TWI779790B - 流體輸送裝置 - Google Patents

Abstract

一種流體輸送裝置，包含閥本體、閥腔體、閥體、致動器、軟性基板、蓋體。閥本體具有出口通道及入口通道。閥腔體具有入口閥門通道、出口閥門通道及壓力腔室。壓力腔室分別連通入口閥門通道、出口閥門通道。閥體設置於閥本體及閥腔體之間，具有兩閥門片。兩閥門片各別對應封閉入口閥門通道及出口閥門通道，且可凸伸變形一位移量，以形成閥門開關結構。致動器封蓋壓力腔室。軟性基板電性連接且封蓋於致動器。蓋體封蓋於軟性基板。閥本體、閥腔體、致動器、軟性基板及蓋體分別設置貫穿孔，透過鎖付元件穿伸其中，以定位組裝流體輸送裝置。

Description

流體輸送裝置

本案關於一種流體輸送裝置，尤指一種適具較大壓縮比效能之流體輸送裝置。

目前於各領域中無論是醫藥、電腦科技、列印、能源等工業，產品均朝精緻化及微小化方向發展，其中微泵浦、噴霧器、噴墨頭、工業列印裝置等產品所包含之流體輸送結構為其關鍵技術。在現在許多需要氣壓動力之儀器或設備，通常需要傳統馬達及氣壓閥來達成，受限於此兩種裝置之體積及噪音，使此類產品一直無法縮小或薄型化與靜音，達成輕便舒適之可攜式目的。是以，如何藉創新結構突破其技術瓶頸，為發展之重要內容。又，流體輸送裝置為促使流率增加，壓縮室需要有較大的壓縮比，以產生足夠的腔壓，實為目前迫切需要解決之問題。

有鑒於此，本案發展一種能在長期使用下維持微型流體控制裝置之一定工作特性及流速，具有較大壓縮比之效能，乃一種利用壓電元件轉換得到動力，所設計之流體傳輸裝置，可進一步與微型閥門裝置整合，為本發明之主要研發的課題。

本案之主要目的在於提供一種流體輸送裝置，主要由閥本體、閥體、閥腔體、致動器、軟性基板及蓋體依序層疊，再以數個鎖付元件鎖付定位 組裝而成，不僅整個結構可以調整更緊密接合之組裝定位，也透過密封環之設置提供對入口開口、出口開口、入口閥門通道、出口閥門通道及壓力腔室周邊防止流體滲漏具備更佳防漏性，同時致動器在組裝後施以熱變形量，以形成致動器遠離壓力腔室保持一最大有效間距，藉由致動器作動時帶動振動板產生形變，使介於振動板及閥腔體間之壓力腔室的體積改變產生壓力差，而且由於閥體上之閥門片結構為可動薄片，因壓力差而被動產生流道開關，使流體單方向流動，推動流體使之產生固定流量，又閥門片結構之開合反應迅速，使得壓力腔室於漲縮的瞬間可產生較大之流體吸力與推力，故可使流體達到高效率之傳輸，並可有效阻擋流體之逆流，俾解決習知技術之輸送裝置於流體的傳送過程中易產生流體回流之現象，本案流體輸送裝置在停止後，亦可逆止流體回流，且在閥本體、閥腔體排空流體後，仍可重新吸入流體產生流動，以及軟性基板具有兩電性導片可直接提供連接致動器需求驅動電性，無須外部導線採以長延伸穿伸至致動器電性連接。

為達上述目的，本案之較廣義實施態樣為提供一種流體輸送裝置，包含：一閥本體，具有一入口通道一出口通道及一第一組接表面，該入口通道及該出口通道於該第一組接表面各別連通一入口開口及一出口開口；一閥體，具有兩個閥門片，且環繞該閥門片週邊各設置複數個延伸支架作以彈性支撐，並使每個延伸支架相鄰之間各形成一鏤空孔；一閥腔體，對應組接該閥本體之該第一組接表面，並使該閥體定位於該閥本體與該閥腔體之間，又該閥腔體具有一第二組接表面、一第三組接表面、一入口閥門通道及一出口閥門通道，該入口閥門通道及該出口閥門通道由該第二組接表面貫通至該第三組接表面，且在該第三組接表面上部份凹陷形成一壓力腔室，該壓力腔室分別與該入口閥門通道、該出 口閥門通道相連通；一致動器，封蓋該閥腔體之該壓力腔室，由一振動板以及一壓電元件組裝而成，其中該振動板一側面貼附固定該壓電元件；一軟性基板，封蓋於該致動器之該振動板上作電性連接，具有向外凸伸之兩電性導片，供以對外連接電性，以及具有向內凸伸之一壓電接觸片，供以連接電性該致動器之該壓電元件，促使該些電性導片對外連接電性施加電壓驅動該壓電元件產生形變，致使該振動板隨之產生做垂直向往復振動形變；一蓋體，封蓋於該軟性基板上，且該蓋體中心為一框孔，供以該致動器得以在該框孔處產生形變位移；其中，該致動器在組裝前施以熱變形量，以形成該致動器遠離該壓力腔室保持一最大有效間距。

1:閥本體

11:入口通道

12:出口通道

13:第一組接表面

14:入口開口

15:出口開口

16:卡榫槽

17:凹槽

18:凸部結構

19:貫穿孔

2:閥體

21:閥門片

22:延伸支架

23:鏤空孔

24:定位孔

3:閥腔體

30:卡榫

31:第二組接表面

32:第三組接表面

33:入口閥門通道

34:出口閥門通道

35:壓力腔室

36、38:凹槽

37:凸部結構

39:貫穿孔

4:致動器

41:振動板

42:壓電元件

43:貫穿孔

5:軟性基板

51、52:電性導片

53:壓電接觸片

54:貫穿孔

6:蓋體

61:框孔

62:貫穿孔

7:鎖付元件

17a、17b、36a、36b、38a:密封環

41a:絕緣薄膜

第1圖所示為本發明流體輸送裝置之立體外觀示意圖。

第2A圖所示為本發明流體輸送裝置之相關構件由正面角度視得分解示意圖。

第2B圖所示為本發明流體輸送裝置之相關構件由背面角度視得分解示意圖。

第3圖所示為本發明流體輸送裝置之剖面示意圖。

第4A圖所示為本發明流體輸送裝置之輸送流體作動狀態示意圖1。

第4B圖所示為本發明流體輸送裝置之輸送流體作動狀態示意圖2。

第5圖所示為本發明流體輸送裝置之閥本體底面視得示意圖。

第6圖所示為本發明流體輸送裝置之閥體正面視得示意圖。

第7A圖所示為本發明流體輸送裝置之閥腔體正面視得示意圖。

第7B圖所示為本發明流體輸送裝置之閥腔體底面視得示意圖。

第8圖所示為本發明流體輸送裝置之致動器正面視得示意圖。

第9圖所示為本發明流體輸送裝置之軟性基板正面視得示意圖。

第10圖所示為本發明流體輸送裝置之蓋體正面視得示意圖。

體現本案特徵與優點的實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

請參閱第1圖、第2A圖及第2B圖所示，本案之流體輸送裝置可適用於醫藥生技、電腦科技、列印或是能源等工業，且可輸送液體，但不以此為限，流體輸送裝置主要由閥本體1、閥體2、閥腔體3、致動器4、軟性基板5及蓋體6依序層疊，再以數個鎖付元件7鎖付定位組裝而成。其中，該致動器4在組裝後施以熱變形量，以形成該致動器4遠離該壓力腔室35保持一最大有效間距，以及閥本體1、閥體2、閥腔體3依序層疊形成一流體閥座，且在閥腔體3及致動器4之間形成一壓力腔室35，透過致動器4在蓋體6中心之框孔61產生形變位移而壓縮在壓力腔室35之體積，促使閥體2開啟，並形成較大壓縮比產生最佳吸力傳輸液體。

請參閱第1圖、第2A圖、第2B圖及第5圖所示，上述之閥本體1及閥腔體3為本案流體輸送裝置中導引流體進出之主要結構，閥本體1具有一入口通道11、一出口通道12及第一組接表面13，而入口通道11及出口通道12於第一組接表面13各別連通一入口開口14及一出口開口15，且入口開口14及出口開口15為呈錐狀型態，可提升流體集中傳輸，因此流體可由外界輸入，經由入口通道11傳送至閥本體1之第一組接表面13之入口開口14，以及由出口開口15輸送至出口通道12排出；以及，在閥本體1在第一組接表面13上更具有環繞入口開口14及出口開口15週邊之凹槽17，用以供二密封環17a、17b設置於其上，以對入口開口14及出口開口 15周邊防止流體滲漏。另外，在第一組接表面13上更於出口開口15周圍設置一凸部結構18，以及閥本體1四個隅向各設置一貫穿孔19，可供鎖付元件7穿伸入作定位組裝用，以及在第一組接表面13上也設置複數個卡榫槽16，如第5圖所示，實施例中為6個卡榫槽16，但不以此為限。

請參閱第1圖、第2A圖、第2B圖及第6圖所示，上述之閥體2主要材質為聚亞醯胺(Polyimide,PI)高分子材料，其製造方法主要利用反應離子氣體乾蝕刻(reactive ion etching,RIE)之方法，以感光性光阻塗佈於閥門結構之上，並曝光顯影出閥門結構圖案後，再以進行蝕刻，由於有光阻覆蓋處會保護聚亞醯胺(Polyimide,PI)片不被蝕刻，因而可蝕刻出閥體2上之閥門結構。閥體2為一平坦薄片結構。如第6圖所示，閥體2具有兩個閥門片21，且環繞閥門片21週邊各設置複數個延伸支架22作以彈性支撐，並使每個延伸支架22相鄰之間各形成一鏤空孔23。如此厚度相同之一閥門片21可受作用力在閥體2上藉由延伸支架22彈性支撐而凸伸變形一位移量形成閥門開關結構。閥門片21可為圓型、長方型、正方形或各種幾何圖型，但不以此為限。於本實施例中，為使用一25μm厚度的閥體2。另外，閥體2上設有複數個定位孔24，如第6圖所示實施例中為6個定位孔24，但不以此為限。

請參閱第1圖、第2A圖、第2B圖及第7A圖、第7B圖所示，上述之閥腔體3具有一第二組接表面31及一第三組接表面32、一入口閥門通道33及一出口閥門通道34，入口閥門通道33及出口閥門通道34由第二組接表面31貫通至第三組接表面32，且入口閥門通道33及出口閥門通道34為呈錐狀型態，可提升流體集中傳輸，在第三組接表面32上部份凹陷形成一壓力腔室35，壓力腔室35分別與入口閥門通道33、出口閥門通道34相連通，因此流體經由入口閥門通道33集中傳輸至壓力腔室35，在經過壓 力腔室35輸送至出口閥門通道34集中傳輸至出口通道12排出；以及在閥腔體3上亦具有入口閥門通道33及出口閥門通道34週邊之凹槽36，用以供二密封環36a、36b設置於其上，以對入口閥門通道33及出口閥門通道34周邊防止流體滲漏；又，在閥腔體3之第二組接表面31於出口閥門通道34周圍設置一凸部結構37，而在閥腔體3之第三組接表面32上亦具有環繞壓力腔室35周邊之另一凹槽38，用以供另一密封環38a設置於其中，以對壓力腔室35周邊防止流體滲漏。另外，閥腔體3四個隅向各設置一貫穿孔39，可供鎖付元件7穿伸入作定位組裝用，而在閥腔體3之第二組接表面31設置複數個卡榫30，如第7A圖所示，實施例中為6個卡榫30，與對應到閥本體1之卡榫槽16、閥體2之定位孔24數量相同，但不以此為限。

請參閱第1圖、第2A圖、第2B圖及第8圖所示，上述之致動器4為封蓋閥腔體3之壓力腔室35。致動器4由一振動板41以及一壓電元件42組裝而成，其中振動板41一側面貼附固定壓電元件42，以及振動板41上亦設有四個隅向各設置一貫穿孔43，可供鎖付元件7穿伸入作定位組裝用。於本實施例中，振動板41為不銹鋼金屬材質，壓電元件42可採用高壓電數之鋯鈦酸鉛(PZT)系列的壓電粉末製造而成，以貼附固定於振動板41上。

請參閱第1圖、第2A圖、第2B圖及第8圖所示，上述之軟性基板5為封蓋於該致動器4之振動板41上作電性連接。軟性基板5具有向外凸伸之兩電性導片51、52，供以對外連接電性，以及具有向內凸伸之一壓電接觸片53，供以連接電性致動器4之壓電元件42，促使兩電性導片51、52對外連接電性施加電壓驅動壓電元件42產生形變，致使振動板41隨之產 生做垂直向往復振動形變。以及軟性基板5上亦設有四個隅向各設置一貫穿孔54，可供鎖付元件7穿伸入作定位組裝用。

請參閱第1圖、第2A圖、第2B圖及第8圖所示，上述之蓋體6封蓋於該軟性基板5上，且蓋體6中心為一框孔61，供以致動器4得以在框孔61處產生形變位移。以及蓋體6上亦設有四個隅向各設置一貫穿孔62，可供鎖付元件7穿伸入作定位組裝用。

由上述說明可知，流體輸送裝置透過閥腔體3之複數個卡榫30對應到閥體2之複數個定位孔24、閥本體1之複數個卡榫槽16相互卡接組合，促使閥體2定位於閥本體1與閥腔體3之間，又致動器4及蓋體6依序層疊組成，當然每層層疊均可使用超音波熔接、熱熔接、膠合黏貼等來組裝定位，然使用超音波熔接或熱熔接在組裝過程可能會有過融的情況，而使用膠合黏貼來組裝定位，若是膠合黏貼乾的速度較慢會拉長整體組裝製程時間，若是膠合黏貼乾的速度較快，容易使塑件材之元件脆化，因此本案為了克服上述使用超音波熔接、熱熔接、膠合黏貼等來組裝定位之問題，乃採用數個鎖付元件7鎖付定位組裝流體輸送裝置，而且蓋體6採以金屬材質製出，不僅可具備數個貫穿孔62，可供鎖付元件7穿伸入鎖付作定位組裝用，閥本體1、閥體2、閥腔體3、致動器4及蓋體6依序層疊整個結構可以調整更緊密接合之組裝定位，不僅具備更佳防漏性，同時也可以提升整體結構強度。

另外，於本實施例中，閥本體1以及閥腔體3之材質可採用熱塑性塑膠材料，例如聚碳酸酯樹酯(Polycarbonate PC)、聚諷(Polysulfone,PSF)、ABS樹脂(Acrylonitrile Butadiene Styrene)、縱性低密度聚乙烯(LLDPE)、低密度聚乙烯(LDPE)、高密度聚乙烯(HDPE)、聚丙烯(PP)、聚苯硫醚(Polyphenylene Sulfide,PPS)、對位性聚苯乙烯(SPS)、聚苯醚(PPO)、聚 縮醛(Polyacetal,POM)、聚對苯二甲酸二丁酯(PBT)、聚偏氟乙烯(PVDF)、乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)、環狀烯烴聚合物(COC)等熱塑性塑膠材料，但不以此為限。

當然，上述致動器4在組裝後施以熱變形量，以形成該致動器4遠離該壓力腔室35保持一最大有效間距，以及閥本體1、閥體2、閥腔體3依序層疊形成一流體閥座，且在閥腔體3及致動器4之間形成一壓力腔室35，透過致動器4在蓋體6中心之框孔61產生形變位移而壓縮在壓力腔室35之體積，促使閥體2開啟，並形成較大壓縮比產生最佳吸力傳輸液體。其中，致動器4施以熱變形量，以形成致動器4遠離該壓力腔室35保持最大有效間距為0.1mm；又，壓力腔室35由第三組接表面32向下凹陷深度也會在液體流動方向對產生吸力及流量的影響，在配合閥本體1之入口開口14及出口開口15、閥腔體3之入口閥門通道33及出口閥門通道34為呈錐狀型態提升流體集中傳輸之良好流道設計，可以增加液體的流動性及集中性，產生較大的吸力及流量。其中，閥腔體3之壓力腔室35由第三組接表面32向下凹陷深度為20~40μm，在本實施例中，壓力腔室35由第三組接表面32向下凹陷深度最佳為30μm。

上述之致動器4在正常尚未加熱狀態時，致動器4與閥腔體3是無間距，那需要產生的間距是靠壓電元件42與振動板41利用膠層黏合後產生，此時的膠層需要加熱，才能達到黏著的效果，因此再加熱後身為金屬的致動器4就一定會產生熱變形，經由加熱後可以看到，如第3圖所示致動器4的熱變形量，已經因為熱而產生變形進而產生足夠的間距，如此依照致動器4材質軟硬度更改間距，可以有效利用每一致動器4變形量會近似於一樣的參數，達到所需要的間距，且配合閥本體1之入口開口14及出口開口15、閥腔體3之入口閥門通道33及出口閥門通道34為呈錐狀 型態提升流體集中傳輸之良好流道設計，可有效增加液體在腔體內的流動，利用此流道可有效集中液體流動方向，降低液體擴散減少流阻，進而達到產生最大性能與流量。

再請參閱第3圖所示，閥體2之閥門片21封蓋閥腔體3之入口閥門通道33，同時貼合閥腔體3之凸部結構37而產生一預力(Preforce)作用，有助於產生更大之預蓋緊效果，以防止逆流，而閥體2之另一閥門片21亦封蓋閥本體1之出口開口15，同時貼合閥本體1之凸部結構18而產生一預力(Preforce)作用，有助於產生更大之預蓋緊效果，以防止逆流；以及致動器4之振動板41封蓋閥腔體3之壓力腔室35；同時閥本體1與閥腔體3之間也利用密封環17a、17b之設置提供對入口開口14及出口開口15周邊防止流體滲漏，以及密封環36a、36b之設置提供對入口閥門通道33及出口閥門通道34周邊防止流體滲漏，而閥腔體3與致動器4之振動板41之間也利用密封環38a之設置提供對壓力腔室35周邊防止流體滲漏。

由上述說明可知，本案流體輸送裝置在具體實施流體傳輸的操作，如第3圖、第4A圖及第4B圖所示，當致動器4之壓電元件42受施加電壓而致動使振動板41向上變形(如第4A圖所示)，造成壓力腔室35之體積減小，因而產生一推力，使閥體2之閥門片21承受一向上之推力迅速開啟，使流體可大量地自閥本體1上之入口通道11被導引進來，並流經閥本體1之入口開口14、閥體2之鏤空孔23、閥腔體3之入口閥門通道33流至壓力腔室35內，同時出口閥門通道34內也受到推力，閥體2之另一閥門片21受此推力作用，藉由延伸支架22的支撐而產生整個向上平貼緊靠於凸部結構18呈現關閉狀態；其後，當施加於壓電元件42的電場方向改變後，壓電元件42將使振動板41向下變形(如第4B圖所示)，造成壓力腔室35擴大而體積增加，由於此時的閥體2之閥門片21受一吸力作用，以及 流體從入口通道11往入口開口14流動之沖力作用，藉由延伸支架22的支撐而產生整個向下平貼緊靠於凸部結構37呈現關閉狀態，故壓力腔室35內流體不會通過閥門片21而產生逆流的現象，同樣此時閥體2亦受到壓力腔室35體積增加而產生之吸力作用下，拉引另一閥門片21產生位移，失去整個向上平貼緊靠於凸部結構18之預力作用，藉由延伸支架22的支撐而呈現開啟狀態，使壓力腔室35內流體經由閥腔體3之出口閥門通道34、閥體2上之鏤空孔23、閥本體1上之出口開口15及出口通道12而流出流體輸送裝置之外，因而完成流體之傳輸過程，重複第4A圖及第4B圖所之操作以進行流體的輸送，如此採用本案流體輸送裝置可使流體於傳送過程中不會產生回流的情形，達到高效率之傳輸。

因此，採用本案流體輸送裝置尤其適合用於流體採樣之可攜式或穿戴式儀器或設備中，利用壓電元件42高頻作動所造成之流體波動，在配合閥本體1之入口開口14及出口開口15、閥腔體3之入口閥門通道33及出口閥門通道34為呈錐狀型態提升流體集中傳輸之良好流道設計，讓流道中產生壓力梯度，使流體流動，並透過流道進出方向之閥門片21可將流體由吸入端傳輸至排出端，且可以達到流體是可自行吸入的。當然本案流體輸送裝置凸部結構18、37之高度設計來搭配閥門片21產生一預力(Preforce)作用，有助於產生更大之預蓋緊效果，以及致動器4遠離該壓力腔室35保持最大有效間距為0.1mm，在配合壓力腔室35由第三組接表面32向下凹陷深度30μm，皆會在流體流動方向對產生吸力及流量的影響，因此在本實施例中，致動器4之壓電元件42施以110V的驅動電壓及35Hz工作頻率操作下，凸部結構18、37之高度為185~191μm，產生吸力大於15Kpa，工作流率大於2ml/min，也會達到產生最大性能與流量。反而，凸部結構18、37之高度為192~500μm，產生吸力小於15Kpa， 工作流率在1~2ml/min，凸部結構18、37之高度為0~184μm，產生吸力小於15Kpa，工作流率在1~2ml/min。

當然，本案流體輸送裝置尤其適合用於流體採樣之可攜式或穿戴式儀器或設備中，當流體流經壓力腔室35中會與致動器4之振動板41接觸，而會受到壓電元件42電性影響，而讓流體會有帶電子特性，進而會影響採樣流體之監測性，因此為抑制傳輸流體產生帶電子特性，進一步包含一絕緣薄膜41a，貼附於振動板41一側面上形成絕緣體，促使流體通過壓力腔室35抑制接觸電性，不產生帶電子的流體。

綜上所述，本案流體輸送裝置主要由閥本體、閥體、閥腔體、致動器、軟性基板及蓋體依序層疊，再以數個鎖付元件鎖付定位組裝而成，不僅整個結構可以調整更緊密接合之組裝定位，也透過密封環之設置提供對入口開口、出口開口、入口閥門通道、出口閥門通道及壓力腔室周邊防止流體滲漏具備更佳防漏性，同時致動器在組裝後施以熱變形量，以形成致動器遠離壓力腔室保持一最大有效間距，藉由致動器作動時帶動振動板產生形變，使介於振動板及閥腔體間之壓力腔室的體積改變產生壓力差，而且由於閥體上之閥門片結構為可動薄片，因壓力差而被動產生流道開關，使流體單方向流動，推動流體使之產生固定流量，又閥門片結構之開合反應迅速，使得壓力腔室於漲縮的瞬間可產生較大之流體吸力與推力，故可使流體達到高效率之傳輸，並可有效阻擋流體之逆流，俾解決習知技術之輸送裝置於流體的傳送過程中易產生流體回流之現象，本案流體輸送裝置在停止後，亦可逆止流體回流，且在閥本體、閥腔體排空流體後，仍可重新吸入流體產生流動，以及軟性基板具有兩電性導片可直接提供連接致動器需求驅動電性，無須外部導線 採以長延伸穿伸至致動器電性連接。是以，本案之流體輸送裝置極具產業之價值，爰依法提出申請。

本案得由熟習此技術之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。

1:閥本體

11:入口通道

12:出口通道

3:閥腔體

51、52:電性導片

6:蓋體

7:鎖付元件

Claims (15)

1. 一種流體輸送裝置，包含：一閥本體，具有一入口通道、一出口通道及一第一組接表面，該入口通道及該出口通道於該第一組接表面各別連通一入口開口及一出口開口；一閥體，具有兩個閥門片，且環繞該閥門片週邊各設置複數個延伸支架以彈性支撐，並使每個該延伸支架相鄰之間各形成一鏤空孔；一閥腔體，對應組接該閥本體之該第一組接表面，並使該閥體定位於該閥本體與該閥腔體之間，又該閥腔體具有一第二組接表面、一第三組接表面、一入口閥門通道及一出口閥門通道，該入口閥門通道及該出口閥門通道由該第二組接表面貫通至該第三組接表面，且在該第三組接表面上部份凹陷形成一壓力腔室，該壓力腔室分別與該入口閥門通道、該出口閥門通道相連通；一致動器，封蓋該閥腔體之該壓力腔室，由一振動板以及一壓電元件組裝而成，其中該振動板一側面貼附固定該壓電元件；一軟性基板，封蓋於該致動器之該振動板上作電性連接，具有向外凸伸之兩電性導片，供以對外連接電性，以及具有向內凸伸之一壓電接觸片，供以連接電性該致動器之該壓電元件，促使該些電性導片對外連接電性施加電壓驅動該壓電元件產生形變，致使該振動板隨之產生做垂直向往復振動形變；以及一蓋體，封蓋於該軟性基板上，且該蓋體中心為一框孔，供以該致動器以在該框孔處產生形變位移； 其中，該致動器在組裝前施以熱變形量，以形成該致動器遠離該壓力腔室保持一最大有效間距。
2. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該最大有效間距為0.1mm。
3. 如請求項1之流體輸送裝置，其中該閥腔體之該壓力腔室由該第三組接表面向下凹陷深度為20~40μm。
4. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該閥腔體之該壓力腔室由該第三組接表面向下凹陷深度最佳為30μm。
5. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該閥本體之該第一組接表面上設置複數個卡榫槽，而該閥體上設有複數個定位孔，對應該些卡榫槽，以及該閥腔體之該第二組接表面設置複數個卡榫，對應該些卡榫槽，如此透過該閥腔體之該些卡榫對應穿伸到該閥體該些定位孔，以及對應到該閥本體之該些卡榫槽而相互卡接組合，促使該閥體定位於該閥本體與該閥腔體之間。
6. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該閥本體、該閥腔體、該致動器、該軟性基板及該蓋體上分別設置對應貫通之複數個貫穿孔，供以複數個鎖付元件對應穿伸入而定位組裝形成該流體輸送裝置。
7. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該閥本體之該出口開口及該閥腔體之該入口閥門通道周圍分別設置一凸部結構，供以該閥體之該閥門片緊貼封閉產生一預力作用。
8. 如請求項7所述之流體輸送裝置，其中該凸部結構之高度為185~191μm，產生吸力大於15Kpa。
9. 如請求項7所述之流體輸送裝置，其中該凸部結構之高度為192~500μm，產生吸力小於15Kpa。
10. 如請求項7所述之流體輸送裝置，其中該凸部結構之高度為0~184μm，產生吸力小於15Kpa。
11. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該閥本體之該入口開口及該出口開口周圍與該閥腔體在該第二組接表面之該入口閥門通道、該出口閥門通道周圍各設置有一凹槽，供二密封環套入防止流體滲漏，以及該閥腔體在該第三組接表面之該壓力腔室周圍設置有另一凹槽，供另一該密封環套入防止流體滲漏。
12. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該閥體為聚亞醯胺高分子材料所製成。
13. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該閥本體之該入口開口及該出口開口為呈錐狀型態。
14. 如請求項1所述之流體輸送裝置，其中該閥腔體之該入口閥門通道及該出口閥門通道為呈錐狀型態。
15. 如請求項1所述之流體輸送裝置，進一步包含一絕緣薄膜，貼附於該振動板一側面上形成絕緣體。

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