JP5892897B2 - クランプ装置 - Google Patents

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    • B25B5/061Arrangements for positively actuating jaws with fluid drive

Description

この発明は、ワーク等の被固定物を所定の高さ位置に支持した状態でクランプする装置に関する。
この種のクランプ装置には、従来では、特許文献1(日本国・特開2012−20354号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ハウジング(ケース部材)内に、ワークを下側から支持するように支持筒(筒状クランプ本体)が昇降可能に挿入され、その支持筒内にクランプ機構が配置される。そのクランプ機構は、ワークに設けた穴に係合可能な複数のグリッパーと、上記グリッパーを下方へ引っ張るクランプロッドと、そのクランプロッドを駆動するクランプ用油圧シリンダとを備える。上記支持筒は、昇降用油圧シリンダによって上昇駆動および下降駆動される。上記支持筒の外周面に薄肉の環状スリーブが外嵌され、その環状スリーブがロック用油圧シリンダによって半径方向へ縮径される。
特開2012−20354号公報
上記の従来技術は、クランプ用油圧シリンダと昇降用油圧シリンダとロック用油圧シリンダとの3つの油圧シリンダを設ける必要があるので、クランプ装置の構造が複雑になるうえ、そのクランプ装置が大形になるという問題がある。
本発明の目的は、クランプ装置を簡素かつコンパクトに造れるようにすることにある。
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図1から図4に示すように、クランプ装置を次のように構成した。
ハウジング2にクランプ機構11及びサポート機構51を設ける。上記クランプ機構11は、被固定物20に設けた係止部22に係合可能な係合位置Xと上記係合が解除される係合解除位置Yとに切換え可能な係合部材12と、上記係合位置Xの係合部材12を基端方向へ引っ張る第1ロッド16と、その第1ロッド16を駆動する第1流体圧シリンダ17とを備える。また、上記サポート機構51は、上記ハウジング2に移動可能に挿入される第2ロッド52であって上記の被固定物20の被支持面20aに接当可能な支持部53を有する第2ロッド52と、その第2ロッド52を所定の力で先端方向へ付勢するように上記第2ロッド52と上記ハウジング2との間に装着された弾性部材54と、上記第2ロッド52に外嵌されると共に半径方向へ縮径可能な環状ロック部材57と、その環状ロック部材57の半径方向の外側に配置されると共に上記環状ロック部材57を縮径させる第2流体圧シリンダ60とを備える。
本発明は、次の作用効果を奏する。
無負荷状態では、クランプ機構がアンクランプ状態に切換えられると共にサポート機構がリリース状態に切換えられている。より具体的にいえば、第1流体圧シリンダが第1ロッドおよび係合部材を先端方向へ移動させると共に、弾性部材が第2ロッドを先端方向へ移動させている。
ワーク等の被固定物をクランプするときには、まず、上記第2ロッドの支持部に被固定物を搭載する。すると、その被固定物が第2ロッドを弾性体の付勢力に抗して基端方向へ後退させる。次いで、サポート機構を上記リリース状態からロック状態へ切り換える。即ち、第2流体圧シリンダが環状ロック部材を縮径させ、その環状ロック部材が第2ロッドを上記の後退位置にロックする。
その後、クランプ機構をアンクランプ状態からクランプ状態へ切り換える。即ち、第1流体圧シリンダが第1ロッド及び係合部材を基端方向へ駆動すると共に、上記係合部材が被固定物の係止部に係合し、上記第1ロッドが係合部材と係止部とを介して被固定物を上記ロック状態の第2ロッドの支持部に押圧する。
また、上記ワーク等の被固定物をクランプ装置から取り外すときには、上記クランプ機構をクランプ状態からアンクランプ状態へ切換えると共に、サポート機構をロック状態からリリース状態へ切換えて、第2ロッドの支持部から被固定物を外部へ搬出する。すると、その第2ロッドが前記弾性体の付勢力によって先端方向へ復帰移動する。
本発明は、クランプ装置を上記のように動作させるのに際し、前述した従来技術の昇降用油圧シリンダを省略できる。このため、クランプ装置を簡素かつコンパクトに造れる。
前記目的を達成するため、上記発明において、前記弾性部材54を備えることに代えて、前記第2ロッド52を所定の力で先端方向へ付勢する加圧室を当該第2ロッド52の基端側に配置し、その加圧室に圧力流体を供給可能に構成してもよい(図1から図4を参照)。
上記の別の発明は、前記の弾性部材の付勢力に代えて、加圧室に供給された圧力流体の付勢力を利用することにより、前記発明の作用効果と実質的に同一の作用効果を奏する。
なお、上記の加圧室に供給される圧力流体としては、クランプ機構の構成部材やサポート機構の構成部材をクリーニングするためのエアーブロー用の圧縮空気を利用することが考えられる。
本発明は、例えば図1から図4に示すように、次の構成を加えることが好ましい。
前記ハウジング2内に、前記第1ロッド16が挿入される環状の中間壁7を、当該第1ロッド16と同軸上で前記ハウジング2に固定された状態で配置する。前記第2ロッド52を筒状に形成し、その第2ロッド52の筒孔を前記中間壁7の半径方向の外側に軸心方向へ移動可能に挿入する。
上記発明によれば、サポート機構の配置箇所とクランプ機構の配置箇所とを環状の中間壁によって区画できるので、上記クランプ機構の構造を所望の構造に選択することが可能になる。
また、上記の各発明では、例えば図1から図4に示すように、次の構成を加えることが好ましい。
前記の第1流体圧シリンダ17を、第1ピストン27と、その第1ピストン27の先端側に配置された第1作動室30と、当該第1ピストン27の基端側に配置された第1バネ室34と、その第1バネ室34に装着されると共に前記第1ピストン27を先端側へ付勢する第1バネ35とによって構成する。前記の第2流体圧シリンダ60を、第2ピストン63と、その第2ピストン63の外周側と先端側との少なくとも一方に配置された第2作動室68と、当該第2ピストン63の基端側に配置された第2バネ室70と、その第2バネ室70に装着されると共に前記第2ピストン63を先端側へ付勢する第2バネ71とによって構成する。そして、前記の第2作動室68へ供給された圧力流体が前記第2ピストン63を基端方向へ移動させた後に前記の第1作動室30へ供給された圧力流体が前記第1ピストン27を基端方向へ移動させるように構成する。
上記構成によれば、第2ピストンを介して前記の環状ロック部材を縮径させてサポート機構をロック状態へ切換え、その後、クランプ機構をクランプ状態へ切り換えることができる。
また、上記発明においては、前記第1バネ35の付勢力を前記第1ピストン27の受圧面積で割った値が、前記第2バネ71の付勢力を前記第2ピストン63の受圧面積で割った値よりも大きい値に設定されることが好ましい。
上記構成により、サポート機構をロック駆動した後にクランプ機構をクランプ駆動するというシーケンス動作を、確実に行える。
さらに、本発明の具体的な構造としては、例えば図1から図4に示すように、前記の被固定物20に形成された穴21の内周面に前記の係止部22を設け、前記穴21の前記係止部22に接当可能なように周方向へ所定の間隔で配置した複数のグリッパー12によって前記の係合部材を構成し、前記複数のグリッパー12の内周面に先端側から楔係合する楔部41を前記第1ロッド16に設けることが好ましい。
図1は、本発明のクランプ装置の一実施形態を示す立面視の断面図であって、そのクランプ装置のクランプ機構をアンクランプ状態に切換えると共に上記クランプ装置のサポート機構をリリース状態に切換えた状態の図である。 図2は、上記リリース状態のサポート機構にワークを搭載した状態を示し、図1に類似する図である。 図3は、上記サポート機構をロック状態に切換えた状態を示し、図2に類似する図である。 図4は、前記クランプ機構をクランプ状態に切換えた状態を示し、図3に類似する図である。
以下、本発明のクランプ装置の一実施形態を図1から図4によって説明する。
まず、主として図1及び図2に基づいてクランプ装置の構造を説明する。
工作機械のテーブルに載置されたベースプレート1に、クランプ装置のハウジング2が固定される。そのハウジング2は、下ハウジング3と上ハウジング4とを備える。下ハウジング3の水平方向の中央部からガイド筒6が上向きに一体に突出される。そのガイド筒6に環状の中間壁7の下部がネジ止めされる。また、下ハウジング3の上記中央部の下部には下端壁8が止め輪9によって装着される。
なお、下ハウジング3と上ハウジング4とは、複数のボルト(図示せず)によってベースプレート1に固定される。
上記ハウジング2にクランプ機構11が設けられる。そのクランプ機構11は、周方向へ所定の間隔をあけて配置した4つのグリッパー(係合部材)12と、上記グリッパー12の下フランジ13の下側に配置した環状の押部材14と、その押部材14を所定の力で上方へ付勢する進出バネ15と、上記複数のグリッパー12及び押部材14に挿入された第1ロッド16と、その第1ロッド16を駆動する第1流体圧シリンダ17とを備える。
上記グリッパー12は、被固定物としてのワーク20の穴21の内周面に設けた係止部22に係合可能な係合位置X(図4を参照)と、上記係合が解除される係合解除位置Y(図1から図3を参照)とに切換え可能になっている。
上記の第1流体圧シリンダ17は、次のように構成される。
下ハウジング3に形成された第1シリンダ孔26は、下ハウジング3の下部内に形成した大径孔26aと、ガイド筒6内に形成した小径孔26bとを備える。第1ピストン27は、筒状のピストン本体27aと、そのピストン本体27aから上方へ突出された筒状のピストンロッド27bとを備える。大径孔26aにピストン本体27aが保密状に挿入されると共に、小径孔26bにピストンロッド27bが保密状に挿入される。
上記ピストン本体27aの上側に第1作動室30が形成される。その第1作動室30が第1給排路31を介して圧油ポート32に連通される。また、上記ピストン27の下側に第1バネ室34が形成される。その第1バネ室34に装着した第1バネ35のバネ下端が前記の下端壁8に受け止められると共に、バネ上端がバネ受け36を介してピストンロッド27bの上部に受け止められる。
前記の第1ロッド16の下部は、ピストンロッド27bの上端部とバネ受け36との間に水平移動可能に挿入されている。また、前記グリッパー12も、前記の中間壁7の上端部と押部材14の上端部との間に水平移動可能に挿入されている。
上記の各グリッパー12の上部の外周には、鋸刃状の突起39が上下方向へ複数形成される。また、各グリッパー12上部の内周には、下方へ向かうにつれて軸心に近づくように傾斜面40が形成される。上記傾斜面40に上側から係合する楔面(楔部)41が第1ロッド16の上部に形成される。
上記4つのグリッパー12の途中高さ部には、ゴム等の弾性体からなる薄肉のリング43が装着される。そのリング43の弾性力がグリッパー12を半径方向の内方へ付勢している。
また、後述する環状の第2ロッド52の上部にはダストシール44が装着される。そのダストシール44の弾性力が、上記グリッパー12及び第1ロッド16を、第1ピストン27の軸心へ向けて半径方向の内方へ付勢している。
また、上記ハウジング2にサポート機構51が設けられる。そのサポート機構51は、次のように構成されている。
前記の環状の中間壁7の外周面に筒状の第2ロッド52の筒孔が上下方向(軸心方向)へ移動可能に挿入される。これにより、前記第1ロッド16と第2ロッド52とが同軸上に配置される。
上記第2ロッド52の上端部には、前記ワーク20の被支持面20aに接当可能な支持部53が設けられる。また、上記第2ロッド52と前記の下ハウジング3との間に支持バネ(弾性部材)54が装着される、その支持バネ54が第2ロッド52を所定の力で上方(先端方向)へ付勢している。
なお、第2ロッド52の途中高さ部の外周には平面視でC字状の止め輪55が嵌着されている。その止め輪55により、上記第2ロッド52が所定量以上に上昇することが防止される。
また、前記の上ハウジング4の上端壁の内周部には、第2ロッド52の外周面に接当するスクレーパ56が装着されている。
上記第2ロッド52の外周面に設けた狭持固定領域Aに、筒状のコレットによって構成した環状ロック部材57が外嵌される。その環状ロック部材57は、上すぼまりのテーパ外周面58と上下方向へ延びる1つのスリット59とを有し、そのスリット59によって弾性的に縮径可能になっている。
上記の環状ロック部材57の上端部と上ハウジング4の上端壁との間に、環状の波ワッシャーからなる弾性体Eが装着される。その弾性体Eが環状ロック部材57を下降位置に付勢している。
上記環状ロック部材57を縮径させる第2流体圧シリンダ60が配置される。その第2流体圧シリンダ60は、次のように構成されている。
ハウジング2に形成された第2シリンダ孔62は、上ハウジング4内で上向きに形成した大径孔62aと小径孔62bとを備える。第2ピストン63は、大径孔62aに下シール部材64を介して保密状に挿入された大径ピストン63aと、小径孔62bに上シール部材65を介して保密状に挿入された小径ピストン63bとを備える。
上記第2ピストン63のテーパ内周面66と前記の環状ロック部材57のテーパ外周面58との間に形成した環状テーパ隙間67には多数のボールBが挿入される。
上記第2ピストン63の外周側で前記の下シール部材64と上シール部材65との間に第2作動室68が形成される。その第2作動室68が第2給排路69を介して前記の圧油ポート32へ連通される。
また、第2ピストン63の下側に配置された第2バネ室70には、第2ピストン63を上方へ付勢する第2バネ71が装着される。
上記構造のクランプ装置では、第1バネ35の付勢力を第1ピストン27の受圧面積で割った値は、第2バネ71の付勢力を前記第2ピストン63の受圧面積で割った値よりも大きい値に設定される。
これにより、後述の作動説明に示すように、まず、第2作動室68へ供給された圧油が第2ピストン63を下降させ、その後、第1作動室30へ供給された圧油が第1ピストン27を下降させる。
また、エアーブロー用の通路73が前記第2バネ室70の下部に開口される。エアーブロー用の加圧エアは、供給ポート74から上記通路73を通って第2バネ室70へ供給される。その後、上記の加圧エアは、上記第2バネ室70から、中間壁7の外周面と第2ロッド52の内周面との間の嵌合隙間と、リング43の外周面とダストシール44の内周部との間を順に通って、外部へ吐出されると共に、上記第2バネ室70から、環状ロック部材57のスリット59と、弾性体Eの内周面と第2ロッド52の外周面との間と、前記C字状の止め輪55の切欠き部分と、第2ロッド52の外周面とスクレーパ56の内周面との間を順に通って、外部へ吐出される。
上記構成のクランプ装置は、前記ワーク20(図2から図4を参照)をクランプするときに、図1から図4に示すように次のように作動する。
図1の無負荷状態では、クランプ機構11がアンクランプ状態に切換えられると共にサポート機構51がリリース状態に切換えられている。
より詳しくいえば、図1の無負荷状態では、第1作動室30と第2作動室68の圧油が排出されている。これにより、第1バネ35が第1ピストン27及び第1ロッド16を上昇させ、進出バネ15が押部材14を介して複数のグリッパー12を上昇位置に保持し、リング43の弾性力が上記グリッパー12を縮径状態に切り換えている。また、第2バネ71が第2ピストン63を上昇させ、環状ロック部材57が自己の弾性復元力によって拡径し、支持バネ54が第2ロッド52を上昇させている。
上記図1のクランプ装置によってワーク20(図2から図4を参照)をクランプするときには、まず、図2のワーク搭載状態に示すように、クランプ装置の上側に搬入したワーク20を何らかの昇降手段または自重によって下降させ、そのワーク20の穴21にグリッパー12を挿入する。すると、その図2に示すように、上記ワーク20の右方の本体部分が支持ブロック(いずれ図示せず)によって受け止められると共に、当該ワーク20の左部分が環状の第2ロッド52の上端に設けた支持部53に接当し、上記ワーク20が第2ロッド52を支持バネ54の付勢力に抗して僅かに下降させる。即ち、上記の支持ブロック(図示せず)に受け止められたワーク20の高さ位置に追従して第2ロッド52が下降される。
なお、上記図2のワーク搭載状態では、第2ロッド52に嵌着した前記の止め輪55の上端と前記の上ハウジング4の上端壁の段部4aとの間には、上下方向に隙間が形成されている。
次いで、前記圧油ポート32へ圧油を供給して、第1作動室30と第2作動室68とに圧油を供給する。その圧油供給の初期には、第1ピストン27が強力な第1バネ35によって上昇位置に保持されるのに対して、第2作動室68の圧油が第2バネ71に抗して第2ピストン63を下降駆動していく。
すると、図3に示すように、上記第2ピストン63のテーパ内周面66が前記ボールBを転動させながら環状ロック部材57のテーパ外周面66にスムーズに係合していき、前記の下ハウジング3によって受け止められた環状ロック部材57を縮径させる。これにより、その縮径された環状ロック部材57が第2ロッド52の狭持固定領域Aを求心方向へ押圧し、その第2ロッド52を狭持固定する。このため、ワーク20が第2ロッド52を介して図3の高さ位置に保持される。即ち、サポート機構51が図2のリリース状態から図3のロック状態へ切り換えられる。
引き続いて、クランプ機構11が図3のアンクランプ状態から図4のクランプ状態へ切換えられる。即ち、上記の圧油供給の中期から終期には、図4に示すように、第1作動室30へ供給された圧油が上記第1バネ35に抗して第1ピストン27を下降駆動していく。
すると、まず、進出バネ15の付勢力によって上昇位置に保持された押部材14及びグリッパー12に対して第1ピストン27及び第1ロッド16が下降していく。これにより、第1ロッド16の楔面41によってグリッパー12が拡径され(半径方向の外方へ移動され)、当該グリッパー12がワーク20の穴21の係止部22に係合する。引き続いて、第1ロッド16の下降力により、穴21の係止部22に密着した状態の上記グリッパー12が上記の穴21を介してワーク20を下向きに引っ張り、これと同時に、グリッパー12及び押部材14が進出バネ15の付勢力に抗して下降する。これにより、ワーク20が、ロック状態の第2ロッド52の前記支持部53に強力に押圧される。
上記図4のクランプ状態でワーク20の上面を機械加工し、その加工時の押し下げ力を上記第2ロッド52のサポート力によって強力に受け止めるのである。なお、この実施形態では、サポート機構51のサポート力を、クランプ機構11のクランプ力の約1.5倍から約3倍の値に設定することが好ましい。
図4のクランプ状態において、上記ワーク20の機械加工が終了した後には、前記圧油ポート32から圧油を排出する。すると、まず、図3に示すように、第1バネ35が第1ピストン27及び第1ロッド16を上昇させると共に、進出バネ15が押部材15及びグリッパー12を上昇させる。次いで、図2に示すように、第2バネ71が第2ピストン63を上昇させるので、その第2ピストン63のテーパ内周面66が前記ボールBを転動させながらスムーズに上向き移動し、環状ロック部材57のテーパ外周面58の押圧状態が解除される。これにより、環状ロック部材57が自己の弾性復元力によって拡径し、上記第2ロッド52のロック状態が解除される。
その後、加工済みのワーク20を上昇および搬出する。これにより、図1に示すように、前記の支持バネ54が第2ロッド52を上昇させる。
上記の実施形態は、例えば、次のように変更可能である。
前記グリッパー(係合部材)12を上方へ進出させる手段は、例示した進出バネ15等の弾性体の付勢力を利用することに代えて、油圧力や空圧力などの流体圧力を利用することも可能である。
また、グリッパー12の設置数量は、4つに代えて、1つから3つであってもよく、5つ以上配置することも可能である。
さらには、係合部材12は、複数のグリッパーによって構成することに代えて、スリットを設けた一体形の環状コレットによって構成してもよい。
ワーク20等の被固定物に設けた係止部22は、例示したテーパ穴21の内周面に設けることに代えて、上下方向へストレートな穴の内周面に設けてもよい。
また、上記の係止部22は、段付き穴の段部によって構成してもよい。この場合、前記の係合部材12は、半径方向の外方の係合位置に切換えられたときに上記係止部22に係合するボールによって構成することが考えられる。
さらには、上記の係止部22は、ワーク20等の被固定物から下方へ突出させた係止ロッドの外周面に設けてもよい。この場合、前記の係合部材12は、半径方向の内方の係合位置に切換えられたときに上記係止部22に係合するコレットやボール等によって構成することが考えられる。
前記クランプ機構11は、油圧によってクランプすると共にバネによってアンクランプすることに代えて、バネによってクランプすると共に油圧によってアンクランプしてもよく、さらには、複動式であってもよい。
前記サポート機構51の第2作動室68は、第2ピストン63の外周側に配置することに代えて、又は、それに加えて、第2ピストン63の上側に配置してもよい。
そのサポート機構51の前記支持バネ(弾性部材)54を取り外してもよい。この場合、第2ロッド52の下側の空間が加圧室として機能され、その加圧室に供給された前記エアーブロー用の加圧エアが第2ロッド52を所定の力で上方へ付勢する。なお、上記支持バネ54の付勢力と上記加圧室の付勢力とを併用することも可能である。
また、サポート機構51は、油圧によってロックすると共にバネによってリリースすることに代えて、バネによってロックすると共に油圧によってリリースしてもよく、複動式であってもよい。
さらには、サポート機構51の環状ロック部材57は、例示したコレットによって構成することに代えて、圧油によって縮径される薄肉スリーブによって構成してもよい。この場合、前記第2作動室68は、上記の薄肉スリーブの外周に形成されることになる。
前記クランプ機構11とサポート機構51とをシーケンス動作させるための構成は、第1バネ35と第2バネ71の付勢力を相違させたり第1ピストン27と第2ピストン63の受圧面積を相違させることに代えて、又は、これに加えて、前記第1給排路31に流動抵抗を付与する絞り手段を設けたものでもよい。
前記第1ロッド16と前記の第2ロッド52とは、例示したように同軸上に配置することに代えて、その第1ロッド16に対して第2ロッド52を水平方向に所定の間隔をあけて平行状に配置してもよい。この場合、その第2ロッド52は、筒状に形成することに代えて中実に形成してもよい。
前記第1ピストン27のピストンロッド27bと第1ロッド16との両者の連結構造は、これら両者を同一軸心状に連結することに代えて、上記両者を、平行に配置すると共に横向きの連結具を介して相互に連結することも可能である。
クランプ装置は、上下方向に配置することに代えて、上下逆に配置したり横向きに配置したり斜め向きに配置してもよい。
クランプ機構11やサポート機構51に使用される圧力流体は、例示した圧油に代えて、圧縮空気等であってもよい。
本発明が適用される被固定物は、例示したワーク20に代えてワークパレットや金型などであってもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
2:ハウジング,7:中間壁,11:クランプ機構,12:係合部材(グリッパー),16:第1ロッド,17:第1流体圧シリンダ,20:被固定物(ワーク),20a:被支持面,21:穴,22:係止部,27:第1ピストン,30:第1作動室,34:第1バネ室,35:第1バネ,41:楔部(楔面),51:サポート機構,52:第2ロッド,53:支持部,54:弾性部材(支持バネ),57:環状ロック部材,60:第2流体圧シリンダ,63:第2ピストン,68:第2作動室,70:第2バネ室,71:第2バネ,X:係合位置,Y:係合解除位置.

Claims (6)

  1. ハウジング(2)にクランプ機構(11)及びサポート機構(51)を設けたクランプ装置であって、
    上記クランプ機構(11)は、被固定物(20)に設けた係止部(22)に係合可能な係合位置(X)と上記係合が解除される係合解除位置(Y)とに切換え可能な係合部材(12)と、上記係合位置(X)の係合部材(12)を基端方向へ引っ張る第1ロッド(16)と、その第1ロッド(16)を駆動する第1流体圧シリンダ(17)とを備え、
    上記サポート機構(51)は、上記ハウジング(2)に移動可能に挿入される第2ロッド(52)であって上記の被固定物(20)の被支持面(20a)に接当可能な支持部(53)を有する第2ロッド(52)と、その第2ロッド(52)を所定の力で先端方向へ付勢するように上記第2ロッド(52)と上記ハウジング(2)との間に装着された弾性部材(54)と、上記第2ロッド(52)に外嵌されると共に半径方向へ縮径可能な環状ロック部材(57)と、その環状ロック部材(57)の半径方向の外側に配置されると共に上記環状ロック部材(57)を縮径させる第2流体圧シリンダ(60)とを備える、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  2. 請求項1のクランプ装置において、前記弾性部材(54)を備えることに代えて、
    前記第2ロッド(52)を所定の力で先端方向へ付勢する加圧室を当該第2ロッド(52)の基端側に配置し、その加圧室に圧力流体を供給可能に構成した、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  3. 請求項1又は2のクランプ装置において、
    前記ハウジング(2)内に、前記第1ロッド(16)が挿入される環状の中間壁(7)を、当該第1ロッド(16)と同軸上で前記ハウジング(2)に固定された状態で配置し、
    前記第2ロッド(52)を筒状に形成し、その第2ロッド(52)の筒孔を前記中間壁(7)の半径方向の外側に軸心方向へ移動可能に挿入した、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  4. 請求項1から3のいずれかのクランプ装置において、
    前記の第1流体圧シリンダ(17)を、第1ピストン(27)と、その第1ピストン(27)の先端側に配置された第1作動室(30)と、当該第1ピストン(27)の基端側に配置された第1バネ室(34)と、その第1バネ室(34)に装着されると共に前記第1ピストン(27)を先端側へ付勢する第1バネ(35)とによって構成し、
    前記の第2流体圧シリンダ(60)を、第2ピストン(63)と、その第2ピストン(63)の外周側と先端側との少なくとも一方に配置された第2作動室(68)と、当該第2ピストン(63)の基端側に配置された第2バネ室(70)と、その第2バネ室(70)に装着されると共に前記第2ピストン(63)を先端側へ付勢する第2バネ(71)とによって構成し、
    前記の第2作動室(68)へ供給された圧力流体が前記第2ピストン(63)を基端方向へ移動させた後に前記の第1作動室(30)へ供給された圧力流体が前記第1ピストン(27)を基端方向へ移動させるように構成した、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  5. 請求項4のクランプ装置において、
    前記第1バネ(35)の付勢力を前記第1ピストン(27)の受圧面積で割った値が、前記第2バネ(71)の付勢力を前記第2ピストン(63)の受圧面積で割った値よりも大きい値に設定される、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  6. 請求項1から5のいずれかのクランプ装置において、
    前記の被固定物(20)に形成された穴(21)の内周面に前記の係止部(22)を設け、
    前記穴(21)の前記係止部(22)に接当可能なように周方向へ所定の間隔で配置した複数のグリッパー(12)によって前記の係合部材を構成し、
    前記複数のグリッパー(12)の内周面に先端側から楔係合する楔部(41)を前記第1ロッド(16)に設けた、
    ことを特徴とするクランプ装置。
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