極とを交差してなる受信電極とを少なくとも備えた
弾性表面波装置において、前記励振電極と前記受信電極との少なくとも一方の電極
を構成するくし歯電極の電極指の少なくとも一部には、
となり合う電極指のあいとなり合う電極エッジに少なく
とも切欠部または凸部が設けられていることを特徴とす
る弾性表面波装置。
（２）前記切欠部は、前記電極指の長手方向と異なる方
向に前記電極エッジを切欠いて形成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波装置。