TWI709208B - 薄型氣體傳輸裝置 - Google Patents

薄型氣體傳輸裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWI709208B
TWI709208B TW109105223A TW109105223A TWI709208B TW I709208 B TWI709208 B TW I709208B TW 109105223 A TW109105223 A TW 109105223A TW 109105223 A TW109105223 A TW 109105223A TW I709208 B TWI709208 B TW I709208B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
plate
thin
frame
conductive
transmission device
Prior art date
Application number
TW109105223A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202133364A (zh
Inventor
莫皓然
高中偉
陳世昌
廖鴻信
韓永隆
黃啟峰
郭俊毅
Original Assignee
研能科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 研能科技股份有限公司 filed Critical 研能科技股份有限公司
Priority to TW109105223A priority Critical patent/TWI709208B/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI709208B publication Critical patent/TWI709208B/zh
Priority to US17/168,340 priority patent/US11668294B2/en
Publication of TW202133364A publication Critical patent/TW202133364A/zh

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B45/047—Pumps having electric drive
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/02—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
    • F16K17/04—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
    • F16K17/0493—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded with a spring other than a helicoidal spring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0057—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids the fluid being the circulating fluid itself, e.g. check valves
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2047—Membrane type
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins

Abstract

一種薄型氣體傳輸裝置，包含：進氣板；共振片；致動件，結合至共振片的固定部；第一絕緣框架，結合致動件；一導電框架，具有：導電外框，結合第一絕緣框架；彈性導電引腳，其一端連接該導電外框的內緣部，另一端朝向致動件的方向傾斜延伸並形成一彎折部，該彎折部頂抵致動件且與其電性連接，其中，彎折部呈一長條狀；以及導電接片，連接導電外框的外緣部；以及第二絕緣框架，結合至導電外框。

Description

薄型氣體傳輸裝置
本案關於一種薄型氣體傳輸裝置，尤指一種使用彈性導電引腳與致動器以接觸式電性連接的薄型氣體傳輸裝置。
隨著科技的日新月異，氣體輸送裝置的應用上亦愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見傳統的氣體輸送裝置已漸漸有朝向裝置微小化、薄型化、流量極大化的趨勢，薄型氣體傳輸裝置因此而產生。
目前的氣體傳輸裝置係傳輸高頻率的驅動電壓給薄型氣體傳輸裝置中的致動器，透過致動器因壓電效應所產生快速振動，進而帶動氣體傳輸，其中，致動器除了由本身的導電接腳接收驅動電壓外，同樣會透過與其電連接的導電框架接收反向的驅動電壓，而現有的導電框架1如第1圖所示，包含有一導電外框11、至少一傳輸部12、至少一導電接點13及一導電接片14，導電接點13位於導電外框11中並用於與致動器(未圖示)電連接，傳輸部12連接導電外框11與導電接點13，導電接片14則連接導電外框11，並以接收上述的驅動電壓，以將驅動電壓通過導電外框11、傳輸部12輸送給導電接點13，最後由導電接點13將驅動電壓導送至致動器，然而，目前的導電框架1其電性阻抗過高，導致驅動電壓傳輸的效率降低，且現有的導電接點13其數量為4個，分別與致動器電連接，但由於各導電接點13之間的電阻有些微差異，也會在振動時受到導電接片14的牽引而 干擾到與致動器的電連接，此外，目前導電接點13與致動器電連接的區域皆為點接觸，其接觸面積較小，在致動器於高頻下反覆振動時，磨損較大，導致壽命降低，實為目前迫切需要解決之問題。
本案之主要目的係提供一種薄型氣體傳輸裝置，使用具有導電引腳的導電外框來改善磨損過高、電阻過高等問題。
本案之一廣義實施態樣為一種薄型氣體傳輸裝置，包含：一進氣板，具有：一第一表面；一第二表面，與該第一表面相對；複數個進氣孔，分別由該第一表面貫穿至該第二表面；一匯流腔室，自該第二表面凹陷形成，且位於該第二表面中央；以及複數個進氣流道，自該第二表面凹陷形成，其一端分別連接該些進氣孔，另一端連接至該匯流腔室；一共振片，結合至該第二表面，具有：一中心孔，位於該共振片中央處；一振動部，位於該中心孔周緣，並與該匯流腔室對應；以及一固定部，位於該振動部外緣，且該共振片透過該固定部結合至該進氣板；一致動件，結合至該共振片的該固定部；一第一絕緣框架，結合該致動件；一導電框架，具有：一導電外框，結合該第一絕緣框架；一彈性導電引腳，其一端連接該導電外框的一內緣部，另一端朝向該致動件的方向傾斜延伸並形成一彎折部，該彎折部頂抵該致動件且與其電性連接，其中，該彎折部呈一長條狀；以及一導電接片，連接該導電外框的一外緣部；以及一第二絕緣框架，結合至該導電外框。
1:導電框架
11:導電外框
12:傳輸部
13:導電接點
14:導電接片
2:薄型氣體傳輸裝置
21:進氣板
211:第一表面
212:第二表面
213:進氣孔
214:匯流腔室
215:進氣流道
22:共振片
221:中心孔
222:振動部
223:固定部
23:致動件
231:振動板
231a:上表面
231b:下表面
231c:凸部
232:框架
232a:導電接腳
233:連接部
234:壓電片
235:氣體通道
24:第一絕緣框架
25:導電框架
251:導電外框
251a:內緣部
251b:外緣部
252:彈性導電引腳
252a:彎折部
253:導電接片
26:第二絕緣框架
27:振動腔室
3:薄型閥門結構
31:第一薄板
311:挖空區
32:閥門框架
321:閥片容置區
33:閥門片
331:閥孔
34:第二薄板
341:出氣表面
342:洩壓表面
343:出氣凹槽
344:出氣孔
345:洩壓孔
346:洩壓溝渠
第1圖為先前技術之導電框架示意圖。
第2A圖為本案薄型氣體傳輸裝置之分解示意圖。
第2B圖為本案薄型氣體傳輸裝置另一角度之分解示意圖。
第3A圖為本案導電框架立體圖。
第3B圖為本案導電框架側視圖。
第4A圖為本案薄型氣體傳輸裝置剖面示意圖。
第4B至4D圖為本案薄型氣體傳輸裝置作動示意圖。
第5A圖為薄型閥門結構的分解示意圖。
第5B圖為薄型閥門結構另一角度分解示意圖。
第6A圖為本案薄型氣體傳輸裝置之剖面示意圖。
第6B圖為本案薄型氣體傳輸裝置之排氣示意圖。
第6C圖為本案薄型氣體傳輸裝置之洩壓示意圖。
體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。
請參閱第2A圖及第2B圖所示，第2A圖為薄型氣體傳輸裝置的分解示意圖，第2B圖為薄型氣體傳輸裝置另一角度的分解示意圖；薄型氣體傳輸裝置2包含有一進氣板21、一共振片22、一致動件23、一第一絕緣框架24、一導電框架25及一第二絕緣框架26。
進氣板21具有一第一表面211、第二表面212、複數個進氣孔213、一匯流腔室214及複數個進氣流道215，第一表面211與第二表面212為相互對應的兩表面，複數個進氣孔213於本實施例中其數量為4個，但不以此為限，分別由第一表面211貫穿至第二表面212，匯流腔室214則由第二表面212凹陷形成，且位於第二表面212中央，複數個進氣流道215其數量與位置與進氣孔213相對應，故於本實施例中其數量同樣為4個，進氣流道215的一端分別與對應之進氣孔213連通，另一端則分別連通至匯流腔室214， 使得氣體分別由自進氣孔213進入後，會通過其對應的進氣流道215，最後匯聚於匯流腔室214內。
共振片22結合於進氣板21的第二表面212，共振片22包含有一中心孔221、振動部222及一固定部223，中心孔221於共振片22的中心位置穿透形成，振動部222位於中心孔221的周緣區域，固定部223位於振動部222的外緣，共振片22透過固定部223與進氣板21結合，當共振片22結合至進氣板21時，中心孔221、振動部222將與進氣板21的匯流腔室214垂直對應。
致動件23結合至共振片22，致動件23包含有一振動板231、一框架232、複數個連接部233、一壓電片234及複數個氣體通道235，振動板231呈一正方形態樣，框架232為一方型外框環繞於振動板231的外圍，且具有一導電接腳232a，導電接腳232a自框架232的外圍沿水平方向延伸，複數個氣體通道235則於振動板231、框架232及複數個連接部233之間；其中，致動件23透過框架232結合至共振片22的固定部223，複數個連接部233於本實施例中其數量為4個，但不以此為限，連接部233分別連接於振動板231與框架232之間，以彈性支撐振動板231，壓電片234其形狀與面積與振動板231相對應，於本實施例中，壓電片234亦為正方形態樣，其邊長小於或等於振動板231的邊長，且貼附於振動板231；此外，振動板231具有相對的兩表面：一上表面231a及一下表面231b，上表面231a上具有一凸部231c，而壓電片234則是貼附於下表面231b。
第一絕緣框架24、第二絕緣框架26其外型與致動件23的框架232相同，皆為方形框架，請同時參考第2A圖、第3A圖及第3B圖，導電框架25包含有一導電外框251、一彈性導電引腳252及一導電接片253，導電外框251其形狀與第一絕緣框架24、第二絕緣框架26相同為方形框架，彈性導電引腳252的一端連接導電外框251的內緣部251a，另一端朝向致動件23傾斜 延伸並形成一彎折部252a，彎折部252a頂抵致動件23的壓電片234並與其電性連接，其中，彎折部呈一長條狀，使其與壓電片234接觸區域亦為長條形狀，而非點接觸，而導電接片253連接導電外框251的外緣部251b，此外，彈性導電引腳252遠離導電接片253設置。
上述的彈性導電引腳252具有彈性及導電性，為了能夠緊抵致動件23，彈性導電引腳252的彎折部252a高於導電外框251一頂抵間距，頂抵間距為0.05mm至0.5mm之間，使彎折部252a能夠緊頂致動件23的壓電片234，當壓電片234帶動振動板231振動時，仍然可以緊抵於壓電片234保持電性連接，透過接觸的方式與壓電片234連接，減少銲接步驟，也能避免激發介面電弧，此外，彈性導電引腳252的彎折部252a使得彈性導電引腳252與壓電片234之間的接觸區域為曲面狀態，避免毛邊或是端點的銳角與壓電片234之間於振動時過度接觸，磨耗變快、產生噪音等問題外，還有降低壽命的疑慮，同樣，彎折部252a呈長條狀也同樣是為了提高與壓電片234的接觸區域，避免過度磨損的問題，並且提高接觸面積能夠降低電性阻抗，提供良好的導電性，此外，彈性導電引腳252遠離導電接片253的配置阻絕彈性導電引腳252於振動時牽動干擾導電接片253，最後，於彈性導電引腳252與壓電片234之間可填充、塗佈具有潤滑、導電的一導電塗料，提升其接觸可靠度。
請參閱第2A圖及第4A圖，第4A圖為薄型氣體傳輸裝置的剖面示意圖，進氣板21、共振片22、致動件23、第一絕緣框架24、導電框架25及第二絕緣框架26依序堆疊，共振片22與振動板231之間形成一振動腔室27，此外，導電框架25的彈性導電引腳252的彎折部252a緊抵致動件23的壓電片234且電性連接，使得致動件23的導電接腳232a與導電框架25的導電接片253可對外接收驅動訊號(包含驅動電壓及驅動頻率)，並將驅動訊號傳送至 壓電片234。
薄型氣體泵的作動請參考第4B圖至第4D圖，壓電片234收到驅動訊號後，因壓電效應開始產生形變，進而帶動振動板231上下位移，請先參閱第4B圖，當振動板231向下位移時，帶動共振片22的振動部222向下移動，使得匯流腔室214的容積增加，汲取外部氣體進入自進氣孔213、進氣流道215至匯流腔室214內，再如第4C圖所示，振動板231被壓電片234向上帶動時，會將振動腔室27內的氣體由中心向外側推動，推至氣體通道235，以通過氣體通道235向下導送，同時共振片22會向上移動，推擠匯流腔室214內的氣體通過中心孔221向下傳輸；最後如第4D圖所示，當振動板231向下位移復位時，同步帶動共振片22的振動部222向下移動，振動部222接近振動板231的凸部231c，持續推動振動腔室27的氣體向外側移動，且由於振動部222向下位移，使得匯流腔室214的容積大幅提升，進而由進氣孔213、進氣流道215吸取外部的氣體進入匯流腔室214內，不斷重複以上動作，進行傳輸氣體動作。
本案的薄型氣體傳輸裝置包含有一閥門結構，閥門結構可為一薄型閥門結構3，請參閱第5A圖至第5B圖所示，第5A圖為薄型閥門結構3的分解示意圖，第5B圖為薄型閥門結構3另一角度的分解示意圖；薄型閥門結構3包含有一第一薄板31、一閥門框架32、一閥門片33及一第二薄板34。
第一薄板31具有一挖空區311，閥門框架32具有一閥片容置區321，閥門片33設置於閥片容置區321內且具有一閥孔331，閥孔331與挖空區311錯位，其中，閥片容置區321的形狀與閥門片33的形狀相同，供閥門片33固定及定位。
第二薄板34具有一出氣表面341、一洩壓表面342、一出氣凹槽343、一出氣孔344、一洩壓孔345及一洩壓溝渠346，出氣表面341與洩壓表面342為 兩相對表面，出氣凹槽343自該出氣表面341凹陷形成，且與第一薄板31的挖空區311部分錯位，出氣孔344自出氣凹槽343朝洩壓表面342挖空，且出氣孔344位置與閥門片33的閥孔331對應，此外，出氣孔344的孔徑大於閥孔331的孔徑，洩壓孔345與出氣凹槽343間隔設置，洩壓溝渠346自該洩壓表面342凹陷，且一端與洩壓孔345相連通，另一端延伸至第二薄板34的邊緣，其中，第二薄板34的出氣凹槽343的形狀與第一薄板31的挖空區311的形狀可為相同形狀，且可相互對應。
上述之第一薄板31、閥門框架32及第二薄板34皆為金屬材質，於一實施例中，可為相同的金屬材質，如不鏽鋼，此外，第一薄板31、閥門框架32及第二薄板34的厚度皆相同，其厚度皆為2mm。
請參閱第6A圖，第6A圖為本案薄型氣體傳輸裝置的剖面示意圖，薄型閥門結構3的第一薄板31、閥門框架32及第二薄板34依序堆疊固定，閥門片33容設於閥門框架32的閥片容置區321內，而薄型氣體傳輸裝置2疊置於薄型閥門結構3上，當薄型氣體傳輸裝置2傳輸氣體至薄型閥門結構3時，如第6B圖所示，氣體進入第一薄板31的挖空區311，並推動閥門片33，此時，位於出氣凹槽343上方的閥門片33部分區域將被向下推動，使氣體進入出氣凹槽343內，並通過閥孔331及第二薄板34的出氣孔344排出；第6C圖為薄型閥門結構3的洩壓示意圖，當薄型氣體傳輸裝置2停止傳輸氣體時，薄型閥門結構3的氣壓低於外部氣壓，即開始進行洩壓動作，如第6C圖所示，氣體將從出氣孔344導至第二薄板34，同時將閥門片33向上推動，此時閥門片33的閥孔331將頂底於第一薄板31而封閉，且位於第一薄板31的挖空區311的閥門片33部分區域將被向上推動，氣體將由出氣凹槽343進入挖空區311，且在通過洩壓孔345流入至洩壓溝渠346，向外排出氣體，完成洩壓動作。
綜上所述，本案所提供之薄型氣體傳輸裝置，透過具有彈性的彈性導電引腳的頂抵壓電片，採接觸式的與壓電片電性連接，減少銲接步驟，簡化製程，而透過長條狀的彎折部來與壓電片接觸，增加接觸面積，降低兩者介面之間的電阻，且由曲面的彎折部與壓電片接觸，避免銳角或毛邊接觸壓電片，造成過度損耗、噪音、壽命降低等問題，此外，也可改善介面電弧的問題，極具產業利用性及進步性。
2:薄型氣體傳輸裝置
21:進氣板
211:第一表面
213:進氣孔
22:共振片
221:中心孔
222:振動部
223:固定部
23:致動件
231:振動板
231a:上表面
231c:凸部
232:框架
232a:導電接腳
233:連接部
234:壓電片
235:氣體通道
24:第一絕緣框架
25:導電框架
251:導電外框
252:彈性導電引腳
252a:彎折部
253:導電接片
26:第二絕緣框架

Claims (13)

  1. 一種薄型氣體傳輸裝置，包含：一進氣板，具有：一第一表面；一第二表面，與該第一表面相對；複數個進氣孔，分別由該第一表面貫穿至該第二表面；一匯流腔室，自該第二表面凹陷形成，且位於該第二表面中央；以及複數個進氣流道，自該第二表面凹陷形成，其一端分別連接該些進氣孔，另一端連接至該匯流腔室；一共振片，結合至該第二表面，具有：一中心孔，位於該共振片中央處；一振動部，位於該中心孔周緣，並與該匯流腔室對應；以及一固定部，位於該振動部外緣，且該共振片透過該固定部結合至該進氣板；一致動件，結合至該共振片之該固定部；一第一絕緣框架，結合該致動件；一導電框架，具有：一導電外框，結合該第一絕緣框架；一彈性導電引腳，其一端連接該導電外框的一內緣部，另一端朝向該致動件的方向傾斜延伸並形成一彎折部，該彎折部頂抵該致動件且與其電性連接，其中，該彎折部高於該導電外框一頂抵間距且該彎折部呈一長條狀；以及一導電接片，連接該導電外框的一外緣部；一第二絕緣框架，結合至該導電外框。
  2. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該彈性導電引腳自連結 該導電外框之該內緣部至該彎折部呈漸縮狀。
  3. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該頂抵間距為0.05mm至0.5mm之間。
  4. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該彈性導電引腳與該致動件之間設有一導電塗料。
  5. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，該致動件包含有：一振動板，呈一正方形；一框架，環繞於該振動板的外圍；複數個連接部，分別連接於該振動板與該框架之間，以彈性支撐該振動板；以及一壓電片，形狀與面積與該振動板對應，貼附於該振動板且與該彎折部頂抵及電性連接。
  6. 如請求項5所述之薄型氣體傳輸裝置，其中包含一薄型閥門結構，結合該第二絕緣框架，具有：一第一薄板，具有一挖空區；一閥門框架，具有一閥片容置區；一閥門片，設置於該閥片容置區內，具有一閥孔，該閥孔與該挖空區錯位；一第二薄板，具有：一出氣表面；一洩壓表面，與該出氣表面相對；一出氣凹槽，自該出氣表面凹陷，並與該第一薄板之該挖空區部分錯位；一出氣孔，自該出氣凹槽朝該洩壓表面挖空，該出氣孔與該閥孔對應設置； 一洩壓孔，與該出氣凹槽間隔設置；以及一洩壓溝渠，自該洩壓表面凹陷延伸至該第二薄板之邊緣，另一端及該洩壓孔相連通。
  7. 如請求項6所述之薄型氣體傳輸裝置，其該第一薄板、該閥門框架及該第二薄板依序堆疊固定。
  8. 如請求項6所述之薄型氣體傳輸裝置，其該出氣孔其孔徑大於該閥孔之孔徑。
  9. 如請求項6所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該第一薄板、該閥門框架及該第二薄板皆為一金屬材質。
  10. 如請求項9所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該金屬材質為一不銹鋼材質。
  11. 如請求項6所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該挖空區與該出氣凹槽形狀相同。
  12. 如請求項6至10中任一項所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該第一薄板、該閥門框架及該第二薄板之厚度皆相同。
  13. 如請求項12所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該第一薄板、該閥門框架及該第二薄板之厚度皆係2mm。
TW109105223A 2020-02-18 2020-02-18 薄型氣體傳輸裝置 TWI709208B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW109105223A TWI709208B (zh) 2020-02-18 2020-02-18 薄型氣體傳輸裝置
US17/168,340 US11668294B2 (en) 2020-02-18 2021-02-05 Thin gas transportation device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW109105223A TWI709208B (zh) 2020-02-18 2020-02-18 薄型氣體傳輸裝置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI709208B true TWI709208B (zh) 2020-11-01
TW202133364A TW202133364A (zh) 2021-09-01

Family

ID=74202288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109105223A TWI709208B (zh) 2020-02-18 2020-02-18 薄型氣體傳輸裝置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US11668294B2 (zh)
TW (1) TWI709208B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI763286B (zh) * 2021-01-29 2022-05-01 研能科技股份有限公司 微型氣體傳輸裝置
CN115199517A (zh) * 2021-04-06 2022-10-18 研能科技股份有限公司 微型气体传输装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW202001212A (zh) * 2018-06-08 2020-01-01 研能科技股份有限公司 可攜式氣體偵測裝置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3073114B1 (en) 2008-06-03 2018-07-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric micro-blower
TWI552838B (zh) * 2013-06-24 2016-10-11 研能科技股份有限公司 微型氣壓動力裝置
TWI553230B (zh) * 2014-09-15 2016-10-11 研能科技股份有限公司 微型氣壓動力裝置
WO2016063710A1 (ja) * 2014-10-21 2016-04-28 株式会社村田製作所 バルブ、流体制御装置および血圧計
US10451051B2 (en) * 2016-01-29 2019-10-22 Microjet Technology Co., Ltd. Miniature pneumatic device
US10584695B2 (en) * 2016-01-29 2020-03-10 Microjet Technology Co., Ltd. Miniature fluid control device
US10487820B2 (en) * 2016-01-29 2019-11-26 Microjet Technology Co., Ltd. Miniature pneumatic device
CN208456827U (zh) 2016-01-29 2019-02-01 研能科技股份有限公司 微型气压动力装置
WO2018020882A1 (ja) * 2016-07-29 2018-02-01 株式会社村田製作所 バルブ、気体制御装置、及び血圧計
TWI738237B (zh) * 2020-03-03 2021-09-01 研能科技股份有限公司 血壓量測模組
TWI720878B (zh) * 2020-04-24 2021-03-01 研能科技股份有限公司 致動傳感模組

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW202001212A (zh) * 2018-06-08 2020-01-01 研能科技股份有限公司 可攜式氣體偵測裝置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI763286B (zh) * 2021-01-29 2022-05-01 研能科技股份有限公司 微型氣體傳輸裝置
CN115199517A (zh) * 2021-04-06 2022-10-18 研能科技股份有限公司 微型气体传输装置
CN115199517B (zh) * 2021-04-06 2024-02-09 研能科技股份有限公司 微型气体传输装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW202133364A (zh) 2021-09-01
US11668294B2 (en) 2023-06-06
US20210254613A1 (en) 2021-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6693923B2 (ja) 圧電アクチュエータ及びこれを使用した小型流体制御装置
TWI709208B (zh) 薄型氣體傳輸裝置
TWI626775B (zh) 致動器
US8747080B2 (en) Fluid pump
JP5288080B1 (ja) 指向性スピーカ
CN111918188B (zh) 一种mems扬声器及其制造工艺
CN107795465B (zh) 微型流体控制装置
CN209800217U (zh) 微型气体输送装置
US11342494B2 (en) Piezoelectric actuator and piezoelectric actuating plate thereof
TWM581636U (zh) Micro gas delivery device
JP6574464B2 (ja) 小型流体制御装置
TWI775103B (zh) 壓電致動器
CN113339244A (zh) 薄型气体传输装置
TWI750462B (zh) 微型泵
CN111692085B (zh) 微型泵
TWI706082B (zh) 壓電致動器及其所適用之微型流體控制裝置
CN108278196B (zh) 流体控制装置
JPH10108297A (ja) 圧電発音体
CN211500945U (zh) 流体控制装置
KR100544277B1 (ko) 단차를 형성한 케이스 및 이를 이용한 일렉트릿 콘덴서마이크로폰
TWM591282U (zh) 致動器
CN111608895B (zh) 微型气体输送装置
US20220397111A1 (en) Actuator
TW202009374A (zh) 壓電驅動裝置
TWI725602B (zh) 致動裝置