JPWO2005030435A1 - クランプ装置 - Google Patents

Abstract

第２ブロック（２）に備えた差込孔（５）に挿入可能となるようにプラグ部（２７）を第１ブロック（１）から突出させる。前記第２ブロック（２）の被支持面（２ａ）と接当可能となるように、前記第１ブロック（１）に支持面（９ａ）が備えられる。この支持面（９ａ）には流体流通孔（５９）が形成される。前記被支持面（２ａ）と前記支持面（９ａ）との間に隙間（Ｇ１）を形成させるように、前記第２ブロック（２）に対し第１ブロック（１）から離間させる方向の力を作用させる隙間維持部材（Ｋ）が、前記第１ブロック（１）に設けられる。引張部材（２１）は、前記プラグ部（２７）の外周面を前記差込孔（５）の内周面に密着させた状態で、前記の隙間維持部材（Ｋ）の作用力に抗して前記第２ブロック（２）を前記第１ブロック（１）へ接近させ、前記隙間（Ｇ１）を消失させて前記支持面（９ａ）と前記被支持面（２ａ）とを接当させる。

Description

本発明は、クランプ装置に関し、より詳しく言えば、工作機械のテーブル等の基準部材にパレット等の可動部材をクランピングする装置に関する。

この種のクランプ装置としては、例えば下記特許文献１に記載されたように、次のように構成されたものがある。
工作機械のベッドに固定した治具の上面に複数の基準片を取り付ける。各基準片の上面に、ワークの既加工面を受け止めるクランプ基準面を形成する。そのクランプ基準面に、圧縮空気源に連通する噴孔を上向きに開口させる。

そして、上記ワークのクランプ時には、前記の噴孔から上方へ噴出する圧縮空気によって前記のワーク既加工面を清掃して、そのワーク既加工面と前記クランプ基準面との間に切屑が挟み込まれることを防止する。
日本国・特開昭５４−１７５８０号公報

しかし、上記特許文献１の構成では、クランプが適切に行われたか否か、即ち、前記クランプ基準面にワーク既加工面が完全に密着した状態でクランプできているかを検知することができない。例えば、切屑等の異物が、前記墳孔からの圧縮空気によっては完全に除去されず、前記クランプ基準面と前記ワーク既加工面との両面間に挟み込まれて上記の両面の間に隙間が生じている場合には、それを検知することができない。

この結果、上記のようなクランプ異常が発生した状態で機械加工が継続されてしまうおそれがあった。これにより、加工精度が低下したり、極端な場合には工具が破損してしまうおそれがあった。

［課題を解決するための手段及び効果］
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

（第１の発明）
第１の発明のクランプ装置は、例えば図１から図３、図１１、図１２、図１５に示すように、以下のように構成した。
第２ブロック２に備えた差込孔５に挿入可能となるように、第１ブロック１からプラグ部２７を突出させる。前記第２ブロック２に備えられる被支持面２ａと接当可能となるように、前記第１ブロック１に支持面９ａが備えられる。前記支持面９ａに流体流通孔５９が形成される。前記第２ブロック２を第１ブロック１から離間させる方向へ押して前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に隙間Ｇ１を形成させるように、隙間維持部材Ｋを前記第１ブロック１に設ける。引張部材２１が、前記プラグ部２７の外周面を前記差込孔５の内周面に径方向に密着させた状態で前記の隙間維持部材Ｋの前記の押す力に抗して前記第２ブロック２を前記第１ブロック１へ接近させて、前記隙間Ｇ１を消失させる。

これによると、前記の流体流通孔５９の圧力を検出することで、前記支持面９ａと前記被支持面２ａとの間に切屑等の異物が噛み込まれてクランプされた場合等のクランプ異常を容易に検出することができる。
即ち、アンクランプ状態では、前記の隙間維持部材Ｋによって前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１が形成される。一方で、クランプ状態ではその隙間Ｇ１を前記引張部材２１によって消失させて前記支持面９ａと前記被支持面２ａとを接当させる。従って、クランプ状態かアンクランプ状態かの判別を、前記の流体流通孔５９の圧力を検出することで容易に行うことができる。

（第２の発明）
第１の発明においては、例えば図２、図１１、図１２、図１５に示すように、以下のように構成することが好ましい。
前記第１ブロック１は前記第２ブロック２の下側に位置している。前記の隙間維持部材Ｋは、前記第２ブロック２の自重を支えることで、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１を形成させるように構成する。

これによると、アンクランプ状態において前記第２ブロック２に自重が作用するが、その自重にかかわらず、その被支持面２ａと前記支持面９ａとの間には、前記の隙間維持部材Ｋの作用によって前記隙間Ｇ１が形成される。従って、クランプ状態かアンクランプ状態かの判別を、前記流体流通孔５９の圧力を検出することで容易に行うことができる。

（第３の発明）
第１の発明においては、例えば図１から図３、図１１、図１２、図１５に示すように、前記流体流通孔５９から圧力流体を噴出するように構成することが好ましい。

これによると、アンクランプ状態においては、前記の隙間維持部材Ｋによって前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１が形成されるので、前記流体流通孔５９に圧力流体を供給してもその圧力は増加しない。一方で、クランプ状態ではその隙間Ｇ１を前記引張部材２１によって消失させて前記支持面９ａと前記被支持面２ａとを接当させるので、前記流体流通孔５９の圧力が増加する。従って、クランプ状態かアンクランプ状態かの判別を、前記流体流通孔５９の圧力を検出することで容易に行うことができる。

（第４の発明）
第１の発明において、前記流体流通孔５９から空気を吸引するように構成することもできる。

これによると、アンクランプ状態においては、前記の隙間維持部材Ｋによって前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１が形成されるので、前記流体流通孔５９から空気を吸引してもその圧力は減少しない。一方で、クランプ状態ではその隙間Ｇ１を前記引張部材２１によって消失させて前記支持面９ａと前記被支持面２ａとを接当させるので、前記流体流通孔５９の圧力が減少する。従って、クランプ状態かアンクランプ状態かの判別を、前記流体流通孔５９の圧力を検出することで容易に行うことができる。

（第５の発明）
第１の発明においては、例えば図１から図３、図１１、図１２に示すように、前記の隙間維持部材Ｋは弾性体２５であることが好ましい。

これによると、アンクランプ状態において、前記弾性体２５の弾発力の作用によって、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１が形成される。従って、クランプ装置の簡素な構成が実現される。

（第６の発明）
第１の発明においては、例えば図１５に示すように、前記の隙間維持部材Ｋは圧力流体で駆動されるピストン７６であってもよい。

これによると、アンクランプ状態において、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１を形成させるために前記第２ブロック２を第１ブロック１から離間させる方向に作用させる力を、圧力流体の圧力を調整することで容易に制御できる。

（第７の発明）
第１の発明においては、例えば図１１、図１２、図１５に示すように、前記第２ブロック２の前記差込孔５の開口端の周囲に接触するとともに前記の隙間維持部材Ｋの前記の押す力を当該第２ブロック２に伝達する鍔部６９を備えることが好ましい。

これによると、コンパクトな構成で、前記の隙間維持部材Ｋの力を前記第２ブロック２に確実に伝達できる。また、前記差込孔５の開口端の周囲に前記鍔部６９が接触する構成であるから、前記差込孔５の形状を簡素にすることができる。更には、前記の隙間維持部材Ｋと前記第２ブロック２との直接の接触を回避でき、前記の隙間維持部材Ｋを保護してその寿命を延ばすことができる。

（第８の発明）
第１の発明においては、例えば図４に示すように、前記の隙間維持部材Ｋが前記第２ブロック２の前記差込孔５の開口端の周囲に接触してもよい。

これによると、前記の隙間維持部材Ｋが直接に前記差込孔５の開口端の周囲に接触して前記第２ブロック２を第１ブロック１から離間させる方向に力を作用させる構成であるので、構成を簡素化でき、部品点数を少なくできる。

（第９の発明）
第１の発明においては、例えば図１から図３までに示すように、前記プラグ部２７の外周面が前記差込孔５の内周面に密着したときに、前記第２ブロック２が前記第１ブロック１に対し前記プラグ部２７の径方向に位置決めされることが好ましい。

これによると、前記第１ブロック１に対し前記第２ブロック２を前記プラグ部２７の軸心方向にクランプする際に、そのプラグ部２７の径方向に位置決めが行われる。従って、位置決め機能を有するクランプ装置を簡素でコンパクトに構成できる。

（第１０の発明）
第１の発明においては、例えば図１１、図１２、図１５に示すように、前記第１ブロック１に対して前記プラグ部２７を径方向に移動可能に構成することもできる。

これによると、前記第１ブロック１に対し前記第２ブロック２を前記プラグ部２７の軸心方向にクランプする際に、前記プラグ部２７と前記差込孔５との軸心ズレを許容できる。

（第１１の発明）
第１の発明においては、例えば図１から図３、図１１、図１２、図１５に示すように、以下のように構成することが好ましい。
前記プラグ部２７は、傾斜内面１７を有する外側部材（７１，７８）を上下移動自在に備える。前記引張部材２１は、前記傾斜内面１７のテーパ係合によって前記外側部材（７１，７８）を拡径させて前記差込孔５に密着させつつ、前記外側部材（７１，７８）及び前記差込孔５を介して前記第２ブロック２を前記第１ブロック１側へ近接させるように構成する。

これによると、外側部材（７１，７８）がテーパ係合によって拡径して前記差込孔５に密着し、その密着による摩擦力や塑性変形力などによって前記第２ブロック２を前記第１ブロック１側へ近接させる構成であるので、確実なクランプを実現できるとともに、クランプ装置や差込孔５を簡素に構成できる。
また、クランプ状態において前記第２ブロック２の６面のうち前記第１ブロック１側を向く面を除いた５面にアクセスでき、良好な作業性が実現される。

（第１２の発明）
第１１の発明においては、例えば図１２、図１５に示すように、前記の隙間維持部材Ｋは、前記外側部材７８を先端側の位置に保持する手段を兼ねることが好ましい。

これによると、前記外側部材７８を先端側の位置に保持する手段を特別に設ける必要がなくなる。従って、クランプ装置は、構成が簡素化され、部品点数が少なくなる。

（第１３の発明）
第１１の発明においては、例えば図１から図３、図１１に示すように、前記の隙間維持部材Ｋは、前記外側部材（７１，７８）の前記傾斜内面１７にテーパ係合する傾斜外面１３を有する部材（６１，６８）を先端側の位置に保持する手段を兼ねさせることもできる。

これにより、前記傾斜外面１３を有する部材（６１，６８）を先端側の位置に保持する手段を特別に設ける必要がなくなる。従って、クランプ装置は、構成が簡素化され、部品点数が少なくなる。

図１は、本発明の第１実施形態のクランプ装置のプラグ手段の斜視図である。 図２は、上記クランプ装置のアンクランプ状態の立面断面図である。 図３は、図２の３−３断面矢視図である。 図４は、図２の状態からパレットを下降させて皿バネの上に乗せ、支持面と被支持面との間に隙間を形成させた状態を示す立面断面図である。 図５は、図４の５−５断面矢視図である。 図６は、図４の状態からクランプ動作を行わせ、前記プラグ手段のプラグ部の外周面が差込孔の内周面に密着した様子を示す立面断面図である。 図７は、図６の７−７断面矢視図である。 図８は、図６の状態からクランプ動作を継続し、差込孔に密着したプラグ部がパレットを引っ張って下降させて、支持面と被支持面とを接当させた状態を示す立面断面図である。 図９は、図８の状態から更にクランプ動作を継続し、プラグ部の外周面が差込孔に強力に密着した様子を示す立面断面図である。 図１０は、第２実施形態のクランプ装置の立面断面図であって、図４に類似する図である。 図１１は、第３実施形態のクランプ装置の立面断面図であって、図４に類似する図である。 図１２は、第４実施形態のクランプ装置の立面断面図であって、図４に類似する図である。 図１３は、上記の第４実施形態のクランプ装置におけるプラグ部の要部拡大図である。 図１４は、第５実施形態のクランプ装置の立面断面の要部拡大図であって、図１３に類似する図である。 図１５は、第６実施形態のクランプ装置の立面断面図であって、図１２に類似する図である。

符号の説明

１ ベースプレート（第１ブロック）
２ パレット（第２ブロック）
２ａ 被支持面
９ａ 支持面
２１ 引張部材
２５ 皿バネ（弾性体）
５９ 検出ノズル孔（流体流通孔）
６１ 内スリーブ（内側部材）
６８ 内係合具（内側部材）
６９ 鍔部
７１ 外スリーブ（外側部材）
７６ 押上ピストン
７８ 外係合具（外側部材）
Ｇ１ 隙間
Ｋ 隙間維持部材

〔第１実施形態〕
図１から図９は、本発明のクランプ装置の第１実施形態を示している。
最初に、上記クランプ装置の構成を、図１から図３を参照して説明する。
図１は上記クランプ装置のプラグ手段６の斜視図である。図２はクランプ装置のアンクランプ状態を示す立面断面図、図３は図２の３−３断面矢視図である。

図２に示すように、工作機械のテーブルＴに、第１ブロックとしてのベースプレート１を載置し、このベースプレート１にハウジング９を固設している（図１参照）。このハウジング９の上面には支持面９ａが形成され、この支持面９ａに、第２ブロックとしてのパレット２の被支持面２ａを受け止めるように構成している。そして、上記の支持面９ａに前記被支持面２ａを受け止めたときは、上記ベースプレート１と上記パレット２とが相互に心合わせされた状態で、上記パレット２が水平方向に位置決めされるようになっている。

図２に示すように、上記パレット２の下面には上記被支持面２ａが形成される。また、前記パレット２の下面には、円形の差込孔５が複数開口される。そして、この差込孔５のそれぞれに対応させて、上記ベースプレート１に前記プラグ手段６が設けられる。なお、図２・図３においては、複数セット設けられる差込孔５及びプラグ手段６のうちの１セットのみを図示している。

前記プラグ手段６の構成を以下に説明する。即ち図２に示すように、前記ベースプレート１の上面には装着穴８が開口される。この装着穴８に挿入した前記ハウジング９が締付ボルト１０（図１参照）によって前記ベースプレート１に固定される。図２に示すように、このハウジング９には環状の心柱１２が上向き突出状に一体形成されている。この心柱１２は、前記パレット２の前記差込孔５に挿入可能に構成している。この心柱１２の軸心は、前記装着穴８の軸心とほぼ一致させている。また、この心柱１２の外周面はストレート面に構成されている。

図１や図２に示すように、前記心柱１２の下端部の外周位置において、前記ハウジング９の上面を環状に少量突出させている。この突出部の平坦な上面が、前記支持面９ａを構成している。この支持面９ａは、図２に示すように、前記パレット２の前記被支持面２ａに対向している。

前記心柱１２には、内側部材としての内スリーブ６１が外嵌される。この内スリーブ６１は、前記心柱１２の軸心方向（上下方向）に所定範囲内で移動可能である。図３に示すように、上記内スリーブ６１の周壁には、上下方向に延びる１本のスリット６２が形成される。このスリット６２により、上記内スリーブ６１は径方向へ拡大および縮小可能に構成される。この内スリーブ６１は、当該内スリーブ６１に加えられる縮径方向の力が解除されたときは、それ自体の有する弾性復元力によって拡径することができる。

図３に示すように、上記心柱１２の外周面から２本の回り止めピン６３・６４を径方向に突出させている。第１の回り止めピン６３の外端は上記スリット６２に挿入される。第２の回り止めピン６４の外端は、前記内スリーブ６１に形成した遊動孔６５に挿入される。前記スリット６２には、ゴム等からなるシーリング部材（図略）を装着することが望ましい。

図２に示すように、上記内スリーブ６１と前記ハウジング９との間には１枚の皿バネ（弾性体）２５が配置される。この皿バネ２５は前記内スリーブ６１を上方へ付勢する。なお、この皿バネ２５は、前記パレット２の自重を受け止めるための隙間維持部材Ｋとしての役割をも果たしており、その詳細は後述する。

上記の心柱１２の上部には止め輪６６が嵌着されている。この止め輪６６は前記内スリーブ６１の上端を受け止めるように構成している。この止め輪６６により前記内スリーブ６１の所定距離以上の上昇は阻止され、この結果、当該内スリーブ６１の移動ストロークの上端が規定される。

前記心柱１２の下端部には環状突起２８が形成される。上記皿バネ２５の所定量以上の圧縮は、前記皿バネ２５の内周部が当該環状突起２８に接当することで阻止される。この結果、上記内スリーブ６１の前記移動ストロークの下端が規定される。なお、この環状突起２８は、前記皿バネ２５の過剰な圧縮を回避して当該皿バネ２５の反転を防止する効果も奏する。

上記内スリーブ６１の外周には傾斜外面１３が設けられる。この傾斜外面１３は、上方（前記心柱１２の先端方向）に向かうにつれて軸心側へ近づく形状に形成されている。

前記内スリーブ６１の外側には、外側部材としての環状の外スリーブ７１が配置される。この外スリーブ７１はコレット状かつ略円筒状に構成される。上記外スリーブ７１の周壁には上下方向に延びる１本のスリット７２が形成される。このスリット７２により、上記外スリーブ７１が径方向へ拡大および縮小可能に構成される。なお、前記外スリーブ７１は、当該外スリーブ７１に加えられる拡径方向の力が解除されたときは、それ自体の有する弾性復元力によって縮径することができる。

前記外スリーブ７１の前記スリット７２には前記の第２の回り止めピン６４の外端部が差し込まれており、これによって前記外スリーブ７１が回り止めされる。このスリット７２には、ゴム等からなるシーリング部材（図略）を装着することが望ましい。

前記外スリーブ７１の外周面には、前記差込孔５の内周面に密着可能なストレート外面１６が形成される。一方、上記外スリーブ７１の内面には、前記内スリーブ６１の前記傾斜外面１３に対面する傾斜内面１７が設けられている。この傾斜内面１７も、前記傾斜外面１３と同様に、上方（前記心柱１２の先端方向）に向かうにつれて軸心側に近づく形状に構成されている。

前記ハウジング９内に引張部材２１が上下移動自在に挿入される。この引張部材２１は、前記ハウジング９の下部に保密状に挿入したピストン２２と、このピストン２２から上向きに一体的に突出されると共に前記心柱１２の筒孔に挿入されるピストンロッド２３と、このピストンロッド２３の上部にボルト２４によって固定されるキャップ３７と、このキャップ３７の下面と前記ピストンロッド２３の上端面との間に挟着されるリング２６と、を備えている。前記リング２６の外周面には鍔部が形成されており、この鍔部と前記キャップ３７とによって形成される環状の溝に、前記外スリーブ７１の上部に形成された上フランジが嵌入されている。この結果、上記外スリーブ７１と前記引張部材２１とが連結されている。

本実施形態において、プラグ部２７は、前記心柱１２と前記キャップ３７と前記内スリーブ６１と前記外スリーブ７１等とによって構成されている。このプラグ部２７は、前記差込孔５に挿入可能となるように、前記ベースプレート１から突出されている。そして、前記外スリーブ７１の前記ストレート外面１６が、プラグ部２７の外周面を構成する。

前記ストレート外面１６の上側において、外リング２０が前記外スリーブ７１に外嵌される。この外リング２０は切れ目無し状に形成されており、これにより、切屑等の異物が前記スリット７２等を介して前記プラグ部２７の内部に侵入することを防止している。

前記ハウジング９内には、ロック手段（クランプ手段）とリリース手段（アンクランプ手段）とが設けられている。このうちロック手段は、前記ピストン２２と、このピストン２２の上側に形成されるロック用の油圧室５３とにより構成される。上記リリース手段は、前記ピストン２２と、このピストン２２の下側に形成されるリリース用の油圧室３５とにより構成される。

なお、図２に鎖線で示すように、前記ピストン２２にはピン６７の下端が上下方向に差し込まれる一方、上端は前記ハウジング９に係止される。このピン６７により前記引張部材２１が回り止めされる。

前記ハウジング９にはエア供給口３９が設けられる。このエア供給口３９は、前記ハウジング９の内部に形成したエア通路４０に接続される。このエア通路４０の上端は、前記心柱１２の外周面に開口する中継開口４１を構成している。この中継開口４１は、前記内スリーブ６１に貫通状に形成された連絡孔７９を経由して、前記外スリーブ７１に形成される噴出孔３８に連通している。

前記ハウジング９の前記支持面９ａには着座確認手段が設けられる。即ち、前記支持面９ａには流体流通孔としての検出ノズル孔５９を開口し、この検出ノズル孔５９に検出用の圧縮空気を供給している。以上の構成で、前記被支持面２ａが前記支持面９ａに接当すると、上記検出ノズル孔５９が前記被支持面２ａによって閉鎖されるので、圧力が上昇する。この圧力の上昇を図示しない圧力センサで検出することによって、前記パレット２が前記ハウジング９上に着座したことを確認できる。

前記ハウジング９にはクリーニング手段が設けられる。具体的には、前記ハウジング９にクリーニングポート４４が設けられ、当該クリーニングポート４４にはクリーニング通路４５が接続している。そして、前記クリーニングポート４４に圧縮空気を供給すると、その圧縮空気は、上記クリーニング通路４５と噴出孔（図示せず）を経由して、前記皿バネ２５や、前記内スリーブ６１・外スリーブ７１や、前記差込孔５の内周面等に吹き付けられる。この結果、各部位に付着した切屑等の異物を吹き飛ばして除去することができる。

次に、本実施形態のプラグ手段６の動作について、前記の図２及び図３と図４から図９を参照して説明する。

図２及び図３に示すアンクランプ状態では、前記ロック用の油圧室５３の圧油を排出するとともに、リリース用の油圧室３５に圧油を供給している。これにより、上記ピストン２２が上昇し、前記外スリーブ７１も上昇する。この結果、当該外スリーブ７１が縮径状態に切り換えられている。また、前記内スリーブ６１は、前記皿バネ２５によって進出ストロークだけ上昇している。このアンクランプ状態において上記内スリーブ６１は、上記外スリーブ７１に軽くテーパ係合するか、又は当該外スリーブ７１に僅かな隙間をあけて対面している。

このアンクランプ状態で、上記のパレット２を、何らかの昇降手段または自重によって下降させ、前記外スリーブ７１を前記差込孔５に差し込むようにする。なお、この下降動作においては、前記クリーニングポート４４に圧縮空気を供給して前記プラグ部２７等の各部に付着している切屑等を吹き飛ばして除去することが好ましい。

上記パレット２を下降させていくと、図４に示すように、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に少量の隙間Ｇ１が形成された状態で前記パレット２の自重が前記皿バネ２５によって受け止められる。従って、この状態で前記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給しても、上記隙間Ｇ１からの空気漏れが生じるために圧力は上昇しない。

その後、リリース用の油圧室３５から圧油を排出するとともに、ロック用の油圧室５３に圧油を供給する。すると、前記ピストン２２が前記ピストンロッド２３と前記キャップ３７とを介して前記の外スリーブ７１を下降させ、その外スリーブ７１の前記の傾斜内面１７を前記の内スリーブ６１の前記の傾斜外面１３に楔係合させていく。これにより、上記の外スリーブ７１や上記の内スリーブ６１等が以下のように作用する。

まず、前記の皿バネ２５の付勢力によってほぼ上昇位置（先端側の位置）に保持された上記の内スリーブ６１を介して上記の外スリーブ７１が拡径し、その外スリーブ７１が前記の差込孔５に接当する。次いで、その外スリーブ７１が、上記の内スリーブ６１を介して前記の皿バネ２５を下方へ圧縮しながら拡径して前記の差込孔５の内周面に密着し、前記パレット２が水平方向に位置決めされる（図６・図７）。こうして実現される水平位置決め段階では、図６に示すように、前記の支持面９ａと前記の被支持面２ａとの間に接当隙間Ｇ２が存在している。

引き続いて、前記の差込孔５の内周面に密着した状態の上記の外スリーブ７１が上記の差込孔５を介して前記パレット２を下向きに引っ張り、これと同時に、その外スリーブ７１が前記の皿バネ２５の付勢力に抗して前記の内スリーブ６１を下降させていく。これにより、上記パレット２の前記の被支持面２ａを前記のハウジング９の前記の支持面９ａに接当させるとともに、上記の被支持面２ａを上記の支持面９ａに押圧する（図８）。

その後、上記の支持面９ａによって下降が阻止された上記パレット２の前記の差込孔５に対して、前記の外スリーブ７１が摩擦摺動しながら下降していく。そして、上記の外スリーブ７１が前記の皿バネ２５の付勢力に抗して前記の内スリーブ６１を前記の進出ストロークに相当する距離だけ下降させたときに、図９に示すように、前記皿バネ２５が前記環状突起２８に当接してそれ以上の圧縮が阻止され、前記内スリーブ６１は上記の皿バネ２５を介して前記のハウジング９に受け止められる。すると、上記の内スリーブ６１に上記の外スリーブ７１が強力に楔係合して拡径し、その外スリーブ７１が前記の差込孔５の内周面に強力に密着する。その結果、上記パレット２は、水平方向および上下方向に拘束され、強力にロックされる。そしてこのクランプ状態では、前記支持面９ａと前記被支持面２ａとの間の隙間がまったく消失するか或いは極微小となるので、前記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給するとその圧力は上昇することになる。

なお、上記クランプ状態から前記アンクランプ状態へ切り換えるときには、ロック用の油圧室５３の圧油を排出するとともにリリース用の油圧室３５へ圧油を供給すれば良い。これにより、前記ピストン２２・前記のピストンロッド２３・前記キャップ３７等からなる前記引張部材２１が前記外スリーブ７１を上昇させ、この上昇する外スリーブ７１が自己の弾性復元力によって縮径する結果、前記クランプ状態が解除される。

本実施形態のクランプ装置は以上のように作動するので、前記検出ノズル孔５９の圧力を検出することで、上記クランプ状態の適切な判定を行わせることができる。

即ち、図４のアンクランプ状態において仮に前記パレット２の上記被支持面２ａが前記支持面９ａの上に接当する構成とした場合、上記プラグ手段６がアンクランプ状態であるにもかかわらず、クランプ状態と同様に、前記検出ノズル孔５９が上記被支持面２ａによって塞がれてしまう。従って、前記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給してその圧力を検知するだけでは、アンクランプ状態かクランプ状態かを判定するのが困難になってしまう。

この点、本実施形態では、図４のアンクランプ状態において、前記の隙間維持部材Ｋとしての前記皿バネ２５が、前記第２ブロック２を前記第１ブロック１から離間させる方向の力を前記パレット２に作用させて前記パレット２の自重を支え、これによって、前記支持面９ａと前記被支持面２ａとの間に前記隙間Ｇ１を形成させるようにしている。一方、前記クランプ状態では、前記引張部材２１を油圧駆動させることで上記隙間Ｇ１を消失させ、前記支持面９ａと前記被支持面２ａとを接当させるようにしている。従って、上記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給したときに、アンクランプ状態では圧力が上昇せず、クランプ状態では圧力が上昇する構成とすることができる。この結果、アンクランプ状態であるかクランプ状態であるかを確実かつ容易に判別することができるのである。

特に本実施形態のように、前記パレット２が前記ベースプレート１の上側に位置し、前記パレット２を下降させて前記被支持面２ａを前記支持面９ａに接当させる構成においても、前記パレット２に作用する自重を前記皿バネ２５によって受け止め、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１を確実に形成することができる。従って、アンクランプ状態のときは前記検出ノズル孔５９から圧縮空気が確実に漏れる構成とでき、アンクランプ状態であるのにクランプ状態と判定してしまう判定ミスを回避することができる。

また、本実施形態では、上記クランプ状態において、前記検出ノズル孔５９が前記被支持面２ａによって閉鎖されるとともに、前記噴出孔３８が前記差込孔５の内周面によって閉鎖されるように構成している。従って、前述の水平方向の位置決めが確実に行われたか否かを、前記エア供給口３９に圧縮空気を供給してその圧力を検知することで、容易に判定することができる。

なお、前記検出ノズル孔５９から圧縮空気を噴出させる代わりに、その検出ノズル孔５９を真空ポンプなどの手段を用いて負圧とし、当該検出ノズル孔５９から空気を吸引させる構成であっても良い。この場合は、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの接当による前記検出ノズル孔５９の圧力の減少を圧力センサ等で検知することで、クランプ状態を検出できることになる。

本実施形態では、前記の隙間維持部材Ｋとして前記皿バネ（弾性体）２５を用いており、アンクランプ状態においては、前記皿バネ２５の弾発力の作用によって、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１が形成される。従って、クランプ装置を簡素な構成とすることができる。

また、本実施形態では、前記の隙間維持部材Ｋとしての前記皿バネ２５が前記差込孔５の開口端の周囲に直接接触して前記パレット２の自重を受け止める構成となっている。従って、構成を簡素化でき、部品点数を少なくできている。

更には本実施形態では、前記プラグ部２７の外周面（前記ストレート外面１６）が前記差込孔５の内周面に密着したときに、前記ベースプレート１に対し前記パレット２が前記プラグ部２７の径方向に位置決めされる構成となっている。従って、位置決め機能を有するクランプ装置を簡素でコンパクトに構成できる。

また、本実施形態において、前記プラグ部２７は、前記傾斜内面１７を有する前記外スリーブ７１を上下移動自在に備えている。また、前記引張部材２１は、前記傾斜内面１７のテーパ係合によって前記外スリーブ７１を拡径させてそのストレート外面１６を前記差込孔５に密着させつつ、この外スリーブ７１及び前記差込孔５を介して前記パレット２を前記ベースプレート１側へ近接させるように構成している。

従って、前記外スリーブ７１がテーパ係合によって拡径して前記差込孔５に密着し、その摩擦力によって前記パレット２を前記ベースプレート１に近接させる構成となっているので、確実なクランプを実現できるとともに、クランプ装置や前記差込孔５を簡素に構成できる。また、前記パレット２をクランプした状態で、前記パレット２の上下左右前後の６面のうちの下面を除く５面にアクセスでき、作業性が良好である。

また本実施形態では、前記外スリーブ７１に係合する前記内スリーブ６１を有する構成である。そして、前記の隙間維持部材Ｋである前記皿バネ２５は、この内スリーブ６１を先端側の位置に保持する手段を兼ねている。従って、前記内スリーブ６１を先端側の位置に保持する専用手段を前記皿バネ２５とは別に設ける必要がなくなる。このため、クランプ装置は、構成が簡素化され、部品点数を少なくできる。

次に、図１０から図１５を参照して、本発明についてのその他の複数の実施形態を説明する。これらの別の実施形態においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材又は類似する部材には、原則として同一の符号を付している。

〔第２実施形態〕
図１０は、第２実施形態のクランプ装置の立面断面図であって、前記第１実施形態の図４に相当する状態を示している。この第２実施形態は、前述の第１実施形態と、以下の点で異なっている。

この構成は、前記心柱１２の下端部の外周位置に検出孔２９を開口させるとともに、前記検出孔２９の上側を前記皿バネ２５が覆うように構成している。この検出孔２９は、前記エア通路４０を介して、前記エア供給口３９に接続されている。

図１０のアンクランプ状態では、前記皿バネ２５は前記内スリーブ６１を上昇させるとともに前記パレット２の下面を受け止めており、この結果、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に少量の隙間Ｇ１が形成されている。またこのとき、前記環状突起２８と前記皿バネ２５との間には大きな隙間が形成されている。従って、図１０の状態で前記エア供給口３９を介して前記検出孔２９に圧縮空気を供給しても、その圧縮空気は上記の大きな隙間と内スリーブ６１のスリット６２（ここでは図示せず。前記の図５を参照）と前記の隙間Ｇ１を通って外部へ漏れるために、圧力は上昇しない。

上記アンクランプ状態において、前記ロック用の油圧室５３に圧油を供給すると、前記内スリーブ６１が前述の進出ストロークに相当する寸法だけ下方に変位し、この内スリーブ６１が上記の皿バネ２５を介して前記のハウジング９に受け止められた状態（図示しないが、第１実施形態における図９に相当する状態）となる。この状態では、圧縮された上記皿バネ２５の内周部が前記環状突起２８に密着して前記検出孔２９を閉鎖する。従って、この検出孔２９に圧縮空気を供給するとその圧力が上昇することになる。こうしてクランプ状態を検出することができる。

なお、この第２実施形態では、前記第１実施形態の構成と比較すると、上記の内スリーブ６１に上記の外スリーブ７１が強力に楔係合して拡径し当該外スリーブ７１が前記の差込孔５の内周面に強力に密着した状態を、間接的に検出することができる。

この第２実施形態では、前記支持面９ａに前記の図４中の検出ノズル孔５９は形成されていない。ただし、前記検出孔２９と前記検出ノズル孔５９とを両方備えさせる構成とすることも可能である。

〔第３実施形態〕
図１１は、第３実施形態のクランプ装置の立面断面図であって、図４に類似する図である。

この第３実施形態のプラグ手段６では、前記ハウジング９に上記の図４中の環状の心柱１２を形成せず、その代わりに、軸心方向の貫通孔９ｂを上記ハウジング９に形成している。また、上記ハウジング９に挿入される上記ピストン２２は、筒状に形成されている。更には、前記ハウジング９の下部には、環状のネジ筒３６が高さ調節可能に螺合されている。

ピストンロッド２３は前記ピストン２２とは別部材に構成されている。上下方向に延びる上記ピストンロッド２３の下半部が、前記ピストン２２の筒孔の上半部に、径方向移動自在かつ軸心方向移動不能の状態に挿入されている。具体的には、前記ピストンロッド２３の下半部の外周面と前記ピストン２２との間に第１環状隙間３１が形成される。また、前記ピストンロッド２３を径方向に円滑に移動させるため、前記ピストン２２の筒孔の下半部に蓋ボルト３４が高さ調節可能にネジ止めされ、この蓋ボルト３４と上記ピストンロッド２３との間にバランス用バネ４２が装着される。このバランス用バネ４２の上向きの弾発力は、前記ピストンロッド２３等の重量と釣り合うように設定している。なお、上記のピストンロッド２３の軸心まわりの回転は、回り止めピン５１によって阻止している。

上記ピストンロッド２３の外周には、内側部材としての筒状の内係合具６８が上下移動可能に支持される。この内係合具６８は、前記第１実施形態の内スリーブ６１とは異なり、周方向に切れ目（スリット）を形成していない。上記内係合具６８の下半部の外周面と前記のハウジング９の貫通孔９ｂとの間には、第２環状隙間３２が形成される。これにより、前記内係合具６８は上記ハウジング９に対して半径方向へ移動可能になっている。上記の内係合具６８の軸心まわりの回転は、回り止めピン５２によって阻止されている。

上記ピストンロッド２３の上半部の外周面と上記の内係合具６８の内周面との間には、後述するクリーニング用圧縮空気の縦路８１が形成される。

前記内係合具６８の外周面には、上方に向かうにつれて軸心側へ近づく形状のテーパ形の傾斜外面１３が形成される。また、この傾斜外面１３の下側には、鍔部６９が突出状に一体形成されている。

前記ハウジング９の上面と前記鍔部６９との間には、前記皿バネ２５が配置されている。この皿バネ２５は、上記の内係合具６８を上方へ進出させるように構成している。また、この皿バネ２５は、前記ハウジング９の貫通孔９ｂと後述する縦孔８２などの開口部分を、上側から覆っている。なお、前記鍔部６９の下方において前記内係合具６８の下部にはストッパ７０が取り付けられ、このストッパ７０によって、前記内係合具６８の所定量以上の上昇が阻止されている。なお、前記皿バネ２５の内周面と前記内係合具６８との間には第３環状隙間３３が形成されている。

上記の内係合具６８の外周には、外側部材としての複数の外係合具７８が周方向へ間隔をあけて配置される。これら外係合具７８は、前記パレット２の前記差込孔５に挿入可能に構成されている。上記の複数の外係合具７８のそれぞれには、前記内係合具６８の前記傾斜外面１３に対向する前記傾斜内面１７が形成されている。この傾斜内面１７は、前記傾斜外面１３と同じく、上方に向かうにつれて軸心側に近づくテーパ状に形成されている。従って、複数の前記外係合具７８は、前記内係合具６８に上側から楔係合可能である。

これらの外係合具７８には、上記ピストンロッド２３の先端部が連結されている。具体的に説明すると、上記ピストンロッド２３の上部に前記キャップ３７が上記ボルト２４によって固定される。また、上記ピストンロッド２３の上部に前記リング２６が取り付けられる。そして、上記キャップ３７の上部と前記リング２６との間には、上記の外係合具７８の上端のフランジ部が、半径方向へ移動可能で上下方向の相対移動を阻止した状態に挿入される。

また、上記の内係合具６８の外周には前記第２の回り止めピン６４が外側に突出するように固定されている。この第２の回り止めピン６４の突出部は、隣り合う前記外係合具７８・７８の間に形成した離間隙間８０に挿入される。これにより、上記の複数の外係合具７８が上下方向にガイドされる。さらに、上記の複数の外係合具７８の外周面には、リング状の板バネ（復帰手段）４９が装着される。この板バネ４９は、上記の各外係合具７８を半径方向の内方へ常時付勢している。

なお、上記キャップ３７の下半部に設けた環状の筒部３７ａが、前記外係合具７８の上端の前記フランジ部や前記板バネ４９を覆っている。

本実施形態において前記プラグ部２７は、前記ピストンロッド２３の先端側部分と、前記内係合具６８と、前記外係合具７８と、前記キャップ３７と、前記ボルト２４等と、を含んで構成されている。ここで前記ピストンロッド２３は半径方向に移動自在に構成されているため、前記プラグ部２７の軸心も、前記ベースプレート１に対し、当該プラグ部２７の径方向に移動可能である。

前記ハウジング９の上面には、周方向へ間隔をあけて４つの支持ロッド４８が圧入される。それぞれの支持ロッド４８の上面には平坦な前記支持面９ａが形成される。この支持面９ａは、前記パレット２の前記被支持面２ａを受け止めるようになっている。

前記４つの支持ロッド４８のうちの１つに、前記検出ノズル孔５９が開口される。この検出ノズル孔５９には、検出用の圧縮空気を供給可能に構成している。そして、前記の被支持面２ａが上記の支持面９ａに接当すると、上記の検出ノズル孔５９内の圧力が上昇する。その圧力上昇を圧力スイッチ等で検出することによって、前記パレット２が上記の支持ロッド４８に着座したことを確認できる。

一方、前記クリーニングポート４４に供給された圧縮空気は、上記クリーニング通路４５と、前記ピストンロッド２３の外周面に形成された前記縦路８１とを順に通過した後、前記の離間隙間８０から半径方向の外方へ吐出される。従って、前記支持ロッド４８の前記支持面９ａ等の各部位に付着した異物を吹き飛ばして清掃することができる。

加えて、上記のクリーニング用の圧縮空気は、前記ハウジング９の前記貫通孔９ｂの周壁に設けた縦孔８２へも供給される。この縦孔８２に供給された圧縮空気は、前記の皿バネ２５の上面と前記鍔部６９との隙間から、又は、上記の皿バネ２５の下面と上記ハウジング９との隙間から、水平方向へ吐出可能とされている。

なお、本実施形態では、前記第１実施形態の噴出孔３８（図４参照）のような構成、即ち前記外係合具７８の外周面の上記差込孔５の内周面に対する密着を圧縮空気を用いて検出するための構成は、省略されている。

上記のプラグ手段６の動作は、以下の（Ａ）から（Ｃ）の三つの点を除いて、前記第１実施形態と同様である。

（Ａ）アンクランプ状態において、第１実施形態では前記外スリーブ７１がそれ自身の有する弾性力で縮径状態に切り換えられるが、本実施形態ではその代わりに、前記外係合具７８が前記板バネ４９の弾発力によって縮径状態に切り換えられる。

（Ｂ）前記第１実施形態では前記パレット２を下降させるとその下面が前記皿バネ２５の上に乗るが、本実施形態ではその代わりに、前記パレット２の下面は前記鍔部６９の上に乗る。

（Ｃ）前記第１実施形態では前記外スリーブ７１が上記差込孔５に密着すると上記パレット２の水平方向の精密な位置決めが行われるが、本実施形態では、上記ピストンロッド２３の前記ベースプレート１に対する水平方向の移動（言い換えれば、前記プラグ部２７の水平方向の移動）が、前記の第１〜第３の環状隙間３１〜３３によって許容される。即ち、本実施形態のクランプ装置は、上記パレット２を上下方向（軸心方向）に拘束（クランプ）するのみであって、第１実施形態のような水平方向の位置決め機能は有していない。逆に言えば、本実施形態のクランプ装置は、前記プラグ部２７と前記差込孔５との大きな軸心ズレを許容できるクランプ装置であるということができる。

図１１のアンクランプ状態では、上記パレット２を下降させて、前記プラグ手段６の上記プラグ部２７を前記パレット２の差込孔５の内部に差し込み、かつ、当該パレット２の下面を前記鍔部６９の上に乗せた状態が示されている。

この状態では、前記鍔部６９及び前記皿バネ２５によって前記パレット２の自重が支えられており、前記第１実施形態と同じように、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に少量の隙間Ｇ１が形成されている。従って、この状態で前記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給しても、上記隙間Ｇ１からの空気漏れが生じるために圧力は上昇しない。即ち、アンクランプ状態では上記検出ノズル孔５９の圧力が上昇しない構成である。

本実施形態のクランプ装置は、以上に説明したとおり鍔部６９を備え、この鍔部６９が、前記パレット２の前記差込孔５の開口端の周囲に接触するとともに、前記の隙間維持部材Ｋとしての前記皿バネ２５の弾発力を前記パレット２に伝達するように構成している。従って、前記鍔部６９を備えるだけのコンパクトな構成で、前記皿バネ２５の力を前記パレット２に確実に伝達できる。また、前記差込孔５の開口端の周囲に前記鍔部６９が接触する構成であるから、前記差込孔５の形状を簡素にすることができる。更には、前記皿バネ２５と前記パレット２との直接の接触を回避でき、前記皿バネ２５を保護してその寿命を延ばすことができる。

〔第４実施形態〕
図１２と図１３は第４実施形態を示している。図１２は、クランプ装置の立面断面図であって、図４に類似する図である。また、図１３はプラグ部２７の要部拡大図である。

本実施形態は前述の第３実施形態の変形例として構成されている。この実施形態が前記第３実施形態と異なる主要な点は、上記内係合具６８を省略した点と、前記傾斜外面１３が前記ピストンロッド２３の外周面に形成されている点と、前記傾斜外面１３と前記傾斜内面１７が上下方向の向きを逆に形成されている点と、前記皿バネ２５が外係合具７８を進出方向に付勢している点である。

以下、具体的に説明する。前記ピストンロッド２３は上下２つの部材を互いにネジ結合して構成される。前記第３実施形態と同様に、上記ピストンロッド２３の下半部は、前記ピストン２２の筒孔の上半部に、径方向へ移動自在かつ軸心方向へは移動不能の状態に挿入されている。

上記ピストンロッド２３の上部には、上記キャップ３７が上下方向へ移動可能に支持される。このキャップ３７には、バネ受け９１が前記ボルト２４を介して固定される。前記ピストンロッド２３の上部は中空状に形成されており、この内部に引張バネ９２を配置している。前記引張バネ９２の上部は前記バネ受け９１に固定される。前記引張バネ９２の下部は、筒状の止めボルト９３の頭部に固定される。この止めボルト９３は、前記ピストンロッド２３に上側から螺合されている。

上記ピストンロッド２３の上部の外周面には、下方（基端方向）に向かうにつれて軸心に近づくテーパ状の上記傾斜外面１３が形成されている。

上記のキャップ３７の下方で上記ピストンロッド２３の外周に、外側部材としての複数の前記外係合具７８が周方向へ間隔をあけて配置される。この外係合具７８は、前記パレット２の前記の差込孔５に挿入可能に構成している。前記外係合具７８の内周面には、下方（基端方向）に向かうにつれて軸心に近づくテーパ状の上記傾斜内面１７が形成されている。

本実施形態では、前記外係合具７８は、周方向に分割された複数（本実施形態では、４個）の分割体として形成されている。上記外係合具７８の下方において、上記ピストンロッド２３にはスリーブ５５が上下方向へ移動自在に支持される。このスリーブ５５には、上記鍔部６９が突出形成されている。この鍔部６９と前記ハウジング９との間には、前記皿バネ２５が配置されている。即ち、本実施形態において、前記皿バネ２５は上記スリーブ５５を介して前記外係合具７８を進出方向に付勢している。

それぞれの上記外係合具７８の上端面に、前記キャップ３７に一体形成された前記筒部３７ａの下端部が対面している。また、前記スリーブ５５及び前記皿バネ２５が、上記の各外係合具７８の下端面を下側から覆うと共に、前記ハウジング９の貫通孔９ｂとクリーニング用の前記縦孔８２を上側から覆っている。なお、図１３に示すように、上記スリーブ５５と上記の皿バネ２５との間には高さ調節用シム８３が装着されている。

そして、上記の複数の上記外係合具７８の前記傾斜内面１７に、上記ピストンロッド２３の前記傾斜外面１３を上側から楔係合させてある。

図１３に示すように、前記ピストンロッド２３の内部には筒孔４７が形成される。また、前記ピストンロッド２３には径方向に横路５０が形成されている。この横路５０の内端は前記の筒孔４７に接続し、外端は前記ピストンロッド２３の外周面に開口している。前記ピストンロッド２３の上端寄りの位置には、径方向の供給路５４が形成される。

以上の構成で、前記クリーニング通路４５に供給された圧縮空気は、前記横路５０を通じて前記ピストンロッド２３内部の筒孔４７に供給され、前記止めボルト９３の内部を通って前記供給路５４まで導かれる。その後、上記の圧縮空気は、前記キャップ３７の前記筒部３７ａの内周面と前記ピストンロッド２３との隙間から前記の離間隙間８０に至り、この離間隙間８０から外部に向けて噴出される。

この第４実施形態のプラグ手段６の動作を説明する。
最初にプラグ手段６をアンクランプ状態とし、この状態で、前記スリーブ５５の前記鍔部６９に前記パレット２の下面（前記差込孔５の開口端の周囲部分）を乗せる。この状態では、前記パレット２の下面が前記鍔部６９を介して前記皿バネ２５によって受け止められ、前記支持面９ａと前記被支持面２ａとの間に上記隙間Ｇ１が形成される。従って、アンクランプ状態においては、前記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給しても前記隙間Ｇ１から空気が漏れるために前記検出ノズル孔５９の圧力は上昇しない。

このアンクランプ状態にある前記プラグ手段６をクランプ状態とするために、ロック用の上記油圧室５３に圧油を供給する。すると、前記ピストン２２に連結されている前記ピストンロッド２３が下降し、上記傾斜外面１３も下降する。一方、前記外係合具７８は前記スリーブ５５及び前記皿バネ２５によって受け止められている。この結果、上記外係合具７８の上記傾斜内面１７と前記ピストンロッド２３の上記傾斜外面１３とがテーパ係合し、上記外係合具７８は、前記板バネ４９の付勢力に抗して拡径方向に変位して、上記パレット２の前記差込孔５の内周面に密着する。

続いて、前記の差込孔５の内周面に密着した状態の上記の外係合具７８が上記の差込孔５を介して前記パレット２を下向きに引っ張り、これと同時に、その外係合具７８が前記の皿バネ２５の付勢力に抗して下降する。これにより、上記パレット２の前記の被支持面２ａを前記のハウジング９の前記の支持面９ａに接当させるとともに、上記の被支持面２ａを上記の支持面９ａに押圧する。

その後、上記の支持面９ａによって下降が阻止された上記パレット２の前記の差込孔５に対して前記の外係合具７８が摩擦摺動しながら下降していく。そして、上記の外係合具７８が前記の皿バネ２５の付勢力に抗して前記の進出ストロークに相当する距離だけ下降したときに、その外係合具７８が上記の皿バネ２５を介して前記のハウジング９に受け止められる。すると、上記のピストンロッド２３に前記外係合具７８が強力に楔係合して拡径し、その外係合具７８が前記の差込孔５の内周面に強力に密着する。その結果、上記パレット２は、上下方向に拘束され、強力にロックされる。このクランプ状態では、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとが接当され押圧されているために、前記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給すればその圧力は上昇することになる。

本実施形態では、前記の隙間維持部材Ｋとしての前記皿バネ２５が、前記スリーブ５５を介して、外側部材としての前記外係合具７８を先端側の位置に保持する手段を兼ねている。従って、前記外係合具７８を先端側の位置に保持するための特別な構成を設ける必要がなくなる。このため、クランプ装置は、構成が簡素化され、部品点数が少ない。

〔第５実施形態〕
図１４は、第５実施形態のクランプ装置の立面断面の要部拡大図であって、図１３に類似する図である。この第５実施形態は、前記第４実施形態（図１３参照）と前記第２実施形態（図１０参照）とを組み合わせたものに相当する。

即ち、本実施形態の構成は、前述の第４実施形態において、前記貫通孔９ｂの周壁の上面に検出孔２９を開口させている。この検出孔２９の上側を前記皿バネ２５が覆うように構成している。この検出孔２９には、前記エア通路４０が接続されており、圧縮空気を供給できるように形成している。この実施形態の動作は、前記第４実施形態および前記第２実施形態と同様である。

〔第６実施形態〕
図１５は、第６実施形態のクランプ装置の立面断面図であって、図１２に類似する図である。この第６実施形態は、前記第４実施形態の変形例として構成されている。本実施形態が前記第４実施形態と異なる主要な点は、前記スリーブ５５を後記の押上ピストン７６によって進出させる構成としている点である。

具体的に説明する。前記ハウジング９の筒孔の上部に、環状の押上ピストン７６が保密状に挿入される。この押上ピストン７６は、前記ピストン２２の上部に保密状に嵌合されると共に、前記スリーブ５５に下側から接当可能に構成される。

この押上ピストン７６と前記ピストン２２との間には、作動室７７が形成される。この作動室７７は、前述したロック用の油圧室５３に連通されている。

また、前記のスリーブ５５の前記鍔部６９の下面には、合成樹脂製のリップ８４を装着している。このリップ８４は、前記ハウジング９の上面に保密状に接触して、異物等が前記貫通孔９ｂを介して前記ハウジング９内に侵入するのを防止している。

以上の構成において、前記ロック作動時に上記ロック用の油圧室５３に圧油を供給すると、その圧油供給の開始時から前半期には、上記の作動室７７から上記の押上ピストン７６に作用する上向きの油圧力が、その押上ピストン７６と前記スリーブ５５の前記鍔部６９を介して、前記の複数の外係合具７８を上方の進出位置へ保持する。この状態では、前記スリーブ５５の前記鍔部６９上に乗った状態の前記パレット２の前記被支持面２ａと、前記支持面９ａとの間には、前記隙間Ｇ１が形成されている。従って、前記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給しても、その隙間Ｇ１を介して空気が漏れるので、上記の検出ノズル孔５９の圧力は上昇しない。

そして、上記の圧油供給の後半期には、上記のピストン２２の大面積に作用する大きな油圧力が、上記の押上ピストン７６に作用する上向き力に抗して、前記ピストンロッド２３を介して前記の複数の外係合具７８を強力に拡径させながら下降させる。従って、前記パレット２も下方に引っ張られ、前記被支持面２ａが前記支持面９ａに接当する（即ち、前記隙間Ｇ１が消失する）。この状態では、前記検出ノズル孔５９に圧縮空気を供給した場合、その圧力は上昇する。

なお、この第６実施形態では、上記の複数の外係合具７８は、上記スリーブ５５と上記の押上ピストン７６と上記の作動室７７の圧油とを介して、前記ハウジング９に支持されることになる。

本実施形態では、前記の隙間維持部材Ｋには、前記押上ピストン７６が該当する。即ち、前記の隙間維持部材Ｋは、圧力流体（本実施形態においては、圧油）で駆動されるピストンとして構成されている。従って、アンクランプ状態において、前記被支持面２ａと前記支持面９ａとの間に前記隙間Ｇ１を形成させるために前記パレット２を前記ベースプレート１から離間させる方向に作用させる押上げ力を、この圧油の圧力を調整することで容易に変更することができる。

〔変更態様〕
以上に本発明の複数の実施形態を示したが、本発明は、下記（１）から（７）に示すように変更して実施することができる。

（１）第１から第５の実施形態において例示されている前記皿バネ２５は、コイルバネに置き換えたり、ゴム等の弾性体に置き換えることができる。また、前記の差込孔５は、例示した円形ストレート孔に代えて、円形テーパ孔等の異なる形状に構成可能である。

（２）前記クランプ装置においては、上記パレット２と前記ベースプレート１の位置関係は任意である。例えば、前記パレット２を左側に、前記ベースプレート１を右側に配置して、水平方向に前記パレット２を駆動して位置決めを行う構成とすることもできる。この場合は、前記クランプ装置は、そのプラグ部２７が水平左方を向くように配置すれば良い。また、前記パレット２を前記ベースプレート１に対し斜め方向に着脱する構成であっても良い。

（３）図２の状態となる前に、前記パレット２を水平方向に駆動される動作があっても良い。即ち、上記パレット２を前記ベースプレート１に対して下降させる前の段階で前記パレット２を水平方向に移動させ、前記差込孔５と前記プラグ部２７との大体の心合わせを予め行って図２の状態とし、その後、上記のように前記パレット２を下降させるようにしても良い。上記パレット２が水平方向に駆動される代わりに前記ベースプレート１が水平方向に駆動される構成としても良い。

（４）前記支持面９ａは、前記ハウジング９に形成される代わりに、前記ベースプレート１に直接一体形成されていても良い。前記被支持面２ａは、前記パレット２の下面に形成される代わりに、当該パレット２に固着される他の部材に形成されていても良い。

（５）前述の各実施形態では前記検出ノズル孔５９の形成個数は１つとされているが、複数個形成しても構わない。

（６）前記検出ノズル孔５９に供給される圧力流体は、上記の各実施形態では圧縮空気としているが、他の流体を採用しても構わない。例えば切削用オイル等を前記検出ノズル孔５９に供給する構成であっても良い。

（７）前記の第１ブロックと第２ブロックの組み合わせは、例示したベースプレート１とパレット２の組み合わせに代えて、工作機械のテーブルとワークパレットの組み合わせ、ワークパレットと治具ベースの組み合わせ、治具ベースとワークピースの組み合わせ、溶接治具等の作業用治具とワークピース等の作業物の組み合わせであってもよい。更には、射出成形機やプレス機の盤面と金型の組み合わせであってもよい。このほかにも、本発明は、レーザ加工機や放電加工機などの各種の加工機械のワークピース・ツール等の位置決めにも適用可能である。

Claims (13)

1. 第２ブロック（２）に備えた差込孔（５）に挿入可能となるように第１ブロック（１）から突出させたプラグ部（２７）と、
   前記第２ブロック（２）に備えられる被支持面（２ａ）と接当可能となるように前記第１ブロック（１）に備えられる支持面（９ａ）と、
   前記支持面（９ａ）に形成される流体流通孔（５９）と、
   前記第２ブロック（２）を第１ブロック（１）から離間させる方向へ押して前記被支持面（２ａ）と前記支持面（９ａ）との間に隙間（Ｇ１）を形成させるように前記第１ブロック（１）に設けた隙間維持部材（Ｋ）と、
   前記プラグ部（２７）の外周面を前記差込孔（５）の内周面に径方向に密着させた状態で前記の隙間維持部材（Ｋ）の前記の押す力に抗して前記第２ブロック（２）を前記第１ブロック（１）へ接近させて前記隙間（Ｇ１）を消失させる引張部材（２１）とを有する、
   ことを特徴とするクランプ装置。
2. 請求項１に記載のクランプ装置であって、
   前記第１ブロック（１）は前記第２ブロック（２）の下側に位置しており、
   前記の隙間維持部材（Ｋ）は、前記第２ブロック（２）の自重を支えることで、前記被支持面（２ａ）と前記支持面（９ａ）との間に前記隙間（Ｇ１）を形成させるように構成した、ことを特徴とするクランプ装置。
3. 請求項１に記載のクランプ装置であって、前記流体流通孔（５９）から圧力流体を噴出するように構成したことを特徴とするクランプ装置。
4. 請求項１に記載のクランプ装置であって、前記流体流通孔（５９）から空気を吸引するように構成したことを特徴とするクランプ装置。
5. 請求項１に記載のクランプ装置であって、前記の隙間維持部材（Ｋ）は弾性体（２５）であることを特徴とするクランプ装置。
6. 請求項１に記載のクランプ装置であって、前記の隙間維持部材（Ｋ）は圧力流体で駆動されるピストン（７６）であることを特徴とするクランプ装置。
7. 請求項１に記載のクランプ装置であって、
   前記第２ブロック（２）の前記差込孔（５）の開口端の周囲に接触するとともに前記の隙間維持部材（Ｋ）の前記の押す力を当該第２ブロック（２）に伝達する鍔部（６９）を備えることを特徴とするクランプ装置。
8. 請求項１に記載のクランプ装置であって、
   前記の隙間維持部材（Ｋ）が前記第２ブロック（２）の前記差込孔（５）の開口端の周囲に接触することを特徴とするクランプ装置。
9. 請求項１に記載のクランプ装置であって、
   前記プラグ部（２７）の外周面が前記差込孔（５）の内周面に密着したときに、前記第２ブロック（２）が前記第１ブロック（１）に対し前記プラグ部（２７）の径方向に位置決めされる、ことを特徴とするクランプ装置。
10. 請求項１に記載のクランプ装置であって、
    前記第１ブロック（１）に対して前記プラグ部（２７）が径方向に移動可能に構成されている、ことを特徴とするクランプ装置。
11. 請求項１に記載のクランプ装置であって、
    前記プラグ部（２７）は、傾斜内面（１７）を有する外側部材（７１，７８）を上下移動自在に備えるとともに、
    前記引張部材（２１）は、前記傾斜内面（１７）のテーパ係合によって前記外側部材（７１，７８）を拡径させて前記差込孔（５）に密着させつつ、前記外側部材（７１，７８）及び前記差込孔（５）を介して前記第２ブロック（２）を前記第１ブロック（１）側へ近接させるように構成した、
    ことを特徴とするクランプ装置。
12. 請求項１１に記載のクランプ装置であって、前記の隙間維持部材（Ｋ）は、前記外側部材（７８）を先端側の位置に保持する手段を兼ねる、ことを特徴とするクランプ装置。
13. 請求項１１に記載のクランプ装置であって、前記の隙間維持部材（Ｋ）は、前記外側部材（７１，７８）の前記傾斜内面（１７）にテーパ係合する傾斜外面（１３）を有する部材（６１，６８）を先端側の位置に保持する手段を兼ねる、ことを特徴とするクランプ装置。

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