JP5369570B2 - 圧電振動デバイスの封止部材の製造方法 - Google Patents
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Description
12 内部空間
2 水晶振動片(圧電振動片)
23 励振電極
3 第1封止部材
31 第1封止部材の一主面
32 第1封止部材の接合面
33 電極パッド(電極パターンの一部)
34 外部電極端子(電極パターンの一部)
35 第1封止部材の基材内部
36 ビア(貫通孔)
361 ビアの内側面
362 ビアの両端部
37 電極パターン(電極パターンの一部)
38 第1封止部材の他主面
4 第2封止部材
5 導通部材
51 導通部材の両端面
52 Sn
53 Au
54 Au膜
6 水晶Z板のウエハ
61,62 水晶Z板のウエハの両主面
7 接合材
81 Au保護膜層
82 ポジレジスト層
Claims (2)
- 圧電振動を行う圧電振動片の励振電極を気密封止する圧電振動デバイスの封止部材の製造方法において、
当該封止部材の基材の両主面に形成される電極パターンを導通状態とするための貫通孔を形成する形成工程と、
前記貫通孔に導通部材を充填するための充填工程と、を有し、
前記形成工程は、前記基材の一主面からエッチング法により基材をエッチングして貫通孔の一主面側部分にあたる凹部を形成する第1の形成工程と、第1の形成工程後に前記基材の他主面からエッチング法により基材をエッチングして貫通孔の他主面側部分を形成して貫通孔を形成する第2の形成工程とからなり、
前記第1の形成工程により形成した前記凹部に前記充填工程により前記導通部材を充填し、その後、前記導通部材を加熱溶融させて前記導通部材を前記凹部に形成し、前記凹部に前記導通部材を形成した後に前記第2の形成工程により前記貫通孔の前記他主面側部分を形成して前記貫通孔を形成し、前記貫通孔内の前記導通部材を前記基材の両主面から露出させ、
前記充填工程では、前記導通部材の加熱溶融により前記導通部材を前記貫通孔内部方向に引っ張り、前記導通部材の少なくとも一つの端面を当該封止部材の主面に対して凹形状とすることを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材の製造方法。 - 請求項1に記載の圧電振動デバイスの封止部材の製造方法において、
前記充填工程は、前記第1の形成工程により形成した前記凹部に金属膜を形成する第1の充填工程と、前記第1の充填工程後に前記凹部に導通部材を充填する第2の充填工程と、からなることを特徴とする圧電振動デバイスの封止部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008238168A JP5369570B2 (ja) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | 圧電振動デバイスの封止部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008238168A JP5369570B2 (ja) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | 圧電振動デバイスの封止部材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010074396A JP2010074396A (ja) | 2010-04-02 |
JP5369570B2 true JP5369570B2 (ja) | 2013-12-18 |
Family
ID=42205796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008238168A Expired - Fee Related JP5369570B2 (ja) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | 圧電振動デバイスの封止部材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5369570B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012029166A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Seiko Instruments Inc | パッケージ、パッケージの製造方法、圧電振動子、発振器 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6353949A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-08 | Hitachi Ltd | 金属配線の形成方法 |
US4924295A (en) * | 1986-11-28 | 1990-05-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Integrated semi-conductor circuit comprising at least two metallization levels composed of aluminum or aluminum compounds and a method for the manufacture of same |
JPH04127524A (ja) * | 1990-09-19 | 1992-04-28 | Fujitsu Ltd | コンタクトホール金属充填方法 |
DE4200809C2 (de) * | 1991-03-20 | 1996-12-12 | Samsung Electronics Co Ltd | Verfahren zur Bildung einer metallischen Verdrahtungsschicht in einem Halbleiterbauelement |
JP3332456B2 (ja) * | 1992-03-24 | 2002-10-07 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP3104409B2 (ja) * | 1992-06-25 | 2000-10-30 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPH07263548A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH0922941A (ja) * | 1995-07-07 | 1997-01-21 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP4071615B2 (ja) * | 2002-12-20 | 2008-04-02 | 株式会社フジクラ | 貫通電極の形成方法及び貫通電極付き基板 |
JP2006108244A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2006165112A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Sharp Corp | 貫通電極形成方法およびそれを用いる半導体装置の製造方法、ならびに該方法によって得られる半導体装置 |
JP4630110B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2011-02-09 | パナソニック株式会社 | 電子部品の製造方法 |
JP2007267101A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイスとその製造方法 |
JP2007305715A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Fujikura Ltd | 配線基板の製造方法 |
JP2009194789A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
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2008
- 2008-09-17 JP JP2008238168A patent/JP5369570B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010074396A (ja) | 2010-04-02 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130729 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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