JPS5969939A - ワイヤボンデイング方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はたとえばＩＣの組立工程において被レッドと
リード端子とを金属細線で接続するワイヤボンディング
方法およびその装置に関する。
リード端子とを金属細線で接続するワイヤボンディング
方法およびその装置に関する。
一般に、ＩＣ−２レツドにおける電極部は１００μｍＸ
１００／４ｍ程度の大きさである。このため、電極の面
積を小さくできれば、同じ機能を持ったＩＣを、Ｊ−ｆ
い面積のベレットとすることができ、これにより１枚の
ウェハから取れるＲレットの個数が多くなりコストダウ
ンを図るととができる。
１００／４ｍ程度の大きさである。このため、電極の面
積を小さくできれば、同じ機能を持ったＩＣを、Ｊ−ｆ
い面積のベレットとすることができ、これにより１枚の
ウェハから取れるＲレットの個数が多くなりコストダウ
ンを図るととができる。
しかし、電極の面積を従来の１００μｍ２からたとえば
８０μｍにするだめには、８０μｍ の電極でも正確に
号−ンディングできるワイヤボンディング装置が必要と
なる。
８０μｍにするだめには、８０μｍ の電極でも正確に
号−ンディングできるワイヤボンディング装置が必要と
なる。
しかして、従来よりワイヤボンディング装置は、第１図
に示すように、イレッ）ａに対向してその缶屑を検出す
るＩＴＶカメラｂとツールアームＣのキャピラリｄを設
け、ＩＴＶカメラｂの中心とキャピラリｄの中心とを一
定の距離だけずらしたものが用いられ、そのずれ開゛を
オフセット量ｌとしている。とのオフセットｆｌは、ベ
レットａ上の電極ｅ・・・を検出するＩＴＶカメラｂが
ペレットａの厚さの変動に関係なく正確に位置検出でき
るように垂直に設置されているために必然的に生じるず
れ量である。このオフセット量ｌは正確にティーチング
しておかないと位置検出が終了してボンディングした場
合、第２゛図に示すように電極ｅ・・・に対してボンデ
ィングＡｆ・・・が一様に平行移動した状態となり、雷
％ｅに対して正確にボンディングができないことに々る
。
に示すように、イレッ）ａに対向してその缶屑を検出す
るＩＴＶカメラｂとツールアームＣのキャピラリｄを設
け、ＩＴＶカメラｂの中心とキャピラリｄの中心とを一
定の距離だけずらしたものが用いられ、そのずれ開゛を
オフセット量ｌとしている。とのオフセットｆｌは、ベ
レットａ上の電極ｅ・・・を検出するＩＴＶカメラｂが
ペレットａの厚さの変動に関係なく正確に位置検出でき
るように垂直に設置されているために必然的に生じるず
れ量である。このオフセット量ｌは正確にティーチング
しておかないと位置検出が終了してボンディングした場
合、第２゛図に示すように電極ｅ・・・に対してボンデ
ィングＡｆ・・・が一様に平行移動した状態となり、雷
％ｅに対して正確にボンディングができないことに々る
。
このオフセット沼ｌのティーチングは、一般にキャピラ
リｄでリードフレームの１点に圧痕を付け、との圧痕小
の罫座標を記憶させる。つぎに、ＸＹテーブルを移動さ
せ、■ＴＶカメラｂの中心を圧痛点に合せ、そのときの
ＸＹ座標を記憶して上記η′座標との差から算出してい
る。そしてこのｌを記憶してボンディング点ｆの算出に
使用しているが、キャピラリｄは消耗品であり、キャピ
ラリｄを交換するたびに０〜２０μｍ程度の変化が生じ
るため、交換のたびにティーチングし直す必要がある。
リｄでリードフレームの１点に圧痕を付け、との圧痕小
の罫座標を記憶させる。つぎに、ＸＹテーブルを移動さ
せ、■ＴＶカメラｂの中心を圧痛点に合せ、そのときの
ＸＹ座標を記憶して上記η′座標との差から算出してい
る。そしてこのｌを記憶してボンディング点ｆの算出に
使用しているが、キャピラリｄは消耗品であり、キャピ
ラリｄを交換するたびに０〜２０μｍ程度の変化が生じ
るため、交換のたびにティーチングし直す必要がある。
したがって、その操作が面倒であるとともに、ＩＴ■カ
メラｂを保持するホルダやツールアームＣの温度が変化
した場合にはそれらの熱膨張によりｌが変化するため、
そのｌを正確に合せ直さないと８０μｍ２ のような
微小な看イ極ｅからボンディング点ｆが外れて不良品と
なることが多い。たとえば、上記ホルダはアルミニウム
製で、その長さが１００能 とすると、１０℃の温度
上昇で、１０℃×１００×１０！′×宵ｘｉｏ ’−２
２／１ｍ 、つ１す２２μｍ伸びることになる。これは
電極ｅの８０μｍ２に対して非常に大きな値である。
メラｂを保持するホルダやツールアームＣの温度が変化
した場合にはそれらの熱膨張によりｌが変化するため、
そのｌを正確に合せ直さないと８０μｍ２ のような
微小な看イ極ｅからボンディング点ｆが外れて不良品と
なることが多い。たとえば、上記ホルダはアルミニウム
製で、その長さが１００能 とすると、１０℃の温度
上昇で、１０℃×１００×１０！′×宵ｘｉｏ ’−２
２／１ｍ 、つ１す２２μｍ伸びることになる。これは
電極ｅの８０μｍ２に対して非常に大きな値である。
そこで、装置の周囲を±１℃以内の変動に管理していた
が、自身のヒータによる熱膨張が定常状態になるまで非
常に長い時間が必要となり、稼動率を低下させる原因に
なっていた。
が、自身のヒータによる熱膨張が定常状態になるまで非
常に長い時間が必要となり、稼動率を低下させる原因に
なっていた。
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、装置の周囲温度が変動してもベレッ
トの電極に正確にデンディングすることができ、デンデ
ィング部の信頼性を向上することができるワイヤボンデ
ィング方法およびその装置を提供しようとするものであ
る。
的とするところは、装置の周囲温度が変動してもベレッ
トの電極に正確にデンディングすることができ、デンデ
ィング部の信頼性を向上することができるワイヤボンデ
ィング方法およびその装置を提供しようとするものであ
る。
この発明はキャピラリの圧痕の画像を光電変換し、その
画像信号を処理してキャピラリの圧痕中心を求め、との
圧痕中心と光電、変換器の中心との距曲′１をボンディ
ング直前寸たは途中で求めて記憶し、この記憶信号をも
とてボンディング座標を計算することにより、周囲温度
の変動等により光電変換器の中心とキャピラリの中心と
の距離が変動してもボンディング座標を制御できるよう
にしたことである。
画像信号を処理してキャピラリの圧痕中心を求め、との
圧痕中心と光電、変換器の中心との距曲′１をボンディ
ング直前寸たは途中で求めて記憶し、この記憶信号をも
とてボンディング座標を計算することにより、周囲温度
の変動等により光電変換器の中心とキャピラリの中心と
の距離が変動してもボンディング座標を制御できるよう
にしたことである。
〔発明の実施例〕
以下、この発明を図面に示す一実施例にもとづいて説明
する。第３図はワイヤボンディング装置の概略的構成を
示すもので、１はボンディングヘッドである。このボン
ディングヘッド１はＸＹテーブル２に塔載され、Ｘ軸モ
ータ３、Ｙ軸モータ４によって移動するようになってい
る。
する。第３図はワイヤボンディング装置の概略的構成を
示すもので、１はボンディングヘッドである。このボン
ディングヘッド１はＸＹテーブル２に塔載され、Ｘ軸モ
ータ３、Ｙ軸モータ４によって移動するようになってい
る。
さらに、ボンディングヘッド１には２軸モータ５が設け
られ、この２軸モータ５によってキャピラリ６を持った
ツールアーム７を揺動させることによりボンディング動
作を行なうようになっている。このボンディングヘッド
１の上部には」二記ツールアーム７と同方向にカメラボ
ルダ８が突設されていて、このカメラホルダ８には光電
変換器たとえばＩＴＶカメラ９が垂部に固定されている
。そして、上記キャピラリ６およびＩＴＶカメラ９はリ
ードフレーム１０上のベレット１ノ・・・に対向してお
り、ＩＴｖカメラ９にはベレット１ノの像を３〜８倍に
拡大するための光学系たとえば電動ズームレンズ１２が
組み込まれている。なお、１３はリードフレーム１０お
よびベレット１１上を照明する光源である。また、上記
ＩＴＶカメラ９はカメラコントロールユニット１４によ
り制御され、このカメラコントロールユニット１４から
は映像信号が出力される。この映像信号はモニタ１５お
よびパターンマツチング手法のベレット位置ずれ検出回
路１６へ導びかれ、イ゛レット１ノ上のある２点の基準
位置からのずれ（平行移動量と回転角）が算出される。
られ、この２軸モータ５によってキャピラリ６を持った
ツールアーム７を揺動させることによりボンディング動
作を行なうようになっている。このボンディングヘッド
１の上部には」二記ツールアーム７と同方向にカメラボ
ルダ８が突設されていて、このカメラホルダ８には光電
変換器たとえばＩＴＶカメラ９が垂部に固定されている
。そして、上記キャピラリ６およびＩＴＶカメラ９はリ
ードフレーム１０上のベレット１ノ・・・に対向してお
り、ＩＴｖカメラ９にはベレット１ノの像を３〜８倍に
拡大するための光学系たとえば電動ズームレンズ１２が
組み込まれている。なお、１３はリードフレーム１０お
よびベレット１１上を照明する光源である。また、上記
ＩＴＶカメラ９はカメラコントロールユニット１４によ
り制御され、このカメラコントロールユニット１４から
は映像信号が出力される。この映像信号はモニタ１５お
よびパターンマツチング手法のベレット位置ずれ検出回
路１６へ導びかれ、イ゛レット１ノ上のある２点の基準
位置からのずれ（平行移動量と回転角）が算出される。
なおこの機能は現在広く一般のボンダに使用されている
。さらに、上記映像信号はキャピラリ圧痕ずれ検出回路
１７へもスイッチ切換で導びかれ、キャピラリ圧痕の基
準位置からのずれ量を後述する手段で算出するようにな
っている。
。さらに、上記映像信号はキャピラリ圧痕ずれ検出回路
１７へもスイッチ切換で導びかれ、キャピラリ圧痕の基
準位置からのずれ量を後述する手段で算出するようにな
っている。
このペレット位置ずれ検出回路１６、キャピラリ圧痕ず
れ検出回路１７からの検出信号はボンディング制御回路
１８に入力され、このボンディング制御回路１８は倍率
制御回路１９によって電動ズームレンズ１２を３倍と８
倍に切換えるようになっている。また、ボンディング制
御回路ｚｇｌｄＸ−Ｙ−Ｚ軸制御回路２０，２１゜２２
を介して上記Ｘ軸モータ３．Ｙ軸モータ４および２軸モ
ータ５に接続され、制御するようになっている。す々わ
ち、上記ペレット位置ずれ検出回路１６からの検出信号
によって４レツド１１上の代表的な２点のそれぞれの基
準位置からのずれを受は取シペレット１ノ上のがンディ
ング点の座標を計算するとともに、キャピラリ圧痕ずれ
検出回路１７からキャピラリ圧痕の正規の状態からのず
れ量を受けとシ記憶する。
れ検出回路１７からの検出信号はボンディング制御回路
１８に入力され、このボンディング制御回路１８は倍率
制御回路１９によって電動ズームレンズ１２を３倍と８
倍に切換えるようになっている。また、ボンディング制
御回路ｚｇｌｄＸ−Ｙ−Ｚ軸制御回路２０，２１゜２２
を介して上記Ｘ軸モータ３．Ｙ軸モータ４および２軸モ
ータ５に接続され、制御するようになっている。す々わ
ち、上記ペレット位置ずれ検出回路１６からの検出信号
によって４レツド１１上の代表的な２点のそれぞれの基
準位置からのずれを受は取シペレット１ノ上のがンディ
ング点の座標を計算するとともに、キャピラリ圧痕ずれ
検出回路１７からキャピラリ圧痕の正規の状態からのず
れ量を受けとシ記憶する。
そして、この記憶信号と上記ペレット位置ずれ検出回路
１６から得たずれ量をもとにがンディング点の位置を計
算するようになっている。
１６から得たずれ量をもとにがンディング点の位置を計
算するようになっている。
また、上記キャピラリ圧痕ずれ検出回路１７は第４図に
示すように、カメ２コントロールユニ、ト１４から出力
された映像信号をＡ／ｉ）変換器２３によ＃）８レベル
の濃淡情報としてメモリ２４に記憶させる。
示すように、カメ２コントロールユニ、ト１４から出力
された映像信号をＡ／ｉ）変換器２３によ＃）８レベル
の濃淡情報としてメモリ２４に記憶させる。
つぎに、エツジ情報抽出回路２５ＪＩＣよシ画像のエツ
ジ部分を抽出しキャピラリ６の圧痕を２値化データノぐ
ターンとしてメモリ２５ａに格納する。この場合のエツ
ジ情報は第５図（Ａ）Ｋ示すような円の一部のような情
報イとなる。一方、第５図（Ｂ）に示すように基準ノや
ターン口としてメモリ２６に登録されてイル基準ｉ＋タ
ーンロと上記データパｐ −フイトヲノ臂ターンマツチ
ング回路２７によってパターンマツチング処理し、最大
−数位置を探し出す。これにょシＯＴが最も一致する点
であることが探し出される。したがって、■ＴＶカメラ
９の中心Ｏ６とデータ７ｅターンの中の圧痕中心ＯＴと
のずれ量Ｎを銀山することができる。
ジ部分を抽出しキャピラリ６の圧痕を２値化データノぐ
ターンとしてメモリ２５ａに格納する。この場合のエツ
ジ情報は第５図（Ａ）Ｋ示すような円の一部のような情
報イとなる。一方、第５図（Ｂ）に示すように基準ノや
ターン口としてメモリ２６に登録されてイル基準ｉ＋タ
ーンロと上記データパｐ −フイトヲノ臂ターンマツチ
ング回路２７によってパターンマツチング処理し、最大
−数位置を探し出す。これにょシＯＴが最も一致する点
であることが探し出される。したがって、■ＴＶカメラ
９の中心Ｏ６とデータ７ｅターンの中の圧痕中心ＯＴと
のずれ量Ｎを銀山することができる。
また、上記基準パターン口をティーチングする場合には
、リードＯ１＋にボンディングした直接にＩＴＶカメラ
９をリード側にあらかじめティーチングされているオフ
セラ）ｍ１１だけ移動する。
、リードＯ１＋にボンディングした直接にＩＴＶカメラ
９をリード側にあらかじめティーチングされているオフ
セラ）ｍ１１だけ移動する。
このＩＴＶカメラ９のモニタ１５にはカメラ中心を十字
線（ハ）の交点で、キャピラリ６の大きさを円に）で表
示さねでいるため、第５図（Ｂ）で示すようにモニタ１
５を見ながら上記データ７ターンイの中心に手動で合致
させる。この手動で移動させた量Ｉ３２とＩＴＶカメラ
９の移動瀞″ｌ、との和よりＩＴＶカメラ９とキャピラ
リ６のオフセット景７を計算する。この状態で、ＩＴＶ
カメラ９により画像取込を行ない、そのエツジ情報を基
準パターンとして上記メモリ、９６に登録すればよい。
線（ハ）の交点で、キャピラリ６の大きさを円に）で表
示さねでいるため、第５図（Ｂ）で示すようにモニタ１
５を見ながら上記データ７ターンイの中心に手動で合致
させる。この手動で移動させた量Ｉ３２とＩＴＶカメラ
９の移動瀞″ｌ、との和よりＩＴＶカメラ９とキャピラ
リ６のオフセット景７を計算する。この状態で、ＩＴＶ
カメラ９により画像取込を行ない、そのエツジ情報を基
準パターンとして上記メモリ、９６に登録すればよい。
つぎに、上述のように構成されたワイヤデンディング装
置の作用について説明する。この実施例では１つのリー
ドフレームｌＯに１２個の硬レット１１・・が配置され
ているため、最初すなわち最先端の被レット１１にボン
ディングする前に第６図に示すようにリードフレームに
１本の余分なワイヤ１０ｂを張シその第２ボンディング
点につけられたキャピラリの圧痕１０ｃを利用して、キ
ャピラリと光重変換器の距離の再設定を行う。すｋわち
、■ＴＶカメラ９を前記圧痕１０ｃに移動させ、上記キ
ャピラリ６の圧痕１０ｃの画像の取込みを行なう。この
取込まれた画像はキャピラリ圧痕中心検出回路１７で画
像処理され、圧痕の基準位置からのズレｔ （図５．Ｍ
）が算出される。したがって、上記ず九量、４ノにもと
づいてＩＴＶカメラ９の中心とキャピラリ６の中心との
間の距離すなわちオフセット畢ｌを設定し直すことがで
き、このオフセット量ｌにもとづいてその後のベレット
１１・・・全１１１１１次正確にボンディングすること
ができる・このように、リードフレーム１０毎にオフセ
ット量ｌを設定し直すことにより、ツールアーム７゜カ
メラホルダ８の熱変形やＩＴＶカメラ９．キャピラリ６
の交換を行ったときでも、オフセットｆｉ′ｅをその都
度測定するとと々く自動的に正確に設定でき、電極の中
心にボンディングすることができる。
置の作用について説明する。この実施例では１つのリー
ドフレームｌＯに１２個の硬レット１１・・が配置され
ているため、最初すなわち最先端の被レット１１にボン
ディングする前に第６図に示すようにリードフレームに
１本の余分なワイヤ１０ｂを張シその第２ボンディング
点につけられたキャピラリの圧痕１０ｃを利用して、キ
ャピラリと光重変換器の距離の再設定を行う。すｋわち
、■ＴＶカメラ９を前記圧痕１０ｃに移動させ、上記キ
ャピラリ６の圧痕１０ｃの画像の取込みを行なう。この
取込まれた画像はキャピラリ圧痕中心検出回路１７で画
像処理され、圧痕の基準位置からのズレｔ （図５．Ｍ
）が算出される。したがって、上記ず九量、４ノにもと
づいてＩＴＶカメラ９の中心とキャピラリ６の中心との
間の距離すなわちオフセット畢ｌを設定し直すことがで
き、このオフセット量ｌにもとづいてその後のベレット
１１・・・全１１１１１次正確にボンディングすること
ができる・このように、リードフレーム１０毎にオフセ
ット量ｌを設定し直すことにより、ツールアーム７゜カ
メラホルダ８の熱変形やＩＴＶカメラ９．キャピラリ６
の交換を行ったときでも、オフセットｆｉ′ｅをその都
度測定するとと々く自動的に正確に設定でき、電極の中
心にボンディングすることができる。
々お、上記一実施例においては、リード側のキャピラリ
圧痕を利用してＩＴＶカメラの中心とのずれ量を検出し
７ているが、パッド側のキャピラリ圧痕によりＩＴＶカ
メラとキャピラリとの中心間距離を算出してもよい。ま
だ、被レットの位置ずれを検出する場合とキャピラリ圧
痕のずれを検出する場合に１台のＩＴＶカメラと電動ズ
ームレンズを使用しているが、プリズム、ハーフ ミラ
、等を使用し、１個の対物レンズで２台のＩＴＶカメラ
を使用し、２つの倍率の異々る映像信号として別々に取
り出すようにしてもよい。
圧痕を利用してＩＴＶカメラの中心とのずれ量を検出し
７ているが、パッド側のキャピラリ圧痕によりＩＴＶカ
メラとキャピラリとの中心間距離を算出してもよい。ま
だ、被レットの位置ずれを検出する場合とキャピラリ圧
痕のずれを検出する場合に１台のＩＴＶカメラと電動ズ
ームレンズを使用しているが、プリズム、ハーフ ミラ
、等を使用し、１個の対物レンズで２台のＩＴＶカメラ
を使用し、２つの倍率の異々る映像信号として別々に取
り出すようにしてもよい。
さらに、■ＴＶカメラおよび電動ズームレンズを垂直方
向に設定しているが、精度に大きな影響を与えな−範囲
で傾斜してもよい・ 〔発明の効果〕 この発明は以上説明したように、仮ボンディングによる
キャピラリの圧痕の画像を光電変換しその画像信号を処
理してキャピラリの圧痕中心を求め、との圧痕中心と光
重変換器の中心との距離を求め、このデータにもとづい
てボンディング座標を計算し、光電変換器、キャピラリ
の交換あるいはツールアーム等の熱変形が生じてもキャ
ピラリの中心と光重変換器の中心との間のオフセット量
を自動的に設定し直すことができ、電極の中心へ正確に
ボンディングすることができるという効果を奏する。
向に設定しているが、精度に大きな影響を与えな−範囲
で傾斜してもよい・ 〔発明の効果〕 この発明は以上説明したように、仮ボンディングによる
キャピラリの圧痕の画像を光電変換しその画像信号を処
理してキャピラリの圧痕中心を求め、との圧痕中心と光
重変換器の中心との距離を求め、このデータにもとづい
てボンディング座標を計算し、光電変換器、キャピラリ
の交換あるいはツールアーム等の熱変形が生じてもキャ
ピラリの中心と光重変換器の中心との間のオフセット量
を自動的に設定し直すことができ、電極の中心へ正確に
ボンディングすることができるという効果を奏する。
さらに、この発明はキャピラリの圧痕の画像をＩＴＶカ
メラなどの光重変換器で取り込み、画像処理することに
より、基準パターンとノやターンマツチングするように
したから、光重変換器の中心とキャピラリの圧痕中心と
のずれ量を正確に検出してボンディング制御することが
できるという効果がある。
メラなどの光重変換器で取り込み、画像処理することに
より、基準パターンとノやターンマツチングするように
したから、光重変換器の中心とキャピラリの圧痕中心と
のずれ量を正確に検出してボンディング制御することが
できるという効果がある。
第１図は従来のデンディング装置の斜視図、第２図は同
じくペレットの電極に対するボンディング状態を示す拡
大した平面図、第３図はこの発明のボンディング装置の
一実施例を示す概略的構成図、第４図は同じくキャピラ
リ圧痕ずれ検出回路のブロック図、第５図（Ａ） （Ｂ
）は同じくキャピラリ圧痕のパターンマツチング方法の
説明図、＠６図は同じくリード（ｌ’ｉｌ Ｋ伺したキ
ャピラリ圧痕の状態を示す斜視図である。 ９・・・ＩＴＶカメラ（光重変換器）、１１・・・ぜレ
ット、１６・・・ペレット位τずれ検出回路、１７・・
・キャピラリ圧痕ずれ検出回路、１８・・・ボンディン
グ制御回路。
じくペレットの電極に対するボンディング状態を示す拡
大した平面図、第３図はこの発明のボンディング装置の
一実施例を示す概略的構成図、第４図は同じくキャピラ
リ圧痕ずれ検出回路のブロック図、第５図（Ａ） （Ｂ
）は同じくキャピラリ圧痕のパターンマツチング方法の
説明図、＠６図は同じくリード（ｌ’ｉｌ Ｋ伺したキ
ャピラリ圧痕の状態を示す斜視図である。 ９・・・ＩＴＶカメラ（光重変換器）、１１・・・ぜレ
ット、１６・・・ペレット位τずれ検出回路、１７・・
・キャピラリ圧痕ずれ検出回路、１８・・・ボンディン
グ制御回路。
Claims (2)
- （１） ペレットの位置を検出する光電変換器の中心
とキャピラリの中心とがある一定の距離にあり、光電変
換器からの画像信号を処理してペレットの位置ズレ量を
求め、この位置ズレ量にもとづいてボンディング座標を
計算しボンディングする方法において、ポンディｐング
直前あるいはボンディング途中で上記光電憂換器によっ
てキャピラリの圧痕の画像を光電変換しその画像信号を
処理してキャピラリの圧痕中心を求める第１の手段と、
上記キャピラリの圧痕中心と光電変換器の中心との距離
を求めそのずれ量を記憶する第２の手段と、この第２の
手段における記憶データとペレットの位置を検出してボ
ンディング座標を求める第３の手段とからなるワイヤボ
ンディング方法。 - （２） ペレットの位置を検出する光電変換器の中心
とキャピラリの中心とがある一定の距離にあシ、光電変
換器からの画像信号を処理してペレットの位置ズレ量を
求めこの位置ズレ量にもとづいてボンディング座標を計
算しがンディングする装置において、上記光電変換器で
キャビチＩＪの圧痕の画像を光電変換しその画像信号を
処理してキャピラリの圧痕中心を求めるキャピラリ圧痕
中心検出回路と、このキャピラリ圧痕中心検出回路によ
って検出されたキャピラリ圧痕中心と上記光電変換器の
中心との距離を求め／ゝトー５− 記憶する記憶回路と、上記光電変換器によるペレットの
位置ずれ検出データと上記光電変換器の中心とキャピラ
リ中心の距離とによってボンディング座標を求める？ン
ディング制御回路とを具備したことを特徴とするワイヤ
ボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57180908A JPS5969939A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ワイヤボンデイング方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57180908A JPS5969939A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ワイヤボンデイング方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969939A true JPS5969939A (ja) | 1984-04-20 |
Family
ID=16091398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57180908A Pending JPS5969939A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ワイヤボンデイング方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5969939A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6449516B1 (en) | 1998-07-03 | 2002-09-10 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Bonding method and apparatus |
| JP2002261114A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-13 | Nec Corp | ワイヤーボンディング装置、及び、ワイヤボンディング方法 |
| US6542783B2 (en) | 2000-02-10 | 2003-04-01 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Tool position measurement method, offset measurement method, reference member and bonding apparatus |
| US6762848B2 (en) | 2000-03-06 | 2004-07-13 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Offset measurement method, tool position detection method and bonding apparatus |
| JP5674060B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2015-02-25 | 上野精機株式会社 | 電子部品搬送装置及びテーピングユニット |
| JP2020515070A (ja) * | 2017-03-21 | 2020-05-21 | シュンク・ソノシステムズ・ゲーエムベーハー | 溶接アセンブリの製造方法および装置 |
-
1982
- 1982-10-15 JP JP57180908A patent/JPS5969939A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6449516B1 (en) | 1998-07-03 | 2002-09-10 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Bonding method and apparatus |
| US6542783B2 (en) | 2000-02-10 | 2003-04-01 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Tool position measurement method, offset measurement method, reference member and bonding apparatus |
| US6762848B2 (en) | 2000-03-06 | 2004-07-13 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Offset measurement method, tool position detection method and bonding apparatus |
| JP2002261114A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-13 | Nec Corp | ワイヤーボンディング装置、及び、ワイヤボンディング方法 |
| JP5674060B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2015-02-25 | 上野精機株式会社 | 電子部品搬送装置及びテーピングユニット |
| JP2020515070A (ja) * | 2017-03-21 | 2020-05-21 | シュンク・ソノシステムズ・ゲーエムベーハー | 溶接アセンブリの製造方法および装置 |
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