JPWO2012107956A1 - 電子部品搬送装置及びテーピングユニット - Google Patents

Abstract

キャリアテープへの収納時における電子部品の転びを容易且つより確実に防ぐことのできる電子部品搬送装置及びテーピングユニットを提供する。電子部品搬送装置及びテーピングユニットは、電子部品を収納するキャリアテープのポケットの位置を検出し、この検出結果に基づいてポケットの位置ズレを検出する。そして、キャリアテープを移動させる移動手段を設けておき、検出した位置ズレを解消するようにキャリアテープを幅方向及び長手方向に移動させる。

Description

本発明は、電子部品を搬送しながら工程処理を行い、キャリアテープに当該電子部品を収納する電子部品搬送装置、及びキャリアテープがセットされるテーピングユニットに関する。

半導体素子等の電子部品は、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経て個片に分離された後、各種検査等の後工程が行われ、キャリアテープやコンテナチューブなどに梱包されて出荷される。後工程としては、マーキング処理、外観検査、電気特性検査、リード成形処理、電子部品の分類、又はこれら各処理の複合が挙げられる。

梱包処理を含む後工程は、主に電子部品を工程処理機構に搬送する電子部品搬送装置によって実施される。電子部品搬送装置は、電子部品を整列搬送する搬送機構と搬送経路上の各種の工程処理機構により構成される。搬送機構は、一般的にターンテーブル搬送方式や直線搬送方式等が用いられ、搬送経路上に並べられた各種の工程処理機構に電子部品を順番に供給していく。搬送機構は、真空吸着、静電吸着、ベルヌーイチャック、又は機械的なチャック機構で構成された保持手段を有し、保持手段によって電子部品を保持して順番に電子部品を工程処理機構に搬送していく。

工程処理機構のうち、搬送経路の後段には、テーピングユニットが設置されている。テーピングユニットは、ポケットを長手方向に並べたキャリアテープと、保持手段の停止位置とポケットとの位置関係を合わせるようにキャリアテープを間欠搬送するスプロケットとを備えている。停止位置に移動した保持手段は、キャリアテープのポケット上方に位置していることとなり、電子部品をポケットに離脱させる。

ポケットへの収納後は、電子部品の転びの有無が確認される。電子部品の転びとは、ポケットの内壁面に電子部品が引っかかる等することで、電子部品が正しい向き及び位置に収納されていないことをいう。この転びは、作業者による目視又はキャリアテープの送り方向後段に設けられたカメラによって判別される。転びが発生した場合には、電子部品搬送装置を一旦停止し、作業者による手作業での良品との入替え、又は、機械的な打ち抜きによる自動的切除を行っていた（例えば、特許文献１参照。）。

転び発生による電子部品搬送装置の停止は、稼働率の低下につながる。そのため、電子部品がポケットに正しい向き及び位置で静止するように収納されることが望ましい。そこで、従来の電子部品搬送装置は、テーピングユニットよりも搬送経路上の前段に、電子部品の姿勢を補正する姿勢補正ユニットと姿勢判別ユニットを備えていた（例えば、特許文献２参照。）。

姿勢補正ユニットと姿勢判別ユニットは、電子部品の姿勢をカメラで検出し、保持手段が電子部品を中心で保持し、且つ電子部品の向きがキャリアテープのポケットに揃うように、予め電子部品の向きを揃えている。

特開２００３−１６５５０６号公報 特開２００７−９５７２５号公報

保持手段に対する電子部品の姿勢を起因とした転びは、電子部品の保持姿勢を補正することで防止できる。しかし、この姿勢補正ユニット及び姿勢判別ユニットを備えていても、電子部品の転びを完全に防止するには至っていない。電子部品の保持姿勢の他にもキャリアテープの位置ズレが転びの一因となる場合があるためである。

すなわち、キャリアテープは、そのロット毎にポケットの位置が異なっている場合がある。また、テーピングユニットにキャリアテープを設置する際の位置決め誤差も生じる。キャリアテープの位置ズレを解消する方法としては、治具を用いた調整が考えられる。しかしながら、治具を用いた方法によると、キャリアテープの交換毎にユーザによるポケット位置の目視及び目視結果を反映した調整作業を必要とするため、余分な労力が発生するとともに、電子部品搬送装置の始動遅れが生じて稼働率の低下につながってしまう。

本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、キャリアテープへの収納時における電子部品の転びを容易且つより確実に防ぐことのできる電子部品搬送装置及びテーピングユニットを提供することを目的とする。

本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、前記搬送経路における前記保持手段の停止位置に配され、前記保持手段で保持された前記電子部品を収容するポケットを有するキャリアテープと、前記ポケットの位置を検出するテープ位置検出手段と、前記テープ位置検出手段による検出結果に基づいて、前記キャリアテープの位置ズレを検出するズレ検出手段と、前記位置ズレを補正する補正手段と、を備えることを特徴とする。

前記ズレ検出手段は、前記保持手段が前記キャリアテープの上方に移動したときの位置と前記ポケットの位置とを比較して位置ズレを検出するようにしてもよい。

前記補正手段は、前記位置ズレに基づき、前記キャリアテープを幅方向及び長手方向に移動させるようにしてもよい。

前記補正手段は、前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、前記スプロケットを前記位置ズレに対応する量だけ回転させる駆動手段と、を備えるようにしてもよい。

前記補正手段は、前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、前記スプロケットを前記キャリアテープの幅方向に移動させるマイクロメータと、を備えるようにしてもよい。

前記補正手段は、前記位置ズレとは反対方向に同量だけずらすように、前記保持手段に対する前記電子部品の姿勢を変更するようにしてもよい。

前記テープ位置検出手段は、前記キャリアテープの画像を撮影するテープ撮像手段と、前記キャリアテープの所定箇所の前記画像上の位置を検出するテープ画像処理手段と、を含み、前記ズレ検出手段は、前記テープ画像処理手段が検出した前記位置に基づき、前記位置ズレを検出するようにしてもよい。

前記キャリアテープの所定箇所は、前記ポケットの底面であるようにしてもよい。

前記テープ画像処理手段は、前記画像と枠図形とを重ねて表示する表示手段と、ユーザの入力に基づき、前記枠図形の位置、大きさ、及び形状を変更する変更手段と、を含み、前記変更手段による前記変更後の前記枠図形の位置に基づき、前記所定箇所の前記画像上の位置を検出するようにしてもよい。

前記ズレ検出手段は、前記保持手段を前記キャリアテープに押し当たるまで下降させて、前記キャリアテープの所定箇所に前記保持手段の圧痕を形成する昇降手段と、前記圧痕の画像を撮影する圧痕撮影手段と、前記圧痕の前記画像上の位置を検出する圧痕画像処理手段と、を含み、前記所定位置として前記圧痕の位置に基づき、前記位置ズレを検出するようにしてもよい。

前記キャリアテープは、２つの前記ポケット間を繋ぐ領域が形成され、前記圧痕は、前記繋ぎ領域に形成されるようにしてもよい。

前記圧痕画像処理手段は、前記画像と枠図形とを重ねて表示する表示手段と、ユーザの入力に基づき、前記枠図形の位置、大きさ、及び形状を変更する変更手段と、を備え、前記変更手段による前記変更後の前記枠図形の位置に基づき、前記圧痕の前記画像上の位置を検出するようにしてもよい。

また、本発明に係るテーピングユニットは、電子部品が搬送される搬送経路の一地点に配され、前記電子部品を収容するポケットを有するキャリアテープと、前記ポケットの位置を検出するテープ位置検出手段と、前記テープ位置検出手段による検出結果に基づいて、前記キャリアテープの位置ズレを検出するズレ検出手段と、前記位置ズレに基づき、前記位置ズレを補正する補正手段と、を備えること、を特徴とする。

前記ズレ検出手段は、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って移動する保持手段が前記キャリアテープの上方に移動したときの位置と前記ポケットの位置とを比較して位置ズレを検出するようにしてもよい。

前記補正手段は、前記位置ズレに基づき、前記キャリアテープを幅方向及び長手方向に移動させるようにしてもよい。

前記補正手段は、前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、前記スプロケットを前記位置ズレに対応する量だけ回転させる駆動手段と、を備えるようにしてもよい。

前記補正手段は、前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、前記スプロケットを前記キャリアテープの幅方向に移動させるマイクロメータと、を備えるようにしてもよい。

前記位置検出手段は、前記キャリアテープの画像を撮影するテープ撮像手段と、前記キャリアテープの所定箇所の前記画像上の位置を検出するテープ画像処理手段と、を含み、前記ズレ検出手段は、前記テープ画像処理手段が検出した前記位置に基づき、前記位置ズレを検出するようにしてもよい。

前記キャリアテープの所定箇所は、前記ポケットの底面であるようにしてもよい。

前記テープ画像処理手段は、前記画像と枠図形とを重ねて表示する表示手段と、ユーザの入力に基づき、前記枠図形の位置、大きさ、及び形状を変更する変更手段と、を含み、前記変更手段による前記変更後の前記枠図形の位置に基づき、前記所定箇所の前記画像上の位置を検出するようにしてもよい。

前記ズレ検出手段は、前記保持手段を前記キャリアテープに押し当たるまで下降させて、前記キャリアテープの所定箇所に前記保持手段の圧痕を形成する昇降手段と、前記圧痕の画像を撮影する圧痕撮影手段と、前記圧痕の前記画像上の位置を検出する圧痕画像処理手段と、を含み、前記圧痕の位置に基づき、前記位置ズレを検出するようにしてもよい。

前記キャリアテープは、２つの前記ポケット間を繋ぐ領域が形成され、前記圧痕は、前記繋ぎ領域に形成されるようにしてもよい。

前記圧痕画像処理手段は、前記画像と枠図形とを重ねて表示する表示手段と、ユーザの入力に基づき、前記枠図形の位置、大きさ、及び形状を変更する変更手段と、を備え、前記変更手段による前記変更後の前記枠図形の位置に基づき、前記圧痕の前記画像上の位置を検出するようにしてもよい。

本発明によれば、キャリアテープを設置した際のポケットの位置ズレを容易に検出し、且つ容易に補正できるから、電子部品の転びをより確実に防止でき、装置の稼働率を向上させることができる。

第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の概略構成を示す平面図である。 第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の概略構成を示す側面図である。 第１の実施形態に係るテーピングユニットの概略構成を示す平面図である。 第１の実施形態に係るテーピングユニットの概略構成を示す側面図である。 第１の実施形態に係る制御部の構成を示すブロック図である。 第１の実施形態に係る位置補正動作を示すフローチャートである。 キャリアテープがセットされた状態を示す模式図である。 キャリアテープの画像を示す模式図である。 吸着ノズルの圧痕の画像を示す模式図である。 キャリアテープの移動を示す模式図である。 第２の実施形態に係る電子部品搬送装置のマニュアルによる位置検出を示す表示画面である。 姿勢補正ユニットの概略構成を示す側面図である。 第３の実施形態に係る補正制御部による補正を示す模式図である。 第３の実施形態に係る位置補正動作を示すフローチャートである。

以下、本発明に係る電子部品搬送装置及びテーピングユニットの実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。

（１） 第１の実施形態
［Ａ．電子部品搬送装置］
図１は、第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の概略構成を示す平面図である。図２は、第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の概略構成を示す側面図である。

図１及び図２に示す実施形態は、本発明の電子部品搬送装置１を、電子部品Ｄを整列搬送しながら各種の工程処理を行う後工程処理装置として使用するものである。そのため、この電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄに対する各種の工程処理機構、及び電子部品Ｄを各種の工程処理機構に順次搬送する搬送機構を備えている。

電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれる。半導体素子としては、トランジスタや集積回路や抵抗やコンデンサ等が挙げられる。工程処理としては、主に、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経た後の後工程であり、マーキング、外観検査、テストコンタクト、分類ソート、若しくは梱包、又はこれらの組み合わせが含まれる。本実施形態に係る電子部品搬送装置１は、少なくとも梱包処理を実施する。

搬送機構は、ターンテーブル２１を含んで構成される。ターンテーブル２１の中心は、下方に配置されたダイレクトドライブモータ２２の駆動軸で支持されている。ターンテーブル２１は、ダイレクトドライブモータ２２の駆動に伴って間欠的に所定角度回転する。

ターンテーブル２１の外周部には、電子部品Ｄを保持する複数の保持手段３が、ターンテーブル２１の外周に沿って等間隔で離間して取り付けられている。保持手段３の配置間隔は、ターンテーブル２１の１ピッチの回転角度と等しい。ターンテーブル２１の外周は、電子部品Ｄの搬送経路である。すなわち、電子部品Ｄは、ターンテーブル２１の外周に沿って搬送される。保持手段３で電子部品Ｄを保持し、ターンテーブル２１を回転させることで、外周線に沿った方向に電子部品Ｄを整列搬送する。

本実施形態において、保持手段３は、電子部品Ｄを吸着及び離脱させる吸着ノズル３１である。吸着ノズル３１のパイプ内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路と連通しており、吸着ノズル３１は、負圧の発生によって電子部品Ｄを吸着し、真空破壊によって電子部品Ｄを離脱させる。

この吸着ノズル３１は、ターンテーブル２１の外周部に取り付けられた支持部３２によって、その下端をターンテーブル２１の下面に突出させるように支持されており、その突出端が電子部品Ｄを吸着及び離脱させる吸着部３１ａとなっている。支持部３２は、吸着ノズル３１を摺動可能に支持しており、吸着ノズル３１は、ターンテーブル２１に対して昇降可能となっている。昇降方向は、ターンテーブル２１の拡がり方向を水平面と仮定した場合の垂直方向である。

吸着ノズル３１の各停止位置Ｐには、操作ロッド３４を備える駆動部３３が配置されている。駆動部３３は、具体的にはモータであり、操作ロッド３４を上下動させる。操作ロッド３４は、その下端を吸着ノズル３１の上端に設けられる被押圧部３１ｂに対向させて配置されており、駆動部３３の駆動に応じて吸着ノズル３１の被押圧部３１ｂと当接し、押圧力を付与して吸着ノズル３１を下方に押し下げる。

図１に示すように、工程処理機構としては、ターンテーブル２１の回転方向順に、換言すると、搬送経路の前段から順番に、例えば、パーツフィーダ４１、マーキングユニット４２、外観検査ユニット４３、テストコンタクトユニット４４、分類ソートユニット４５、姿勢判別ユニット４９、姿勢補正ユニット４６、テーピングユニット４７、不良品排出ユニット４８が配置される。

これら工程処理機構は、ターンテーブル２１を取り囲んで外周方向に等間隔離間して配置される。配置間隔は、ターンテーブル２１の１ピッチの回転角度と同一若しくは整数倍に等しい。工程処理機構の配置位置は、保持手段３の停止位置Ｐと一致する。停止位置Ｐには、何れかの搬送処理機構が１機配置される。尚、停止位置Ｐの数≧搬送処理機構４の数であれば、これらの数は同数でなくともよく、搬送処理機構が配置されない停止位置Ｐが存在していてもよい。

パーツフィーダ４１は、電子部品搬送装置１に電子部品Ｄを供給する装置である。このパーツフィーダ４１は、円形の振動パーツフィーダと直線型の供給振動フィーダとを組み合わせて、ターンテーブル２１の外周端直下の搬送経路終端まで多数の電子部品Ｄを整列させて連続的に搬送する。マーキングユニット４２は、電子部品Ｄに臨んでレーザ照射用のレンズを有し、レーザを電子部品Ｄに照射してマーキングを行う。

外観検査ユニット４３は、カメラを有し、電子部品Ｄを撮影し、画像から電子部品Ｄの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する。テストコンタクトユニット４４は、ベリリウム銅等の板やピン等の金属であるコンタクトを有し、電子部品Ｄのリードにコンタクトを接触させ、電流を流したり、電圧を印加したりすることで、電子部品Ｄの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定検査する。

分類ソートユニット４５は、電気特性及び外観検査の結果に応じて電子部品Ｄを不良品と良品とに分類し、そのレベルに応じて分類してシュートする。姿勢判別ユニット４９は、カメラを有し、電子部品Ｄの姿勢を判別する。判別対象となる電子部品Ｄの姿勢は、向き及び吸着ノズル３１による保持位置を含む。姿勢補正ユニット４６は、姿勢判別ユニット４９が判別した姿勢に応じて、電子部品Ｄの方向合わせと、保持位置の位置決めを行う。

テーピングユニット４７は、後述するように、良品と判定された電子部品Ｄを収納する。不良品排出ユニット４８は、テーピング梱包されなかった電子部品Ｄを電子部品検査装置１から排出する。

このような電子部品搬送装置１は、図示しない搬送制御部を備え、ダイレクトドライブモータ２２、吸着ノズル３１を昇降させる駆動部３３、真空発生装置、及び各種の工程処理機構４１〜４９に電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。すなわち、搬送制御部は、制御プログラムを格納するＲＯＭ、ＣＰＵ、及びドライバを備え、制御プログラムに従い、インターフェースを介して各駆動機構に各タイミングで動作信号を出力している。

この搬送制御部による制御により電子部品搬送装置１は、以下のように電子部品Ｄの処理が開始される。処理開始後においては、ターンテーブル２１は、所定角度の回転と所定時間の停止を繰り返す。各吸着ノズル３１は、ターンテーブル２１の間欠回転によって、ターンテーブル２１の外周上の各停止位置Ｐに順に移動する。各吸着ノズル３１は、停止位置Ｐに移動すると、駆動部３３及び操作ロッド３４の動作により工程処理機構４１〜４９のステージへ向けて下降し、真空破壊によって電子部品Ｄを離脱させる。工程処理機構４１〜４９は、電子部品Ｄを受け取ると、当該電子部品Ｄに処理を施す。電子部品Ｄの処理終了後は、吸着ノズル３１が再びステージへ向けて下降し、電子部品Ｄを保持する。尚、工程処理機構４１〜４９の内容によっては、吸着ノズル３１の下降、離脱、再保持、及び上昇の動作を行わないものも存在する。

このような電子部品搬送装置１の動作により、電子部品Ｄは、第１のサイクルでパーツフィーダ４１から搬送経路に供給されて、次以降のサイクルごとに順にマーキングユニット４２、外観検査ユニット４３、テストコンタクトユニット４４、及び分類ソートユニット４５に供給されて、各種の工程が施される。

そして、姿勢判別ユニット４９及び姿勢補正ユニット４６による電子部品Ｄの姿勢補正後に、電子部品Ｄはテーピングユニット４７に供給され、キャリアテープに梱包される。不良により梱包されなかった電子部品Ｄは、不良品排出ユニット４８に供給されて、電子部品搬送装置１から排出される。

［Ｂ．テーピングユニット］
電子部品搬送装置１が備えるテーピングユニット４７について更に詳述する。図３は、テーピングユニットの概略構成を示す上面図である。図４は、テーピングユニットの概略構成を示す側面図である。

テーピングユニット４７には、図３及び図４に示すように、キャリアテープ４７１がセットされる。キャリアテープ４７１は、電子部品Ｄを収納する梱包材であり、帯形状を有する。キャリアテープ４７１には、長手方向に所定距離離間して、凹型のポケット４７１ａがエンボス加工等によって形成されている。このポケット４７１ａは、電子部品Ｄの収納領域である。各ポケット４７１ａ間の領域を繋ぎ領域４７１ｂと呼ぶ。ポケット４７１ａの底面４７１ｄには、負圧が供給される穴部４７１ｅが貫通して設けられ、収容された電子部品Ｄの位置固定を可能としている。

テーピングユニット４７は、キャリアテープ４７１を間欠搬送することで、ポケット４７１ａを搬送経路上の一地点、すなわち保持手段３の停止位置Ｐに順次移動させる。キャリアテープ４７１の移動手段として、テーピングユニット４７は、２つのスプロケット４７２と駆動モータ４７３を有する。

スプロケット４７２は、円周方向に沿ってピンが突出した円筒ロール形状を有し、中心軸を介して回転可能となっている。２つのスプロケット４７２は、一定距離離間して配置され、軸方向が平行となっている。各スプロケット４７２は、各駆動モータ４７３と軸により機械的に連結され、駆動モータ４７３の駆動力を受けて回転する。駆動モータ４７３としては、例えば、微少な回転角度を達成可能なステッピングモータ等が挙げられる。

キャリアテープ４７１は、長手辺の何れかに寄って所定間隔離間したパーフォレーション（図示せず）が貫設されており、スプロケット４７２に架設され、スプロケット４７２のピンにパーフォレーションが引っかけられることで、スプロケット４７２間で送られる。キャリアテープ４７１は、ポケット４７１ａが停止位置Ｐに順次停止するように送られる。すなわち、ポケット４７１ａが停止位置Ｐに停止するようにオフセットされ、且つ、キャリアテープ４７１の一度の搬送距離は、ポケット４７１ａ間の距離に等しくなっている。

さらに、テーピングユニット４７は、キャリアテープ４７１の搬送経路上にカメラ４７４を備える。カメラ４７４は、ＣＭＯＳやＣＣＤ等の撮像素子を有する撮像手段であり、キャリアテープ４７１の搬送経路上の一地点を撮影する。このカメラ４７４の配置位置は、停止位置Ｐよりも後段であり、例えばキャリアテープ４７１の進行方向にあるキャリアポケット４７１ａを撮像できる上方の位置である。

［Ｃ．テープ位置補正手段］
キャリアテープ４７１は、その幅方向及び長手方向に位置補正が可能となっており、キャリアテープ４７１の交換時の調整作業において、キャリアテープ４７１の位置ズレが検出されることで、その位置ズレを解消する方向に移動される。キャリアテープ４７１の長手方向の位置補正機構は、スプロケット４７２及び駆動モータ４７３である。駆動モータ４７３を駆動させて、スプロケット４７２を所定角度回転させることによって、キャリアテープ４７１の長手方向の位置がオフセットされる。

幅方向の位置補正機構は、スクリューアジャスタ４７５と圧縮バネ４７６を含んで構成される。スクリューアジャスタ４７５は、マイクロメータヘッドを有するネジ機構であり、ネジ先端がスプロケット４７２の一側面に当接するように設けられている。マイクロメータヘッドは、ネジの回転角をネジ位置の変位量に換算し、変位量を目盛に反映する。圧縮バネ４７６は、スプロケット４７２の反対側の側面に当接するように固定され、スクリューアジャスタ４７５の方向に付勢力を与えている。

スクリューアジャスタ４７５は、ネジ調整によるネジ先端の突出長増大により、圧縮バネ４７６の押圧力に抗してスプロケット４７２を軸に対してスライドさせることで、幅方向に押し出し移動させる。スクリューアジャスタ４７５の突出長を減少させると、すなわちスクリューアジャスタ４７５の先端をスプロケット４７２の端面から離れる方向に移動させると、圧縮バネ４７６の押圧力によってスプロケット４７２が反対方向に移動する。

Ｄ．制御部
キャリアテープ４７１の位置ズレ及び上記のテープ位置補正手段の制御は、カメラ４７４による撮影結果に基づいて制御部４７７が実施する。制御部４７７は、例えば、プログラムに従って処理を実行して各機構を制御する演算処理装置、プログラムや演算処理装置の演算結果が記憶される主記憶装置、プログラムが記憶される外部記憶装置、各機構を実際に動作させるドライバ、及び画面を表示するモニタを含んで構成される。この制御部４７７は、テーピングユニット４７が独立して備えていてもよいし、電子部品搬送装置１の搬送制御部の構成に包含させてもよい。

図５は、制御部４７７の構成を示すブロック図である。まず、制御部４７７の動作及び目的を簡単に説明すると、制御部４７７は、停止位置Ｐにおけるポケット４７１ａと保持手段３の位置関係をそれぞれ把握し、ポケット４７１ａと保持手段３との位置ズレＧ（図７参照）を検出し、検出結果に応じて位置ズレＧを解消するようにテープ位置補正手段を稼働させる。

ここで、停止位置Ｐにおけるポケット４７１ａと保持手段３の位置は、物理的な障害により確認できない場合がある。そこで、ポケット４７１ａの位置特定においては、ポケット４７１ａが停止位置Ｐに存在する状態で、停止位置Ｐとカメラ４７４の撮影位置に相当する距離だけ、キャリアテープ４７１を移動させ、撮影位置に移動してきたポケット４７１ａをカメラ４７４で撮影し、位置特定を行う。

また、保持手段３の位置特定においては、保持手段３によってキャリアテープ４７１上に後述する圧痕４７８（図９参照）を形成し、ポケット４７１ａの位置確認のための移動距離と同量だけ移動させ、カメラ４７４で撮影する。圧痕４７８は、停止位置Ｐにおける保持手段３の位置を示しているからである。

停止位置Ｐから同距離だけ移動させて画像撮影している場合、画像上の座標系におけるポケット４７１ａと圧痕４７８の位置ズレＧは、停止位置Ｐにおけるポケット４７１ａと保持手段３の位置ズレＧと同一視できる。従って、画像上で検出した位置ズレＧに従ってテープ位置補正手段を稼働させることで、停止位置Ｐにおけるポケット４７１ａと保持手段３の位置合わせを行うことができる。

このような位置ズレＧの検出及び位置ズレ補正のために、本実施形態の制御部４７７は、テープ送り制御部４７７ａと、昇降制御部４７７ｂ、カメラ制御部４７７ｃ、画像処理部４７７ｄ、ズレ検出部４７７ｅと、表示部４７７ｆと、補正制御部４７７ｇ、入力装置４７７ｈとを備える。

テープ送り制御部４７７ａは、スプロケット４７２を回転させる駆動モータ４７３を駆動させることで、キャリアテープ４７１のポケット４７１ａと繋ぎ領域４７１ｂをそれぞれ停止位置Ｐに位置させる。そして、テープ送り制御部４７７ａは、キャリアテープ４７１を所定距離移動させる。この移動距離は、停止位置Ｐからカメラ４７４の撮影ポイントまでの距離に等しい。すなわち、停止位置Ｐのポケット４７１ａと繋ぎ領域４７１ｂをそれぞれ撮影ポイントまで移動させる。

昇降制御部４７７ｂは、圧痕４７８の形成のために、駆動部３３を駆動させ、吸着ノズル３１をキャリアテープ４７１に向けて下降させる。下降位置は、キャリアテープ４７１の繋ぎ領域４７１ｂである。すなわち、テープ送り制御部４７７ａは、昇降制御部４７７ｂによる制御の前に、繋ぎ領域４７１ｂを停止位置Ｐに移動させる。下降量は、吸着ノズル３１の先端が繋ぎ領域４７１ｂに所定圧力で押し当てられるまでである。所定圧力は、繋ぎ領域４７１ｂに圧痕４７８が形成される程度である。

カメラ制御部４７７ｃは、カメラ４７４にポケット４７１ａや圧痕４７８を撮影させる。撮影ポイントには、テープ送り制御部４７７ａによってポケット４７１ａと圧痕４７８が、停止位置Ｐにおける位置関係を保持したまま、それぞれ位置している。画像処理部４７７ｄは、カメラ４７４が取得した撮影ポイントの画像データを解析して、ポケット４７１ａの底面４７１ｄと圧痕４７８の位置をそれぞれ特定する。具体的には、画像処理部４７７ｄは、２値化処理や正規化処理及び輪郭抽出処理等を経て底面４７１ｄ及び圧痕４７８の領域を検出し、それらの重心座標をそれぞれ算出する。

ズレ検出部４７７ｅは、ポケット４７１ａの底面４７１ｄと圧痕４７８の位置を比較することで、それらの位置ズレＧを検出する。圧痕４７８の位置は、換言すると、吸着ノズル３１が停止位置Ｐに移動したときの位置である。つまり、キャリアテープ４７１が精度よくセットされ、ポケット４７１ａが正確に停止位置Ｐに移動していれば、底面４７１ｄと圧痕４７８の位置ズレＧはない。これら位置の比較処理では、底面４７１ｄと圧痕４７８の位置を示す重心座標のＸ方向及びＹ方向をそれぞれ差分することで位置ズレＧを算出する。尚、算出の簡便のため、カメラ４７４は、画像上のＸ方向がキャリアテープ４７１の幅方向に対応し、画像上のＹ方向がキャリアテープ４７１の長手方向に対応するように配置される。

表示部４７７ｆは、モニタであり、ズレ検出部４７７ｅの検出結果、すなわち位置ズレＧをＸ方向及びＹ方向に分けて表示する。入力装置４７７ｈは、ユーザの入力インターフェースであり、電子部品搬送装置１の動作モードを切り替えるために使用される。動作モードとしては、少なくとも位置ズレ検出及び位置ズレ補正を行う位置補正モードが用意される。入力装置４７７ｈとしては、ボタン、タッチパネル、又はマウス等が挙げられる。入力装置４７７ｈをタッチパネルディスプレイにより構成する場合には、表示部４７７ｆと共用とすることもできる。

補正制御部４７７ｇは、スプロケット４７２を回転させる駆動モータ４７３を駆動させて、Ｙ方向の位置ズレＧ、すなわちキャリアテープ４７１の長手方向の位置ズレＧに相当する距離だけ、逆方向にキャリアテープ４７１を移動させる。キャリアテープ４７１の幅方向については、表示部４７７ｆのＸ方向の位置ズレＧを参照しながら、ユーザがスクリューアジャスタ４７５を調整することで移動させる。

［Ｅ．位置補正動作］
このようなキャリアテープ４７１の位置補正動作を図６乃至図１０に基づき説明する。図６は、位置補正動作を示すフローチャートである。図７は、キャリアテープ４７１がセットされた状態を示す模式図である。図８は、キャリアテープ４７１の画像を示す模式図である。図９は、吸着ノズルの圧痕の画像を示す模式図である。図１０は、キャリアテープの移動を示す模式図である。

まず、ユーザによりキャリアテープ４７１がテーピングユニット４７にセットされる（ステップＳ０１）。キャリアテープ４７１は、ポケット４７１ａが停止位置Ｐに位置するようにセットされる。図７に示すように、キャリアテープ４７１がセットされたときのポケット位置Ｐ１は、ロットの相違やセット時の位置決め誤差によって、正規位置と異なり、停止位置Ｐの保持手段３の位置（チャック位置Ｐ２）と位置ズレＧ（ΔＸ、ΔＹ）が発生している場合がある。

そこで、キャリアテープ４７１をセットすると、ユーザにより、入力装置４７７ｈを用いて位置補正モードが選択される（ステップＳ０２）。位置補正モードが選択されると、テープ送り制御部４７７ａは、キャリアテープ４７１を停止位置Ｐからカメラ４７４の撮影ポイントに相当する距離だけ移動させる（ステップＳ０３）。

キャリアテープ４７１を移動させると、カメラ制御部４７７ｃは、カメラ４７４にテープ画像Ｔｐを撮影させる（ステップＳ０４）。このとき、停止位置Ｐに存在するポケット４７１ａは、撮影ポイントに移動しているはずであり、図８に示すように、テープ画像Ｔｐにはポケット４７１ａの底面４７１ｄが投影されている。

次に、テープ送り制御部４７７ａは、キャリアテープ４７１をポケット４７１ａ間の距離の半分だけ移動させる（ステップＳ０５）。このとき、停止位置Ｐには、繋ぎ領域４７１ｂが存在するはずである。停止位置Ｐに繋ぎ領域４７１ｂを移動させると、昇降制御部４７７ｂは、吸着ノズル３１を下降させて、繋ぎ領域４７１ｂに圧痕４７８を形成する（ステップＳ０６）。

圧痕４７８を形成すると、テープ送り制御部４７７ａは、キャリアテープ４７１を停止位置Ｐからカメラ４７４の撮影ポイントに相当する距離だけ移動させる（ステップＳ０７）。

キャリアテープ４７１を移動させると、カメラ制御部４７７ｃは、カメラ４７４に圧痕画像Ｍｐを撮影させる（ステップＳ０８）。このとき、停止位置Ｐに存在する繋ぎ領域４７１ｂは、撮影ポイントに移動しているはずであり、図９に示すように、圧痕画像Ｍｐには繋ぎ領域４７１ｂに形成された圧痕４７８が投影されている。

画像処理部４７７ｄは、テープ画像Ｔｐ及び圧痕画像Ｍｐからポケット４７１ａの底面４７１ｄ及び圧痕４７８を検出し、ポケット位置Ｐ１及びチャック位置Ｐ２を特定する（ステップＳ０９）。具体的には、テープ画像Ｔｐ及び圧痕画像Ｍｐを２値化処理や正規化処理及び輪郭抽出処理等を経て底面４７１ｄと圧痕４７８の領域をその他の領域と区別し、底面４７１ｄと圧痕４７８の領域の重心座標を算出する。

画像上のポケット位置Ｐ１及びチャック位置Ｐ２を検出すると、ズレ検出部４７７ｅは、ポケット位置Ｐ１及びチャック位置Ｐ２とを比較することで、これらの位置ズレＧを算出する（ステップＳ１０）。具体的には、底面４７１ｄの画像領域の重心座標と圧痕４７８の画像領域の重心座標をＸ座標及びＹ座標毎に差分する。

位置ズレＧが算出されると、表示部４７７ｆは、位置ズレＧを幅方向及び長手方向のそれぞれについて表示する（ステップＳ１１）。幅方向はＸ座標の差分結果であり、長手方向はＹ座標の差分結果である。

そして、補正制御部４７７ｇは、Ｙ軸方向の位置ズレＧを取得し、この位置ズレＧの逆方向に、位置ズレＧに相当する距離だけ、キャリアテープ４７１を長手方向に移動させる（ステップＳ１２）。Ｘ軸方向においては、ユーザによりスクリューアジャスタ４７５が調整され、表示部４７７ｆに表示されたＸ軸方向の位置ズレＧの逆方向に、位置ズレＧに対応する分だけ、スプロケット４７２を移動させる（ステップＳ１３）。

［Ｆ．作用効果］
以上のように、本実施形態に係る電子部品搬送装置１及びテーピングユニット４７は、ポケット４７１ａの位置を検出し、このポケット４７１ａの位置と吸着ノズル３１がキャリアテープ４７１上に形成した圧痕４７８の位置とを比較することで位置ズレＧを検出し、位置ズレＧに基づき、キャリアテープ４７１を幅方向及び長手方向に移動させるようにした。

圧痕４７８は、吸着ノズル３１が停止位置Ｐに移動したときの位置を示しているため、ポケット４７１ａの位置と圧痕４７８の位置との位置ズレが解消されることで、電子部品Ｄの転び頻度は低下し、電子部品搬送装置１の稼働率を向上させることができる。また、圧痕４７８を形成して位置ズレＧのための比較対象とすることで、カメラ４７４の撮影ポイントの高精度な調整等を必要とすることなくなり、それだけ電子部品搬送装置１の始動前調整時間を削減でき、稼働率が向上する。

本実施形態においてポケット４７１ａの底面４７１ｄの位置を検出する態様としたのは、ポケット４７１ａの底面４７１ｄは、キャリアテープ４７１のうち、最も明瞭で形状が定まっているためである。つまり、キャリアテープ４７１の各所が明瞭に撮影可能で、形状が定まっていれば、位置検出箇所は、ポケット４７１ａの底面４７１ｄに限る必要はない。例えば、ポケット４７１ａの上縁や、ポケット４７１ａの底面４７１ｄに開口する穴部４７１ｅを検出箇所とすることもできる。

また、本実施形態においては、圧痕４７８は、ポケット４７１ａ間を繋ぐ繋ぎ領域４７１ｂに形成するようにした。繋ぎ領域４７１ｂには、穴部４７１ｅが存在しないためである。従って、圧痕４７８を形成する位置は、繋ぎ領域４７１ｂに限る必要はなく、ポケット４７１ａの底面４７１ｄに形成することも可能である。圧痕４７８が穴部４７１ｅに一部重複することにより、圧痕４７８の一部分のみが画像上において確認できる場合には、その一部の軌跡から圧痕４７８の位置を類推するようにしてもよい。

（２）第２の実施形態
キャリアテープ４７１の材質、色、ポケット４７１ａの深さ、又は装置設置環境によっては、ポケット４７１ａや圧痕４７８が画像処理部４７７ｄによって検出できない場合がある。第２の実施形態においては、ポケット４７１ａや圧痕４７８が画像処理によって検出できない場合に有効である。

図１１は、マニュアルによる位置検出を示す表示画面である。第２の実施形態において、表示部４７７ｆは、圧痕画像Ｍｐ上に枠図形Ｆを重ねて表示させる。枠図形Ｆは、円又は矩形である。表示部４７７ｆは、円のアイコンＩａ及び矩形のアイコンＩｂを表示し、枠図形Ｆの形状を変更可能となっている。

この枠図形Ｆは、入力装置４７７ｈを用いて、図１１の（ａ）及び（ｂ）に示すように、位置及び大きさが変更可能となっている。具体的には、枠図形Ｆ内の一点のドラッグ操作に応じて、表示部４７７ｆは、枠図形Ｆの表示位置を変更する。また、枠図形Ｆの縁のドラッグ操作に応じて、表示部４７７ｆは、枠図形Ｆの大きさを変更する。

表示画面には、位置検出のトリガとなるボタンＩｃが表示される。このボタンＩｃが押下されると、画像処理部４７７ｄは、枠図形Ｆの位置を検出し、当該検出結果をポケット位置Ｐ１やチャック位置Ｐ２として扱う。

このように、第２の実施形態に係る電子部品搬送装置１及びテーピングユニット４７においては、カメラ４７４で撮影した画像と枠図形Ｆとを重ねて表示する表示部４７７ｆと、ユーザの入力に基づき枠図形Ｆの位置、大きさ、及び形状を変更する入力装置４７７ｈとを備えるようにし、画像処理部４７７ｄは、枠図形Ｆの位置によって圧痕４７８やポケット４７１ａの位置、すなわちチャック位置Ｐ２やポケット位置Ｐ１を検出するようにした。これにより、圧痕４７８やポケット４７１ａを検出できない場合であっても、目視可能であれば、位置ズレＧの補正を行うことが可能となる。

（３） 第３の実施形態
次に、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置１について図１２乃至図１４を参照しつつ説明する。図１２は、姿勢補正ユニット４６を示す側面図である。図１３は、補正制御部４７７ｇによる補正を示す模式図である。図１４は、位置ズレ補正動作を示すフローチャートである。

第１の実施形態では、位置ズレＧをキャリアテープ４７１の移動により解消したが、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置１は、テーピングユニット４７の前段に配置される姿勢補正ユニット４６により位置ズレＧを補正する。すなわち、姿勢補正ユニット４６は、電子部品Ｄの方向合わせの他、位置ズレＧを加味した位置決めを行う。

［Ａ．構成］
そのために、第３の実施形態では、図１２に示すように、姿勢補正ユニット４６は、ターンテーブル２１の搬送路の接線方向であるＸ軸方向のＸ軸移動機構４６１と、ターンテーブル２１の搬送路の半径方向であるＹ軸方向のＹ軸移動機構４６２とを備える。また、吸着ステージ台座４６５を移動させることにより、吸着ステージ４６４をＹ軸に対してθ度回転させるθ方向移動機構４６３を備える。

この姿勢補正ユニット４６は、電子部品Ｄの各縁がＸ軸方向及びＹ軸方向に沿うように、電子部品Ｄをθ方向に回転させる。また、この姿勢補正ユニット４６は、電子部品Ｄの中心を、吸着ステージ４６４の上方に位置した吸着ノズル３１の先端から位置ズレＧだけずらすように、電子部品ＤをＸ軸方向及びＹ方向に移動させる。

本実施形態において、補正制御部４７７ｇは、電子部品搬送装置１による電子部品Ｄの処理前に、チャック位置Ｐ２とポケット位置Ｐ１との位置ズレＧをオフセット値として記憶しておく。

そして、補正制御部４７７ｇは、図１３に示すように、電子部品搬送装置１による電子部品Ｄの処理時において、予め記憶した位置ズレＧに、吸着ノズル３１と電子部品Ｄとの姿勢ズレＡを加算して、この加算結果の値だけＸ軸、Ｙ軸、及びθ軸方向に電子部品Ｄを移動させるように、Ｘ軸移動機構４６１、Ｙ軸移動機構４６２、θ軸移動機構４６３を駆動させる。尚、吸着ノズル３１と電子部品Ｄとの姿勢ズレＡは、カメラを備える姿勢判別ユニット４９によって検出される。

［Ｂ．動作］
このような姿勢補正ユニット４６を用いた位置ズレ補正動作について図１４を参照しつつ説明する。尚、このフローチャートに示す動作前に第１の実施形態に係るステップＳ０１〜ステップＳ１０までの位置ズレ量算出処理を終了させ、位置ズレ量をオフセット値として記憶しておく。

位置ズレＧをオフセット値として記憶した状態、かつ電子部品搬送装置１による電子部品Ｄの処理時において、姿勢判別ユニット４９に電子部品Ｄが停止すると（ステップＳ２１）、姿勢判別ユニット４９は、カメラで電子部品Ｄを撮影する（ステップＳ２２）。電子部品Ｄを撮影すると、画像を解析して、吸着ノズル３１と電子部品ＤとのＸＹθ方向の姿勢ズレＡを算出する（ステップＳ２３）。

次に、ターンテーブル２１がさらに１ピッチ正転することにより、電子部品Ｄが姿勢補正ユニット４６の吸着ステージ４６４の上方に位置すると、吸着ノズル３１を下降させることで、吸着ステージ４６４上に電子部品Ｄを載置する（ステップＳ２４）。

補正制御部４７７ｇは、予め記憶しておいた位置ズレＧと、ステップＳ２３で算出した姿勢ズレＡと加算することで、ＸＹθ方向の新たな位置ズレを算出しておく（ステップＳ２５）。そして、補正制御部４７７ｇは、Ｘ軸移動機構４６１、Ｙ軸移動機構４６２、及びθ方向移動機構４６３を駆動させて、算出した位置ズレを解消する方向に吸着ステージ４６４を移動させる（ステップＳ２６）。

位置ズレ補正が終了すると、吸着ノズル３１は電子部品Ｄを保持する（ステップＳ２７）。このとき、吸着ノズル３１は、位置ズレＧとは反対方向に同量だけ、電子部品Ｄの中心からずれた位置で当該電子部品Ｄを保持することとなる。そのため、電子部品Ｄとポケット４７１ａの位置は精度よく一致し、電子部品Ｄの転びを低減することができる。

（３） 他の実施形態 以上のように本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この新規な実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

例えば、本実施形態では、一つのターンテーブル２１に各種の工程処理機構４１〜４９を配置する場合を例に挙げたが、搬送機構としては、直線搬送方式であってもよく、また複数のターンテーブル２１で一の搬送経路を構成するようにしてもよい。また、保持手段３として、真空の発生及び破壊により電子部品を吸着及び離脱させる吸着ノズル３１に代えて、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。また、各種の工程処理機構４１〜４９は、上記した種類に限られず、各種の工程処理機構と置き換えることが可能であり、また配置順序も適宜変更可能である。

また、カメラ４７４と停止位置Ｐとの位置関係が精度よく固定されている場合には、圧痕４７８の位置は予め定まっているため、吸着ノズル３１がテーピングユニット４７の停止位置Ｐに到達したときの位置を主記憶装置に記憶させておいたり、この位置からキャリアテープ４７１の長手方向への延長線上にカメラ４７４の原点位置を配置したりすることで、圧痕４７８の形成処理を省くこともできる。

１ 電子部品搬送装置
２１ ターンテーブル
２２ ダイレクトドライブモータ
３ 保持手段
３１ 吸着ノズル
３２ 支持部
３３ 駆動部
３４ 操作ロッド
４１ パーツフィーダ
４２ マーキングユニット
４３ 外観検査ユニット
４４ テストコンタクトユニット
４５ 分類ソートユニット
４６ 姿勢補正ユニット
４６１ Ｘ軸移動機構
４６２ Ｙ軸移動機構
４６３ θ軸移動機構
４６４ 吸着ステージ
４６５ 吸着ステージ台座
４７ テーピングユニット
４７１ キャリアテープ
４７１ａ ポケット
４７１ｂ 繋ぎ領域
４７１ｄ 底面
４７１ｅ 穴部
４７２ スプロケット
４７３ 駆動モータ
４７４ カメラ
４７５ スクリューアジャスタ
４７６ 圧縮バネ
４７７ 制御部
４７７ａ テープ送り制御部
４７７ｂ 昇降制御部
４７７ｃ カメラ制御部
４７７ｄ 画像処理部
４７７ｅ ズレ検出部
４７７ｆ 表示部
４７７ｇ 補正制御部
４７７ｈ 入力装置
４７８ 圧痕
４８ 不良品排出ユニット
４９ 姿勢判別ユニット
Ｄ 電子部品
Ｆ 枠図形
Ｇ 位置ズレ
Ｐ 停止位置
Ｐ１ ポケット位置
Ｐ２ チャック位置
Ｔｐ テープ画像
Ｍｐ 圧痕画像

Claims (23)

1. 電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、
   前記電子部品の搬送経路と、
   前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、
   前記搬送経路における前記保持手段の停止位置に配され、前記保持手段で保持された前記電子部品を収容するポケットを有するキャリアテープと、
   前記ポケットの位置を検出するテープ位置検出手段と、
   前記テープ位置検出手段による検出結果に基づいて、前記キャリアテープの位置ズレを検出するズレ検出手段と、
   前記位置ズレに基づき、前記位置ズレを補正する補正手段と、
   を備えること、
   を特徴とする電子部品搬送装置。
2. 前記ズレ検出手段は、
   前記保持手段が前記キャリアテープの上方に移動したときの位置と前記ポケットの位置とを比較して位置ズレを検出すること、
   を特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
3. 前記補正手段は、
   前記位置ズレに基づき、前記キャリアテープを幅方向及び長手方向に移動させること、
   を特徴とする請求項１又は２記載の電子部品搬送装置。
4. 前記補正手段は、
   前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、
   前記スプロケットを前記位置ズレに対応する量だけ回転させる駆動手段と、
   を備えること、
   を特徴とする請求項３記載の電子部品搬送装置。
5. 前記補正手段は、
   前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、
   前記スプロケットを前記キャリアテープの幅方向に移動させるマイクロメータと、
   を備えること、
   を特徴とする請求項３記載の電子部品搬送装置。
6. 前記補正手段は、
   前記位置ズレとは反対方向に同量だけずらすように、前記保持手段に対する前記電子部品の姿勢を変更すること、
   を特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
7. 前記テープ位置検出手段は、
   前記キャリアテープの画像を撮影するテープ撮像手段と、
   前記キャリアテープの所定箇所の前記画像上の位置を検出するテープ画像処理手段と、
   を含み、
   前記ズレ検出手段は、
   前記テープ画像処理手段が検出した前記位置に基づき、前記位置ズレを検出すること、
   を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の電子部品搬送装置。
8. 前記キャリアテープの所定箇所は、前記ポケットの底面であること、
   を特徴とする請求項７記載の電子部品搬送装置。
9. 前記テープ画像処理手段は、
   前記画像と枠図形とを重ねて表示する表示手段と、
   ユーザの入力に基づき、前記枠図形の位置、大きさ、及び形状を変更する変更手段と、
   を含み、
   前記変更手段による前記変更後の前記枠図形の位置に基づき、前記所定箇所の前記画像上の位置を検出すること、
   を特徴とする請求項７又は８記載の電子部品搬送装置。
10. 前記ズレ検出手段は、
    前記保持手段を前記キャリアテープに押し当たるまで下降させて、前記キャリアテープの所定箇所に前記保持手段の圧痕を形成する昇降手段と、
    前記圧痕の画像を撮影する圧痕撮影手段と、
    前記圧痕の前記画像上の位置を検出する圧痕画像処理手段と、
    を含み、
    前記所定位置として前記圧痕の位置に基づき、前記位置ズレを検出すること、
    を特徴とする請求項２乃至６の何れかに記載の電子部品搬送装置。
11. 前記キャリアテープは、
    ２つの前記ポケット間を繋ぐ領域が形成され、
    前記圧痕は、
    前記繋ぎ領域に形成されること、
    を特徴とする請求項１０記載の電子部品搬送装置。
12. 前記圧痕画像処理手段は、
    前記画像と枠図形とを重ねて表示する表示手段と、
    ユーザの入力に基づき、前記枠図形の位置、大きさ、及び形状を変更する変更手段と、
    を備え、
    前記変更手段による前記変更後の前記枠図形の位置に基づき、前記圧痕の前記画像上の位置を検出すること、
    を特徴とする請求項１０又は１１記載の電子部品搬送装置。
13. 電子部品が搬送される搬送経路の一地点に配され、前記電子部品を収容するポケットを有するキャリアテープと、
    前記ポケットの位置を検出するテープ位置検出手段と、
    前記テープ位置検出手段による検出結果に基づいて、前記キャリアテープの位置ズレを検出するズレ検出手段と、
    前記位置ズレに基づき、前記位置ズレを補正する補正手段と、
    を備えること、
    を特徴とするテーピングユニット。
14. 前記ズレ検出手段は、
    前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って移動する保持手段が前記キャリアテープの上方に移動したときの位置と前記ポケットの位置とを比較して位置ズレを検出すること、
    を特徴とする請求項１３記載のテーピングユニット。
15. 前記補正手段は、
    前記位置ズレに基づき、前記キャリアテープを幅方向及び長手方向に移動させること、
    を特徴とする請求項１２又は１３記載のテーピングユニット。
16. 前記補正手段は、
    前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、
    前記スプロケットを前記位置ズレに対応する量だけ回転させる駆動手段と、
    を備えること、
    を特徴とする請求項１５記載のテーピングユニット。
17. 前記補正手段は、
    前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、
    前記スプロケットを前記キャリアテープの幅方向に移動させるマイクロメータと、
    を備えること、
    を特徴とする請求項１５記載のテーピングユニット。
18. 前記位置検出手段は、
    前記キャリアテープの画像を撮影するテープ撮像手段と、
    前記キャリアテープの所定箇所の前記画像上の位置を検出するテープ画像処理手段と、
    を含み、
    前記ズレ検出手段は、
    前記テープ画像処理手段が検出した前記位置に基づき、前記位置ズレを検出すること、
    を特徴とする請求項１２乃至１７の何れかに記載のテーピングユニット。
19. 前記キャリアテープの所定箇所は、
    前記ポケットの底面であること、
    を特徴とする請求項１８記載のテーピングユニット。
20. 前記テープ画像処理手段は、
    前記画像と枠図形とを重ねて表示する表示手段と、
    ユーザの入力に基づき、前記枠図形の位置、大きさ、及び形状を変更する変更手段と、
    を含み、
    前記変更手段による前記変更後の前記枠図形の位置に基づき、前記所定箇所の前記画像上の位置を検出すること、
    を特徴とする請求項１８又は１９記載のテーピングユニット。
21. 前記ズレ検出手段は、
    前記保持手段を前記キャリアテープに押し当たるまで下降させて、前記キャリアテープの所定箇所に前記保持手段の圧痕を形成する昇降手段と、
    前記圧痕の画像を撮影する圧痕撮影手段と、
    前記圧痕の前記画像上の位置を検出する圧痕画像処理手段と、
    を含み、
    前記圧痕の位置に基づき、前記位置ズレを検出すること、
    を特徴とする請求項１３乃至１９の何れかに記載の電子部品搬送装置。
22. 前記キャリアテープは、
    ２つの前記ポケット間を繋ぐ領域が形成され、
    前記圧痕は、
    前記繋ぎ領域に形成されること、
    を特徴とする請求項２１記載のテーピングユニット。
23. 前記圧痕画像処理手段は、
    前記画像と枠図形とを重ねて表示する表示手段と、
    ユーザの入力に基づき、前記枠図形の位置、大きさ、及び形状を変更する変更手段と、
    を備え、
    前記変更手段による前記変更後の前記枠図形の位置に基づき、前記圧痕の前記画像上の位置を検出すること、
    を特徴とする請求項２１又は２２記載のテーピングユニット。