JP6417127B2 - クランプ装置 - Google Patents

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Description

この発明は、進退式のクランプ装置に関する。
この種の進退式のクランプ装置には、従来では、特許文献1(日本国・特開平11−188551号公報)に記載されたものがある。その従来技術の図10の装置は、次のように構成されている。
ハウジングに昇降部材(進退部材)が移動可能に挿入される。前記昇降部材にクランプ用ピストンが軸心方向へ移動可能に挿入され、そのクランプ用ピストンにプルロッドが連結される。前記クランプ用ピストン及び昇降部材を上昇限界位置へ移動させる上昇バネが設けられる。前記クランプ用ピストンと前記昇降部材との間に形成された区画室に圧油が供給されると、その圧油によって前記昇降部材が上昇限界位置に保持された状態で、前記上昇バネに抗して前記クランプ用ピストン及びプルロッドが下降されていく。すると、そのプルロッドの外周空間に備えられた係合部材が、半径方向の外方の係合位置に移動されてワークの円形孔に係合し、そのワークを引き下げる。
特開平11−188551号公報(図10)
上記の従来技術では、昇降部材の上昇限界位置でプルロッドを下方へクランプ駆動するときに、昇降部材が下方へ位置ずれしないように圧油によって支持すると共に、その圧油によって上記の上昇バネに抗してクランプ用ピストンをクランプ駆動する必要がある。この場合、上記の上昇バネは、昇降部材とクランプ用ピストンとプルロッドとを上昇させ得るように、強力な付勢力が要求される。このため、上記の油圧力によるクランプ力は、強力な上昇バネの付勢力だけ小さくなる。従って、上記の従来技術では、ワーク等のクランプ対象物を強力に固定できるようにする点において改良の余地があった。
本発明の目的は、ワーク等のクランプ対象物を強力に固定できるクランプ装置を提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図1から3,又は図4,若しくは図5に示すように、クランプ装置を次のように構成した。
ハウジング1又は固定台2の先端側に着座面3が設けられて、その着座面3にクランプ対象物4が載置される。ハウジング1に進退部材9が軸心方向へ移動可能に挿入される。その進退部材9を基端側へ移動させる後退駆動手段34が設けられる。前記進退部材9を前記着座面3よりも先端側の先端側限界位置へ移動させる進出バネ19が設けられる。前記進退部材9に出力部材13が軸心方向へ移動可能に挿入される。前記進退部材9が支持クランプ手段36によって前記先端限界位置に支持されると共に、前記出力部材13が前記支持クランプ手段36によってクランプ駆動される。前記出力部材13をアンクランプ駆動する復帰バネ24が、前記進退部材9に装着される。前記出力部材13に、押部40が、基端方向または先端方向へ向けてすぼまるように設けられる。その押部40の外周空間で前記進退部材9に、係合部材39が、半径方向の内方の係合解除位置と外方の係合位置とに切換え可能に支持される。前記押部40が前記係合部材39を介して前記クランプ対象物4をクランプするに際し、前記出力部材13が前記支持クランプ手段36によってクランプ駆動されるときに、前記進出バネ19及び前記支持クランプ手段36が前記進退部材9を前記先端限界位置に支持する。
本発明は、次の作用効果を奏する。
前記の進退部材の先端限界位置で、出力部材が基端側へクランプ駆動されるときに、進退部材が、基端側へ位置ずれしないように支持クランプ手段及び進出バネによって強力に支持されると共に、出力部材が復帰バネに抗して支持クランプ手段によってクランプ駆動される。ここで、前記の復帰バネは、出力部材をアンクランプ駆動するだけの小さな付勢力のものを採用可能である。このため、上記の支持クランプ手段によるクランプ力から復帰バネの付勢力を差し引いた力が大きい。従って、クランプ装置がワーク等のクランプ対象物を強力に固定できる。
本発明は、次の(1)から(7)の構成を加えることが好ましい。
(1) 例えば、図1から3,又は図4,若しくは図5に示すように、前記進退部材9の前記先端限界位置では、前記進退部材9に先端側へすぼまるように設けられた係止部10cが、前記ハウジング1に先端側へすぼまるように設けられた受止め部8cに係合する。
この場合、前記進退部材の先端限界位置で、進退部材の係止部がハウジングの受止め部に係合して水平方向及び垂直方向に拘束されて、進退部材がハウジングに対して精度よく軸心合わせされる。
(2) 前記ハウジング1に弁機構41が設けられる。その弁機構41が、前記係止部10cと、前記受止め部8cと、位置検出用の圧力流体が供給されるように前記受止め部8cに形成された弁孔42とを有する。前記進退部材9の前記先端限界位置で、前記係止部10cが前記弁孔42を塞ぐことで、前記弁機構41が閉弁される。
この場合、進退部材が前記先端限界位置に移動したことを弁機構が検知した後に、支持クランプ手段によって出力部材をクランプ動作することが可能となるので、クランプ装置がクランプ対象物を確実に固定できる。
(3) 例えば、図1から図3,又は図4に示すように、前記弁孔42が、前記進退部材9と前記出力部材13との間に形成された環状隙間45へ連通される。前記位置検出用の圧力流体が、その環状隙間45にクリーニング用の圧力流体として噴出される。
この場合、前記の環状隙間へ切粉等の異物が侵入するのを阻止できるので、進退部材や出力部材が破損するのを防止できる。
(4) 例えば、図5に示すように、前記着座面3に、着座確認用の圧力流体を噴出させる検出孔48が開口される。その検出孔48が、前記弁孔42に連通するように形成される。
この場合、前記進退部材が先端限界位置に移動したことを検知すると共に、クランプ対象物が着座面に着座したことを検知する機構を、簡素に構成できる。
(5) 例えば、図5に示すように、前記ハウジング1に対して前記進退部材9を軸心合わせする調心機構55が、前記ハウジング1と前記進退部材9との間に設けられる。
この場合、進退部材は、調心機構によって水平方向に拘束されて、ハウジングに対して精度よく軸心合わせされる。
(6) 例えば、図5に示すように、前記進退部材9の前記先端限界位置では、前記進退部材9の外周に設けられた支持部65が、前記クランプ対象物4に設けられた位置決め部材63に係合する。
この場合、位置決め部材および支持部によってクランプ対象物が拘束されることで、そのクランプ対象物が進退部材に対して精度よく軸心合わせされる。これにより、クランプ装置は、クランプ対象物を精度よく位置決め固定できる。
(7) 例えば、図5に示すように、ハウジング1の基端部68に検出弁69が設けられる。前記進退部材9が基端位置に移動したことを前記検出弁69が検出する。
この場合、前記進退部材が基端位置に移動したことを検出弁が検知した後に、クランプ対象物が、進退部材の軸心と直交する方向へ搬出されることが可能になるので、クランプ対象物が進退部材に接触して上記進退部材が破損するのを防止できる。
図1は、本発明の第1実施形態を示し、クランプ装置の下降アンクランプ状態を示す立面視の断面図である。 図2は、上記クランプ装置の上昇アンクランプ状態を示し、図1に類似する図である。 図3は、上記クランプ装置の上昇クランプ状態を示し、図1に類似する図である。 図4は、本発明の第2実施形態を示し、図3に類似する図である。 図5は、本発明の第3実施形態を示し、図3に類似する図である。
本発明の第1実施形態を図1から図3によって説明する。
まず、主として図1に基づいてクランプ装置の構造を説明する。
クランプ装置のハウジング1が、固定台としてのクランプパレット2の収容孔2aに挿入される。そのハウジング1の上部に着座面3が形成され、その着座面3によってワーク(クランプ対象物)4が受け止められる。より詳しくいえば、ワーク4の下部に口金5がボルト6によって固定され、その口金5の下面5aが着座面3に受け止められる。また、口金5に段付き孔7が開口される。
前記のハウジング1にシリンダ孔8が形成され、そのシリンダ孔8に進退部材9が昇降可能に保密状に挿入される。そのシリンダ孔8には、下側から順に大径孔8aと小径孔8bとが形成される。前記進退部材9は、外側ピストン10と、その外側ピストン10から上方へ突設された支持部材11と、外側ピストン10の下部に設けられた底板12とを有する。その外側ピストン10は、前記大径孔8aに保密状に挿入された大径部10aと、前記小径孔8bに保密状に挿入された小径部10bとを有する。
前記外側ピストン10に出力部材13が昇降可能に挿入される。その出力部材13は、外側ピストン10に保密状に挿入された内側ピストン14と、内側ピストン14から上方へ突設される上側ピストンロッド15a及び当該内側ピストン14から下方へ突設される下側ピストンロッド15bを有するピストンロッド15と、その上側ピストンロッド15aに締結ボルト16で連結された出力ロッド17とを有する。
上記の底板12の下方に圧力室18が形成され、その圧力室18に進出バネ19が装着される。前記の内側ピストン14の上側にロック室22が設けられる。内側ピストン14の下側にアンロック室23が設けられる。そのアンロック室23に復帰バネ24が装着され、その復帰バネ24が外側ピストン10に対して内側ピストン14を上方へ付勢する。前記の内側ピストン14及び下側ピストンロッド15bに流路27が形成され、その流路27が圧力室18をロック室22へ連通させる。その圧力室18は、ハウジング1に形成された第1エア給排路28を介してロックポート(図示せず)に連通される。上記のアンロック室23は、外側ピストン10に形成された流路29と、外側ピストン10の小径部10bとシリンダ孔8の大径孔8aとの間に形成された作動室30と、第2エア給排路31とを通って、リリースポート32に連通される。
ここで、上記の進退部材9を駆動させる第1空圧シリンダ33は、シリンダ孔8と、そのシリンダ孔8内に装着された外側ピストン10及び底板12と、前記外側ピストン10の大径部10aの上側に形成された作動室30と、前記圧力室18と、その圧力室18に装着された進出バネ19とを有する。前記外側ピストン10と、作動室30とが後退駆動手段34を構成し、その後退駆動手段34によって進退部材9を下降させる。
また、上記の出力部材13を駆動させる第2空圧シリンダ35は、外側ピストン10に挿入された内側ピストン14と、ロック室22と、アンロック室23と、そのアンロック室23に装着された復帰バネ24とを有する。前記内側ピストン14とロック室22と底板12と外側ピストン10と圧力室18とが、支持クランプ手段36を構成している。その支持クランプ手段36が、上記の進退部材9を上昇限界位置(先端限界位置)に支持すると共に、出力部材13をクランプ駆動させる。
上記の支持部材11の上部に周方向へ所定間隔をあけて複数の案内孔38が形成され、各案内孔38に係合部材としてのボール39が半径方向の内方と外方とに移動可能に支持される。上記の出力ロッド17の外周部に、押部40が、前記のボール39に対面するように、且つ、下方へすぼまるように形成される。
ハウジング1のシリンダ孔8の上部に、受止め部8cが、上方へすぼまるように環状に形成される。前記の外側ピストン10の外周に、係止部10cが上方へすぼまるように形成される。進退部材9が上昇すると、係止部10cが受止め部8cに係合する。これにより、進退部材9がハウジング1に対して精度よく軸心合わせされて支持される。
ハウジング1の上部に弁機構41が配置される。その弁機構41は、前記受止め部8cに開口される弁孔42と、弁体としての前記係止部10cと、弁座としての前記受止め部8cとを有する。上記の弁孔42には、ハウジング1に形成された第1給気路43を介して位置検出用の圧縮空気(圧力流体)が供給される。進退部材9が上昇限界位置に移動したときに、係止部10cが弁孔42を塞ぐと、弁機構41が閉弁される。
上記の外側ピストン10の上部に連通孔44が形成される。その連通孔44を通って位置検出用の圧縮空気が、出力ロッド17の外側の環状隙間45及びボール39に向けて噴出される。これにより、環状隙間45へ切粉等の異物が侵入するのを阻止できるので、進退部材9や出力部材13が破損するのを防止できる。
上記の着座面3に開口された検出孔48には、第2給気路49を通って圧縮空気が供給される。その第2給気路49には圧力スイッチ(図示せず)が連結される。前記の着座面3にワーク4が載置されると、前記口金5の下面5aが検出孔48を塞いで第2給気路49の圧力が設定圧まで上昇し、それを圧力スイッチ(図示せず)が検出する。
上記のクランプ装置は次のように作動する。
図1の下降アンクランプ状態では、ワーク4が図中矢印方向へ搬入され、着座面3に載置されたワーク4(図1は、既にワーク4が載置された状態を示す)が検出孔48を塞いで、それを前記の圧力スイッチ(図示せず)が検知している。
図1の下降アンクランプ状態では、上記の圧力室18の圧縮空気が排出されると共に、圧縮空気が作動室30に供給されて、外側ピストン10は下限位置まで下降している。内側ピストン14は、復帰バネ24によって上方へ付勢されている。
また、上記の図1の下降アンクランプ状態では、前記の弁孔42に圧縮空気が供給されて、上記の環状隙間45へ向けて噴出されている。これにより、切粉等の異物が環状隙間45の上方へ吹き飛ばされる。
図1の下降アンクランプ状態から図2の上昇アンクランプ状態へ切換えるときには、作動室30の圧縮空気を第2エア給排路31を介して排出すると、上記の進出バネ19の付勢力が外側ピストン10を介して進退部材9を上昇させる。
上記の進退部材9が上昇限界位置に到達したときには、前記係止部10cが受止め部8cに係合されてハウジング1に対して進退部材9が精度よく軸心合わせされる。また、進退部材9の上昇限界位置では、係止部10cが弁孔42を塞いで、弁機構41が閉弁される。
図2の上記上昇アンクランプ状態から図3の上昇クランプ状態に切換えるときには、圧力室18に圧縮空気を供給する。すると、その圧縮空気が、流路27を通ってロック室22に供給される。これにより、圧力室18の圧力及び進出バネ19の付勢力が外側ピストン10を上昇限界位置に支持すると共に、ロック室22の圧力が、復帰バネ24に抗して内側ピストン14を下降させる。すると、上記の押部40がボール39を半径方向の外方の係合位置へ押圧し、そのボール39が前記段付き孔7の係止部7aを斜め下向きに押圧する。これにより、押部40がボール39を介してワーク4を着座面3に固定する。
図3の上昇クランプ状態から図2の上昇アンクランプ状態に切換えるときには、圧力室18及びロック室22の圧縮空気を排出する。すると、復帰バネ24の付勢力が内側ピストン14を上昇させ、ボール39が半径方向の内方の係合解除位置へ切り換わることを許容する。
図2の上昇アンクランプ状態から図1の下降アンクランプ状態への切換えるときには、作動室30に圧縮空気が供給されて、進出バネ19の付勢力に抗して外側ピストン10が着座面3よりも下方へ下降する。その後、ワーク4が、水平方向へ搬出される。
上記の第1実施形態は次の長所を奏する。
前記の進退部材9の上昇限界位置で、出力部材13が下方へクランプ駆動されるときには、進退部材9が、下方へ位置ずれしないように支持クランプ手段36及び進出バネ19によって強力に支持されると共に、その支持クランプ手段36によってクランプ駆動される。ここで、前記の復帰バネ24は、出力部材13をアンクランプ駆動するだけの小さな付勢力のものを採用可能である。このため、上記の支持クランプ手段36によるクランプ力から復帰バネ24の付勢力を差し引いた力が大きい。従って、クランプ装置は、ワーク4を強力に固定できる。
図4と、図5とは、本発明の第2実施形態と第3実施形態とを示し、上記の第1実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
図4の第2実施形態が上記の第1実施形態と異なる点は次の通りである。
上記出力ロッド17の外周の押部40が上方へすぼまるように形成される。また、上記の内側ピストン14の上側にアンロック室23が形成され、そのアンロック室23に復帰バネ24が装着される。内側ピストン14の下側にロック室22が形成される。そのロック室22を圧力室18へ連通させる連通孔50が底板12に形成される。
上昇アンクランプ状態から図4の上昇クランプ状態へ切換えるときには、前記の進退部材9の上昇限界位置で、上記の支持クランプ手段36が出力部材13を上昇させて、ボール39が半径方向の内方の係合解除位置から外方の係合位置へ切換えられる。
上記の第2実施形態は次の長所を奏する。
前記の進退部材9の先端限界位置で、出力部材13が上方へクランプ駆動されるときに、出力部材13が復帰バネ24に抗して支持クランプ手段36によってクランプ駆動される。ここで、前記の復帰バネ24は、出力部材13をアンクランプ駆動するだけの小さな付勢力のものを採用可能である。このため、上記の支持クランプ手段36によるクランプ力から復帰バネ24の付勢力を差し引いた力が大きい。従って、クランプ装置がワーク4を強力に固定できる。
図5の第3実施形態が上記の第1実施形態と異なる点は次の通りである。
上記の外側ピストン10の下部に調心機構55が設けられ、その調心機構55は、次のように構成されている。
上記外側ピストン10の下部にテーパー外周面56が下方へすぼまるように形成される。上記の底板12の外周に、環状の押圧部材57が外側ピストン10の下端から下方へ隙間をあけて外嵌される。その押圧部材57は、底板12の下部に形成されたフランジ58によって係止されている。前記テーパー外周面56と押圧部材57とを跨いで双方に係合するように楔部材59が上下移動可能に設けられる。ここで、楔部材59は、環状の特殊合金鋼を硬化処理したもの又は銅合金などの軸受け材からなり、その環状壁にスリット60が形成されることにより、半径方向へ拡大及び縮小される。
上昇アンクランプ状態から図5の上昇クランプ状態へ切換えられるときに、調心機構55は、次のように動作する。
前記の圧力室18に圧縮空気が供給されていくと、フランジ58に係合されている押圧部材57が、圧力室18の圧力によって上昇していき、楔部材59を上方へ押圧する。すると、楔部材59がテーパー外周面56に沿って摺動すると共に、シリンダ孔8に係合するまで拡径する。その結果、進退部材9がハウジング1に対して軸心合わせされる。これにより、クランプ装置は、ワーク4を精度よく固定できる。
上昇クランプ状態から上昇アンクランプ状態へ切換えられるときには、圧力室18の圧縮空気が排気されると、楔部材59が自己の弾性復元力によって縮径して、当該楔部材59がテーパー外周面56に沿って下方へ摺動する共に、その楔部材59が、押圧部材57をフランジ58に当接させるまで下降される。
また、上記の段付き孔7の下部に装着部7bが形成され、その装着部7bに環状の位置決め部材63が微小隙間をあけて装着される。その位置決め部材63の内周に係合面63aが上方へすぼまるように形成される。その位置決め部材63は、環状の特殊合金鋼を硬化処理したもの又は銅合金などの軸受け材からなり、環状壁にスリット63bが形成されることにより、半径方向へ拡大及び縮小される。位置決め部材63の上側に環状に配置された圧縮バネやゴム等の弾性部材64が装着される。上記の支持部材11の外周に支持部65が上方にすぼまるように形成される。
上記の進退部材9が上方へ移動されると、支持部65が係合面63aに係合される。すると、位置決め部材63が弾性部材64を上方へ押圧すると共に、当該位置決め部材63が拡径して装着部7bに係合する。これにより、位置決め部材63および支持部65によってワーク4が水平方向に拘束されるので、クランプ装置は、進退部材9に対してワーク4を精度よく位置決め固定できる。
ハウジング1に形成された第1給気路43は、その途中部から第2給気路49が分岐される。その第1給気路43に圧縮空気が供給されると、前記弁孔42から位置検出用の圧縮空気が噴出されると共に、検出孔48から着座確認用の圧縮空気が噴出される。この場合、上記の着座面3にワーク4が載置され、且つ上記の進退部材9が上昇限界位置で係止されたときには、弁孔42及び検出孔48が塞がれて第1給気路43の圧力が上昇する。
ハウジング1の下部に設けたエンドプレート68には、上記進退部材9が下降位置まで移動したことを検知する検出弁69が設けられる。そのエンドプレート68に検出弁69の弁孔70が形成され、その弁孔70が圧力室18に連通している。その弁孔70には、弁部材71が昇降可能に保密状に挿入される。その弁孔70に圧縮バネ72が装着され、その圧縮バネ72が弁部材71を上方へ付勢する。前記弁孔70の周壁には、給気孔73が開口される。その給気孔73が、ハウジング1に形成された第3給気路74に連通される。その第3給気路74が、エア供給源(図示せず)に連通される。弁孔70にキャップ75が螺合され、そのキャップ75に排気孔76が形成される。前記第3給気路74に圧力スイッチ(図示せず)が連通される。
上記の底板12が下降して弁部材70を下方へ押下げると、弁部材71が給気孔73を閉弁する。すると、上記の圧力スイッチ(図示せず)が第3給気路74の圧力を検出する。これにより、外側ピストン10が下降位置に到達したことが検出弁69によって検知される。
その後に、ワーク4は、図5の矢印方向へ搬出される。
なお、第3給気路73が、エア供給源(図示せず)に連通される構成に代えて、第2エア給排路31から分岐される構成としてもよい。
上記の各実施形態は次のように変更可能である。
例示の第1空圧シリンダ33は、油圧シリンダ等の流体圧アクチュエータや電動アクチュエータに変更してもよい。
例示の第2空圧シリンダ35は、油圧シリンダ等の流体圧アクチュエータに変更してもよい。
上記の係合部材は、例示したボール39に代えて、環状コレットでもよい。その環状コレットは、出力ロッド17の押部40を外嵌するように支持部材11に支持される。その環状コレットの周壁には、上下方向へスリットが形成される。その環状コレットの外周面には、断面視で鋸刃状の複数の周溝を形成される。出力部材13をクランプ駆動すると、環状コレットは、押部40によって押圧されて半径方向の外方へ弾性変形し、ワーク4に形成された挿入孔に係合される。
前記着座面3は、ハウジング1に形成することに代えて、クランプパレット2に形成してもよい。また、着座面3は、口金5の下面5aを支持することに代えて、ワーク4の下面を直接に支持してもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
1:ハウジング,2:固定台(クランプパレット),3:着座面,4:クランプ対象物(ワーク),8c:受止め部,9:進退部材,10c:係止部,13:出力部材,19:進出バネ,24:復帰バネ,34:後退駆動手段,36:支持クランプ手段,39:係合部材(ボール),40:押部,41:弁機構,42:弁孔,45:環状隙間,48:検出孔,55:調心機構,63:位置決め部材,65:支持部,68:基端部(エンドプレート),69:検出弁.

Claims (8)

  1. ハウジング(1)又は固定台(2)の先端側に設けられてクランプ対象物(4)が載置される着座面(3)と、
    前記ハウジング(1)に軸心方向へ移動可能に挿入される進退部材(9)と、
    その進退部材(9)を基端側へ移動させる後退駆動手段(34)と、
    前記進退部材(9)を前記着座面(3)よりも先端側の先端側限界位置へ移動させる進出バネ(19)と、
    前記進退部材(9)に軸心方向へ移動可能に挿入される出力部材(13)と、
    前記進退部材(9)を前記先端限界位置で支持すると共に前記出力部材(13)をクランプ駆動する支持クランプ手段(36)と、
    前記進退部材(9)に装着されて前記出力部材(13)をアンクランプ駆動する復帰バネ(24)と、
    前記出力部材(13)に基端方向または先端方向へ向けてすぼまるように設けた押部(40)と、
    その押部(40)の外周空間で前記進退部材(9)に半径方向の内方の係合解除位置と外方の係合位置とに切換え可能に支持される係合部材(39)と、
    を備え、
    前記押部(40)が前記係合部材(39)を介して前記クランプ対象物(4)をクランプするに際し、前記出力部材(13)が前記支持クランプ手段(36)によってクランプ駆動されるときに、前記進出バネ(19)及び前記支持クランプ手段(36)が前記進退部材(9)を前記先端限界位置に支持する、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  2. 請求項1のクランプ装置において、
    前記進退部材(9)の前記先端限界位置では、前記進退部材(9)に先端側へすぼまるように設けられた係止部(10c)が、前記ハウジング(1)に先端側へすぼまるように設けられた受止め部(8c)に係合する、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  3. 請求項2のクランプ装置において、
    前記ハウジング(1)に弁機構(41)が設けられ、
    その弁機構(41)が、前記係止部(10c)と、前記受止め部(8c)と、位置検出用の圧力流体が供給されるように前記受止め部(8c)に開口された弁孔(42)とを有し、
    前記進退部材(9)の前記先端限界位置で、前記係止部(10c)が前記弁孔(42)を塞ぐことで、前記弁機構(41)が閉弁される、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  4. 請求項3のクランプ装置において、
    前記弁孔(42)が、前記進退部材(9)と前記出力部材(13)との間に形成された環状隙間(45)へ連通され、
    前記位置検出用の圧力流体が、前記環状隙間(45)にクリーニング用の圧力流体として噴出される、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  5. 請求項3または4のクランプ装置において、
    前記着座面(3)に、着座確認用の圧力流体を噴出させる検出孔(48)が開口され、
    その検出孔(48)が、前記弁孔(42)に連通するように形成される、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  6. 請求項1から5のいずれかのクランプ装置において、
    前記ハウジング(1)に対して前記進退部材(9)を軸心合わせする調心機構(55)が、前記ハウジング(1)と前記進退部材(9)との間に設けられる、
    ことを特徴とする。
  7. 請求項1から6のいずれかのクランプ装置において、
    前記進退部材(9)の前記先端限界位置では、前記進退部材(9)の外周に設けられた支持部(65)が、前記クランプ対象物(4)に設けられた位置決め部材(63)に係合する、
    ことを特徴とするクランプ装置。
  8. 請求項1から7のいずれかのクランプ装置において、
    前記ハウジング(1)の基端部(68)に検出弁(69)が設けられて、
    前記進退部材(9)が基端位置に移動したことを前記検出弁(69)が検出する、
    ことを特徴とするクランプ装置。
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