JP6712136B2 - 電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
近年、電子機器の小型化、高性能化に伴い、上述の電子部品に対してさらなる小型化への要求が高まっている。そこで、電子部品のパッケージサイズ、特には電子部品の実装面積を減らすべく金属バンプの径を小さくすることが提案されている。しかしながら、金属バンプの径を小さくすると、これに伴い金属バンプの高さも小さくなるので、電子素子の実装後における、電子素子とベース基板との間のクリアランスが狭くなり、電子部品が外部衝撃を受けた際や、電子素子の実装時などに、電子素子とベース基板とが接触する可能性が増大する。その結果、電子部品の信頼性低下、歩留まり向上につながる虞がある。即ち、従来技術では、小型化と信頼性向上を両立可能な電子部品の製造方法、及び電子部品に関しては何ら開示されていない。
前記ベース基板に対して貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、少なくとも前記貫通孔の開口端の周辺領域において電極膜を形成する電極膜形成工程と、前記開口端に金属バンプを形成するバンプ形成工程と、前記貫通孔の内部に金属めっきを充填し、前記貫通電極を形成する貫通電極形成工程と、前記金属バンプの表面において前記貫通孔とは反対側の表面に、金属めっきを形成するバンプめっき形成工程と、を有することを特徴とする。
前記貫通電極形成工程と前記バンプめっき形成工程とを同工程で行うと好適である。
バンプめっき工程では、金属バンプの周囲をレジスト膜で覆い、該レジスト膜と金属バンプによって形成される凹部に金属めっきを形成すると好適である。
バンプめっき工程において、金属バンプ上に確実にめっきを形成することが可能になる。また、レジスト膜の厚みを変更することで、金属バンプ上の金属メッキの高さを適宜変更することが可能になるので、小型化と信頼性向上を両立可能な電子部品の製造方法をより容易に提供することが可能になる。
前記バンプめっき工程において、前記金属バンプの周囲を前記レジスト膜で覆う際に、前記レジスト膜の高さが、前記金属バンプの高さよりも高くなるように、前記レジスト膜を形成すると好適である。
前記貫通孔形成工程の後であって、かつ前記電極膜形成工程の前に、前記貫通孔の内側面と、前記内側面に接続するように前記ベース基板上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程が設けられており、前記電極膜形成工程では、少なくとも前記貫通孔の開口端の周辺領域において前記絶縁膜上に電極膜を形成すると好適である。
前記絶縁膜形成工程の後であって、かつ前記電極膜形成工程の後に、前記貫通孔の内側面に下地金属層を形成する下地金属形成工程を有しており、前記貫通電極形成工程では、前記下地金属層の表面に、無電解めっき法によって前記金属めっきを形成すると好適である。
前記貫通電極形成工程と前記バンプめっき形成工程では、前記金属バンプに電圧を印加した状態で、電解めっき法によって、前記貫通孔の内部と前記金属バンプの表面のそれぞれに前記金属めっきを形成することを特徴とする。
前記電子素子とは、MEMS、半導体デバイス又は水晶振動子であると好適である。
ベース基板とリッド基板とを有するパッケージと、前記ベース基板を貫通する貫通孔内に充填されている金属めっきとによって形成される貫通電極と、前記貫通電極における前記キャビティ側の端面と接続する金属バンプとを有し、前記金属バンプ表面において前記貫通孔とは反対側の表面に金属めっきが形成されており、該金属めっき上に電子素子が実装されていることを特徴とする。
前記ベース基板上において前記貫通孔の開口端の周囲には、前記貫通電極と接続する電極膜が形成されており、前記金属バンプは、前記貫通電極の端面と前記電極膜上に形成されていることを特徴とする。
前記貫通孔において前記キャビティとは反対側の端面では、前記貫通電極が前記貫通孔の内側側面から前記ベース基板上にまで延出していることを特徴とする。
図1〜図13を参照して、本発明の第1実施形態に係る電子部品の製造方法について説明する。
図1は、本実施形態における電子部品の貫通電極、及び金属バンプ106(バンプ電極)の概略構成を示す図である。なお、ここでは不図示であるが、本実施形態における電子部品は、ベース基板101とリッド基板(不図示)との間に形成されたキャビティ内において、ベース基板101上に電子デバイス120(電子素子)が実装される構成を有している。
なお、本実施形態における電子デバイス120としては、MEMS素子(MEMS技術によって作製された素子)、半導体デバイス、又は水晶振動子などを用いることができる。
図2〜図13を参照して、本実施形態に係る電子部品の製造方法について説明する。
まず、図2に示すように、ベース基板101として、シリコンやGaAsといった半導体、ガラス、又はセラミックスなどの絶縁体から形成される基板を準備する。ベース基板101の材料を選択する際は、ベース基板101に実装する電子デバイス120の諸特性を考慮して選択する。
次に、図3、図4に示すように、ベース基板101の所定の位置に貫通孔104を形成する(貫通孔形成工程)。貫通孔形成工程では、まず、ベース基板101の表面、裏面をレジスト膜などの保護膜で覆い、その後、後述する貫通孔104を形成する位置以外の領域のみが保護膜で覆われるようにパターン102Aを形成する。これにより、貫通孔104の位置のみが露出したマスクパターンが形成される。なお、ベース基板101の裏面では、一様に保護膜102Bが形成されている。なお、ここでは貫通孔104がひとつだけ図示されているが、本実施形態では、ウェハ上に複数個の電子部品を形成する場合を想定しており、ウェハ上に貫通孔104が複数形成されているものとする。
次に、図5に示すように、貫通孔104の内側面とベース基板101の表面、裏面に対して、互いが連続するように絶縁膜103を形成する。絶縁膜103は、CVD法により形成することができる。このとき、絶縁膜103の厚みは、0.5〜2.0μmとすることができる。また、本実施形態では、絶縁膜103をSiO2によって形成しているが、SiO2のみならず、SiO2膜上にSiN膜を形成することで絶縁膜103を形成しても良い。
次に、図6、図7に示すように、貫通孔104の一方の開口端の周辺領域に電極配線105(電極膜)を形成する。電極配線105は、絶縁膜103上に形成されている。電極配線105としては、Au/Ni/Crや、Au/Pt/Tiの構成を採用することができる。この電極配線105は、スパッタ法により、露光パターニングにて、所望の箇所に形成する。
次に、図8に示すように、貫通孔104の一方の開口端を覆うように金属バンプ106を形成する。金属バンプ106は、貫通孔104の周辺領域に形成された段差状の電極配線105の下段領域に超音波接続によって形成されている。金属バンプ106の材料としては、AuあるいはCuを使用することができる。
このように、上述の電極膜形成工程において形成した段差状の電極配線105の下段領域に金属バンプ106を形成しているので、形成する際の位置決めが容易である。即ち、確実に貫通孔104を塞ぐことが可能になる。
次に図9〜図12に示すように、貫通孔104にシード膜108を形成し、さらに金属バンプ106の表面にバンプめっき112を形成する。また、貫通孔104内に貫通ビア109を形成する。
電解めっき法で貫通ビア109を形成する際には、電極配線105に電圧を印加することで、電気的に接続している金属バンプ106を給電層として貫通ビア109を形成することができる。さらに、同時にバンプめっき112を形成することが可能になる。
一方、無電解めっき法では、シード膜108を核として、貫通ビア109を形成することができる。
これにより、金属バンプ106の高さが低い場合であっても、バンプめっき112の厚みによって、バンプめっき112を含んだ金属バンプ106の実際の高さを確保することができる。即ち、金属バンプ106の小径化を達成しつつ、高さを確保できるので、電子部品の小型化と信頼性向上を両立できる。
また、図11に示すように、貫通ビア109の外側面の端面には、略中央部が凹む凹部が形成されていてもよい。かかる凹部が形成されていることによって、基板上に電子部品を実装する際に、はんだや接着剤等が凹部に入り込むことで、電子部品の実装強度を高めることが可能になる。なお、図11では凹部が形成されている形態を図示しているが、貫通ビア109の外側面の端面形状はこれに限られるものではなく、凹部が形成されていない平坦形状であってもよい。
図13を参照して、バンプめっき112、貫通ビア109を形成した後のリフトオフ工程について説明する。
バンプめっき112、貫通ビア109を形成し、拡散防止膜110、外部接続用電極111を形成した後は、図13に示すように、レジスト膜102Aおよび102Bを、有機溶剤を使用したリフトオフ技法によって剥離する。その後、不図示の工程により、金属バンプ106表面のバンプめっき112上に電子デバイス120を実装し、さらにリッド基板とベース基板101とを接合することにより、電子部品を製造することが可能になる。
上記実施形態では、ベース基板101としてシリコン基板を用いているが、ベース基板101が、ガラスやセラミックなどの絶縁性に優れた材料で形成される場合であってもよい。この場合は、ベース基板101自体が絶縁性を有するので、上述した絶縁膜形成工程を省略することが可能である。即ち、本発明における絶縁膜形成工程は、ベース基板101の材料によって、適宜選択することができる工程である。
Claims (7)
- ベース基板とリッド基板とを有するパッケージの前記ベース基板上に実装される電子素子に対して、前記ベース基板を貫通する貫通電極が電気的に接続されている電子部品の製造方法であって、
前記ベース基板に対して貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
少なくとも前記貫通孔の開口端の周辺領域において電極膜を形成する電極膜形成工程と、
前記開口端に金属バンプを形成するバンプ形成工程と、
前記貫通孔の内部に金属めっきを充填し、前記貫通電極を形成する貫通電極形成工程と、
前記金属バンプの表面において前記貫通孔とは反対側の表面に、金属めっきを形成するバンプめっき形成工程と、を有し、
前記貫通電極形成工程と前記バンプめっき形成工程とを同工程で行うことを特徴とする電子部品の製造方法。 - 前記バンプめっき工程では、前記金属バンプの周囲をレジスト膜で覆い、該レジスト膜と前記金属バンプによって形成される凹部に金属めっきを形成することを特徴とする請求項1に記載の電子部品の製造方法。
- 前記バンプめっき工程において、前記金属バンプの周囲を前記レジスト膜で覆う際に、前記レジスト膜の高さが、前記金属バンプの高さよりも高くなるように、前記レジスト膜を形成することを特徴とする請求項2に記載の電子部品の製造方法。
- 前記貫通孔形成工程の後であって、かつ前記電極膜形成工程の前に、前記貫通孔の内側面と、前記ベース基板上とに絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程が設けられており、前記電極膜形成工程では、少なくとも前記貫通孔の開口端の周辺領域において前記絶縁膜上に電極膜を形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
- 前記絶縁膜形成工程の後であって、かつ前記電極膜形成工程の後に、前記貫通孔の内側面に下地金属層を形成する下地金属形成工程を有しており、前記貫通電極形成工程では、前記下地金属層の表面に、無電解めっき法によって前記金属めっきを形成することを特徴とする請求項4に記載の電子部品の製造方法。
- 前記貫通電極形成工程と前記バンプめっき形成工程では、前記金属バンプに電圧を印加した状態で、電解めっき法によって、前記貫通孔の内部と前記金属バンプの表面のそれぞれに前記金属めっきを形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
- 前記電子素子とは、MEMS、半導体デバイス又は水晶振動子であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
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