JPWO2009148008A1 - 圧電マイクロブロア - Google Patents
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Abstract
Description
図1〜図3は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第1実施形態を示し、電子機器の送風用ブロアとして用いる例を示す。この圧電マイクロブロアAは、大略、内ケース1と、内ケース1の外側を所定の隙間αをもって非接触で覆う外ケース5とで構成されており、内ケース1と外ケース5との間が複数の連結部4によって連結されている。本実施形態では、図2に示すように外ケース5は側壁部50と天壁部52とを有し、その中に下方が開口した円筒形の空洞部51が形成されている。この空洞部51の中に円板形の内ケース1が所定の隙間αをあけて収容されている。連結部4は内ケース1の外周部と外ケース5の側壁部50との間に設けられている。内ケース1は下方が開口した断面コの字形に形成され、内ケース1の開口を閉じるように振動板2のダイヤフラム21が固定されて、内ケース1と振動板2との間でブロア室3が形成されている。本実施形態の振動板2は、圧電セラミックよりなる圧電素子20を金属薄板よりなるダイヤフラム21の中央部に貼り付けたユニモルフ構造であり、圧電素子20に所定周波数の電圧を印加することにより、振動板2全体がベンディングモードで共振駆動される。
図4は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第2実施形態を示す。本実施形態の圧電マイクロブロアBのうち、第1実施形態の圧電マイクロブロアAと同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
ブロア室(内径、厚み)=(φ14mm、t0.15mm)
圧電素子(直径、厚み)=(φ11mm、t0.15mm)
ダイヤフラム(駆動領域直径、厚み、材質)=(φ17mm、t0.05mm、42Ni)
内ケース天板(駆動領域直径、厚み、材質)=(φ17mm、t0.1mm、SUS430)
第1開口部(ポンプ室天板)=(φ0.6mm)
連結部(長さ、幅、厚み、材質) =(0.5mm、1mm、0.1mm、SUS430)
外ケース天板(直径、厚み、材質)=(φ18mm、0.3mm、PBT)
内ケースの外側と外ケースの側壁部との隙間=α(0.5mm)
中央空間(直径、厚み)=(φ18mm、0.5mm)
図13,図14は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第3実施形態を示す。本実施形態の圧電マイクロブロアCのうち、第1,第2実施形態の圧電マイクロブロアA,Bと同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
ブロア室(内径、厚み)=(φ5mm、t0.15mm)
圧電素子(径、厚み)=(φ11mm、t0.1mm)
ダイヤフラム(駆動領域直径、厚み、材質)=(φ11mm、t0.1mm、42Ni)
ブロア室天板(駆動領域直径、厚み、材質)=(φ11mm、t0.05mm、SUS430)
第1開口部(ポンプ室天板)=(φ0.6mm)
連結部(長さ、幅、厚み、材質) =(0.5mm、1mm、0.05mm、SUS430)
距離R=4mm
外ケースの天板(直径、厚み、材質)=(φ12mm、0.3mm、PBT)
内ケースの外側と外ケースの側壁部との隙間=α(0.5mm)
中央空間(直径、厚み)=(φ12mm、0.4mm)
1 内ケース
10 天板(壁部)
11 第1開口部
12 凸部(周壁部)
13 第1枠体
14 第2枠体
2 振動板
20 圧電素子
21 ダイヤフラム
3 ブロア室
4 連結部
5 外ケース
51 空洞部
52 天板部(壁部)
53 第2開口部
54 凸部(周壁部)
6 中央空間
7 流入通路
Claims (8)
- 圧電素子を有する振動板と、
前記振動板の周囲を固定し、振動板との間でブロア室を形成する内ケースと、
前記振動板の中央部と対向する内ケースの壁部に設けられた第1開口部と、
前記内ケースの外側を所定の隙間をもって非接触で覆う外ケースと、
前記第1開口部と対向する外ケースの壁部に設けられた第2開口部と、
前記内ケースと外ケースとの間を連結し、前記内ケースから外ケースへの振動伝播を実質的に抑制する複数の連結部と、
前記振動板と対向する内ケースの壁部と、当該内ケースの壁部と対向する外ケースの壁部との間に形成され、前記隙間を介して外部から流入した流体が導かれ、前記第1開口部及び第2開口部と通じる中央空間と、を備え、
前記圧電素子に所定周波数の電圧を印加して振動板をベンディングモードで駆動させることにより、圧縮性流体を前記隙間を介して中央空間に吸い込み、第2開口部から排出することを特徴とする圧電マイクロブロア。 - 前記内ケースの壁部が、前記振動板の駆動に伴って振動するよう形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記連結部は、前記振動板の振動方向と同方向に変位自在なばね部材で形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記振動板と対向する内ケースの壁部は弾性金属板で形成され、
前記連結部は、前記弾性金属板の外周部に周方向に間隔をあけて形成された弾性片であり、
当該弾性片の外側端部が外ケースに固定されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。 - 前記連結部の一端部は、前記内ケースの壁部の振動の節に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記圧電素子の直径は前記ブロア室の内径より大きいことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。
- 前記中央空間を取り囲む周壁部が、前記内ケースの壁部又は外ケースの壁部から突設され、
前記周壁部に、内ケースと外ケースとの隙間から中央空間へ通じる流入通路が形成され、
当該周壁部の頂面と、この頂面と対向する内ケースの壁部又は外ケースの壁部との間に微少な隙間が形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。 - 前記内ケースが金属材料で形成され、外ケースは樹脂材料で形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の圧電マイクロブロア。
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TWI503654B (zh) * | 2009-12-29 | 2015-10-11 | Foxconn Tech Co Ltd | 電子裝置及其微型液體冷卻裝置 |
EP2557312B1 (en) * | 2010-05-21 | 2019-11-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Fluid pump |
WO2012140932A1 (ja) * | 2011-04-11 | 2012-10-18 | 株式会社村田製作所 | アクティブバルブ、流体制御装置 |
JP5776767B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2015-09-09 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置およびポンプ接続方法 |
DE102011078853B4 (de) * | 2011-07-08 | 2014-01-23 | Osram Gmbh | Erzeugung eines Luftstroms mittels Schwingungen |
JP5900155B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2016-04-06 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
JP5528404B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2014-06-25 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
JP5682513B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2015-03-11 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
DE102012101859A1 (de) | 2012-03-06 | 2013-09-12 | Continental Automotive Gmbh | Drucksensor für ein Aufprallsensorsystem |
DE102012101861A1 (de) | 2012-03-06 | 2013-09-12 | Continental Automotive Gmbh | Mikropumpe mit gasdurchlässigem, aber flüssigkeitsundurchlässigen Gewebe im Ansaugbereich |
JP5761455B2 (ja) * | 2012-05-09 | 2015-08-12 | 株式会社村田製作所 | 冷却装置、加熱冷却装置 |
TWI475180B (zh) * | 2012-05-31 | 2015-03-01 | Ind Tech Res Inst | 合成噴流裝置 |
JP5692465B2 (ja) * | 2012-06-11 | 2015-04-01 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
JP6089584B2 (ja) * | 2012-10-29 | 2017-03-08 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
CN103016296B (zh) * | 2012-12-13 | 2015-08-26 | 江苏大学 | 基于合成射流的压电微泵 |
JP5987919B2 (ja) * | 2013-01-18 | 2016-09-07 | 株式会社村田製作所 | 揚液装置及び揚液方法 |
CN105026050A (zh) | 2013-03-14 | 2015-11-04 | 通用电气公司 | 低共振声音合成喷射器结构 |
JP5962848B2 (ja) | 2013-03-22 | 2016-08-03 | 株式会社村田製作所 | 圧電ブロア |
CN104185356B (zh) * | 2013-05-24 | 2017-09-29 | 华为技术有限公司 | 光模块散热系统 |
KR101435899B1 (ko) * | 2013-06-10 | 2014-09-04 | 김정훈 | 단일 액추에이터로 동작하는 냉각 분사 장치 |
JP2015004645A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-08 | 株式会社村田製作所 | 酸素濃度測定装置 |
DE112014004368T5 (de) * | 2013-09-24 | 2016-06-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Gassteuerungsvorrichung |
JP6287089B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2018-03-07 | 村田機械株式会社 | 基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置 |
GB201322103D0 (en) * | 2013-12-13 | 2014-01-29 | The Technology Partnership Plc | Fluid pump |
EP2890228A1 (en) * | 2013-12-24 | 2015-07-01 | Samsung Electronics Co., Ltd | Radiation apparatus |
EP3488880B1 (en) * | 2014-01-30 | 2020-07-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Suction device |
CN108050051B (zh) * | 2014-02-21 | 2019-12-31 | 株式会社村田制作所 | 流体控制装置以及泵 |
WO2015125608A1 (ja) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
EP3168287A4 (en) | 2014-07-08 | 2018-01-24 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | Nucleic acid amplification device, nucleic acid amplification method, and chip for nucleic acid amplification |
JP5907322B1 (ja) * | 2014-07-11 | 2016-04-26 | 株式会社村田製作所 | 吸引装置 |
JP6052475B2 (ja) * | 2014-07-16 | 2016-12-27 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
TWI553230B (zh) * | 2014-09-15 | 2016-10-11 | 研能科技股份有限公司 | 微型氣壓動力裝置 |
CN107076137B (zh) * | 2014-10-23 | 2020-06-30 | 株式会社村田制作所 | 阀与流体控制装置 |
JP6380075B2 (ja) * | 2014-12-15 | 2018-08-29 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
US10744295B2 (en) | 2015-01-13 | 2020-08-18 | ResMed Pty Ltd | Respiratory therapy apparatus |
GB2554254B (en) * | 2015-04-27 | 2021-05-19 | Murata Manufacturing Co | Pump |
JP6572619B2 (ja) * | 2015-05-11 | 2019-09-11 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
WO2016184913A1 (en) * | 2015-05-18 | 2016-11-24 | Smith & Nephew Plc | Negative pressure wound therapy apparatus and methods |
JP2017002942A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | 株式会社ジェイテクト | 転がり軸受装置 |
CN107614875B (zh) * | 2015-06-11 | 2019-08-20 | 株式会社村田制作所 | 泵 |
TWI557321B (zh) * | 2015-06-25 | 2016-11-11 | 科際精密股份有限公司 | 壓電泵及其操作方法 |
CN108136084B (zh) | 2015-08-13 | 2022-09-13 | 史密夫和内修有限公司 | 用于应用减压疗法的系统和方法 |
WO2017038565A1 (ja) | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
DE112016004072B4 (de) * | 2015-10-05 | 2023-12-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Fluidsteuervorrichtung, dekompressionsvorrichtung und kompressionsvorrichtung |
WO2017059660A1 (zh) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | 广东奥迪威传感科技股份有限公司 | 一种压电微气泵结构 |
US10451051B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-10-22 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
TWI690656B (zh) * | 2016-01-29 | 2020-04-11 | 研能科技股份有限公司 | 壓電致動器 |
US10378529B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-13 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10388849B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
EP3203076B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-12 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature fluid control device |
EP3203077B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-06-16 | Microjet Technology Co., Ltd | Piezoelectric actuator |
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US10385838B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
EP3203078B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-26 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature pneumatic device |
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US10487820B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-11-26 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10584695B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-03-10 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10529911B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-01-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
CN105822527B (zh) * | 2016-03-24 | 2017-12-05 | 北京理工大学 | 利用压电陶瓷驱动的多功能流体分配系统及其驱动方法 |
JP6768339B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2020-10-14 | シャープ株式会社 | 送風装置 |
JP2018012154A (ja) | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 株式会社マキタ | 電動作業機 |
CN109477478B (zh) * | 2016-07-29 | 2020-08-07 | 株式会社村田制作所 | 阀、气体控制装置 |
TWI606936B (zh) | 2016-09-05 | 2017-12-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI613367B (zh) | 2016-09-05 | 2018-02-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI625468B (zh) | 2016-09-05 | 2018-06-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI602995B (zh) | 2016-09-05 | 2017-10-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI683959B (zh) * | 2016-09-05 | 2020-02-01 | 研能科技股份有限公司 | 壓電致動器及其所適用之微型流體控制裝置 |
US10634130B2 (en) * | 2016-09-07 | 2020-04-28 | Sung Won Moon | Compact voice coil driven high flow fluid pumps and methods |
US10683861B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-06-16 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10655620B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-05-19 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10746169B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-08-18 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
TWI622701B (zh) * | 2017-01-20 | 2018-05-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體輸送裝置 |
WO2018150263A1 (en) | 2017-02-15 | 2018-08-23 | Smith & Nephew Pte. Limited | Negative pressure wound therapy apparatuses and methods for using the same |
TWI667636B (zh) * | 2017-08-21 | 2019-08-01 | 研能科技股份有限公司 | 具致動傳感模組之裝置 |
TWI650545B (zh) * | 2017-08-22 | 2019-02-11 | 研能科技股份有限公司 | 致動傳感模組 |
CN109424522B (zh) * | 2017-08-31 | 2021-02-09 | 研能科技股份有限公司 | 气体输送装置 |
CN109424520B (zh) * | 2017-08-31 | 2021-03-02 | 研能科技股份有限公司 | 气体输送装置 |
CN109424521B (zh) * | 2017-08-31 | 2021-02-23 | 研能科技股份有限公司 | 气体输送装置 |
TWI663332B (zh) * | 2017-08-31 | 2019-06-21 | 研能科技股份有限公司 | 氣體輸送裝置 |
TW201912248A (zh) | 2017-08-31 | 2019-04-01 | 研能科技股份有限公司 | 氣體輸送裝置 |
TWI698584B (zh) * | 2017-08-31 | 2020-07-11 | 研能科技股份有限公司 | 氣體輸送裝置 |
TWI683059B (zh) | 2017-08-31 | 2020-01-21 | 研能科技股份有限公司 | 氣體輸送裝置 |
CN109424528B (zh) * | 2017-08-31 | 2021-02-23 | 研能科技股份有限公司 | 气体输送装置 |
WO2019063467A1 (en) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | T.J.Smith And Nephew,Limited | APPARATUS FOR TREATING NEGATIVE PRESSURE WAVES WITH REMOVABLE PANELS |
CN109723626B (zh) * | 2017-10-27 | 2021-04-06 | 研能科技股份有限公司 | 气体输送装置 |
CN109723627B (zh) * | 2017-10-27 | 2021-02-23 | 研能科技股份有限公司 | 气体输送装置 |
TWI650484B (zh) * | 2017-10-27 | 2019-02-11 | 研能科技股份有限公司 | 氣體輸送裝置 |
CN109899327B (zh) * | 2017-12-07 | 2021-09-21 | 昆山纬绩资通有限公司 | 气流产生装置 |
WO2019111922A1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-13 | 株式会社村田製作所 | ポンプ |
US10620106B2 (en) | 2017-12-15 | 2020-04-14 | Microjet Technology Co., Ltd. | Particulate matter measuring device |
CN111492142B (zh) * | 2017-12-22 | 2022-05-13 | 株式会社村田制作所 | 泵 |
WO2019124029A1 (ja) * | 2017-12-22 | 2019-06-27 | 株式会社村田製作所 | ポンプ |
GB201813282D0 (en) | 2018-08-15 | 2018-09-26 | Smith & Nephew | System for medical device activation and opertion |
TWI635291B (zh) * | 2017-12-29 | 2018-09-11 | 研能科技股份有限公司 | 微型丙酮檢測裝置 |
TWI661185B (zh) * | 2018-01-08 | 2019-06-01 | 研能科技股份有限公司 | 氣體檢測裝置 |
US10775289B2 (en) * | 2018-01-26 | 2020-09-15 | Microjet Technology Co., Ltd. | Gas detecting device |
WO2019159501A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
TWI660724B (zh) * | 2018-03-16 | 2019-06-01 | 研能科技股份有限公司 | 正壓呼吸裝置 |
GB201804347D0 (en) | 2018-03-19 | 2018-05-02 | Smith & Nephew Inc | Securing control of settings of negative pressure wound therapy apparatuses and methods for using the same |
TWI682156B (zh) * | 2018-03-30 | 2020-01-11 | 研能科技股份有限公司 | 致動傳感模組 |
US11559619B2 (en) | 2018-04-30 | 2023-01-24 | Smith & Nephew Asia Pacific Pte. Limited | Systems and methods for controlling dual mode negative pressure wound therapy apparatus |
GB201806988D0 (en) | 2018-04-30 | 2018-06-13 | Quintanar Felix Clarence | Power source charging for negative pressure wound therapy apparatus |
TWI681120B (zh) | 2018-05-21 | 2020-01-01 | 研能科技股份有限公司 | 微型輸送裝置 |
GB201808438D0 (en) | 2018-05-23 | 2018-07-11 | Smith & Nephew | Systems and methods for determining blockages in a negative pressure wound therapy system |
JP6892013B2 (ja) * | 2018-05-29 | 2021-06-18 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
DE102019117262A1 (de) | 2018-06-26 | 2020-01-02 | Mst Innovation Gmbh | Ventillose Mikropumpe mit verbesserter Dosiergenauigkeit |
JP2020020283A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | ダイヤフラム式圧縮機、冷却機、プロジェクター及び流体の圧縮方法 |
DE102018120782B3 (de) * | 2018-08-24 | 2019-08-22 | Bartels Mikrotechnik Gmbh | Mikrogebläse |
JP7218566B2 (ja) * | 2018-12-21 | 2023-02-07 | セイコーエプソン株式会社 | 変位拡大装置、ダイヤフラム式圧縮機、冷却ユニット、プロジェクター、記録装置及び三次元造形物製造装置 |
JP2020111434A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | ブロアを備えた光学メディアセンサ |
JP7337180B2 (ja) * | 2019-09-11 | 2023-09-01 | 京セラ株式会社 | 圧電ポンプおよびポンプユニット |
CN110594137A (zh) * | 2019-10-28 | 2019-12-20 | 南京航空航天大学 | 一种板式无阀压电泵及其工作方法 |
TWI747076B (zh) * | 2019-11-08 | 2021-11-21 | 研能科技股份有限公司 | 行動裝置散熱組件 |
CN113339244B (zh) * | 2020-02-18 | 2024-06-18 | 研能科技股份有限公司 | 薄型气体传输装置 |
TWI709208B (zh) | 2020-02-18 | 2020-11-01 | 研能科技股份有限公司 | 薄型氣體傳輸裝置 |
CN111779656B (zh) * | 2020-06-17 | 2022-05-10 | 长春大学 | 一种双摆式压电风机 |
WO2023019493A1 (zh) * | 2021-08-19 | 2023-02-23 | 浙江大学 | 一种压力无级可调的大流量压电泵 |
CN113464410B (zh) * | 2021-08-19 | 2022-03-22 | 浙江大学 | 一种压力无级可调的大流量压电泵 |
USD991984S1 (en) * | 2021-11-30 | 2023-07-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric pump |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4231287A (en) * | 1978-05-01 | 1980-11-04 | Physics International Company | Spring diaphragm |
JPS58140491A (ja) * | 1982-02-16 | 1983-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流れ発生装置 |
JPS59221485A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-13 | Sharp Corp | ポンプ |
JPS60108569A (ja) | 1983-11-14 | 1985-06-14 | Ebara Corp | 可動翼を備えた流体機械の翼角制御装置 |
JP2652980B2 (ja) | 1990-09-28 | 1997-09-10 | 日本電気株式会社 | ディスク装置 |
JP2002242898A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-28 | Sony Corp | 圧電ファン |
US6663351B2 (en) * | 2001-03-15 | 2003-12-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric actuated elastic membrane for a compressor and method for controlling the same |
DE10135569B4 (de) * | 2001-07-20 | 2007-10-25 | Bartels Mikrotechnik Gmbh | Mikromechanisches Bauteil |
DE10233235B4 (de) * | 2002-07-22 | 2004-07-22 | Siemens Ag | Pumpvorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Pumpvorrichtung |
GB0308197D0 (en) | 2003-04-09 | 2003-05-14 | The Technology Partnership Plc | Gas flow generator |
JP2004332705A (ja) | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Honda Motor Co Ltd | マイクロポンプ |
WO2005012729A1 (ja) * | 2003-08-04 | 2005-02-10 | Nec Corporation | ダイヤフラムポンプおよび該ダイヤフラムポンプを備えた冷却システム |
EP1515043B1 (en) * | 2003-09-12 | 2006-11-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Diaphram pump for cooling air |
KR100519970B1 (ko) * | 2003-10-07 | 2005-10-13 | 삼성전자주식회사 | 밸브리스 마이크로 공기공급장치 |
JP2005229038A (ja) | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Hitachi Ltd | 液冷システム及びそれを備えた電子機器 |
US7942650B2 (en) * | 2004-12-22 | 2011-05-17 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Liquid discharge control apparatus including a pump and accumulator with a movable member |
JP2006207436A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧電ダイヤフラムポンプ |
JP4887652B2 (ja) * | 2005-04-21 | 2012-02-29 | ソニー株式会社 | 噴流発生装置及び電子機器 |
EP1722412B1 (en) * | 2005-05-02 | 2012-08-29 | Sony Corporation | Jet generator and electronic device |
CN100365278C (zh) * | 2005-06-04 | 2008-01-30 | 胡军 | 一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵 |
CN2846796Y (zh) * | 2005-10-14 | 2006-12-13 | 北京工业大学 | 内置波纹渠道无阀压电泵 |
JP2007222727A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Sony Corp | 振動アクチュエータ及び噴流発生装置 |
EP1991786A2 (en) * | 2006-03-07 | 2008-11-19 | Influent Corp. | Fluidic energy transfer devices |
US20070263887A1 (en) * | 2006-05-15 | 2007-11-15 | Adaptivenergy, Llc | Vibration amplification system for piezoelectric actuators and devices using the same |
WO2008069266A1 (ja) * | 2006-12-09 | 2008-06-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電マイクロブロア |
CN101568728A (zh) * | 2007-10-16 | 2009-10-28 | 株式会社村田制作所 | 压电微型鼓风器 |
CN102046978B (zh) * | 2008-06-03 | 2013-11-20 | 株式会社村田制作所 | 压电微型鼓风机 |
TW201011954A (en) * | 2008-09-15 | 2010-03-16 | Micro Base Technology Corp | Conduction wire structure applied to the inner of micro piezoelectric pump |
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