JP2002242898A

JP2002242898A - 圧電ファン

Info

Publication number: JP2002242898A
Application number: JP2001036448A
Authority: JP
Inventors: Hiroto Kawaguchi; 裕人川口
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2001-02-14
Filing date: 2001-02-14
Publication date: 2002-08-28

Abstract

(57)【要約】【課題】音叉型振動子が支持されるファンケースへ伝
達される振動を減少させて、圧電ファンを用いた製品の
信頼性の向上を図る。【解決手段】圧電素子を含む発風振動子からなる第１
の振動子１１と、第１の振動子１１の固有振動数と等し
い固有振動数を有する第２の振動子１２と、第１の振動
子１１と第２の振動子１２との間に設けたスペーサ１３
とが音叉型に形成された圧電ファン１であって、圧電フ
ァン１は第１の振動子１１の固有振動数よりも低い固有
振動数を有する弾性体２８を介して固定されているもの
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電ファンに関
し、詳しくは音叉型振動子を用いた圧電ファンに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の圧電ファンは、例えば図１８に示
すように、弾性板からなる振動板１１１を挟むように２
枚の圧電板１１２、１１３が接着されている。また振動
板１１１の先端部には発風板１１４が接着されている。
上記振動板１１１、圧電板１１２、１１３、発風板１１
４からなる振動体１１０は固定板１１５によってファン
ケース１１６の固着部１１７に固着され、さらにファン
ケース１１６はファンカバー１１８によって上部が覆わ
れている。上記圧電ファン１０１は、上記振動板１１１
の後端側より流体（例えば空気）を吸入し、発風板１１
４方向に吸入した流体を排出する。

【０００３】上記圧電ファン１０１の発風原理を以下に
説明する。図１９に示すように、２枚の圧電板（圧電素
子）１１２、１１３は信号源１２１に接続されている。
そして、交流電圧が印加されたとき、例えば、一方の圧
電板１１３が縮み、他方の圧電板１１２が伸びるように
分極処理がなされている。このような伸縮歪みにより振
動板１１１に屈曲歪みが発生し、振動板１１１の先端部
にＺ方向の振動が発生する。振動板１１１の先端部に取
りつけられた発風板１１４の固有振動数と圧電板１１
２、１１３へ加わる信号周波数が一致すると、発風板１
１４は共振振動を起こし、発風板１１４の先端が大きく
振動し、団扇と同様の効果によって発風することにな
る。

【０００４】また、音叉型振動子を用いた圧電ファン
が、実公平６−４０７９号公報に開示されている。実公
平６−４０７９号公報の図１およびその関連記載によれ
ば、一対の板状圧電素子と、この板状圧電素子の間に両
端を同一方向にコの字状に曲げた金属薄板を挟持してな
る圧電バイモルフ振動子を具備し、金属薄板の両端の曲
げ部に弾性薄板を貼付け、さらに圧電バイモルフ振動子
の両端部に支持部に固定支持してなる圧電ファンが開示
されている。また、同公報の図２およびその関連記載に
よれば、金属薄板の曲げ方向両端部に爪部を上記金属薄
板と一体に形成されている圧電ファンが開示されてい
る。

【０００５】一般に、圧電ファンによって発生する風量
は、基本的には、発風部の振動と振動周波数そして排除
体積が影響する。振幅と周波数は、発風部の移動速度を
決定するパラメータであり、発風部の移動速度が大きい
ほど周囲流体速度も大きくなり、ベルヌイの定理より明
らかなように速度が大きくなると圧力が小さくなり、周
囲流体を引き込みやすくなる。一方、振幅と発風部面積
は、流体を動かす体積を決定するパラメータであり、体
積が大きいほど流体輸送量を増加することが可能にな
る。つまり、発生風量を増加するには、発風板の振動変
位を大きくし、かつ振動周波数を高くすることが有効と
なる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電フ
ァンは、片持ち支持体の振動により発風部の共振振動を
引き起こす構造であるので、支持体に圧電体の振動が伝
わり、支持体を介してファンケース自体の振動を引き起
こす。つまり、圧電ファン自体が振動することになり、
冷却対象物自体の振動までも誘発する。このような圧電
ファンの振動は、騒音の原因にもなり、また振動が他の
部品の信頼性を劣化させる原因にもなる。

【０００７】このように、圧電ファンの欠点である振動
を抑制する必要があるが、振動を抑制すると発風量も減
少することになり、相反することになる。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされた圧電ファンである。

【０００９】本発明の第１の圧電ファンは、圧電素子を
含む発風振動子からなる第１の振動子と、前記第１の振
動子の固有振動数と等しい固有振動数を有する第２の振
動子と、前記第１の振動子と前記第２の振動子との間に
設けたスペーサとが音叉型に形成された圧電ファンであ
って、前記圧電ファンは前記第１の振動子の固有振動数
よりも低い固有振動数を有する弾性体を介して固定され
ているものである。

【００１０】上記第１の圧電ファンでは、圧電ファンは
前記第１の振動子の固有振動数よりも低い固有振動数を
有する弾性体に固定されていることから、第１、第２の
振動子の振動を弾性体が吸収することにより、ファンの
発生風速がほぼ等しい条件下でのファンケースに発生す
る振動量は、従来の片持ち支持構造の圧電ファンよりも
１／１００程度まで減少されることが確認されている。

【００１１】本発明の第２の圧電ファンは、圧電素子を
含む発風振動子からなる第１の振動子と、前記第１の振
動子の固有振動数と等しい固有振動数を有する第２の振
動子と、前記第１の振動子と前記第２の振動子との間に
設けたスペーサとが音叉型に形成された圧電ファンであ
って、前記第１の振動子と前記第２の振動子とはそれぞ
れの最大振幅点をずらして配置されているものである。

【００１２】上記第２の圧電ファンでは、第１の振動子
と第２の振動子の各最大振幅点をずらして、第１の振動
子と第２の振動子とが配置していることから、第１の振
動子と第２の振動子との間隔を一つの発風板の最大振幅
のおよそ１／２程度狭めることが可能になり、圧電ファ
ンの小型化が可能となる。また、上記第１の圧電ファン
と同様に、第１、第２の振動子の振動を弾性体が吸収す
ることにより、ファンの発生風速がほぼ等しい条件下で
のファンケースに発生する振動量は、従来の片持ち支持
構造の圧電ファンよりも大幅に減少される。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の圧電ファンに係る第１の
実施の形態を、図１の概略構成斜視図によって説明す
る。

【００１４】図１に示すように、圧電ファン１には、圧
電素子を含む発風振動子からなる第１の振動子１１が備
えられている。この第１の振動子１１は、弾性板２１
と、この弾性板２１の一端側両面に設けた圧電板（圧電
素子）２２、２３と、弾性板２１の他端に設けた発風板
２４とからなる。

【００１５】上記圧電板２２、２３に用いる材料は、チ
タン酸ジルコン酸鉛系のＰＺＴなどが用いられている
が、できうるだけ、低電圧で駆動させるためには圧電率
ｄ₃₁の大きい材料を選択し、圧電板の厚みをでき得るだ
け薄くする等の考慮が必要となる。

【００１６】また第１の振動子１１の一端側（圧電板２
２、２３を設けた側）には第２の振動子１２がスペーサ
１３を介して音叉型に形成されている。すなわち、第
１、第２の振動子１１、１２とスペーサ１３とによっ
て、音叉型振動子１０が構成されている。

【００１７】上記第２の振動子１２は、弾性板２６と、
弾性板２６のスペーサ１３が固定されている側とは反対
方向に設けた発風部２７とからなり、上記第１の振動子
１１の固有振動数と等しい固有振動数を有するように形
成されている。上記弾性板２６は、例えば上記弾性板２
１と同様の材料で形成することができる。上記発風板２
７は、上記発風板２４と同様の材料で形成することがで
きる。さらに上記スペーサ１３は、例えば金属、セラミ
ックス、プラスチックス等の材料を用いることができ、
その厚みは、一例として、第１、第２の振動子１１、１
２の振幅量に所定のマージン（振動量のばらつきや組立
精度など）を加えた値としている。

【００１８】なお、図１に示しているように、上記第２
の振動子１２は、上記第１の振動子１１と同等の固有振
動数を有するようにするため、第１の振動子１１の弾性
板２１と同様のもので弾性板２６を形成し、その弾性板
２６のスペーサ１３の取り付け側に圧電板のダミー２
９、３０を設けてもよい。

【００１９】上記弾性板２１、２６の材質は、一般的な
ばね性を有する金属板などが適しており、例えばリン青
銅、ベリリウム銅、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等があり、
材料の違いによって振動特性が大きく異なり、縦弾性係
数、比重、減衰比等の材料特性を考慮して決定すること
が望ましい。

【００２０】上記発風板２４、２７の材質は、でき得る
だけ振動周波数を高くしたい場合には、特に比重の軽い
材料でかつ縦弾性係数の大きい材料が適する。つまり、
比剛性の高い材料が適し、カーボン繊維配合材料やチタ
ン等が適する。場合によっては、形状効果で断面２次モ
ーメントを大きくすることにより軽金属のアルミニウム
等も利用可能である。実際には振動子を構成する全ての
材料、形状の組み合わせによって振動特性が決定され
る。

【００２１】さらにファンケース（図示せず）に固定す
るための弾性体２８が上記弾性板２６の一端側（スペー
サ１３側）の両側部に形成されている。この弾性体２８
は、例えば、弾性板２６と一体の弾性板からなるＴ字型
の板ばねで形成されていて、例えば、音叉型振動子１０
の重心が弾性体２８、２８の支持点を結ぶ線上に一致す
るように配置される。すなわち、音叉型振動子１０は、
図１０によって後述するように傾くことなく例えば水平
に配置される。なお、弾性体２８は、上記説明したよう
に、弾性板２６と一体に形成されていてもよく、もしく
は、弾性板２６とは別体に構成された上記弾性板２１と
同様な弾性材料で形成されていてもよい。また、弾性体
２８は板ばねに限定されることはなく、ばね性を有する
ものであればよく、種々の形態のばねを用いることが可
能である。

【００２２】図２に示すように、上記図１によって説明
した圧電ファン１は、ファンケース５１に組み込まれ、
発風板２４、２７が自由に振動するようなスペースを確
保した状態で圧電ファン１の弾性体２８がファンケース
５１の固着部５２に固着されている。

【００２３】ここで、本発明の特徴である発風板２４、
２７の振動変位を大きくしかつ支持部への振動伝達を減
らす原理について以下に説明する。

【００２４】図３は音叉型振動子の概略図を示す。図３
に示すように、音叉型振動子（以下音叉という）７１を
矢印の方向に叩くと、音叉７１の両腕７２、７３が同一
周波数で振動することは周知の事実である。このよう
に、固有振動数の等しい腕は、腕の一方に振動が発生す
ると、もう一方の腕にも振動が発生する性質がある。こ
の音叉７１の場合、音叉７１の根元部分を支える必要が
あり、音叉７１の根元部分にも振動は伝達している。

【００２５】そこで図４に示すように、音叉７１の根元
部分に共鳴体７５を接続した構成とすると、音叉７１の
振動周波数で共鳴体７５が発音することも良く知られた
現象である。

【００２６】本発明の第１の圧電ファン１は、音叉のよ
うに、片側の振動子（第１の振動子１１）の振動のみで
他方の振動子（第２の振動子１２）を振動させることが
できることを利用している。

【００２７】図５に示すように、音叉型振動子１０は、
第１の振動子１１と第２の振動子１２とがスペーサ１３
を介して音叉のような形状に組み合わされている。第１
の振動子１１には圧電板２２、２３が取りつけられてい
て、もう一方の第２の振動子１２は、第１の振動子１１
と固有振動数が等しくなるように材料および形状が選択
されている。このように第１、第２の振動子１１、１２
を音叉型に構成すると圧電板２２、２３に所定の周波数
の電圧を印加することにより、もう一方の振動子（第２
の振動子１２）に逆相の振動が発生する。スペーサ１３
の厚みは、振動素子の振幅量に所定のマージン（振動量
のばらつきや組立精度など）を加えた値としている。

【００２８】次に、上記音叉型振動子１０の支持方法を
図６によって説明する。図６は、音叉型振動子１０とフ
ァンケース５１を理論ばね４１で結合した概念図であ
る。図６に示すように、理論ばね４１の共有周波数≪音
叉型振動子の振動周波数とすることで、音叉型振動子１
０の振動伝達量を減らすことができる。このような支持
方法は、音叉型振動子１０に対して有効である。

【００２９】つまり、図７に示すように、振動子８１を
弾性体（例えば、ばね）４２で支持すると、振動子８１
の先端部（発風板８２側）に大きな振動を得ることがで
きなくなる。

【００３０】音叉型振動子１０の場合は、図８に示すよ
うに、音叉型振動子１０の支持側を弾性体２８による、
いわゆるばね支持としても、両者の振動子のエネルギー
交換が効率良く行われるため、第１、第２の振動子１
１、１２の各先端部の振動を阻害しない。

【００３１】したがって、上記実施の形態で説明したよ
うに、音叉型振動子１０と弾性体（例えば、ばね）２８
による支持を組み合わせた構成をなすことにより、発風
板２４、２７の振動量を大きくし、かつファンケース５
１への振動伝達を抑制することが可能となる。

【００３２】次に、上記圧電ファン１の組立方法の一例
を、図９の分解斜視図によって説明する。

【００３３】図９に示すように、本実施の形態では、弾
性板２１が振動板の機能を有し、弾性板２６が振動板と
しての機能を有して弾性体２８と一体に構成されてい
る。この弾性板２１の一端側両面に圧電板（圧電素子）
２２、２３を既知の固着手段により固着する。また弾性
板２１の他端には発風板２４を既知の固着手段により固
着する。同様に、弾性板２６の他端に発風板２７を既知
の固着手段により固着する。なお、弾性板２６には、弾
性板２１の固有振動数に合わせるため、図示はしない
が、圧電板２２、２３が固着された弾性板２１と同様な
位置に圧電板のダミーを設ける。そして、スペーサ１３
を介して弾性板２１、２６一端側どうしを既知の固着手
段により固着する。上記固着手段としては、固着される
材料に応じて、例えば、接着剤による接着、半田や銀ろ
うによるろう付け、ねじやビスによる締め付け、溶接等
の手段を用いる。

【００３４】また、本実施の形態では、弾性板２１と発
風板２４、弾性板２６と発風板２５とが別々な部品にな
っているが、それぞれ、発風板と弾性板とを同一材料で
一体に形成することも可能である。この場合、第１、第
２の振動子１１、１２の振動特性を考慮した材料の選定
が必要となる。

【００３５】さらに、図１、図２によって説明した実施
の形態では、二つの第１、第２の振動子１１、１２の形
状がほぼ同一のようにみえるが、これも両者の各々の固
有振動数を一致させていることが前提となっている。上
記説明したようにダミーを設ける、もしくは、両者の形
状や寸法を異ならせることによって、両者の固有振動数
を合わせる。

【００３６】音叉型振動子１０の弾性体（例えば、ば
ね）２８は、前述の通り、固有振動数の低いばねで支持
する必要がある。これは言い換えると「弱いばね」で支
えるということである。したがって、弾性体２８の部分
については、ばね厚を薄く、振動子１２からファンケー
ス５１の固着部５２までの長さを長く、弾性体２８の幅
を狭くすることで、ばねを弱くすることができる。一
方、ばねを弱くすることにより、第１、第２の振動子１
１、１２の姿勢を維持することが困難になる。すなわ
ち、図１０に示すように、発風板２４、２７を含む第
１、第２の振動子１１、１２とスペーサ１３との重さに
対して弾性体２８にねじり変形が生じて、第１、第２の
振動子１１、１２が例えばθだけ傾く。

【００３７】上記傾きθを防ぐ構成を、第２の実施の形
態として、図１１の概略構成図によって説明する。

【００３８】図１１に示すように、発風部２４、２７の
逆側にバランスウェイト３１を設け、弾性体（例えば、
ばね）２８に発風板２４、２７を含む第１、第２の振動
子１１、１２およびスペーサ１３からなる音叉型振動子
１０の重心Ｇが乗るようにする。上記構成の圧電ファン
２は、音叉型振動子１０の総重量が弾性体２８に対して
垂直方向に加わり、モーメントが０になることから、前
記図１０に示すような傾きθとなることが防げる。もち
ろんスペーサ１３の一部にバランススペーサウェイトを
持たせるような形状に形成することもできる。

【００３９】次に、本発明の圧電ファンに係わる第３の
本実施の形態を、図１２の組立て図によって以下に説明
する。

【００４０】図１２に示すように、圧電ファン３は、前
記図１によって説明した圧電ファン１において、第２の
弾性板２６にダミー２９、３０の代わりに圧電板（圧電
素子）３２、３３を設けたものである。その他の構成部
品は、前記図１によって説明した音叉型振動子１０を構
成する発風板２４を備えた第１の振動子１１（弾性板２
１、圧電板２２、２３）、発風板２７を備えた第２の振
動子１２（弾性板２６）、スペーサ１３、弾性体２８等
と同様である。このように構成された圧電ファン３は、
音叉型振動子を構成する第１、第２の振動子１１、１２
のそれぞれに圧電板２２、２３、３２、３３を設けたこ
とによって、振動量を増やすことができる。

【００４１】このような構造においては、図１３に示す
ように、圧電板２２、２３、３２、３３への電源３５の
接続は、第１、第２の振動子１１、１２が逆位相で振動
するようにする。この場合には、基本的に第１、第２の
振動子１１、１２を構成する材料、構造が等しくなり、
形状も同形状とすることが望ましい。図１３には示さな
いが、弾性体（例えば、ばね）２８によるファンケース
５１に対する圧電ファン３の支持の構造は前記図１等に
よって説明した構造と同様な考え方でよい。

【００４２】次に、本発明の圧電ファン１と従来の片持
ち支持構造の圧電ファンについて、ファンを駆動したと
きのファンケースの振動状態を比較した。測定は、図１
４に示すように、本発明の圧電ファン１を収納し、蓋５
３をしたファンケース５１と、図１５に示すように、従
来の技術で説明した圧電ファン１０１を収納し、蓋１５
３をしたファンケース１５１との同一位置関係となるＡ
点〜Ｄ点の振動量をレーザドップラー計により測定する
方法を採用した。

【００４３】いずれの圧電ファンも、振動子には、弾性
板には２８ｍｍ（長さ）×１０ｍｍ（幅）で１００μｍ
の厚さのリン青銅板を用い、その一端にそろえて１２ｍ
ｍ（長さ）×１０ｍｍ（幅）×１９０μｍ（厚）の圧電
板を備え、弾性板の他端側に圧電板と１ｍｍの間隔を置
いて１５ｍｍ（長さ）×３０ｍｍ（幅）×１２０μｍ
（厚）のカーボン繊維配合材からなる発風板を設けたも
のを用いた。また、従来型の圧電ファンは、圧電板を備
えた側の端部を幅２ｍｍの固定座に同幅の固定具で固定
した。本発明の圧電ファンは、圧電板を備えた側の端部
に幅２ｍｍのスペーサを介して上記同形状の振動子を音
叉型に固定した。また音叉型振動子の固定は弾性板に設
けた弾性体によった。

【００４４】また、ファンケースは流入側開口が面積で
約８００ｍｍ²であり、流出側開口が３５ｍｍ×８ｍｍ
（＝２８０ｍｍ²）であるものを用いた。そして流出側
より１０ｍｍの位置で風速を測定した。従来型の圧電フ
ァンに対しては印加電圧を２０Ｖｒｍｓ（周波数３５０
Ｈｚ）として１．２ｍ／ｓなる風速が得られるように
し、本発明の圧電ファンに対しては印加電圧を８Ｖｒｍ
ｓとして１．５ｍ／ｓなる風速が得られるようにした。

【００４５】その結果を図１６に示す。図１６では、左
縦軸に対数表示で振動量（μｍ）を示し、右縦軸に従来
の圧電ファンの振動量と本発明の圧電ファンの振動量の
比（％）を示し、横軸に測定点Ａ〜Ｄを示す。

【００４６】図１６に示すように、圧電ファンの発生風
速がほぼ等しい条件下でのファンケースに発生する振動
量は、従来の片持ち支持構造の圧電ファン１０１に対し
て本発明の圧電ファン１を用いることによって１／１０
０程度まで減少できることがわかった。

【００４７】また、上記圧電ファン１〜３は、前記従来
の技術に記載した実公平６−４０７９号公報に開示され
た技術と比較して、音叉型振動子１０を薄型に構成する
ことができる特徴を有している。さらに、薄型の圧電フ
ァンとする場合には、ファンケース５１内部の空間の厚
みに制約が生じるため、振動子をさらに薄型に形成する
必要がある。

【００４８】そこで、前述の弾性体（ばね）の位置に振
動子の重心を合わせるという考え方を進めた構成を第４
の実施の形態として図１７によって説明する。

【００４９】図１７に示すように、圧電ファン４は、第
１の振動子１１を第２の振動子１２の長手方向（例えば
図中矢印ア方向）にずらした構成となっている。この構
成であっても、音叉振動子１０全体の重心は弾性体（ば
ね）２８上に配置されている。

【００５０】上記構成の圧電ファン４では、スペーサ１
３の厚みを薄くすることができる。すなわち、先の図１
に示した構成の場合には、第１、第２の振動子１１、１
２の振幅最大点（発風板２４、２７先端部）が一致して
いるために、発風板２４、２７の衝突を防ぐためにスペ
ーサ１３は最大振幅量＋αなる厚みが必要になる。一
方、図１７に示す構成の圧電ファン４では、第１、第２
の振動子１１、１２の振幅最大点（発風板先端部）の位
置がずれているために、スペーサ１３に必要な厚みは最
大振幅量以下でよいことになる。このように重心位置を
弾性体２８上に合わせるように第１、第２の振動子１
１、１２の一方をずらすことにより、スペーサ１３の厚
みを薄くすることができる。すなわち、圧電ファン４の
厚みを薄くすることができる。

【００５１】

【発明の効果】以上、説明したように本発明の圧電ファ
ンによれば、圧電素子を含む振動子を音叉型に組み合わ
せ、かつ、この振動子が、振動子の振動周波数よりも低
い固有周波数を有する弾性体で支持されているので、発
風板の振動量を阻害することなく、振動子の支持体とな
る例えばファンケースに発生する有害な振動を抑制する
ことができる。それによって、本発明の圧電ファンを用
いた製品の信頼性向上を図る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧電ファンに係る第１の実施の形態を
示す概略構成斜視図である。

【図２】ファンケースに収納された圧電ファンの概略構
成斜視図である。

【図３】音叉を説明する概略図である。

【図４】音叉と共鳴体とを説明する概略構成図である。

【図５】音叉型振動子を説明する概略構成図である。

【図６】音叉型振動子を理論ばねで支持する構成を示す
概略構成図である。

【図７】一つの振動子をばね支持する構成を示す概略構
成図である。

【図８】音叉型振動子を弾性体（ばね）で支持する構成
を示す概略構成図である。

【図９】第１の実施の形態で説明した圧電ファンの組立
て図である。

【図１０】弾性体支持された音叉型振動子のバランスの
説明図である。

【図１１】本発明の圧電ファンに係る第２の実施の形態
を示す概略構成図である。

【図１２】本発明の圧電ファンに係る第３の実施の形態
を示す概略構成図である。

【図１３】音叉型振動子の分極方向を説明する概略構成
図である。

【図１４】本発明の圧電ファンの振動状態を測定する位
置を説明する部分破断概略構成斜視図である。

【図１５】従来の圧電ファンの振動状態を測定する位置
を説明する部分破断概略構成斜視図である。

【図１６】本発明の圧電ファンと従来の圧電ファンの振
動量と振動量比とを示す図である。

【図１７】本発明の圧電ファンに係る第４の実施の形態
を示す概略構成図である。

【図１８】従来の圧電ファンを示す概略構成図である。

【図１９】従来の圧電ファンの発風原理を説明する概略
構成図である。

【符号の説明】

１…圧電ファン、１０…音叉型振動子、１１…第１の振
動子、１２…第２の振動子、１３…スペーサ、２８…弾
性体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電素子を含む発風振動子からなる第１
の振動子と、前記第１の振動子の固有振動数と等しい固有振動数を有
する第２の振動子と、前記第１の振動子と前記第２の振動子との間に設けたス
ペーサとが音叉型に形成された圧電ファンであって、前記圧電ファンは前記第１の振動子の固有振動数よりも
低い固有振動数を有する弾性体を介して固定されている
ことを特徴とする圧電ファン。
【請求項２】前記第２の振動子は圧電素子を含むこと
を特徴とする請求項１記載の圧電ファン。
【請求項３】圧電素子を含む発風振動子からなる第１
の振動子と、前記第１の振動子の固有振動数と等しい固有振動数を有
する第２の振動子と、前記第１の振動子と前記第２の振動子との間に設けたス
ペーサとが音叉型に形成された圧電ファンであって、前記第１の振動子と前記第２の振動子とはそれぞれの最
大振幅点の位置をずらして形成されていることを特徴と
する圧電ファン。
【請求項４】前記第２の振動子は圧電素子を含むこと
を特徴とする請求項３記載の圧電ファン。
【請求項５】前記圧電ファンは前記第１の振動子の固
有振動数よりも低い固有振動数を有する弾性体で固定さ
れていることを特徴とする請求項３記載の圧電ファン。
【請求項６】前記圧電ファンは前記第１の振動子の固
有振動数よりも低い固有振動数を有する弾性体で固定さ
れていることを特徴とする請求項４記載の圧電ファン。
【請求項７】前記弾性体は前記圧電ファンの重心に配
置されることを特徴とする請求項１記載の圧電ファン。
【請求項８】前記弾性体は前記圧電ファンの重心に配
置されることを特徴とする請求項２記載の圧電ファン。
【請求項９】前記弾性体は前記圧電ファンの重心に配
置されることを特徴とする請求項５記載の圧電ファン。
【請求項１０】前記弾性体はばね材からなることを特
徴とする請求項１記載の圧電ファン。
【請求項１１】前記弾性体はばね材からなることを特
徴とする請求項２記載の圧電ファン。
【請求項１２】前記弾性体はばね材からなることを特
徴とする請求項５記載の圧電ファン。