JP2005295049A - 弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタおよびその弾性表面波フィルタ用いた通信用フィルタ - Google Patents

弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタおよびその弾性表面波フィルタ用いた通信用フィルタ Download PDF

Info

Publication number
JP2005295049A
JP2005295049A JP2004104955A JP2004104955A JP2005295049A JP 2005295049 A JP2005295049 A JP 2005295049A JP 2004104955 A JP2004104955 A JP 2004104955A JP 2004104955 A JP2004104955 A JP 2004104955A JP 2005295049 A JP2005295049 A JP 2005295049A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acoustic wave
surface acoustic
wave filter
comb
bus bar
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004104955A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4504717B2 (ja
Inventor
Shinichiro Osawa
眞一郎 大澤
Takashi Shiba
芝  隆司
Yuji Fujita
勇次 藤田
Junichi Hamazaki
淳一 浜崎
Satoru Murakami
哲 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Media Electronics Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Media Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Media Electronics Co Ltd filed Critical Hitachi Media Electronics Co Ltd
Priority to JP2004104955A priority Critical patent/JP4504717B2/ja
Publication of JP2005295049A publication Critical patent/JP2005295049A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4504717B2 publication Critical patent/JP4504717B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

【課題】 フィルタ特性の通過帯域の最大挿入損失が小さく、且つ通過帯域幅が広い弾性表面波フィルタを提供する。
【解決手段】 圧電基板上に、対向する一対の櫛型電極部10と、各櫛型電極部10にそれぞれ連結されているバスバー部11とを設けた弾性表面波フィルタ素子において、櫛型電極部10のうちの1つの電極指10aの長手方向に延びる中心線C1に対して、バスバー部11における電極指10aと最も近い導電部28の長手方向に延びる中心線C2が弾性表面波の伝搬方向Aに沿って所定量シフトした状態で、バスバー部11に非導電部27と導電部28とが一定のピッチで繰り返して設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図1

Description

本発明は、移動無線端末などに用いる弾性表面波フィルタに係り、特に通過帯域が広く、通過帯域内の挿入損失が少ない弾性表面波フィルタに関する。
近年、携帯電話のデータ通信の高速化に伴い、通信システムは送受信帯域の広いものに移行されつつある。周波数の有効利用のため、送受信帯域の間隔は狭くなってきており、広帯域で、且つ、急峻なカットオフ特性を持つ、高角型な通信用フィルタが要求されている。
図13は、従来の弾性表面波フィルタにおける電極パターンの概略構成図である。
同図に示すように弾性表面波フィルタ100は、圧電基板(図示せず)上に設けられた第1の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1と、第2の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子2と、第1の弾性表面波共振器3と、第2の弾性表面波共振器4とから主に構成されている。
前記第1の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1は、弾性表面波の伝搬方向Aに沿って近接配置された3個の櫛型電極(IDT)5,6,7と、その櫛型電極5,6,7列の両側に配置された反射器8,9から構成されている。各櫛型電極5,6,7は、対向する一対の櫛型電極部10と、同じ側の櫛型電極部(電極指)10どうしを連結するバスバー部11とから構成されている。前記第2の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ2も同様に、弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置された3個の櫛型電極12,13,14と、その櫛型電極12,13,14列の両側に配置された反射器15,16から構成されている。この第2の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子2は、前記第1の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1における中央の櫛型電極6の向きを反転させて位相を反転させた櫛型電極13を備えている。
前記第1の弾性表面波共振器3は、1個の櫛型電極17と、その両側に配置された反射器18,19から構成されている。前記第2の弾性表面波共振器4も同様に、1個の櫛型電極20と、その両側に配置された反射器21,22から構成されている。
前記櫛型電極5,6,7の相互間の音響結合によって発生する1次及び3次の振動モードを利用する3IDT型縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1と平衡信号端子23との間に前記弾性表面波共振器3が直列に接続されている。同様に3IDT型縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子2と平衡信号端子24との間に前記弾性表面波共振器4が直列に接続される。2つの平衡信号端子23,24の間には、マッチング用のインダクタンス素子25が接続されている。
しかしながら、この従来の弾性表面波フィルタでは励振時にバスバー部(外部共通電極部)の音速が櫛型電極部よりも速くなるため、電極端部の導波路からバスバー部に向かう放射によるエネルギーの漏れが生じ、帯域内挿入損失増大の要因となっている。
また、製造・加工時に高温状態になることによって生じる櫛型電極の欠損が原因で起こる挿入損失の増大や、周波数帯域の変化を防ぐことを目的として、櫛型電極の電極指とバスバー部を少なくとも二以上の経路で接続する手段が、以下特許文献1に記載されている。
特開平11−225038公報
しかしながら上記従来の弾性表面波フィルタのように、櫛型電極の電極指をバスバー部を少なくとも二以上の経路で接続するだけでは、櫛型電極の欠損により生ずる挿入損失の増大を解消できるだけであり、通過帯域内挿入損失を改善することは難しい。
本発明の目的は、このような従来技術の欠点を解消し、通過帯域内挿入損失を改善しつつ、通過帯域幅の広い特性の良い弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタおよびその弾性表面波フィルタ用いた通信用フィルタを提供することである。
前記目的を達成するため本発明の第1の手段は、圧電基板上に、対向する一対の櫛型電極部と、各櫛型電極部にそれぞれ連結されているバスバー部とを設けた弾性表面波フィルタ素子において、
前記櫛型電極部のうちの1つの電極指の長手方向に延びる中心線に対して、前記バスバー部における前記電極指と最も近い導電部の長手方向に延びる中心線が弾性表面波の伝搬方向に沿って所定量シフトした状態で、前記バスバー部に非導電部と導電部とが一定のピッチで繰り返して設けられていることを特徴とするものである。
本発明の第2の手段は前記第1の手段において、前記一対の櫛型電極部を間にしてその両側にバスバー部がそれぞれ配置され、その両側のバスバー部上での前記非導電部と導電部とがそれぞれ同一延長線上に設けられていることを特徴とするものである。
本発明の第3の手段は前記第1または第2の手段において、前記櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記シフト量がλ/8〜3λ/8の範囲に規制されていることを特徴とするものである。
本発明の第4の手段は前記第1ないし第3の手段において、前記櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記非導電部の長さが0.5λ〜2.5λの範囲に規制されていることを特徴とするものである。
本発明の第5の手段は、圧電基板上に、対向する一対の櫛型電極部と、各櫛型電極部にそれぞれ連結されているバスバー部とを設けた弾性表面波共振器において、
前記櫛型電極部のうちの1つの電極指の長手方向に延びる中心線に対して、前記バスバー部における前記電極指と最も近い導電部の長手方向に延びる中心線が弾性表面波の伝搬方向に沿って所定量シフトした状態で、前記バスバー部に非導電部と導電部とが一定のピッチで繰り返して設けられていることを特徴とするものである。
本発明の第6の手段は前記第5の手段において、前記一対の櫛型電極部を間にしてその両側にバスバー部がそれぞれ配置され、その両側のバスバー部上での前記非導電部と導電部とがそれぞれ同一延長線上に設けられていることを特徴とするとするものである。
本発明の第7の手段は前記第5または第6の手段において、前記櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記シフト量がλ/8〜3λ/8の範囲に規制されていることを特徴とするものである。
本発明の第8の手段は前記第5ないし第7の手段において、前記櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記非導電部の長さが0.5λ〜2.5λの範囲に規制されていることを特徴とするものである。
本発明の第9の手段は、圧電基板上に、
対向する一対の櫛型電極部と、各櫛型電極部にそれぞれ連結されているバスバー部とを設けた弾性表面波フィルタ素子と、
対向する一対の櫛型電極部と、各櫛型電極部にそれぞれ連結されているバスバー部とを設けた弾性表面波共振器とを備えた弾性表面波フィルタにおいて、
前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、櫛型電極部のうちの1つの電極指の長手方向に延びる中心線に対して、前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、バスバー部における前記電極指と最も近い導電部の長手方向に延びる中心線が弾性表面波の伝搬方向に沿って所定量シフトした状態で、前記バスバー部に非導電部と導電部とが一定のピッチで繰り返して設けられていることを特徴とするとするものである。
本発明の第10の手段は前記第9の手段において、前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、一対の櫛型電極部を間にしてその両側にバスバー部がそれぞれ配置され、その両側のバスバー部上での前記非導電部と導電部とがそれぞれ同一延長線上に設けられていることを特徴とするとするものである。
本発明の第11の手段は前記第9または第10の手段において、前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記シフト量がλ/8〜3λ/8の範囲に規制されていることを特徴とするものである。
本発明の第12の手段は前記第9ないし第11の手段において、前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記非導電部の長さが0.5λ〜2.5λの範囲に規制されていることを特徴とするものである。
本発明の第13の手段は、圧電基板と、その上に形成された弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器を有する弾性表面波フィルタと、入出力ポートとを備えた例えば携帯電話機などの受信用あるいは送信用などの通信用フィルターにおいて、前記弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器ならびに弾性表面波フィルタが前記第1ないし12の手段のいずれかで構成されていることを特徴とするものである。
本発明は前述のような構成になっており、櫛型電極部の電極指に対して、バスバー部における非導電部と導電部とを所定量シフトした状態で繰り返して設けることにより、弾性表面波の伝搬方向に平行に放射する不要波を抑制することが可能で、その結果、通過帯域内挿入損失の改善と広帯域化を実現することができる。
次に本発明の実施形態として、平衡−不平衡変換機能(不平衡側のインピーダンスが50Ω、平衡側のインピーダンスが150Ω)を有する1.8GHz帯DCS(Digital Cellular System)用の受信用フィルタを例にとって説明する。図1は第1実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図であり、図を簡潔にするため櫛型電極部(電極指)の本数を実際の本数より少なく示している。
従来と同様に弾性表面波フィルタ100は、圧電基板(図示せず)上に設けられた第1の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1と、第2の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子2と、第1の弾性表面波共振器3と、第2の弾性表面波共振器4とから主に構成されている。前記弾性表面波フィルタ素子1,2ならびに弾性表面波共振器3,4は、例えばアルミニウムなどを蒸着して所定の形状にパターンニングしたものである。
前記第1の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1は、弾性表面波の伝搬方向Aに沿って近接配置された3個の櫛型電極5,6,7と、その櫛型電極5,6,7列の両側に配置された反射器8,9から構成されている。各櫛型電極5,6,7は、対向する一対の櫛型電極部(電極指)10と、同じ側の櫛型電極部(電極指)10どうしを連結するバスバー部11とから構成されている。前記第2の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ2も同様に、弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置された3個の櫛型電極12,13,14と、その櫛型電極12,13,14列の両側に配置された反射器15,16から構成されている。その第2の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子2は、前記第1の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1における中央の櫛型電極6の向きを反転させて位相を反転させた櫛型電極13を備えている。
前記第1の弾性表面波共振器3は、1個の櫛型電極17と、その両側に配置された反射器18,19から構成されている。前記第2の弾性表面波共振器4も同様に、1個の櫛型電極20と、その両側に配置された反射器21,22から構成されている。
前記弾性表面波フィルタ素子1の反射器8,9、弾性表面波フィルタ2の櫛型電極12,13,14と反射器15,16、弾性表面波共振器3の櫛型電極17と反射器18,19ならびに弾性表面波共振器4の櫛型電極20と反射器21,22なども、櫛型電極部10とバスバー部11から構成されている。
前記櫛型電極5,6,7の相互間の音響結合によって発生する1次及び3次の振動モードを利用する縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1と平衡信号端子23との間に、前記弾性表面波共振器3が直列に接続されている。同様に縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子2と平衡信号端子24との間に、前記弾性表面波共振器4が直列に接続される。平衡信号端子23,24の間には、マッチング用のインダクタンス素子25が接続されている。
本実施形態の場合図1に示すように、弾性表面波フィルタ素子1,2ならびに弾性表面波共振器3,4の反射器8,9,15,16,18,19,21,22を除くバスバー部11に、櫛型電極部10と同じ方向に伸びた平面形状が長方形の非導電部27が一定のピッチで形成されている。
図2は、電極パターンの一部拡大平面図である。同図に示すように櫛型電極部10の同じ方向を向いて突出している隣の電極指10a,10bのピッチをλとしたとき、櫛型電極部10では弾性表面波の伝搬方向Aに沿って導電部(メタライズ部)と非導電部(フリー部)がそれぞれλ/4の幅を持って繰り返して形成されている。
バスバー部11においても非導電部27とそれに隣接する導電部28とが、櫛型電極部10における導電部(メタライズ部)と非導電部(フリー部)と同じピッチで形成されている。そして1つの例えば櫛型電極部10aの長手方向に延びる中心線C1に対して、バスバー部11におけるその電極指10aと最も近い導電部28の長手方向に延びる中心線C2はLsだけ弾性表面波の伝搬方向Aに沿ってシフトしている。
図1および図2に示すように、バスバー部11は対向する櫛型電極部10,10を間にしてその両側に設けられており、両側のバスバー部11の非導電部27ならびに導電部28はそれぞれ同一延長線上に形成されて、シフト量Lsは同じである。
図3は、シフト量Lsと帯域内挿入損失との関係を示した特性図である。同図に示すようにバスバー部11に非導電部27を設けてもシフト量Lsが0の場合(すなわち電極指10aの延長線上に導電部28が形成されている場合)、帯域内挿入損失は1.28dBと大きい。シフト量Lsを増すことにより帯域内挿入損失は徐々に減少し、シフト量Lsがλ/8になると帯域内挿入損失は1.26dBに減少し、さらにシフト量Lsをλ/4にすると帯域内挿入損失は最も小さい1.24dBとなる。これ以上シフト量Lsを増すと帯域内挿入損失は増加する傾向にあり、シフト量Lsが3λ/8になると帯域内挿入損失は1.26dBになり、シフト量Lsがλ/2になると帯域内挿入損失は1.28dBまで増加する。従ってシフト量Lsをλ/8〜3λ/8の範囲に規制することにより、帯域内挿入損失を小さく抑えることができる。
この第1実施形態における弾性表面波フィルタの詳細な設計仕様は、以下の通りである。
(3IDT型縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子1、2)
IDT波長λI1 :2.162μm
反射器波長λR1 :2.198μm
櫛型電極部の交叉幅W(図2参照):32λI1
GAP長G(図2参照) :0.64μm
非導電部の長さL1(図2参照) :1λI1
非導電部の端部からバスバー端部までの長さL2(図2参照):0.64μm
シフト量Ls(図2参照) :λ/4
(弾性表面波共振器3、4)
IDT波長λI2 :2.122μm
反射器波長λR2 :2.166μm
櫛型電極部の交叉幅W :20λI2
IDT対数 :100対
GAP長 :1.0μm
シフト量Ls :λ/4
図4は第1実施形態に係る弾性表面波フィルタと従来の弾性表面波フィルタ(比較例)の周波数と帯域内挿入損失との関係を示す周波数特性(通過特性)図、図5は各項目値の比較を示す特性値図である。これらの図から明らかなように、比較例の帯域内挿入損失が2.10dBであるのに対し、本実施形態では1.75dBと0.35dB挿入損失が少なくなっている。また、角型比(−10dB帯域幅/−3dB帯域幅)においても、比較例が1.219であるのに対し、本実施形態では1.164と急峻になっており、特性の改善が見られる。
本発明においては、主伝搬路のバスバー部の音速を、導波路である櫛形電極の交叉部分における弾性表面波速度と同等以下とすることで、導波路からの波の漏れを防ぎ、エネルギー閉じ込め効果を利用しようとするものである。そのため図2に示す非導電部27の端部からバスバー端部までの長さL2は短い程、エネルギー閉じ込め効果が大きく内挿入損失が改善する。しかし、櫛型電極部10の幅L3も短い場合、L2部での電気抵抗が大きくなり挿入損失が大きくなる。よって、L2は櫛型電極部10の幅L3とほぼ同じ寸法にすることが電気的特性上望ましい。
図6は、第2実施形態に係る弾性表面波フィルタの一部拡大平面図である。この実施形態の場合、1つの例えば櫛型電極部10aの長手方向に延びる中心線C1に対して、バスバー部11におけるその櫛型電極部10aと最も近い導電部28の長手方向に延びる中心線C2が弾性表面波の伝搬方向Aに沿ってシフトしている(Ls=λ/8)。
図7は、第3実施形態に係る弾性表面波フィルタの一部拡大平面図である。この実施形態で図2に示す第1実施形態と相違する点は、バスバー部11に形成される非導電部27の幅L4である。すなわち第1実施形態の場合、非導電部27の幅L4は櫛型電極部10の幅L3とほぼ同寸、すなわちλ/4に設定されているが、第3実施形態に係る弾性表面波フィルタでは非導電部27の幅L4がλ/3に設定されている点である。
図8及び図9は、前記第1実施形態に係る弾性表面波フィルタにおいて非導電部27の長さL1(図2参照)を変化した場合の帯域内挿入損失及び角型比の変化を示す特性図である。
図8から明らかなように、非導電部の長さL1が0.0λの場合、すなわち非導電部が設けられていないときには、帯域内挿入損失は2.10dBと大きいが、非導電部を設け、その長さL1が長くなるにつれて帯域内挿入損失は減少する傾向にあり、非導電部の長さL1が1.0λで帯域内挿入損失は最低値の1.75dBとなり、その後非導電部の長さL1を増すことにより帯域内挿入損失は増加する傾向にある。
また図9から明らかなように、非導電部の長さL1が0.0λの場合、すなわち非導電部が設けられていないときには、帯域のQを示す角型比は1.22であるが、非導電部を設け、その長さL1が長くなるにつれて角型比が下がってシャープになる傾向にあり、非導電部の長さL1が1.0λで角型比は最低値の1.165となり、その後非導電部の長さL1を増すことにより角型比は増加する傾向にある。これらの結果から明らかなように、非導電部の長さL1を0.5λ〜2.5λ、好ましくは1.0λ〜2.0λの範囲に規制することにより、帯域内挿入損失を低く抑えてしかも角型比を改善することができる。
図10は、第4実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図である。本実施形態で前記図1に示す第1実施形態と相違する点は、弾性表面波フィルタ素子1,2ならびに弾性表面波共振器3,4における反射器8,9,15,16,21,22のバスバー部内にも非導電部27を設けた点である。
図11は、第5実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図である。本実施形態で前記図10に示す第4実施形態と相違する点は、弾性表面波フィルタ素子1,2ならびに弾性表面波共振器3,4における各バスバー部11の櫛型電極部10とは反対側(外側)の端部の幅L5を、バスバー部11の櫛型電極部10と対向する内側の端部の幅L2よりも長くした点である。このようにバスバー部11の外側の端部の幅L5を長くするのは、例えば図1に示す第1実施形態にも適用可能である。
図12は、第6実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図である。本実施形態では、弾性表面波フィルタ素子30と、その両側に配置された反射器31,32で1つの弾性表面波共振子を構成し、それの直列腕共振子33,34,35と並列腕共振子36,37を梯子型に接続した構成になっている。そして各共振子33,34,35,36,37のバスバー部には、前述のように所定量シフトした形で非導電部27が形成されている。
本実施形態に係る弾性表面波フィルタは、その弾性表面波フィルタと入出力ポートとを備えた携帯電話機用の送信あるいは受信の通信用フィルタなどに適用することができる。
本発明の第1実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図である。 その電極パターンの一部拡大図である。 シフト量と帯域内挿入損失との関係を示す特性図である。 第1実施形態に係る弾性表面波フィルタと比較例との周波数特性図である。 第1実施形態に係る弾性表面波フィルタと比較例との特性を比較して示す図である。 本発明の第2実施形態に係る弾性表面波フィルタの一部拡大図である。 本発明の第3実施形態に係る弾性表面波フィルタの一部拡大図である。 非導電部の長さと帯域内挿入損失との関係を示す特性図である。 非導電部の長さと角型比との関係を示す特性図である。 本発明の第4実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図である。 本発明の第5実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図である。 本発明の第6実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図である。 従来における弾性表面波フィルタの電極パターンを示す概略構成図である。
符号の説明
1:第1の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子、2:第1の縦結合2重モード弾性表面波フィルタ素子、3:第1の弾性表面波共振器、4:第2の弾性表面波共振器、5,6,7:櫛形電極、8,9:反射器、10:櫛型電極部、11:バスバー部、12,13,14:櫛型電極、15,16:反射器、17:櫛型電極、18,19:反射器、20:櫛型電極、21,22:反射器、23,24:平衡信号端子、25:インダクタンス素子、26:弾性表面波フィルタ、27:非導電部、28:導電部、30:弾性表面波フィルタ、31,32:反射器、33,34,35:直列腕共振子、36,37:並列腕共振子、100:弾性表面波フィルタ、A:弾性表面波の伝搬方向、C1:櫛型電極部の中心線、C2:導電部の中心線、Ls:シフト量、L1:非導電部の長さ、L2:非導電部の端部からバスバー端部までの長さ、L3:櫛型電極部の幅、L4:非導電部の幅、L5:バスバー部端部の幅。

Claims (13)

  1. 圧電基板上に、対向する一対の櫛型電極部と、各櫛型電極部にそれぞれ連結されているバスバー部とを設けた弾性表面波フィルタ素子において、
    前記櫛型電極部のうちの1つの電極指の長手方向に延びる中心線に対して、前記バスバー部における前記電極指と最も近い導電部の長手方向に延びる中心線が弾性表面波の伝搬方向に沿って所定量シフトした状態で、前記バスバー部に非導電部と導電部とが一定のピッチで繰り返して設けられていることを特徴とする弾性表面波フィルタ素子。
  2. 請求項1記載の弾性表面波フィルタ素子において、前記一対の櫛型電極部を間にしてその両側にバスバー部がそれぞれ配置され、その両側のバスバー部上での前記非導電部と導電部とがそれぞれ同一延長線上に設けられていることを特徴とする弾性表面波フィルタ素子。
  3. 請求項1または2記載の弾性表面波フィルタ素子において、前記櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記シフト量がλ/8〜3λ/8の範囲に規制されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ素子。
  4. 請求項1ないし3のいずれか1項記載の弾性表面波フィルタ素子において、前記櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記非導電部の長さが0.5λ〜2.5λの範囲に規制されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ素子。
  5. 圧電基板上に、対向する一対の櫛型電極部と、各櫛型電極部にそれぞれ連結されているバスバー部とを設けた弾性表面波共振器において、
    前記櫛型電極部のうちの1つの電極指の長手方向に延びる中心線に対して、前記バスバー部における前記電極指と最も近い導電部の長手方向に延びる中心線が弾性表面波の伝搬方向に沿って所定量シフトした状態で、前記バスバー部に非導電部と導電部とが一定のピッチで繰り返して設けられていることを特徴とする弾性表面波共振器。
  6. 請求項5記載の弾性表面波共振器において、前記一対の櫛型電極部を間にしてその両側にバスバー部がそれぞれ配置され、その両側のバスバー部上での前記非導電部と導電部とがそれぞれ同一延長線上に設けられていることを特徴とする弾性表面波共振器。
  7. 請求項5または6記載の弾性表面波共振器において、前記櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記シフト量がλ/8〜3λ/8の範囲に規制されていることを特徴とする弾性表面波共振器。
  8. 請求項5ないし7のいずれか1項記載の弾性表面波共振器において、前記櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記非導電部の長さが0.5λ〜2.5λの範囲に規制されていることを特徴とする弾性表面波共振器。
  9. 圧電基板上に、
    対向する一対の櫛型電極部と、各櫛型電極部にそれぞれ連結されているバスバー部とを設けた弾性表面波フィルタ素子と、
    対向する一対の櫛型電極部と、各櫛型電極部にそれぞれ連結されているバスバー部とを設けた弾性表面波共振器とを備えた弾性表面波フィルタにおいて、
    前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、櫛型電極部のうちの1つの電極指の長手方向に延びる中心線に対して、前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、バスバー部における前記電極指と最も近い導電部の長手方向に延びる中心線が弾性表面波の伝搬方向に沿って所定量シフトした状態で、前記バスバー部に非導電部と導電部とが一定のピッチで繰り返して設けられていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  10. 請求項9記載の弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、一対の櫛型電極部を間にしてその両側にバスバー部がそれぞれ配置され、その両側のバスバー部上での前記非導電部と導電部とがそれぞれ同一延長線上に設けられていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  11. 請求項9または10記載の弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記シフト量がλ/8〜3λ/8の範囲に規制されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  12. 請求項9ないし11のいずれか1項記載の弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器での、櫛型電極部の同じ方向を向いて突出した隣の電極指のピッチをλとしたとき、前記非導電部の長さが0.5λ〜2.5λの範囲に規制されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  13. 圧電基板と、その上に形成された弾性表面波フィルタ素子ならびに弾性表面波共振器を有する弾性表面波フィルタと、入出力ポートとを備えた通信用フィルターにおいて、前記弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器ならびに弾性表面波フィルタが請求項1ないし12のいずれかで構成されていることを特徴とする通信用フィルタ。
JP2004104955A 2004-03-31 2004-03-31 弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ、通信用フィルタ及び携帯電話機 Expired - Fee Related JP4504717B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004104955A JP4504717B2 (ja) 2004-03-31 2004-03-31 弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ、通信用フィルタ及び携帯電話機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004104955A JP4504717B2 (ja) 2004-03-31 2004-03-31 弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ、通信用フィルタ及び携帯電話機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005295049A true JP2005295049A (ja) 2005-10-20
JP4504717B2 JP4504717B2 (ja) 2010-07-14

Family

ID=35327526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004104955A Expired - Fee Related JP4504717B2 (ja) 2004-03-31 2004-03-31 弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ、通信用フィルタ及び携帯電話機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4504717B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006295769A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Sharp Corp スイッチング増幅器
US7671705B2 (en) 2006-09-29 2010-03-02 Tdk Corporation Surface acoustic wave filter and resonator utilizing a branch electrode with an electrically opened end
JPWO2019123812A1 (ja) * 2017-12-19 2020-11-26 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN112968687A (zh) * 2021-02-18 2021-06-15 浙江大学 一种高品质因数声表面波谐振器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5999528U (ja) * 1982-12-23 1984-07-05 富士通株式会社 弾性表面波素子用すだれ状電極
JPH10145173A (ja) * 1996-11-11 1998-05-29 Fujitsu Ltd インターディジタルトランスデューサ及び弾性表面波多重モードフィルタ
JPH11225038A (ja) * 1998-02-06 1999-08-17 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置
JPH11261370A (ja) * 1998-03-11 1999-09-24 Nec Corp 弾性表面波デバイス
DE10331323A1 (de) * 2003-07-10 2005-02-03 Epcos Ag Mit akustischen Wellen arbeitender Wandler mit Unterdrückung transversaler Moden

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5999528U (ja) * 1982-12-23 1984-07-05 富士通株式会社 弾性表面波素子用すだれ状電極
JPH10145173A (ja) * 1996-11-11 1998-05-29 Fujitsu Ltd インターディジタルトランスデューサ及び弾性表面波多重モードフィルタ
JPH11225038A (ja) * 1998-02-06 1999-08-17 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置
JPH11261370A (ja) * 1998-03-11 1999-09-24 Nec Corp 弾性表面波デバイス
DE10331323A1 (de) * 2003-07-10 2005-02-03 Epcos Ag Mit akustischen Wellen arbeitender Wandler mit Unterdrückung transversaler Moden
JP2007507130A (ja) * 2003-07-10 2007-03-22 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 横方向のモードが抑制される音波により動作する変換器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006295769A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Sharp Corp スイッチング増幅器
JP4675138B2 (ja) * 2005-04-14 2011-04-20 シャープ株式会社 スイッチング増幅器
US7671705B2 (en) 2006-09-29 2010-03-02 Tdk Corporation Surface acoustic wave filter and resonator utilizing a branch electrode with an electrically opened end
JPWO2019123812A1 (ja) * 2017-12-19 2020-11-26 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN112968687A (zh) * 2021-02-18 2021-06-15 浙江大学 一种高品质因数声表面波谐振器

Also Published As

Publication number Publication date
JP4504717B2 (ja) 2010-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100434412B1 (ko) 종결합 공진자형 탄성표면파 필터
JP4017984B2 (ja) 音波で動作するトランスデューサ構造体
KR100503954B1 (ko) 탄성표면파 장치 및 통신 장치
US7795999B2 (en) Filter having multiple surface acoustic wave filters connected in parallel
JP4479793B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置
US6781485B2 (en) Surface acoustic wave filter
KR100489778B1 (ko) 탄성 표면파 장치
JP5135763B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びデュプレクサ
US6504454B2 (en) Longitudinally coupled surface acoustic wave filter
JP4504717B2 (ja) 弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ、通信用フィルタ及び携帯電話機
JP4285052B2 (ja) 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP4285472B2 (ja) 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP2005159835A (ja) 弾性表面波フィルタ
WO2022158470A1 (ja) 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ
JPH05335881A (ja) 縦型2重モード弾性表面波フィルタ
JP4182976B2 (ja) 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP4011035B2 (ja) 弾性表面波フィルタおよびデュプレクサ
JP4853520B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びデュプレクサ
CN1323488C (zh) 表面声波器件
JP2004023255A (ja) 縦結合二重モードsawフィルタ
JP2003179462A (ja) 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP2002111444A (ja) 複合弾性表面波フィルタ
JP4710186B2 (ja) 縦結合二重モードsawフィルタ
JP3840575B2 (ja) 共振子型弾性表面波フィルタ
JP4454703B2 (ja) 弾性表面波フィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061204

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090701

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090707

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090907

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091201

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100413

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100423

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees