JP4630110B2 - 電子部品の製造方法 - Google Patents
電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4630110B2 JP4630110B2 JP2005109048A JP2005109048A JP4630110B2 JP 4630110 B2 JP4630110 B2 JP 4630110B2 JP 2005109048 A JP2005109048 A JP 2005109048A JP 2005109048 A JP2005109048 A JP 2005109048A JP 4630110 B2 JP4630110 B2 JP 4630110B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist film
- electronic component
- recess
- base material
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
Description
まず、本発明の第1実施形態について図面を参照して説明する。参照する図1は、本発明の第1実施形態に係る電子部品の断面図である。なお、第1実施形態に係る電子部品は、上述した本発明の第1の電子部品の一例である。
次に、本発明の第2実施形態について図面を参照して説明する。参照する図7は、本発明の第2実施形態に係る電子部品の断面図である。なお、第2実施形態に係る電子部品は、上述した本発明の第2の電子部品の一例である。また、図7において、図1と同一の構成要素には同一の符号を使用し、その説明は省略する。
10 回路基板
10a,12a 凹部
11 電子素子
12 蓋体
13 絶縁基材
13a 第1主面
13b 第2主面
14 スルーホール
15 第1導電膜
15a 電子素子接続電極(導体パターン)
15b 接続導電膜
15c 外部接続電極
16 第2導電膜
17 金属部材
18 導電性接着剤
19 接着層
20 基材
20a 表面
20b 溝部
20c 溝部で囲まれた領域
21 第1レジスト膜
22 第2レジスト膜
23 第3レジスト膜
101a,121a,201b 隅部
Claims (4)
- 基材上に、第1レジスト膜とこの第1レジスト膜を囲う第2レジスト膜とからなるレジストパターンを形成し、前記第1レジスト膜と前記第2レジスト膜との間に露出した前記基材の表面をブラスト処理して溝部を形成し、前記第1及び第2レジスト膜を剥離し、前記基材における前記第2レジスト膜が形成されていた領域を覆う第3レジスト膜を形成し、前記基材における前記溝部で囲まれた領域と前記溝部の隅部とをブラスト処理することにより凹部の隅部は曲率半径が20μm〜100μmで前記第1および第2レジスト膜が形成された前記基材の面から200〜300μmの深さを形成し、前記第3レジスト膜を剥離して、前記凹部が設けられた前記基材を含む蓋体を形成し、前記蓋体における前記凹部の開口を囲う領域と電子素子が搭載された回路基板とを、前記電子素子を前記蓋体で覆うようにして接着する電子部品の製造方法。
- 絶縁基材上に、第1レジスト膜とこの第1レジスト膜を囲う第2レジスト膜とからなるレジストパターンを形成し、前記第1レジスト膜と前記第2レジスト膜との間に露出した前記絶縁基材の表面をブラスト処理して溝部を形成し、前記第1及び第2レジスト膜を剥離し、前記絶縁基材における前記第2レジスト膜が形成されていた領域を覆う第3レジスト膜を形成し、前記絶縁基材における前記溝部で囲まれた領域と前記溝部の隅部とをブラスト処理することにより凹部の隅部は曲率半径が20μm〜100μmで前記第1および第2レジスト膜が形成された前記基材の面から200〜300μmの深さを形成し、前記第3レジスト膜を剥離し、前記凹部内に導体パターンを設けて、前記凹部が設けられた前記絶縁基材と前記導体パターンとを含む回路基板を形成し、前記導体パターンに電子素子を搭載し、前記回路基板における前記凹部の開口を囲う領域と蓋体とを、前記電子素子を前記蓋体で覆うようにして接着する電子部品の製造方法。
- 前記第3レジスト膜は、前記溝部の開口の一部を覆っている請求項1又は2に記載の電子部品の製造方法。
- 前記第3レジスト膜は、前記溝部の開口幅の5〜20%を覆っている請求項3に記載の電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005109048A JP4630110B2 (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005109048A JP4630110B2 (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006295246A JP2006295246A (ja) | 2006-10-26 |
JP4630110B2 true JP4630110B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=37415379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005109048A Expired - Fee Related JP4630110B2 (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4630110B2 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4775772B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2011-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料および圧電素子 |
US8129888B2 (en) | 2008-08-05 | 2012-03-06 | Daishinku Corporation | Sealing member of piezoelectric resonator device and manufacturing method therefor |
JP5369570B2 (ja) * | 2008-09-17 | 2013-12-18 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの封止部材の製造方法 |
JP5369887B2 (ja) * | 2008-10-24 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品用パッケージ、圧電デバイスおよびその製造方法 |
JP2010177375A (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Citizen Electronics Co Ltd | 発光装置及び発光装置の製造方法 |
JP2010186824A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Epson Toyocom Corp | 基板の加工方法、部品の製造方法、圧力センサ用ダイヤフラム板及び圧力センサの製造方法、並びに圧力センサ |
JPWO2010097905A1 (ja) * | 2009-02-25 | 2012-08-30 | セイコーインスツル株式会社 | パッケージの製造方法及び圧電振動子、発振器、電子機器、並びに電波時計 |
JP5500904B2 (ja) * | 2009-08-11 | 2014-05-21 | シチズン電子株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP5500927B2 (ja) * | 2009-09-29 | 2014-05-21 | シチズン電子株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP5350970B2 (ja) * | 2009-10-09 | 2013-11-27 | シチズン電子株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP5183718B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2013-04-17 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
JP5465002B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-04-09 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 蓋部材ウエハの製造方法及び蓋部材の製造方法 |
DE102010025965A1 (de) * | 2010-07-02 | 2012-01-05 | Schott Ag | Verfahren zur spannungsarmen Herstellung von gelochten Werkstücken |
WO2012017888A1 (ja) * | 2010-08-04 | 2012-02-09 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法および電子部品 |
JP5471987B2 (ja) * | 2010-09-07 | 2014-04-16 | 株式会社大真空 | 電子部品パッケージ用封止部材、電子部品パッケージ、及び電子部品パッケージ用封止部材の製造方法 |
JP2012069977A (ja) * | 2011-11-08 | 2012-04-05 | Citizen Electronics Co Ltd | 発光装置及び発光装置の製造方法 |
JP5845929B2 (ja) * | 2012-01-27 | 2016-01-20 | セイコーエプソン株式会社 | ベース基板、電子デバイス、ベース基板の製造方法、及び電子デバイスの製造方法 |
WO2013172441A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
WO2013172442A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
JP6294020B2 (ja) | 2013-07-16 | 2018-03-14 | セイコーインスツル株式会社 | 蓋体部、この蓋体部を用いた電子デバイス用パッケージ及び電子デバイス |
JP2015095836A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | セイコーインスツル株式会社 | 電子部品の製造方法および電子部品 |
JP6282900B2 (ja) * | 2014-03-11 | 2018-02-21 | セイコーインスツル株式会社 | 光センサ |
KR102040593B1 (ko) * | 2018-02-14 | 2019-11-06 | 주식회사 오킨스전자 | 접합 특성이 향상된 필터 칩 패키지와 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 제조 방법 |
JP7247694B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2023-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、発振器、振動モジュール、電子機器および移動体 |
WO2023042461A1 (ja) * | 2021-09-14 | 2023-03-23 | ソニーグループ株式会社 | 半導体発光デバイス |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61124094A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | シャープ株式会社 | 薄膜elパネルの保護構造 |
JPS62214645A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置 |
JPH07212159A (ja) * | 1994-01-11 | 1995-08-11 | Citizen Watch Co Ltd | パッケージの製造方法 |
JP2001177362A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動子の製造方法 |
JP2003060472A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子 |
JP2003209198A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-07-25 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 電子部品パッケージ |
JP2003258588A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Fujimaru Kogyo Kk | 小型電子部品 |
JP2003347449A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-05 | Kyocera Corp | 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置 |
JP2004079467A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | El素子用封止板、及び該封止板多面取り用マザーガラス基板 |
JP2004152663A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Seiko Epson Corp | 表示パネル及びその表示パネルを備えた電子機器並びに表示パネルの製造方法 |
JP2004179555A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Kyocera Corp | 封止用セラミックス蓋体及びその製造方法 |
JP2004259804A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Kyocera Corp | 電子部品収納用容器 |
JP2004265837A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Seiko Epson Corp | 表示パネル及びその表示パネルを備えた電子機器並びに表示パネル及びその表示パネルを備えた電子機器の製造方法 |
-
2005
- 2005-04-05 JP JP2005109048A patent/JP4630110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61124094A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | シャープ株式会社 | 薄膜elパネルの保護構造 |
JPS62214645A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置 |
JPH07212159A (ja) * | 1994-01-11 | 1995-08-11 | Citizen Watch Co Ltd | パッケージの製造方法 |
JP2001177362A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動子の製造方法 |
JP2003060472A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子 |
JP2003209198A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-07-25 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 電子部品パッケージ |
JP2003258588A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Fujimaru Kogyo Kk | 小型電子部品 |
JP2003347449A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-05 | Kyocera Corp | 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置 |
JP2004079467A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | El素子用封止板、及び該封止板多面取り用マザーガラス基板 |
JP2004152663A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Seiko Epson Corp | 表示パネル及びその表示パネルを備えた電子機器並びに表示パネルの製造方法 |
JP2004179555A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Kyocera Corp | 封止用セラミックス蓋体及びその製造方法 |
JP2004259804A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Kyocera Corp | 電子部品収納用容器 |
JP2004265837A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Seiko Epson Corp | 表示パネル及びその表示パネルを備えた電子機器並びに表示パネル及びその表示パネルを備えた電子機器の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006295246A (ja) | 2006-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4630110B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
US7427717B2 (en) | Flexible printed wiring board and manufacturing method thereof | |
KR100426883B1 (ko) | 반도체장치,필름캐리어테이프및이들의제조방법 | |
CN102377401B (zh) | 电子器件、电子设备及电子器件的制造方法 | |
JPH06283571A (ja) | 集積回路と基板との相互接続構造及びその製造方法 | |
US8125062B2 (en) | Lead frame, lead frame fabrication, and semiconductor device | |
US11764138B2 (en) | Glass core device and method of producing the same | |
KR20050096851A (ko) | 회로 장치 및 그 제조 방법 | |
TWI614207B (zh) | 電子裝置及電子裝置的製造方法 | |
JPWO2006025139A1 (ja) | 回路基板とその製造方法及びこれを用いた電子部品 | |
JP2003258007A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
CN101436555A (zh) | 半导体封装体的制造方法 | |
US6524889B2 (en) | Method of transcribing a wiring pattern from an original substrate to a substrate with closely matched thermal expansion coefficients between both substrates for dimensional control of the transcribed pattern | |
CN103974522A (zh) | 布线基板及其制造方法 | |
KR102228131B1 (ko) | 전자 디바이스 및 전자 디바이스의 제조 방법 | |
JP2001144123A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP5028291B2 (ja) | 素子搭載用基板、素子搭載用基板の製造方法、半導体モジュールおよび半導体モジュールの製造方法 | |
KR20140020767A (ko) | 칩형 전자 부품 및 접속 구조체 | |
JP2003059971A (ja) | 配線基板及びその製造方法並びに半導体装置 | |
KR20010077982A (ko) | 실장 기판, 실장 기판의 제조 방법 및 전자 회로 소자의실장 방법 | |
JP2002151801A (ja) | 回路基板構造およびその製造方法 | |
JP5225825B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージの製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP2006303338A (ja) | 多層回路基板とその製造方法 | |
JPS5990938A (ja) | 半導体装置用プリント回路基板 | |
JP3072361B2 (ja) | 超小型薄膜回路保護用電子部品の製造法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100312 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100917 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20101025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101109 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101112 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |