JP5528404B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 50
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 17
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 14
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 23
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N beryllium copper Chemical compound [Be].[Cu] DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
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Description
図1は特許文献1の流体ポンプの3次共振モードでのポンピング動作を示す図である。図1に示す流体ポンプは、ポンプ本体10と、外周部がポンプ本体10に対して固定された振動板20と、この振動板20の中央部に貼り付けられた圧電素子23と、振動板20の略中央部と対向するポンプ本体10の部位に形成された第1開口部11と、振動板20の中央部と外周部との中間領域又はこの中間領域と対向するポンプ本体の部位に形成された第2開口部12とを備える。振動板20は金属製であり、圧電素子23は第1開口部11を覆い、且つ第2開口部12まで達しない大きさに形成されている。
図2は、同流体ポンプの主要部の構成を示す断面図である。流体ポンプ901は、基板39、可撓板35、スペーサ37、振動板31、圧電素子32を備え、それらを順に積層した構造を有している。なお、可撓板35は、本発明の板に対応する。
前記振動板の一方の主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、
前記振動板の他方の主面に対向して設けられ、孔が設けられている板と、を備え、
前記板は、屈曲振動可能な可動部を有し、
前記振動板および前記板の少なくとも一方は、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有する。
前記板は、前記基板に拘束された固定部をさらに有し、
前記可動部は、前記基板の前記開口部に面する。
前記板は、前記振動板の他方の主面に対向するよう前記枠板に接合されていることが好ましい。
以下、本発明の第1実施形態に係る圧電ポンプ101について説明する。
図3は、本発明の第1実施形態に係る圧電ポンプ101の外観斜視図である。図4は、図3に示す圧電ポンプ101の分解斜視図であり、図5は、図3に示す圧電ポンプ101のT−T線の断面図である。図6は、図4に示す振動板ユニット160を可撓板151側から見た同振動板ユニット160の外観斜視図であり、図7は、図4に示す枠板161及び可撓板151の接着部分を拡大した概略断面図である。
なお、可撓板151が、本発明の「板」に相当する。
なお、圧電素子142が、本発明の「駆動体」に相当する。
なお、図7では説明簡略化のため微粒子121の数が3個しか描かれていないが、実際は多数の微粒子121が存在する。
図4〜図9に示すように、可撓板151及び基板191の連結部162と対向する領域に孔部198を設けておくとよい。これにより、枠板161を可撓板151に接着固定する際に、接着剤122の余剰分が孔部198に流れ込む。
なお、上述したように、突出部143の高さは20μmであり、突出部143の直径は5.5mmである。
なお、円柱形の開口部192の直径は、5mmである。また、各圧電ポンプ101の突出部143の直径は、5mmを1としたときの径比率で表している。
以下、本発明の第2実施形態に係る圧電ポンプ201について説明する。
図12は、本発明の第2実施形態に係る圧電ポンプ201の振動板ユニット260の外観斜視図である。この実施形態の圧電ポンプ201が第1実施形態の圧電ポンプ101と相違する点は、突出部243の形状が円環状である点である。その他の構成については同じである。
以下、本発明の第3実施形態に係る圧電ポンプ301について説明する。
図13は、本発明の第3実施形態に係る圧電ポンプ301の振動板ユニット360の外観斜視図である。この実施形態の圧電ポンプ301が第1実施形態の圧電ポンプ101と相違する点は、半円状の突出部343A、Bを備える点である。その他の構成については同じである。この実施形態の圧電ポンプ301では、空気が突出部343A、Bの間の溝344を通過することが可能である。
以下、本発明の第4実施形態に係る圧電ポンプ401について説明する。
図14は、本発明の第4実施形態に係る圧電ポンプ401の断面図である。図15は、図14に示す可撓板451の平面図である。
なお、可撓板451の可動部154より外側の領域は、基板191に拘束された固定部455となっている。
以下、本発明の第5実施形態に係る圧電ポンプ501について説明する。
図16は、本発明の第5実施形態に係る圧電ポンプ501の断面図である。図17は、図16に示す突出部543の一部拡大断面図である。この実施形態の圧電ポンプ501が第1実施形態の圧電ポンプ101と相違する点は、突出部543の形状である。その他の構成については同じである。
前記実施形態ではユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータ140を設けたが、振動板141の両面に圧電素子142を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するように構成してもよい。
11…第1開口部
12…第2開口部
20…振動板
23…圧電素子
30…アクチュエータ
31…振動板
32…圧電素子
35…可撓板
35A…通気孔
37…スペーサ
39…基板
40…開口部
41…可動部
42…固定部
101、201、301、401、501…圧電ポンプ
110…蓋部
111…吐出孔
120…接着剤層
121…微粒子
122…接着剤
130…スペーサ
135…スペーサ
140…アクチュエータ
141…振動板
142…圧電素子
143…突出部
145…ポンプ室
151…可撓板
152…通気孔
153…外部端子
154…可動部
155…固定部
160…振動板ユニット
161…枠板
162…連結部
170…電極導通用板
171…枠部位
172…外部端子
173…内部端子
180…ポンプ筺体
191…基板
192…開口部
193…流路
195…カバー板
197…吸引孔
198…孔部
243…突出部
244…凹部
343A、B…突出部
344…溝
440…アクチュエータ
451…可撓板
455…固定部
540…アクチュエータ
543…突出部
546…中央部
547…端部
901…流体ポンプ
Claims (11)
- 振動板と、
前記振動板の一方の主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、
前記振動板の他方の主面に対向して設けられ、孔が設けられている板と、を備え、
前記板は、屈曲振動可能な可動部を有し、
前記振動板および前記板の少なくとも一方は、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有する、流体制御装置。 - 前記板に接合され、開口部が形成された基板をさらに備え、
前記板は、前記基板に拘束された固定部をさらに有し、
前記可動部は、前記基板の前記開口部に面する、請求項1に記載の流体制御装置。 - 前記突出部は、前記振動板の他方の主面に形成されており、前記板側へ突出する、請求項1または2に記載の流体制御装置。
- 前記突出部は、円柱状に形成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の流体制御装置。
- 前記突出部は、前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の流体制御装置。
- 前記振動板全体のうち前記突出部を除く領域は、エッチングにより前記振動板の前記突出部の領域の厚みより薄い厚みに形成されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の流体制御装置。
- 前記突出部の前記開口部側の面の面積は、前記開口部の開口面の面積以上である、請求項2から6のいずれか1項に記載の流体制御装置。
- 前記振動板と、前記振動板の周囲を囲む枠板と、前記振動板と前記枠板とを連結し、前記枠板に対して前記振動板を弾性支持する連結部と、を有する振動板ユニットを備え、
前記板は、前記振動板の他方の主面に対向するよう前記枠板に接合されている、請求項1から7のいずれか1項に記載の流体制御装置。 - 前記板は、複数の微粒子を含有した接着剤によって前記複数の微粒子を挟んで前記枠板に接着されている、請求項8に記載の流体制御装置。
- 前記板の前記連結部と対向する領域には孔部が形成された、請求項8又は9に記載の流体制御装置。
- 前記振動板および前記駆動体はアクチュエータを構成し、
前記アクチュエータは円板状である、請求項1から10のいずれか1項に記載の流体制御装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011194430A JP5528404B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 流体制御装置 |
CN201210326134.3A CN102979705B (zh) | 2011-09-06 | 2012-09-05 | 流体控制装置 |
US13/603,724 US9046093B2 (en) | 2011-09-06 | 2012-09-05 | Fluid control device |
EP12183361.0A EP2568177B2 (en) | 2011-09-06 | 2012-09-06 | Fluid control device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011194430A JP5528404B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 流体制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013057247A JP2013057247A (ja) | 2013-03-28 |
JP5528404B2 true JP5528404B2 (ja) | 2014-06-25 |
Family
ID=46826300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011194430A Active JP5528404B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 流体制御装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9046093B2 (ja) |
EP (1) | EP2568177B2 (ja) |
JP (1) | JP5528404B2 (ja) |
CN (1) | CN102979705B (ja) |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104246228B (zh) * | 2012-04-19 | 2017-08-29 | 株式会社村田制作所 | 阀、流体控制装置 |
BR112017021088B1 (pt) | 2015-04-27 | 2022-12-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Bomba |
TWI557321B (zh) * | 2015-06-25 | 2016-11-11 | 科際精密股份有限公司 | 壓電泵及其操作方法 |
US10067092B2 (en) | 2015-12-18 | 2018-09-04 | Mueller International, Llc | Noisemaker for pipe systems |
US10371136B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-06 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10487821B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-11-26 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10487820B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-11-26 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US9976673B2 (en) * | 2016-01-29 | 2018-05-22 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
EP3203081B1 (en) * | 2016-01-29 | 2021-06-16 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature fluid control device |
US10451051B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-10-22 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10615329B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-04-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10388850B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10584695B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-03-10 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10388849B2 (en) * | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10378529B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-13 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10529911B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-01-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10267774B2 (en) * | 2016-02-29 | 2019-04-23 | Mueller International, Llc | External noisemaker for pipe systems |
DE102016112553B4 (de) * | 2016-07-08 | 2020-07-02 | Koge Micro Tech Co., Ltd. | Piezoelektrische pumpe und betriebsverfahren derselben |
CN107795469B (zh) * | 2016-09-05 | 2020-10-02 | 研能科技股份有限公司 | 流体控制装置的制造方法 |
TWI625468B (zh) | 2016-09-05 | 2018-06-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
CN107795467B (zh) * | 2016-09-05 | 2020-03-31 | 研能科技股份有限公司 | 流体控制装置的制造方法 |
TWI661127B (zh) * | 2016-09-05 | 2019-06-01 | 研能科技股份有限公司 | 微型流體控制裝置 |
CN107795471B (zh) * | 2016-09-05 | 2019-04-05 | 研能科技股份有限公司 | 流体控制装置 |
CN107795466B (zh) * | 2016-09-05 | 2020-03-10 | 研能科技股份有限公司 | 流体控制装置的制造方法 |
TWI602995B (zh) | 2016-09-05 | 2017-10-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI612246B (zh) * | 2016-09-05 | 2018-01-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置之製造方法 |
TWI616351B (zh) * | 2016-09-05 | 2018-03-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置之製造方法 |
TWI616350B (zh) * | 2016-09-05 | 2018-03-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置之製造方法 |
CN107795468B (zh) * | 2016-09-05 | 2020-03-10 | 研能科技股份有限公司 | 流体控制装置的制造方法 |
TWI613367B (zh) | 2016-09-05 | 2018-02-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
TWI599868B (zh) | 2016-09-05 | 2017-09-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置之製造方法 |
TWI606936B (zh) | 2016-09-05 | 2017-12-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
US10683861B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-06-16 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10746169B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-08-18 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
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---|---|---|---|---|
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-
2011
- 2011-09-06 JP JP2011194430A patent/JP5528404B2/ja active Active
-
2012
- 2012-09-05 US US13/603,724 patent/US9046093B2/en active Active
- 2012-09-05 CN CN201210326134.3A patent/CN102979705B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-09-06 EP EP12183361.0A patent/EP2568177B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013057247A (ja) | 2013-03-28 |
CN102979705B (zh) | 2015-07-22 |
EP2568177B1 (en) | 2015-10-21 |
US9046093B2 (en) | 2015-06-02 |
CN102979705A (zh) | 2013-03-20 |
EP2568177B2 (en) | 2023-02-22 |
EP2568177A1 (en) | 2013-03-13 |
US20130058819A1 (en) | 2013-03-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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