TWI622701B - 流體輸送裝置 - Google Patents
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Abstract
一種流體輸送裝置，其包含：閥本體，具有出口通道及入口通道；閥腔體座，具有入口閥門通道及出口閥門通道及壓力腔室，壓力腔室分別與入口閥門通道、出口閥門通道相連通；閥膜片，設置於閥本體及閥腔體座之間，具有兩閥門片各別對應封閉入口閥門通道及出口閥門通道可凸伸變形一位移量形成閥門開關結構；致動器封蓋壓力腔室；蓋體，封蓋於致動器上，其上並貫穿數個鎖接孔；閥本體、閥腔體座及致動器上分別設置對應貫通之貫穿孔，且對應蓋體之鎖接孔，供以鎖付元件穿伸入貫穿孔而鎖付於鎖接孔上，以定位組裝形成之流體輸送裝置。
Description
本案關於一種流體輸送裝置，尤指一種適用於微泵浦結構之流體輸送裝置。
目前於各領域中無論是醫藥、電腦科技、列印、能源等工業，產品均朝精緻化及微小化方向發展，其中微泵浦、噴霧器、噴墨頭、工業列印裝置等產品所包含之流體輸送結構為其關鍵技術，是以，如何藉創新結構突破其技術瓶頸，為發展之重要內容。
請參閱第1A圖，第1A圖為習知微泵浦結構於未作動時之結構示意圖，習知微泵浦結構10包含入口通道13、微致動器15、傳動塊14、隔層膜12、壓縮室111、基板11以及出口通道16，其中基板11與隔層膜12間定義形成一壓縮室111，主要用來儲存液體，壓縮室111之體積將因隔層膜12之形變影響而改變。
當一電壓作用在微致動器15的上下兩極時，會產生一電場，使得微致動器15在此電場之作用下產生彎曲而向隔層膜12及壓縮室111方向移動，由於微致動器15設置於傳動塊14上，因此傳動塊14能將微致動器15所產生的推力傳遞至隔層膜12，使得隔層膜12也跟著被擠壓變形，即如第1B圖所示，液體即可依圖中箭號X之方向流動，使由入口通道13流入後儲存於壓縮室111內的液體受擠壓，而經由出口通道16流向其他預先設定之空間，以達到供給流體的目的。
請再參閱第2圖，第2圖為第1A圖所示之微泵浦結構之俯視圖，如圖所示，當微泵浦結構10作動時流體之輸送方向如圖中標號Y之箭頭方向所示，入口擴流器17為兩端開口大小不同之錐狀結構，開口較大之一端與入口流道191相連接，而以開口較小之一端與壓縮室111連接，同時，連接壓縮室111及出口流道192之出口擴流器18與入口擴流器17同向設置，其以開口較大的一端連接於壓縮室111，而以開口較小的一端與出口流道192相連接，由於連接於壓縮室111兩端之入口擴流器17及出口擴流器18為同方向設置，故可利用擴流器兩方向流阻不同之特性，及壓縮室111體積之漲縮使流體產生單方向之淨流率，以使流體可自入口流道191經由入口擴流器17流入壓縮室111內，再由出口擴流器18經出口流道192流出。
然而，此種無實體閥門之微泵浦結構10容易產生流體大量回流的狀況，所以爲促使流率增加，壓縮室111需要有較大的壓縮比，以產生足夠的腔壓，故需要耗費較高的成本在微致動器15上。
因此，如何發展一種可改善上述習知技術缺失之流體輸送裝置，實為目前迫切需要解決之問題。
因此，如何發展一種能在長期使用下維持微型流體控制裝置之一定工作特性及流速，實為目前迫切需要解決之問題。
本案之主要目的在於提供一種流體輸送裝置，主要由閥本體、閥膜片、閥腔體座、致動器及蓋體依序層疊，再以數個鎖付元件鎖付定位組裝而成，不僅整個結構可以調整更緊密接合之組裝定位，也透過密封環之設置提供對入口開口、出口開口入口閥門通道、出口閥門通道及壓力腔室周邊防止流體滲漏具備更佳防漏性，同時藉由致動器作動時帶動振動板產生形變，使介於振動板及閥腔體座間之壓力腔室的體積改變產生壓力差，而且由於閥膜片上之閥門片結構其開合反應迅速，使得壓力腔室於漲縮的瞬間可產生較大之流體吸力與推力，故可使流體達到高效率之傳輸，並可有效阻擋流體之逆流，俾解決習知技術之微泵浦結構於流體的傳送過程中易產生流體回流之現象。
為達上述目的，本案之較廣義實施態樣為提供一種流體輸送裝置，用以傳送流體，其包含：一閥本體，具有一出口通道、一入口通道及一第一組接表面，該出口通道及該入口通道於第一組接表面各別連通一入口開口及一出口開口；一閥腔體座，具有一第二組接表面、一第三組接表面、入口閥門通道及出口閥門通道，該入口閥門通道及該出口閥門通道由該第二組接表面貫通至該第三組接表面，且在該第三組接表面上部份凹陷形成一壓力腔室，該壓力腔室分別與入口閥門通道、出口閥門通道相連通，以及在該第二組接表面上設置數個卡榫；一閥膜片，一平坦薄片結構，具有兩個貫穿區域，各以蝕刻保留厚度相同之一閥門片，且環繞該閥門片週邊各設置數個延伸支架作以彈性支撐，並使每個延伸支架相鄰之間各形成一鏤空孔，致使該閥門片受力藉由該延伸支架彈性支撐而可凸伸變形一位移量形成閥門開關結構，而該閥膜片設置於該閥本體與該閥腔體座之間，並對應該閥腔體座之卡榫位置設置各設有一定位孔，供該卡榫穿入定位該閥膜片，並以兩個貫穿區域之閥門片各別對應封閉該閥腔體座之入口閥門通道及出口閥門通道形成閥門開關結構；一致動器，封蓋該閥腔體座之壓力腔室；一蓋體，封蓋於該致動器上，其上並貫穿數個鎖接孔；藉此，該閥本體、該閥腔體座及該致動器上分別設置對應貫通之貫穿孔，且對應該蓋體之鎖接孔，供以鎖付元件穿伸入該貫穿孔而鎖付於該鎖接孔上，以定位組裝形成之流體輸送裝置。
體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。
請參閱第3圖、第4圖及第5圖所示，本案之流體輸送裝置20可適用於醫藥生技、電腦科技、列印或是能源等工業，且可輸送液體，但不以此為限，流體輸送裝置20主要由閥本體21、閥膜片22、閥腔體座23、致動器24及蓋體25依序層疊，再以數個鎖付元件26鎖付定位組裝而成，其中閥本體21、閥膜片22、閥腔體座23依序層疊形成一流體閥座，且在閥腔體座23及致動器24之間形成一壓力腔室237，主要用來儲存流體。其中鎖付元件26為可導電之螺絲。
請參閱第3圖、第4圖、第5圖及第6圖所示，閥本體21及閥腔體座23為本案流體輸送裝置20中導引流體進出之主要結構，閥本體21具有一個入口通道211以及一個出口通道212，流體可由外界輸入，入口通道211連通一入口開口213，流體可經由入口通道211傳送至閥本體21之第一組接表面210之入口開口213，以及出口通道212連通一出口開口214，而流體可由出口開口214輸送至出口通道212排出；以及，在閥本體21在第一組接表面210上具有一對接區域215，對接區域215上更具有環繞入口開口213週邊之凹槽216，用以供一密封環28a設置於其上，以對入口開口213周邊防止流體滲漏，於本實施例中，對接區域215上具有環繞出口開口214週邊之凹槽217，用以供一密封環28b設置於其上，以對出口開口214周邊防止流體滲漏。另外，在對接區域215於出口開口214周圍設置一凸部結構218，以及閥本體21四個隅向各設置一貫穿孔219，可供鎖付元件26穿伸入作定位組裝用，以及在對接區域215設置數個卡榫槽21a，在閥本體21一側邊設有一線槽21b。
請參閱第3圖、第4圖、第5圖及第7圖所示，閥膜片22主要材質為聚亞醯胺(Polyimide, PI)高分子材料時，其製造方法主要利用反應離子氣體乾蝕刻(reactive ion etching, RIE)之方法，以感光性光阻塗佈於閥門結構之上，並曝光顯影出閥門結構圖案後，再以進行蝕刻，由於有光阻覆蓋處會保護聚亞醯胺(Polyimide, PI)片不被蝕刻，因而可蝕刻出閥膜片22上之閥門結構。閥膜片22為一平坦薄片結構。如第7圖所示，該閥膜片22在兩個貫穿區域22a、22b中各保留有厚度相同之一閥門片221a、221b，且環繞閥門片221a、221b週邊各設置數個延伸支架222a、222b作以彈性支撐，並使每個延伸支架222a、222b相鄰之間各形成一鏤空孔223a、223b，如此厚度相同之一閥門片221a、221b可受作用力在閥膜片22上藉由延伸支架222a、222b彈性支撐而凸伸變形一位移量形成閥門開關結構。閥門片221a、221b可為圓型、長方型、正方形或各種幾何圖型，但不以此為限。於本實施例中，為使用一50μm厚度的閥膜片22，並在兩個貫穿區域22a、22b保留圓形圖案之閥門片221a、221b，閥門片221a、221b之直徑尺寸為17mm，以及兩個貫穿區域22a、22b保留了以螺旋型態連接的3個延伸支架222a、222b，延伸支架222a、222b的寬度為100μm。另外，閥膜片22上設有複數個定位孔22c，如第7圖所示實施例中為6個定位孔22c，但不以此為限。
請參閱第3圖、第4圖、第5圖及第8A圖、第8B圖所示，閥腔體座23具有一第二組接表面230及一第三組接表面236，以及在閥腔體座23上亦具有貫穿第二組接表面230至第三組接表面236之入口閥門通道231及出口閥門通道232，而在閥腔體座23上亦具有入口閥門通道231週邊之凹槽233，用以供一密封環28c設置於其上，以對入口閥門通道231周邊防止流體滲漏，而閥腔體座23上亦具有環繞出口閥門通道232週邊之凹槽234，用以供一密封環28d設置於其上，以對出口閥門通道232周邊防止流體滲漏；再者，在閥腔體座23之第二組接表面230於入口閥門通道231周圍設置一凸部結構235，以及閥腔體座23之第三組接表面236部份凹陷以形成一壓力腔室237，壓力腔室237分別與入口閥門通道231、出口閥門通道232相連通，而在閥腔體座23之第三組接表面236上亦具有環繞設置於壓力腔室237之凹槽238，用以供一密封環28e設置於其中，以對壓力腔室237周邊防止流體滲漏。另外，閥腔體座23四個隅向各設置一貫穿孔239，可供鎖付元件26穿伸入作定位組裝用，而在閥腔體座23之第二組接表面230設置數個卡榫23a，在閥腔體座23一側邊設有一線槽23b。
請參閱第3圖、第4圖、第5圖及第9圖所示，致動器24由一振動板241以及一壓電元件242組裝而成，其中振動板241一側面貼附固定壓電元件242，以及振動板241上亦設有兩兩互為對角對置之貫穿孔243及開口部244，可供鎖付元件26穿伸入作定位組裝用，以及在振動板241一側邊設有一線槽24b。於本實施例中，振動板241為不銹鋼金屬材質，壓電元件242可採用高壓電數之鋯鈦酸鉛(PZT)系列的壓電粉末製造而成，以貼附固定於振動板241上，並於上連接一電極導線27(如第11A圖及第11B圖所示)，以供施加電壓驅動壓電元件242產生形變，致使振動板241亦隨之產生做垂直向往復振動形變，用以驅動流體輸送裝置20之作動。
請參閱第3圖、第4圖、第5圖及第10A圖、第10B圖所示，蓋體25為金屬材質，在中間具有中空空間251，在其上亦貫穿數個鎖接孔252，可供鎖付元件26穿伸入鎖付作定位組裝用，以及在蓋體25之一表面250上凹設有一線槽25a，而在蓋體25一側邊亦設有一線槽25b，供與線槽25a成垂直向連通。
另外，於本實施例中，閥本體21以及閥腔體座23之材質可採用熱塑性塑膠材料，例如聚碳酸酯樹酯(Polycarbonate PC)、聚諷(Polysulfone, PSF)、ABS樹脂(Acrylonitrile Butadiene Styrene)、縱性低密度聚乙烯(LLDPE)、低密度聚乙烯(LDPE)、高密度聚乙烯(HDPE)、聚丙烯(PP)、聚苯硫醚(Polyphenylene Sulfide,PPS)、對位性聚苯乙烯(SPS)、聚苯醚(PPO)、聚縮醛(Polyacetal,POM)、聚對苯二甲酸二丁酯(PBT)、聚偏氟乙烯(PVDF)、乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)、環狀烯烴聚合物(COC)等熱塑性塑膠材料，但不以此為限。
由上述說明可知，流體輸送裝置20主要由閥本體21、閥膜片22、閥腔體座23、致動器24及蓋體25依序層疊組成，當然每層層疊均可使用超音波熔接、熱熔接、膠合黏貼等來組裝定位，然使用超音波熔接或熱熔接在組裝過程可能會有過融的情況，而使用膠合黏貼來組裝定位，若是膠合黏貼乾的速度較慢會拉長整體組裝製程時間，若是膠合黏貼乾的速度較快，容易使塑件材之元件脆化，因此本案為了克服上述使用超音波熔接、熱熔接、膠合黏貼等來組裝定位之問題，乃採用數個鎖付元件26鎖付定位組裝流體輸送裝置20，而且蓋體25採以金屬材質製出，不僅可具備數個鎖接孔252，可供鎖付元件26穿伸入鎖付作定位組裝用，閥本體21、閥膜片22、閥腔體座23、致動器24及蓋體25依序層疊整個結構可以調整更緊密接合之組裝定位，不僅具備更佳防漏性，同時也可以提升整體結構強度。
另外，如第11A圖、第11B圖及第11C圖所示，本案採鎖付元件26鎖付定位組裝流體輸送裝置20結構之設計，在振動板241提供施加電壓之電極導線設計上，也可以利用鎖付元件26鎖付來當作一電極導線，同時振動板241上有貫穿孔243及開口部244之設計，可輕易致使鎖付元件26穿伸入其中而接觸，當作一電極導線；而在壓電元件242之導電方面設計上，不僅利用蓋體25之表面250上凹設之線槽25a提供一電極導線27埋入(如第11B圖所示)，再透過蓋體25一側邊成垂直向連通之線槽25b設計埋入，再經過振動板241之線槽24b、閥腔體座23之線槽23b及閥本體21之線槽21b設計(如第11C圖所示)，進而埋入不外露且在直角垂直向延伸也不受拉扯，以避免受銳利直角板片而折斷或受到損傷，提供了壓電元件242之電極導線27最佳的保護；另外，流體輸送裝置20之驅動電路板3架組於其上，可透過驅動電路板3之導體沉孔31穿伸入鎖付元件26，直接在鎖付元件26上焊接焊點(如第11C圖所示)，即可使此鎖付元件26作為振動板241之一電極導線，直接與振動板241接觸導通(如第11A圖所示)，減少振動板241之電極導線之設置，同時蓋體25為金屬材質，而鎖付元件26鎖付鎖接孔252，以及蓋體25整個面與振動板241接合接觸，可增加振動板241導電面積，避免導電不良的問題，亦可同時利用鎖付元件26鎖付來進行導電性能之微幅調整。
因此，流體輸送裝置20以閥本體21、閥膜片22、閥腔體座23、致動器24及蓋體25依序層疊，再以4個鎖付元件26分別經過閥本體21之貫穿孔219、閥腔體座23之貫穿孔239、振動板241之貫穿孔243/開口部244穿入，而與蓋體25之鎖接孔252鎖付定位，進而堆疊完成整個流體輸送裝置20結構之組裝。
再請參閱第4圖及第5圖所示，閥本體21之第一組接表面210與閥腔體座23之第二組接表面230相對接合，同時閥膜片22以六個定位孔22c各套置入閥腔體座23之卡榫23a中，而使閥膜片22定位於閥腔體座23上，而閥腔體座23之卡榫23a各對應套入閥本體21之卡榫槽21a中，如此閥膜片22定位設置於閥本體21與閥腔體座23之間，以及閥腔體座23之第三組接表面236與致動器24之振動板241相對應接合，而致動器24之振動板241另一表面與蓋體25相對應接合，且致動器24之壓電元件242位於蓋體25之中空空間251中；如此，入口閥門通道231設置於與閥本體21之入口開口213相對應之位置，而出口閥門通道232則設置於與閥本體21之出口開口214相對應之位置，閥膜片22之閥門片221a封蓋閥腔體座235之入口閥門通道231，同時貼合閥腔體座23之凸部結構235而產生一預力(Preforce)作用，有助於產生更大之預蓋緊效果，以防止逆流，而閥膜片22之閥門片221b亦封蓋閥本體21之出口開口214，同時貼合閥本體21之凸部結構218而產生一預力(Preforce)作用，有助於產生更大之預蓋緊效果，以防止逆流；以及致動器24之振動板241封蓋閥腔體座23之壓力腔室237；同時閥本體21與閥腔體座23之間也利用密封環28a、28b之設置提供對入口開口213及出口開口214周邊防止流體滲漏，以及密封環28c、28d之設置提供對入口閥門通道231及出口閥門通道232周邊防止流體滲漏，而閥腔體座23與致動器24之振動板241之間也利用密封環28e之設置提供對壓力腔室237周邊防止流體滲漏。
由上述說明可知，本案流體輸送裝置20在具體實施流體傳輸的操作，如第5圖、第7圖、第12A圖及第12B圖所示，閥腔體座23之第三組接表面236部份凹陷形成之壓力腔室237與致動器24之壓電元件242相對應設置，壓力腔室237同時與入口閥門通道231、出口閥門通道232相連通，因此，當致動器24之壓電元件242受施加電壓而致動使振動板241上凸變形(如第12A圖所示)，造成壓力腔室237之體積增加，因而產生一推力，使閥膜片22之閥門片221a承受一向上之推力迅速開啟，使流體可大量地自閥本體21上之入口通道211被吸取進來，並流經閥本體21之入口開口213、閥膜片22之鏤空孔223a、閥腔體座23之入口閥門通道231流至壓力腔室237內，於此同時出口閥門通道232內也受到推力，閥膜片22之閥門片221b受此推力作用，藉由延伸支架222b的支撐而產生整個向上平貼緊靠於凸部結構218呈現關閉狀態；其後，當施加於壓電元件242的電場方向改變後，壓電元件242將使振動板241下凹變形(如第12B圖所示)，造成壓力腔室237收縮而體積減小，使壓力腔室237內流體由出口閥門通道232流出壓力腔室237之外，於此同時，同樣有部分流體會流入入口閥門通道231內，然而由於此時的閥膜片22之閥門片221a受一吸力作用，以及流體從入口通道211往入口開口213流之沖力作用，藉由延伸支架222a的支撐而產生整個向下平貼緊靠於凸部結構235呈現關閉狀態，故壓力腔室237內流體不會通過閥門片221a而產生逆流的現象，此時閥膜片22亦受到壓力腔室237體積增加而產生之吸力作用下，拉引閥門片221b產生位移，失去整個向上平貼緊靠於凸部結構218之預力作用，藉由延伸支架222b的支撐而呈現開啟狀態，此時壓力腔室237內流體則可經由閥腔體座23之出口閥門通道232、閥膜片22上之鏤空孔223b、閥本體21上之出口開口214及出口通道212而流出流體輸送裝置20之外，因而完成流體之傳輸過程，重複第12A圖及第12B圖所之操作以進行流體的輸送，如此採用本案流體輸送裝置20可使流體於傳送過程中不會產生回流的情形，達到高效率之傳輸。
綜上所述，本案流體輸送裝置主要由閥本體、閥膜片、閥腔體座、致動器及蓋體依序層疊，再以數個鎖付元件鎖付定位組裝而成，不僅整個結構可以調整更緊密接合之組裝定位，也透過密封環之設置提供對入口開口、出口開口入口閥門通道、出口閥門通道及壓力腔室周邊防止流體滲漏具備更佳防漏性，同時藉由致動器之壓電致動，使得壓力腔室之體積改變，進而開啟或關閉同一閥膜片上之閥門片結構進行流體具逆流之輸送作業，以達到高效率之傳輸，同時採鎖付元件鎖付定位組裝流體輸送裝置結構之設計，在振動板提供施加電壓之導線設計上減少電極導線設置，同時利用金屬材質蓋板與振動板整面貼合接觸在與鎖付元件導接，可增加振動板導電面積，避免導電不良的問題,亦可利用鎖付元件鎖付來進行導電性能之微幅調整，且利用蓋體之表面上凹設之線槽提供一電極導線埋入，再透過蓋體一側邊成垂直向連通之線槽設計埋入，再經過振動板之線槽、閥腔體座之線槽及閥本體之線槽設計，進而埋入不外露且在直角垂直向延伸也不受拉扯，以避免受銳利直角板片而折斷或受到損傷，提供了壓電元件之電極導線最佳的保護。是以，本案之流體輸送裝置極具產業之價值，爰依法提出申請。
本案得由熟習此技術之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。
10‧‧‧微泵浦結構
11‧‧‧基板
111‧‧‧壓縮室
12‧‧‧隔層膜
13‧‧‧入口通道
14‧‧‧傳動塊
15‧‧‧微致動器
16‧‧‧出口通道
17‧‧‧入口擴流器
18‧‧‧出口擴流器
191‧‧‧入口流道
192 ‧‧‧出口流道
X、Y‧‧‧流動方向
20‧‧‧流體輸送裝置
21‧‧‧閥本體
210‧‧‧第一組接表面
211‧‧‧入口通道
212‧‧‧出口通道
213‧‧‧入口開口
214‧‧‧出口開口
215‧‧‧對接區域
216、217‧‧‧凹槽
218‧‧‧凸部結構
219‧‧‧貫穿孔
21a‧‧‧卡榫槽
21b‧‧‧線槽
22‧‧‧閥膜片
22a、22b‧‧‧貫穿區域
221a、221b‧‧‧閥門片
222a、222b‧‧‧延伸支架
223a、223b‧‧‧鏤空孔
22c‧‧‧定位孔
23‧‧‧閥腔體座
230‧‧‧第二組接表面
231‧‧‧入口閥門通道
232‧‧‧出口閥門通道
233、234、238‧‧‧凹槽
235‧‧‧凸部結構
236‧‧‧第三組接表面
237‧‧‧壓力腔室
239‧‧‧貫穿孔
23a‧‧‧卡榫
23b‧‧‧線槽
24‧‧‧致動器
241‧‧‧振動板
242‧‧‧壓電元件
243‧‧‧貫穿孔
244‧‧‧開口部
24b‧‧‧線槽
25‧‧‧蓋體
250‧‧‧蓋體之表面
251‧‧‧中空空間
252‧‧‧鎖接孔
25a、25b‧‧‧線槽
26‧‧‧鎖付元件
27‧‧‧電極導線
28a、28b、28c、28d、28e‧‧‧密封環
3‧‧‧驅動電路板
31‧‧‧導體沉孔
第1A圖所示為習知微泵浦結構於未作動時之結構示意圖。 第1B圖所示為第1A圖於作動時之結構示意圖。 第2圖所示為第1A圖所示之微泵浦結構之俯視圖。 第3圖所示為本發明流體輸送裝置之立體外觀示意圖。 第4圖所示為本發明流體輸送裝置之相關構件分解示意圖。 第5圖所示為本發明流體輸送裝置之剖面示意圖。 第6圖所示為本發明流體輸送裝置之閥本體底面視得示意圖。 第7圖所示為本發明流體輸送裝置之閥膜片正面視得示意圖。 第8A圖所示為本發明流體輸送裝置之閥腔體座正面視得示意圖。 第8B圖所示為本發明流體輸送裝置之閥腔體座底面視得示意圖。 第9圖所示為本發明流體輸送裝置之振動板正面視得示意圖。 第10A圖所示為本發明流體輸送裝置之蓋體正面視得示意圖。 第10B圖所示為本發明流體輸送裝置之蓋體底面視得示意圖。 第11A圖所示為本發明流體輸送裝置之致動器電極導線連接狀態示意圖。 第11B圖所示為本發明流體輸送裝置之致動器電極導線埋入保護示意圖。 第11C圖所示為本發明流體輸送裝置之致動器電極導線連接至驅動電路板示意圖。 第12A圖所示為本發明流體輸送裝置之輸送流體作動狀態示意圖1。 第12B圖所示為本發明流體輸送裝置之輸送流體作動狀態示意圖2。
Claims (7)
- 一種流體輸送裝置，用以傳送一流體，其包含：一閥本體，具有一出口通道、一入口通道及一第一組接表面，該出口通道及該入口通道於該第一組接表面各別連通一入口開口及一出口開口，以及在該第一組接表面上設置複數個卡榫槽；一閥腔體座，具有一第二組接表面、一第三組接表面、一入口閥門通道及一出口閥門通道，該入口閥門通道及該出口閥門通道由該第二組接表面貫通至該第三組接表面，且在該第三組接表面上部份凹陷形成一壓力腔室，該壓力腔室分別與該入口閥門通道、該出口閥門通道相連通，以及在該第二組接表面上設置數個卡榫，供以對應套置於該閥本體之該複數個卡榫槽中，定位該閥腔體座組裝定位於該閥本體上；一閥膜片，一平坦薄片結構，具有兩個貫穿區域，各以蝕刻保留厚度相同之一閥門片，且環繞該閥門片週邊各設置數個延伸支架作以彈性支撐，並使每個延伸支架相鄰之間各形成一鏤空孔，致使該閥門片受力藉由該延伸支架彈性支撐而可凸伸變形一位移量形成閥門開關結構，而該閥膜片設置於該閥本體與該閥腔體座之間，並對應該閥腔體座之每一該卡榫位置設置各設有一定位孔，供每一該卡榫穿入定位該閥膜片，並以該兩個貫穿區域之該閥門片各別對應封閉該閥腔體座之該入口閥門通道及該出口閥門通道形成閥門開關結構；一致動器，由一振動板及一壓電元件組裝而成，該致動器封蓋該閥腔體座之壓力腔室；一蓋體，封蓋於該致動器上，且該蓋體上貫穿設置複數個鎖接孔；其中，該閥本體、該閥腔體座及該致動器上分別設置對應貫通之複數個貫穿孔，且該複數個貫穿孔分別對應該蓋體之複數個鎖接孔，供以可導電之複數個鎖付元件對應穿伸入該複數個貫穿孔而鎖付於對應之該複數個鎖接孔上，以定位組裝形成該流體輸送裝置，該壓電元件貼附固定於該振動板一側面，以及該振動板設置有一開口部，可供該複數個鎖付元件穿伸入接觸形成為該振動板之一電極導線。
- 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該閥本體之該出口開口及該閥腔體座之該入口閥門通道周圍分別設置一凸部結構，供以該閥膜片之該兩個貫穿區域上之各該閥門片可緊貼封閉產生一預力作用，助於產生更佳預蓋緊及防止逆流作用。
- 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該閥本體之該入口開口及該出口開口周圍與該閥腔體座在該第二組接表面之該入口閥門通道、該出口閥門通道周圍、在該第三組接表面之該壓力腔室周圍各設置有一凹槽，供一密封環套入防止流體滲漏。
- 如申請專利範圍第3項所述之流體輸送裝置，其中該閥膜片為聚亞醯胺高分子材料所製成。
- 如申請專利範圍第第4項所述之流體輸送裝置，其中該閥膜片厚度為50μm，該閥門片直徑尺寸為17mm，該延伸支架寬度為100μm。
- 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該蓋體為金屬材質，與該振動板大面積貼合，該振動板之該貫穿孔及該開口部可供該鎖付元件穿伸入並鎖附該鎖接孔中，以增加該振動板導電面積。
- 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該鎖付元件為一螺絲。
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