JPWO2010016487A1 - 圧電振動デバイスの封止部材、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
12 内部空間
2 水晶振動片(圧電振動片)
23 励振電極
3 第1封止部材
31 第1封止部材の一主面
32 第1封止部材の接合面
33 電極パッド(電極パターンの一部)
34 外部電極端子(電極パターンの一部)
35 第1封止部材の基材内部
36 ビア(貫通孔)
361 ビアの内側面
362 ビアの両端部
363 ビアの他端面
364 ビアの一端面
37 電極パターン(電極パターンの一部)
38 第1封止部材の他主面
39 第1封止部材の中間点
4 第2封止部材
5 導通部材
51 導通部材の両端面
52 AuとSnとの金属間化合物
53 Au
54 Au膜
55 Auメッキ層
56 Snメッキ層
6 水晶Z板のウエハ
61,62 水晶Z板のウエハの両主面
7 接合材
81 Au保護膜層
82 ポジレジスト層
Claims (9)
- 励振電極が形成された圧電振動片の前記励振電極を気密封止する圧電振動デバイスの封止部材において、
当該封止部材の基材の両主面に形成される電極パターンを導通状態とするための貫通孔が形成され、前記貫通孔内に導通部材が充填され、
前記基材の両主面における前記貫通孔の両端部の径より、前記貫通孔の前記基材内部における径が小さく、
前記導通部材の両端面が、前記基材の両主面に対して凹形状となることを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材。 - 請求項1に記載の圧電振動デバイスの封止部材において、
前記貫通孔の内側面はテーパー状に形成され、
前記貫通孔では、前記両主面におけるその両端部の径より、その厚さ方向の中間点の径が小さいことを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材。 - 請求項1または2に記載の圧電振動デバイスの封止部材において、
前記導通部材は、少なくともAuとSnとから構成される化合物であり、
前記貫通孔の前記基材内部における径が小さい領域にAuが偏在することを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材。 - 励振電極が形成された圧電振動片の前記励振電極を気密封止する圧電振動デバイスの封止部材において、
当該封止部材の基材の両主面に形成される電極パターンを導通状態とするための貫通孔が形成され、前記貫通孔内に導通部材が充填され、
前記基材の両主面における前記貫通孔の一端面の径より他端面の径が小さく、
前記導通部材の両端面が、前記基板の両主面に対して凹形状となることを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材。 - 請求項4に記載の圧電振動デバイスの封止部材において、
前記貫通孔の内側面は、テーパー状に形成され、前記基板の主面に対して約45度〜85度傾斜することを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材。 - 請求項1〜5のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイスの封止部材において、
前記電極パターンには、金属の拡散を防止する拡散防止層が含まれたことを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材。 - 励振電極が形成された圧電振動片の前記励振電極を気密封止する圧電振動デバイスの封止部材の製造方法において、
当該封止部材の基材の両主面に形成される電極パターンを導通状態とするための貫通孔を形成する形成工程と、
前記貫通孔に導通部材を充填するための充填工程と、を有し、
前記形成工程では、前記基材の両主面からエッチング法により基材をエッチングして貫通孔を形成し、前記貫通孔の両端部である前記両主面における径より、前記貫通孔の基材内部における径が小さく、前記導通部材の両端面が、前記基材の両主面に対して凹形状となることを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材の製造方法。 - 請求項7に記載の圧電振動デバイスの封止部材の製造方法において、
前記充填工程では、前記貫通孔内にAu層を形成し、このAu層上にSn層を形成し、これら前記貫通孔に形成したAu層とSn層とを共晶点以上の温度により加熱溶融することを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材の製造方法。 - 請求項7に記載の圧電振動デバイスの封止部材の製造方法において、
前記充填工程では、前記貫通孔内にAu−Sn合金のメッキ層を形成し、このAu−Sn合金のメッキ層を共晶点以上の温度により加熱溶融することを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010523863A JP5447379B2 (ja) | 2008-08-05 | 2009-08-04 | 圧電振動デバイスの封止部材、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008201882 | 2008-08-05 | ||
JP2008201882 | 2008-08-05 | ||
JP2010523863A JP5447379B2 (ja) | 2008-08-05 | 2009-08-04 | 圧電振動デバイスの封止部材、及びその製造方法 |
PCT/JP2009/063803 WO2010016487A1 (ja) | 2008-08-05 | 2009-08-04 | 圧電振動デバイスの封止部材、及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010016487A1 true JPWO2010016487A1 (ja) | 2012-01-26 |
JP5447379B2 JP5447379B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=41663705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010523863A Active JP5447379B2 (ja) | 2008-08-05 | 2009-08-04 | 圧電振動デバイスの封止部材、及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8129888B2 (ja) |
JP (1) | JP5447379B2 (ja) |
CN (1) | CN102171925B (ja) |
WO (1) | WO2010016487A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5048471B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2012-10-17 | セイコーインスツル株式会社 | パッケージの製造方法、パッケージ、電子デバイス、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
WO2011093456A1 (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス、およびその製造方法 |
JP2011229123A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-11-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
JP5603166B2 (ja) * | 2010-08-23 | 2014-10-08 | セイコーインスツル株式会社 | 電子デバイス、電子機器及び電子デバイスの製造方法 |
JP5471987B2 (ja) * | 2010-09-07 | 2014-04-16 | 株式会社大真空 | 電子部品パッケージ用封止部材、電子部品パッケージ、及び電子部品パッケージ用封止部材の製造方法 |
JP5797961B2 (ja) * | 2011-07-21 | 2015-10-21 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2013051510A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイスの封止部材の製造方法および当該製造方法によって得られた封止部材を用いた圧電振動デバイス |
JP5900505B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-04-06 | 株式会社大真空 | 電子部品パッケージ、電子部品パッケージ用封止部材、および前記電子部品パッケージ用封止部材の製造方法 |
JP2013162295A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Seiko Epson Corp | ベース基板、電子デバイス、ベース基板の製造方法、及び電子デバイスの製造方法 |
JP2013258571A (ja) * | 2012-06-13 | 2013-12-26 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
JP2014143289A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Seiko Instruments Inc | 電子デバイスの製造方法、電子デバイス及び発振器 |
JP6135296B2 (ja) * | 2013-05-20 | 2017-05-31 | 富士通株式会社 | パッケージ構造及びパッケージ構造を基板に接合する方法 |
JP2015060981A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | イビデン株式会社 | プリント配線板 |
US10333053B2 (en) * | 2014-01-06 | 2019-06-25 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device, and bonding structure of piezoelectric resonator device and circuit board |
CN109075761B (zh) * | 2016-09-16 | 2022-06-24 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
KR102545033B1 (ko) * | 2016-10-27 | 2023-06-19 | 삼성전기주식회사 | 코일 전자 부품 |
JP6614258B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2019-12-04 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP6874722B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2021-05-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2019176616A1 (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
CN113228256B (zh) * | 2018-12-27 | 2024-03-22 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3621435B2 (ja) * | 1993-11-25 | 2005-02-16 | シチズン時計株式会社 | パッケージおよびその製造方法 |
JP3390348B2 (ja) | 1998-08-21 | 2003-03-24 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 水晶振動子およびその製造方法 |
JP3546961B2 (ja) * | 2000-10-18 | 2004-07-28 | 日本電気株式会社 | 半導体装置搭載用配線基板およびその製造方法、並びに半導体パッケージ |
JP4513513B2 (ja) * | 2004-11-09 | 2010-07-28 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法 |
JP2006173557A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-29 | Toshiba Corp | 中空型半導体装置とその製造方法 |
JP4617902B2 (ja) | 2005-01-31 | 2011-01-26 | 信越半導体株式会社 | 発光素子及び発光素子の製造方法 |
JP2006310779A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-11-09 | Kyocera Corp | 回路基板および電子装置 |
JP4630110B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2011-02-09 | パナソニック株式会社 | 電子部品の製造方法 |
JP2007081613A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス及びその製造方法 |
JP4517992B2 (ja) * | 2005-09-14 | 2010-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 導通孔形成方法、並びに圧電デバイスの製造方法、及び圧電デバイス |
JP2007292611A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-11-08 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 液体封止構造及びその方法 |
JP4647671B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2011-03-09 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
WO2009104328A1 (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
-
2009
- 2009-08-04 JP JP2010523863A patent/JP5447379B2/ja active Active
- 2009-08-04 CN CN200980139305.8A patent/CN102171925B/zh active Active
- 2009-08-04 US US12/680,921 patent/US8129888B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-08-04 WO PCT/JP2009/063803 patent/WO2010016487A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100270891A1 (en) | 2010-10-28 |
JP5447379B2 (ja) | 2014-03-19 |
CN102171925A (zh) | 2011-08-31 |
WO2010016487A1 (ja) | 2010-02-11 |
CN102171925B (zh) | 2014-09-17 |
US8129888B2 (en) | 2012-03-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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