JPWO2008155928A1 - 光硬化性組成物および表面に微細パターンを有する成形体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)含フッ素モノマーと、フッ素を含まないモノマーと、含フッ素界面活性剤または含フッ素ポリマーと、重合開始剤とを含む光硬化性組成物(特許文献3)。
本発明の光硬化性組成物は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜30質量部の、(メタ)アクリロイルオキシ基を2つ有する化合物(E)(ただし、化合物(A)および化合物(B)を除く。)をさらに含むことが好ましい。
本発明の光硬化性組成物は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜90質量部の、(メタ)アクリロイルオキシ基を3つ以上有する化合物(F)(ただし、化合物(B)を除く。)をさらに含むことが好ましい。
本発明の光硬化性組成物は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜25質量部の含フッ素ポリマー(H)をさらに含み、かつ含フッ素ポリマー(H)の総量に対する化合物(B)の量が、0.5〜100倍質量であることが好ましい。
本発明の、表面に微細パターンを有する成形体の製造方法によれば、モールドの反転パターンが精密に転写された微細パターンを表面に有する、耐久性に優れた成形体を製造できる。
12 反転パターン
20 光硬化性組成物
30 基板
40 成形体
42 硬化物
44 微細パターン
本発明の光硬化性組成物は、化合物(A)〜(C)、および光重合開始剤(D)を含み、必要に応じて化合物(E)、化合物(F)、含フッ素界面活性剤(G)、含フッ素ポリマー(H)、他の添加剤をさらに含む組成物である。
化合物(A):環を2つ以上有する芳香族化合物または環を2つ以上有する脂環式化合物であり、かつ(メタ)アクリロイルオキシ基を2つ有する化合物。
化合物(B):フッ素原子を有し、かつ炭素−炭素不飽和二重結合を1つ以上有する化合物(ただし、化合物(A)を除く。)。
化合物(C):(メタ)アクリロイルオキシ基を1つ有する化合物(ただし、化合物(B)を除く。)。
化合物(E):(メタ)アクリロイルオキシ基を2つ有する化合物(ただし、化合物(A)および化合物(B)を除く。)。
化合物(F):(メタ)アクリロイルオキシ基を3つ以上有する化合物(ただし、化合物(B)を除く。)。
溶剤とは、化合物(A)〜(C)、光重合開始剤(D)、化合物(E)、化合物(F)、含フッ素界面活性剤(G)、含フッ素ポリマー(H)、および他の添加剤を除く化合物であり、かつ化合物(A)〜(C)、光重合開始剤(D)、化合物(E)、化合物(F)、含フッ素界面活性剤(G)、含フッ素ポリマー(H)、および他の添加剤のいずれかを溶解させる能力を有する化合物である。
実質的に溶剤を含まないとは、溶剤を全く含まないか、または、光硬化性組成物(100質量%)中、好ましくは1質量%以下、特には0.7質量%以下の溶剤しか含まない場合を意味する。特に、本発明では、光硬化性組成物を調製する際に用いた溶剤を残存溶剤として含んでいてもよいが、この場合も、残存溶剤は、極力除去されていることが好ましく、光硬化性組成物(100質量%)中、1質量%以下であるのが好ましい。
環を2つ以上有する芳香族化合物とは、ベンゼン環を2つ以上有する化合物であり、2つ以上のベンゼン環は、縮合環(ナフタレン環、アントラセン環等。)を形成していてもよい。芳香族化合物としては、ビスフェノール骨格を有する化合物、ナフタレン骨格を有する化合物、フルオレン骨格を有する化合物等が挙げられる。
環を2つ以上有する脂環式化合物とは、芳香族性を有さない炭化水素環を2つ以上有する化合物であり、1つの環内にブリッジを形成した多環系化合物であってもよい。多環系化合物としては、アダマンタン骨格を含むトリシクロデカン骨格を有する化合物、デカリン骨格を有する化合物、ノルボルネン骨格を有する化合物、イソボルニル骨格を有する化合物等が挙げられる。
ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート(エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAグリセロレートジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAプロポキシレートグリセロレートジ(メタ)アクリレート等。)、エトキシ化ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、フルオレンジ(メタ)アクリレート等。
化合物(A)の含有量は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計(100質量%)のうち、15〜60質量%であり、20〜45質量%が好ましい。化合物(A)の含有量が15質量%以上であれば、機械的強度に優れる硬化物を得ることができる。化合物(A)の含有量が60質量%以下であれば、硬化物がもろくなることはない。
化合物(B)としては、フルオロ(メタ)アクリレート類、フルオロジエン類、フルオロビニルエーテル類、フルオロ環状モノマー類等が挙げられ、相溶性の点から、フルオロ(メタ)アクリレート類またはフルオロジエン類が好ましい。
3−(パーフルオロ−3−メチルブチル)−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、
2,2,2−トリフルオロ−1−(トリフルオロメチル)エチル(メタ)アクリレート、
CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)10F、
CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)8F、
CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)6F、
CH2=C(CH3)COO(CH2)2(CF2)10F、
CH2=C(CH3)COO(CH2)2(CF2)8F、
CH2=C(CH3)COO(CH2)2(CF2)6F、
CH2=CHCOOCH2(CF2)6F、
CH2=C(CH3)COOCH2(CF2)6F、
CH2=CHCOOCH2(CF2)7F、
CH2=C(CH3)COOCH2(CF2)7F、
CH2=CHCOOCH2CF2CF2H、
CH2=CHCOOCH2(CF2CF2)2H、
CH2=CHCOOCH2(CF2CF2)4H、
CH2=C(CH3)COOCH2(CF2CF2)H、
CH2=C(CH3)COOCH2(CF2CF2)2H、
CH2=C(CH3)COOCH2(CF2CF2)4H、
CH2=CHCOOCH2CF2OCF2CF2OCF3、
CH2=CHCOOCH2CF2O(CF2CF2O)3CF3、
CH2=C(CH3)COOCH2CF2OCF2CF2OCF3、
CH2=C(CH3)COOCH2CF2O(CF2CF2O)3CF3、
CH2=CHCOOCH2CF(CF3)OCF2CF(CF3)O(CF2)3F、
CH2=CHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)2(CF2)3F、
CH2=C(CH3)COOCH2CF(CF3)OCF2CF(CF3)O(CF2)3F、
CH2=C(CH3)COOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)2(CF2)3F、
CH2=CFCOOCH2CH(OH)CH2(CF2)6CF(CF3)2、
CH2=CFCOOCH2CH(CH2OH)CH2(CF2)6CF(CF3)2、
CH2=CFCOOCH2CH(OH)CH2(CF2)10F、
CH2=CFCOOCH2CH(CH2OH)CH2(CF2)10F、
CH2=CHCOOCH2CF2(OCF2CF2)nOCF2CH2OCOCH=CH2(ただし、nは4〜20の整数を示す。)等。
CF2=CFOCF2CF=CF2、
CF2=CFOCF2CF2CF=CF2、
CF2=CFCF2CF=CF2、
CF2=CFCF2CH=CH2、
CF2=CFCF2C(CF3)(OH)CH2CH=CH2、
CF2=CFCF2C(CF3)(OH)CH=CH2、
CF2=CFCH2CH(CH2C(CF3)2OH)CH2CH=CH2等。
CF2=CFO(CF2)3F、
CF2=CFO(CF2)3COOCH3等。
化合物(B)の含有量は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計(100質量%)のうち、5〜40質量%であり、15〜35質量%が好ましい。化合物(B)の含有量が5質量%以上であれば、離型性に優れる硬化物を得ることができ、さらに光硬化性組成物の泡立ちが抑えられる。光硬化性組成物の泡立ちを抑制できることから、調製時にろ過がしやすくなり、さらにナノインプリントする時に泡の混入によるパターン形状の欠陥をなくすことができる。化合物(B)の含有量が40質量%以下であれば、均一に混合することができることから機械的強度の優れた硬化物を得ることができる。
化合物(C)は、他の成分を溶解させる成分であり、かつ化合物(A)と化合物(B)との相溶性を向上させる成分である。化合物(A)と化合物(B)との相溶性がよければ、光硬化性組成物の調製時の泡立ちが抑えられ、フィルターを通しやすくなる等、光硬化性組成物の調製が容易となり、また、均一な光硬化性組成物が得られる。さらに、均質な硬化物が得られることによって、離型性、機械的強度が充分に発揮できる。
化合物(C)の25℃における粘度は、0.1〜200mPa・sが好ましい。化合物(C)の粘度が該範囲であれば、光硬化性組成物の粘度を低く調整しやすい。
フェノキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシピロピル(メタ)アクリレート、フェノキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、ベヘニル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、ステアリル(メタ)アクリレート、イソステアリル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、3−(トリメトキシシリル)プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N,N−ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−メチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレート、2−エチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシ−1−アダマンチル(メタ)アクリレート、1−アダマンチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、β−カルボキシエチル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、2−(tert−ブチルアミノ)エチル(メタ)アクリレート、1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、4−tert−ブチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート等。
化合物(C)の含有量は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計(100質量%)のうち、10〜55質量%であり、15〜45質量%が好ましい。化合物(C)の含有量が10質量%以上であれば、光硬化性組成物の粘度を低く調整でき、かつ化合物(A)と化合物(B)との相溶性が良好となる。化合物(C)の含有量が55質量%以下であれば、感度が良好となり、架橋密度も上がることから、機械強度の優れた硬化物を得ることができる。
光重合開始剤(D)としては、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、α−アミノケトン系光重合開始剤、α−ヒドロキシケトン系光重合開始剤、α−アシルオキシムエステル、ベンジル−(o−エトキシカルボニル)−α−モノオキシム、アシルホスフィンオキサイド、グリオキシエステル、3−ケトクマリン、2−エチルアンスラキノン、カンファーキノン、テトラメチルチウラムスルフィド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルペルオキシド、ジアルキルペルオキシド、tert−ブチルパーオキシピバレート等が挙げられ、感度および相溶性の点から、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、α−アミノケトン系光重合開始剤またはベンゾフェノン系光重合開始剤が好ましい。
アセトフェノン、p−(tert−ブチル)1’,1’,1’−トリクロロアセトフェノン、クロロアセトフェノン、2’,2’−ジエトキシアセトフェノン、ヒドロキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2’−フェニルアセトフェノン、2−アミノアセトフェノン、ジアルキルアミノアセトフェノン等。
ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール等。
2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モリフォリノプロパン−1−オン等。
ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、メチル−o−ベンゾイルベンゾエート、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、ヒドロキシプロピルベンゾフェノン、アクリルベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン等。
光重合開始剤(D)の含有量は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計(100質量%)のうち、1〜12質量%であり、4〜10質量%が好ましい。光重合開始剤(D)の含有量が1質量%以上であれば、加熱等の操作を行うことなく、容易に硬化物を得ることができる。光重合開始剤(D)の含有量が12質量%以下であれば、均一に混合することができることから、硬化物に残存する光重合開始剤(D)が少なくなり、硬化物の物性の低下が抑えられる。
化合物(E)は、他の成分を溶解させる成分であり、かつ硬化物の機械的強度を向上させる成分である。化合物(E)が、グリコール系化合物の場合、さらに、硬化物の柔軟性が向上する。
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、グリセロール1,3−ジグリセロレートジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールエトキシレートジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールプロポキシレートジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシ−2,2−ジメチルプロピオネートジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールプロポキシレートジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールグリセロレートジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールグリセロレートジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−アクリロイロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−メチル−1,3−プロパンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパンベンゾエートジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレートモノステアリル酸、トリメチロールプロパンエトキシレートメチルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジウレタンジ(メタ)アクリレート、1,3−ビス(3−メタクリロイロキシプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン等。
化合物(E)の含有量は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜30質量部が好ましく、10〜25質量部がより好ましい。化合物(E)の含有量が5質量部以上であれば、光硬化性組成物の感度が向上する。化合物(E)の含有量が30質量部以下であれば、各成分の相溶性が良好となる。
化合物(F)は、硬化物の機械的強度(硬度)を向上させる成分である。
化合物(F)としては、下記の化合物が挙げられる。
トリ(メタ)アクリレート:トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ(メタ)アクリレート、ポリエーテルトリ(メタ)アクリレート、グリセリンプロポキシトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート等。
テトラ(メタ)アクリレート:ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート等。
ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、芳香族ウレタントリ(メタ)アクリレート、芳香族ウレタンテトラ(メタ)アクリレート、芳香族ウレタンヘキサ(メタ)アクリレート等。
化合物(F)の含有量は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜90質量部が好ましく、10〜80質量部がより好ましい。化合物(F)の含有量が5質量部以上であれば、硬化物の機械的強度が向上する。化合物(F)の含有量が90質量部以下であれば、光硬化性組成物の粘度を低く抑えることができる。
化合物(E)および化合物(F)の合計は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜110質量部が好ましく、10〜65質量部がより好ましい。
含フッ素界面活性剤(G)は、硬化物の離型性を向上させる成分である。
含フッ素界面活性剤(G)としては、フッ素含有量が10〜70質量%の含フッ素界面活性剤が好ましく、フッ素含有量が10〜40質量%の含フッ素界面活性剤がより好ましい。含フッ素界面活性剤は、水溶性であってもよく、脂溶性であってもよい。
アニオン性含フッ素界面活性剤の具体例としては、サーフロンS−111(商品名、セイミケミカル社製)、フロラードFC−143(商品名、スリーエム社製)、メガファークF−120(商品名、大日本インキ化学工業社製)等が挙げられる。
カチオン性含フッ素界面活性剤の具体例としては、サーフロンS−121(商品名、セイミケミカル社製)、フロラードFC−134(商品名、スリーエム社製)、メガファークF−150(商品名、大日本インキ化学工業社製)等が挙げられる。
両性含フッ素界面活性剤の具体例としては、サーフロンS−132(商品名、セイミケミカル社製)、フロラードFX−172(商品名、スリーエム社製)、メガファークF−120(商品名、大日本インキ化学工業社製)等が挙げられる。
ノニオン性含フッ素界面活性剤の具体例としては、サーフロンS−145(商品名、セイミケミカル社製)、サーフロンS−393(商品名、セイミケミカル社製)、サーフロンKH−20(商品名、セイミケミカル社製)、サーフロンKH−40(商品名、セイミケミカル社製)、フロラードFC−170(商品名、スリーエム社製)、フロラードFC−430(商品名、スリーエム社製)、メガファークF−141(商品名、大日本インキ化学工業社製)等が挙げられる。
含フッ素界面活性剤(G)の含有量は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して0.1〜3質量部が好ましく、0.5〜1質量部がより好ましい。含フッ素界面活性剤(G)の含有量が0.1質量部以上であれば、離型性が向上する。含フッ素界面活性剤(G)の含有量が3質量部以下であれば、光硬化性組成物の硬化の阻害が抑えられ、また、硬化物の相分離が抑えられる。
含フッ素ポリマー(H)は、光硬化性組成物の粘度を調整する成分である。
含フッ素ポリマー(H)の質量平均分子量は、500〜2000000が好ましく、1000〜1000000がより好ましく、3000〜500000が特に好ましい。含フッ素ポリマー(H)の質量平均分子量が該範囲であれば、他の成分との相溶性が良好となる。
含フッ素ポリマー(H)のフッ素含有量は、30〜70質量%が好ましく、45〜70質量%がより好ましい。含フッ素ポリマー(H)のフッ素含有量が該範囲であれば、光硬化性組成物に均一に溶解し、光硬化性組成物の粘度を調整しやすい。
CF2=CR11−Q−CR12=CH2 ・・・(h1)。
ただし、R11およびR12は、それぞれ水素原子、フッ素原子、炭素数1〜3のアルキル基、または炭素数1〜3のフルオロアルキル基を示し、Qは、酸素原子、−NR13−、または官能基を有していてもよい2価有機基を示し、R13は、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、アルキルカルボニル基、またはトシル基を示す。
フルオロオレフィン単位としては、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン、ペンタフルオロプロピレン、ヘキサフルオロプロピレン等が挙げられる。炭化水素系モノマー単位としては、ビニルエーテル、ビニルエステル、アリルエーテル、炭化水素系オレフィン、アクリレート、メタクリレート等が挙げられる。
フルオロエチレン単位としては、テトラフルオロエチレン、CF2=CFCl等が挙げられる。フルオロ(メタ)アクリレート単位としては、メタクリル酸2−ペルフルオロヘキシル)エチル、アクリル酸2−(ペルフルオロヘキシル)エチル、メタクリル酸2−(ペルフルオロオクチル)エチル、アクリル酸2−(ペルフルオロオクチル)エチル等が挙げられる。
CHR17=CH−O−R18 ・・・(h4)。
ただし、R17は、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基、ベンジル基を示し、R18は、炭素数1〜18のアルキル基、芳香環を含む炭素数10以下のアルキル基もしくはフェニル基、水酸基を含む炭素数10以下のアルキル基もしくはフェニル基、フッ素原子を含む炭素数10以下のアルキル基もしくはフェニル基、または、カルボン酸あるいはエステル基を含む炭素数10以下のアルキル基もしくはフェニル基を示す。
含フッ素ポリマー(H)の含有量は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜25質量部が好ましく、7〜20質量部がより好ましい。含フッ素ポリマー(H)の含有量が5質量部以上であれば、光硬化性組成物の粘度の調整効果が得られる。含フッ素ポリマー(H)の含有量が25質量部以下であれば、光硬化性組成物の硬化の阻害が抑えられ、また、硬化物の相分離が抑えられる。
化合物(E)、化合物(F)、含フッ素界面活性剤(G)および含フッ素ポリマー(H)の合計は、化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して0.1〜125質量部が好ましく、0.5〜85質量部がより好ましい。
光硬化性組成物は、化合物(A)〜(C)、光重合開始剤(D)、化合物(E)、化合物(F)、含フッ素界面活性剤(G)、含フッ素ポリマー(H)を除く、他の添加剤を含んでいてもよい。
他の添加剤としては、光増感剤、他の樹脂、金属酸化物微粒子、炭素化合物、金属微粒子、他の有機化合物等が挙げられる。
金属酸化物微粒子としては、チタニア、シリカ等が挙げられる。
炭素化合物としては、カーボンナノチューブ、フラーレン等が挙げられる。
金属微粒子としては、銅、白金等が挙げられる。
他の有機化合物としては、ポルフィリン、金属内包ポリフィリン等が挙げられる。
本発明の、表面に微細パターンを有する成形体の製造方法は、下記の(1)〜(3)の工程を有する。
(1)本発明の光硬化性組成物を、微細パターンの反転パターンを表面に有するモールドの該反転パターンを有する表面に接触させる工程。
(2)モールドの表面に光硬化性組成物を接触させた状態で、光硬化性組成物に光を照射し、光硬化性組成物を硬化させて硬化物とする工程。
(3)硬化物からモールドを分離して、表面に微細パターンを有する成形体を得る工程。
下記の工程(a−1)〜(a−4)を有する方法。
(a−1)図1に示すように、光硬化性組成物20を基板30の表面に配置する工程。
(a−2)図1に示すように、モールド10を、該モールド10の反転パターン12が光硬化性組成物20に接するように、光硬化性組成物20に押しつける工程。
(a−3)モールド10を光硬化性組成物20に押しつけた状態で、光硬化性組成物20に光を照射し、光硬化性組成物20を硬化させて硬化物とする工程。
(a−4)硬化物からモールド10、または基板30およびモールド10を分離して、表面に微細パターンを有する成形体を得る工程。
下記の工程(b−1)〜(b−4)を有する方法。
(b−1)図2に示すように、光硬化性組成物20をモールド10の反転パターン12の表面に配置する工程。
(b−2)図2に示すように、基板30をモールド10の表面の光硬化性組成物20に押しつける工程。
(b−3)基板30を光硬化性組成物20に押しつけた状態で、光硬化性組成物20に光を照射し、光硬化性組成物20を硬化させて硬化物とする工程。
(b−4)硬化物からモールド10、または基板30およびモールド10を分離して、表面に微細パターンを有する成形体を得る工程。
下記の工程(c−1)〜(c−4)を有する方法。
(c−1)図1に示すように、基板30とモールド10とを、モールド10の反転パターン12が基板30側になるように接近または接触させる工程。
(c−2)図1に示すように、光硬化性組成物20を基板30とモールド10との間に充填する工程。
(c−3)基板30とモールド10とが接近または接触した状態で、光硬化性組成物20に光を照射し、光硬化性組成物20を硬化させて硬化物とする工程。
(c−4)硬化物からモールド10、または基板30およびモールド10を分離して、表面に微細パターンを有する成形体を得る工程。
無機材料としては、シリコンウェハ、ガラス、石英ガラス、金属(アルミニウム、ニッケル、銅等。)、金属酸化物(アルミナ等。)、窒化珪素、窒化アルミニウム、ニオブ酸リチウム等が挙げられる。
有機材料としては、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート等。)、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロン樹脂、ポリフェニレンサルファイド、環状ポリオレフィン等が挙げられる。
基板としては、光硬化性組成物との密着性に優れる点から、表面処理された基板を用いてもよい。表面処理としては、プライマー塗布処理、オゾン処理、プラズマエッチング処理等が挙げられる。プライマーとしては、シランカップリング剤、シラザン等が挙げられる。
非透光材料としては、シリコンウェハ、ニッケル、銅、ステンレス、チタン、SiC、マイカ等が挙げられる。
透光材料としては、石英、ガラス、ポリジメチルシロキサン、環状ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、透明フッ素樹脂等が挙げられる。
凸部としては、モールドの表面に延在する長尺の凸条、表面に点在する突起等が挙げられる。
凹部としては、モールドの表面に延在する長尺の溝、表面に点在する孔等が挙げられる。
凸条または溝の、長手方向に直交する方向の断面形状としては、長方形、台形、三角形、半円形等が挙げられる。
突起または孔の形状としては、三角柱、四角柱、六角柱、円柱、三角錐、四角錐、六角錐、円錐、半球、多面体等が挙げられる。
突起または孔の幅は、平均で1nm〜100μmが好ましく、10nm〜10μmがより好ましい。突起の幅とは、底面が細長い場合、長手方向に直交する方向の断面における底辺の長さを意味し、そうでない場合、突起の底面における最大長さを意味する。孔の幅とは、開口部が細長い場合、長手方向に直交する方向の断面における上辺の長さを意味し、そうでない場合、孔の開口部における最大長さを意味する。
凹部の深さは、平均で1nm〜100μmが好ましく、10nm〜10μmがより好ましい。
凹部の最小寸法は、1nm〜50μmが好ましく、1nm〜500nmがより好ましく、1nm〜50nmが特に好ましい。最小寸法とは、凹部の幅、長さおよび深さのうち最小の寸法を意味する。
光硬化性組成物の配置方法としては、インクジェット法、ポッティング法、スピンコート法、ロールコート法、キャスト法、ディップコート法、ダイコート法、ラングミュラープロジェット法、真空蒸着法等が挙げられる。
光硬化性組成物は、基板の全面に配置してもよく、基板の表面の一部に配置してもよい。
モールドを光硬化性組成物に押しつける際のプレス圧力(ゲージ圧)は、0超〜10MPa以下が好ましく、0.1〜5MPaがより好ましい。モールドを光硬化性組成物に押しつける際の温度は、0〜100℃が好ましく、10〜60℃がより好ましい。
光硬化性組成物の配置方法としては、インクジェット法、ポッティング法、スピンコート法、ロールコート法、キャスト法、ディップコート法、ダイコート法、ラングミュラープロジェット法、真空蒸着法等が挙げられる。
光硬化性組成物は、モールドの反転パターンの全面に配置してもよく、反転パターンの一部に配置してもよく、反転パターンの全面に配置することが好ましい。
基板を光硬化性組成物に押しつける際のプレス圧力(ゲージ圧)は、0超〜10MPa以下が好ましく、0.1〜5MPaがより好ましい。基板を光硬化性組成物に押しつける際の温度は、0〜100℃が好ましく、10〜60℃がより好ましい。
光硬化性組成物を基板とモールドとの間に充填する方法としては、毛細管現象により空隙に光硬化性組成物を吸引する方法が挙げられる。
光硬化性組成物を充填する際の温度は、0〜100℃が好ましく、10〜60℃がより好ましい。
光を照射する方法としては、透光材料製モールドを用い該モールド側から光照射する方法、透光材料製基板を用い該基板側から光照射する方法が挙げられる。光の波長は、200〜500nmが好ましい。光を照射する際には、光硬化性組成物を加熱して硬化を促進してもよい。
光を照射する際の温度は、0〜100℃が好ましく、10〜60℃がより好ましい。
硬化物からモールド、または基板およびモールドを分離する際の温度は、0〜100℃が好ましく、10〜60℃がより好ましい。
硬化物からモールドのみを分離した場合、図4に示すような、モールドの反転パターンが転写された表面を有する硬化物42と基板30とからなる、表面に微細パターン44を有する成形体40(積層体)が得られる。
光学素子:マイクロレンズアレイ、光導波路素子、光スイッチング素子(グリッド偏光素子、波長板等。)、フレネルゾーンプレート素子、バイナリー素子、ブレーズ素子、フォトニック結晶等。
反射防止部材:AR(Anti Reflection)コート部材等。
チップ類:バイオチップ、μ−TAS(Micro−Total Analysis Systems)用のチップ、マイクロリアクターチップ等。
その他:記録メディア、ディスプレイ材料、触媒の担持体、フィルター、センサー部材、半導体装置の製造に用いられるレジスト、ナノインプリント用のドーターモールド等。
レジストとして用いる場合、該微細パターンを有する成形体をマスクとして基板をエッチングすることで、基板に微細パターンを形成できる。
例1〜10、19〜27は実施例であり、例11〜18は比較例である。
含フッ素ポリマー(H)の質量平均分子量は、GPC分析装置(東ソー社製、HLC−8220)を用いて測定した。
光硬化性組成物の25℃における粘度は、粘度計(東機産業社製、TV−20)を用いて測定した。該粘度計は、標準液(JS50(25℃で33.17mPa・S))で校正済みのものである。粘度は300mPa・S以下の値の時に良好であると判断した。
光硬化性組成物の感度は、下記のようにして求めた。
光硬化性組成物をスピンコート法にて膜厚約1.5μmになるように塗膜し、そこに高圧水銀灯(1.5〜2.0kHzにおいて255、315、および365nmに主波長を有する光源。)からの光を照射し、完全に硬化するまでの積算光量を求め、感度とした。
光硬化性組成物が完全に硬化したかどうかは、IRスペクトルを測定し、アクリル部分のオレフィンの吸収の有無により判断した。感度は500mJ/cm2以下の値の時に良好であると判断した。
体積収縮率は、下記のようにして求めた。
25℃にて、試験管(ガラス製)に光硬化性組成物をL1の高さまで封入し、光硬化性組成物に高圧水銀灯(1.5〜2.0kHzにおいて255、315、および365nmに主波長を有する光源。)からの光を15秒間照射し、得られた硬化物の高さL2を測定した。下記式から体積収縮率を求めた。体積収縮率は15%以下の時に良好であると判断した。
体積収縮率(%)=(L1−L2)/L1×100。
硬化物の水に対する接触角は、下記のようにして測定した。
光硬化性組成物に高圧水銀灯(1.5〜2.0kHzにおいて255、315、および365nmに主波長を有する光源。)からの光を15秒間照射し、硬化物を得た。
該硬化物について、接触角計(協和界面科学社製、CA−X150型)を用い、4μLの水を硬化物の表面に着滴させて測定した。
接触角は、硬化物の離型性の目安となる。接触角は、75度以上の時に良好であると判断した。
硬化物の鉛筆硬度は、下記のようにして測定した。
光硬化性組成物に高圧水銀灯(1.5〜2.0kHzにおいて255、315、および365nmに主波長を有する光源。)からの光を15秒間照射し、硬化物を得た。
該硬化物の鉛筆硬度を、JIS K5400(旧JIS)に準拠し、1kg荷重の条件で求めた。
鉛筆硬度は、硬化物の機械的強度の目安となる。鉛筆硬度は、F以上の時に良好であると判断した。
ドライエッチング耐性は、下記のようにして求めた。
光硬化性組成物を基板(シリコンウェハ)に塗布した後、光硬化性組成物に高圧水銀灯(1.5〜2.0kHzにおいて255、315、および365nmに主波長を有する光源。)からの光を15秒間照射し、硬化物とした。該硬化物が形成された基板と、ポリメチルメタクリレート(以下、PMMAと記す。)を塗布した基板とを用意し、同時にRIE−10NR(SAMCO社製)を用い、CF4/O2(40/10sccm)、圧力5Pa、出力70W、120秒の条件で、同時にエッチング処理を行い、エッチング処理前後の膜厚の差から、エッチング速度を割り出し、PMMAのエッチング速度を1としたときの硬化物のエッチング速度の相対値を求め、ドライエッチング耐性とした。ドライエッチング耐性は0.6以下の時に良好であると判断した。
CH2=CHCOOCH2CH2(CF2)6F ・・・(B11)。
CF2=CFCF2C(CF3)(OH)CH2CH=CH2 ・・・(B2)。
光重合開始剤(D1):チバ・ガイギー・スペシャリティー社製、商品名:イルガキュア651。
含フッ素界面活性剤(G1):ノニオン系含フッ素界面活性剤、セイミケミカル社製、商品名:サーフロンS−393。
化合物(B2)の9.00g、1,4−ジオキサンの38.37gを、耐圧反応器(内容積50mL、ガラス製)に仕込み、つぎにジイソプロピルペルオキシジカーボネートの0.71gを仕込んだ。反応器内を凍結脱気してから、内温を40℃に保持して、18時間重合を行った。つぎにヘキサン中に反応器の内容液を滴下した。凝集した固形分を回収し、110℃にて40時間、真空乾燥して白色粉末状の、下記繰り返し単位を有する非結晶性含フッ素ポリマー(フッ素含有量56.3質量%)(以下、含フッ素ポリマー(H11)と記す。)の6.33gを得た。含フッ素ポリマー(H11)は、ガラス転移点温度が118℃であり、数平均分子量が2600であり、質量平均分子量が4800であった。
含フッ素ポリマー(H41):旭硝子社製、商品名:ルミフロンLF710、質量平均分子量40000。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の1.52g、化合物(B11)の0.88g、化合物(C1)の1.44gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのポリエチレンテレフタレート(以下、PTFEと記す。)製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.52g、化合物(B11)の0.88g、化合物(C1)の1.44gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A3)の1.52g、化合物(B11)の0.88g、化合物(C1)の1.44gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.52g、化合物(B2)の0.88g、化合物(C1)の1.44gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.52g、化合物(B11)の0.88g、化合物(C2)の1.44gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.32g、化合物(B11)の0.80g、化合物(C1)の1.32g、化合物(E1)の0.40gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.20g、化合物(B11)の0.80g、化合物(C1)の1.20g、化合物(E1)の0.32g、化合物(F1)の0.32gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.20g、化合物(B11)の0.80g、化合物(C1)の1.20g、化合物(E1)の0.28g、化合物(F1)の0.28g、含フッ素界面活性剤(G1)の0.08gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.20g、化合物(B11)の0.80g、化合物(C1)の1.20g、化合物(E1)の0.28g、含フッ素界面活性剤(G1)の0.08g、含フッ素ポリマー(H11)の0.28gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.20g、化合物(B11)の0.80g、化合物(C1)の1.20g、化合物(E1)の0.28g、含フッ素界面活性剤(G1)の0.08g、含フッ素ポリマー(H41)の0.28gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の0.28g、化合物(B11)の1.56g、化合物(C1)の2.00gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の3.00g、化合物(B11)の0.40g、化合物(C1)の0.44gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。しかし、硬化物は硬くてもろく自立膜として取り扱うことが困難であった。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の1.84g、化合物(B11)の0.12g、化合物(C1)の1.88gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の0.80g、化合物(B11)の2.20g、化合物(C1)の0.84gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合したが、均一に混合せず、相分離を引き起こしてしまった。該組成物の組成を表1に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の1.96g、化合物(B11)の1.60g、化合物(C1)の0.28gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合したが、均一に混合せず、相分離を引き起こしてしまった。該組成物の組成を表1に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の0.60g、化合物(B11)の0.24g、化合物(C1)の3.00gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。しかし、硬化物はもろくて自立膜として取り扱うことが困難であった。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の1.60g、化合物(B11)の0.96g、化合物(C1)の1.42gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.02gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。しかし、光照射しても未硬化部分が多く硬化物を得ることができなかった。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の1.20g、化合物(B11)の0.72g、化合物(C1)の1.28gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.80gを混合したが、完全に光重合開始剤(D1)が溶解しなかったため均一な組成物を得ることはできなかった。該組成物の組成を表1に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の1.44g、化合物(B11)の0.88g、化合物(C1)の1.44g、化合物(E1)の0.08gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A1)の1.08g、化合物(B11)の0.56g、化合物(C1)の1.20g、化合物(E1)の1.00gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.32g、化合物(B11)の0.88g、化合物(C1)の1.40g、化合物(E1)の0.20g、化合物(F1)の0.04gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の0.64g、化合物(B11)の0.40g、化合物(C1)の0.72g、化合物(E1)の0.26g、化合物(F1)の1.82gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.20g、化合物(B11)の0.20g、化合物(C1)の1.24g、化合物(E1)の0.80g、化合物(F1)の0.40g、含フッ素界面活性剤(G1)の0.002gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.08g、化合物(B11)の0.88g、化合物(C1)の1.08g、化合物(E1)の0.68g、含フッ素界面活性剤(G1)の0.12gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の1.28g、化合物(B11)の0.80g、化合物(C1)の1.28g、化合物(E1)の0.280g、含フッ素界面活性剤(G1)の0.08g、含フッ素ポリマー(H11)の0.12gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.16gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
バイヤル容器(内容積6mL)に、化合物(A2)の0.96g、化合物(B11)の0.68g、化合物(C1)の1.00g、化合物(E1)の0.20g、含フッ素界面活性剤(G1)の0.08g、含フッ素ポリマー(H11)の0.84gを加え、つぎに光重合開始剤(D1)の0.24gを混合し、0.2μmのPTFE製のフィルターにてろ過して、光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表1に、評価結果を表2に示す。
25℃にて、例2の光硬化性組成物の1滴をシリコンウェハ上に垂らし、該組成物が均一に塗布されたシリコンウェハを得た。幅800nm、深さ180nm、長さ10μmの凹部を表面に有する石英製モールドを、シリコンウェハ上の光硬化性組成物に押しつけて、そのまま0.5MPa(ゲージ圧)でプレスした。
つぎに25℃にて、モールド側から光硬化性組成物に高圧水銀灯(1.5〜2.0kHzにおいて255、315、および365nmに主波長を有する光源。)からの光を15秒間照射して、光硬化性組成物の硬化物を得た。25℃にて、モールドをシリコンウェハから分離して、モールドの凹部が反転した凸部を表面に有する硬化物がシリコンウェハの表面に形成された成形体を得た。該凸部の底面から頂上面まで高さは、178〜180nmであった。
なお、2007年6月20日に出願された日本特許出願2007−162466号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (10)
- 環を2つ以上有する芳香族化合物または環を2つ以上有する脂環式化合物であり、かつ(メタ)アクリロイルオキシ基を2つ有する化合物(A)と、
フッ素原子を有し、かつ炭素−炭素不飽和二重結合を1つ以上有する化合物(B)(ただし、化合物(A)を除く。)と、
(メタ)アクリロイルオキシ基を1つ有する化合物(C)(ただし、化合物(B)を除く。)と、
光重合開始剤(D)とを含み、
化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計(100質量%)のうち、化合物(A)が15〜60質量%であり、化合物(B)が5〜40質量%であり、化合物(C)が10〜55質量%であり、光重合開始剤(D)が1〜12質量%である、光硬化性組成物。 - 実質的に溶剤を含まない、請求項1に記載の光硬化性組成物。
- 化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜30質量部の、(メタ)アクリロイルオキシ基を2つ有する化合物(E)(ただし、化合物(A)および化合物(B)を除く。)をさらに含む、請求項1または2に記載の光硬化性組成物。
- 化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜90質量部の、(メタ)アクリロイルオキシ基を3つ以上有する化合物(F)(ただし、化合物(B)を除く。)をさらに含む、請求項1〜3のいずれかに記載の光硬化性組成物。
- 化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して0.1〜3質量部の含フッ素界面活性剤(G)をさらに含み、
かつ含フッ素界面活性剤(G)の総量に対する化合物(B)の量が、0.5〜100倍質量である、請求項1〜4のいずれかに記載の光硬化性組成物。 - 化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)および光重合開始剤(D)の合計100質量部に対して5〜25質量部の含フッ素ポリマー(H)をさらに含み、
かつ含フッ素ポリマー(H)の総量に対する化合物(B)の量が、0.5〜100倍質量である、請求項1〜5のいずれかに記載の光硬化性組成物。 - 表面に微細パターンを有する成形体の製造方法であり、
請求項1〜6のいずれかに記載の光硬化性組成物を、前記微細パターンの反転パターンを表面に有するモールドの該反転パターンを有する表面に接触させる工程と、
前記モールドの表面に前記光硬化性組成物を接触させた状態で、前記光硬化性組成物に光を照射し、前記光硬化性組成物を硬化させて硬化物とする工程と、
前記硬化物から前記モールドを分離して、表面に微細パターンを有する成形体を得る工程と、
を有する、表面に微細パターンを有する成形体の製造方法。 - 表面に微細パターンを有する成形体の製造方法であり、
請求項1〜6のいずれかに記載の光硬化性組成物を、基板の表面に配置する工程と、
前記微細パターンの反転パターンを表面に有するモールドを、該モールドの反転パターンが前記光硬化性組成物に接するように、前記光硬化性組成物に押しつける工程と、
前記モールドを前記光硬化性組成物に押しつけた状態で、前記光硬化性組成物に光を照射し、前記光硬化性組成物を硬化させて硬化物とする工程と、
前記硬化物から前記モールド、または前記基板および前記モールドを分離して、表面に微細パターンを有する成形体を得る工程と、
を有する、表面に微細パターンを有する成形体の製造方法。 - 表面に微細パターンを有する成形体の製造方法であり、
請求項1〜6のいずれかに記載の光硬化性組成物を、前記微細パターンの反転パターンを表面に有するモールドの該反転パターンを有する表面に配置する工程と、
基板を、前記光硬化性組成物に押しつける工程と、
前記基板を前記光硬化性組成物に押しつけた状態で、前記光硬化性組成物に光を照射し、前記光硬化性組成物を硬化させて硬化物とする工程と、
前記硬化物から前記モールド、または前記基板および前記モールドを分離して、表面に微細パターンを有する成形体を得る工程と、
を有する、表面に微細パターンを有する成形体の製造方法。 - 表面に微細パターンを有する成形体の製造方法であり、
基板と、前記微細パターンの反転パターンを表面に有するモールドとを、該モールドの反転パターンが前記基板の側になるように接近または接触させる工程と、
請求項1〜6のいずれかに記載の光硬化性組成物を、前記基板と前記モールドとの間に充填する工程と、
前記基板と前記モールドとが接近または接触した状態で、前記光硬化性組成物に光を照射し、前記光硬化性組成物を硬化させて硬化物とする工程と、
前記硬化物から前記モールド、または前記基板および前記モールドを分離して、表面に微細パターンを有する成形体を得る工程と、
を有する、表面に微細パターンを有する成形体の製造方法。
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