JP2023048603A - 連結装置およびクランプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】連結力ないしクランプ力を増大させながら連結装置およびクランプ装置の小型化を図る。【解決手段】連結装置は、基準部材１に固定されるクランプシリンダ１００を備える。クランプシリンダ１００は、シリンダ本体１０と、シリンダ本体１０に対して第１方向に沿って往復動可能な第１ピストン２０および第２ピストン３０と、第１ピストン２０および第２ピストン３０を第１方向の一方側に駆動する付勢部材８０とを含む。シリンダ本体１０は、第１ピストン２０を第１方向の他方側に駆動する第１シリンダ室５１と、第１シリンダ室５１と分離して形成され、第２ピストン３０を他方側に駆動する第２シリンダ室５２とを有する。【選択図】図１

Description

本技術は、連結装置およびクランプ装置に関する。

マシニングセンタのテーブル等の基準部材にワークパレット等の可動部材を位置合わせした状態で固定する装置が従来から知られている（たとえば、下記の特許文献１および２）。

国際公開第２０１１／０４６０３９号公報 実用新案登録第３２１９６９５号公報

連結装置の連結力ないしクランプ装置のクランプ力を増大させることが求められる。他方、連結装置を小型化することも求められる。

本技術の目的は、連結力ないしクランプ力を増大させながら小型化が図られた連結装置およびクランプ装置を提供することにある。

本技術に係る連結装置は、第１部材と第２部材を互いに位置決めしながら連結することが可能な連結装置であって、第１部材に固定される流体圧シリンダを備える。

本技術に係るクランプ装置は、第１部材に第２部材を固定することが可能なクランプ装置であって、第１部材に固定される流体圧シリンダを備える。

流体圧シリンダは、シリンダ本体と、シリンダ本体に対して第１方向に沿って往復動可能な第１ピストンおよび第２ピストンと、第１ピストンおよび第２ピストンを第１方向の一方側に駆動する付勢部材とを含む。シリンダ本体は、第１ピストンを第１方向の他方側に駆動する第１シリンダ室と、第１シリンダ室と分離して形成され、第２ピストンを他方側に駆動する第２シリンダ室とを有する。

本技術によれば、連結力ないしクランプ力を増大させながら連結装置およびクランプ装置の小型化を図ることができる。

１つの実施の形態に係るクランプ装置の第１状態（アンクランプ状態）を示す縦断面図である。 １つの実施の形態に係るクランプ装置の第２状態（クランプ状態）を示す縦断面図である。 図１，図２に示すクランプ装置における係合ボール周辺の拡大図である。 図１～図３に示すクランプ装置の上面図である。 図１～図４に示すクランプ装置のクランプ室およびアンクランプ室の周辺の構造を示す拡大縦断面図である。 変形例に係るクランプ装置の縦断面を示す図である。 図６におけるＶII部の拡大図である。

以下に、本技術の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。

なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本技術の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本技術にとって必ずしも必須のものではない。また、本技術は、本実施の形態において言及する作用効果を必ずしもすべて奏するものに限定されない。

なお、本明細書において、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」および「含む（ｉｎｃｌｕｄｅ）」、「有する（ｈａｖｅ）」の記載は、オープンエンド形式である。すなわち、ある構成を含む場合に、当該構成以外の他の構成を含んでもよいし、含まなくてもよい。

また、本明細書において幾何学的な文言および位置・方向関係を表す文言、たとえば「平行」、「直交」、「斜め４５°」、「同軸」、「沿って」などの文言が用いられる場合、それらの文言は、製造誤差ないし若干の変動を許容する。本明細書において「上側」、「下側」などの相対的な位置関係を表す文言が用いられる場合、それらの文言は、１つの状態における相対的な位置関係を示すものとして用いられるものであり、各機構の設置方向（たとえば機構全体を上下反転させる等）により、相対的な位置関係は反転ないし任意の角度に回動し得る。

以下の実施の形態においては、連結装置の一例としてのクランプ装置について説明するが、本技術の範囲はクランプ装置に限定されるものではない。本技術は、相対的な位置決めをしながら第１部材と第２部材とを連結する連結装置一般に適用可能である。具体的には、たとえば工作機械のパレット交換、旋盤のチャック交換、およびロボットのハンド交換のための機構、歯車加工機、測定機、検査機、洗浄機、搬送装置、組立装置、および溶接装置のジグ交換のための機構、ならびにプレス、射出成型機の金型交換のための機構などに本技術を適用可能である。

図１および図２は、本実施の形態に係るクランプ装置を示す縦断面図である。図１は、アンクランプ状態（第１状態）を示し、図２は、クランプ状態（第２状態）を示す。

本実施の形態に係るクランプ装置は、基準部材１（第１部材／ベース体）に可動部材２（第２部材／固定対象物）を固定するとともに、可動部材２を基準部材１に対して位置決め（図１，図２における左右方向、上下方向および紙面奥行方向）することが可能なものである。

基準部材１（第１部材）は、たとえばマシニングセンタのテーブル等である。可動部材２（第２部材）は、たとえば上記テーブルに固定されるワークパレット等である。

基準部材１には、クランプシリンダ１００が固定され得る。可動部材２には、リング部材２００（環状部材）が固定され得る。クランプシリンダ１００およびリング部材２００は、固定部材３００，４００（ボルト）により基準部材１および可動部材２に各々固定される。クランプシリンダ１００およびリング部材２００は、固定部材３００，４００以外の固定手段により固定されてもよい。

クランプシリンダ１００（流体圧シリンダ）は、シリンダ本体１０と、第１ピストン部材２０と、第２ピストン部材３０と、クランプ室４０と、アンクランプ室５０と、鋼球６０（係合部／係合ボール）と、シール部材７０と、付勢部材８０とを含む。

シリンダ本体１０の底部は、基準部材１の孔部１Ａに嵌合される。孔部１Ａの位置および径を精密に調整することにより、シリンダ本体１０の位置合わせを行うことができる。シリンダ本体１０は、ポート１１Ａを有する。ポート１１Ａの周囲には、シール部材１１Ｂが設けられる。ポート１１Ａは、基準部材１に設けられたエア流路３と連通する。

第１ピストン部材２０は、ピストン部分２１と、ロッド部分２２と、エア通路２３とを含む。エア通路２３は、ロッド部分２２の軸心方向に延びる第１部分２３Ａと、第１部分２３Ａからロッド部分２２の径方向に延び、ロッド部分２２の外周面に開口する第２部分２３Ｂとを含む。

第２ピストン部材３０の外周には、凹部３１が形成されている。第２ピストン部材３０は、固定部材３２（ボルト）により第１ピストン部材２０におけるロッド部分２２の先端側に固定されている。これにより、ロッド部分２２は、第１ピストン部材２０のピストン部分２１と第２ピストン部材３０とを接続する。したがって、第１ピストン部材２０および第２ピストン部材３０は、シリンダ本体１０に対して軸心方向（第１方向）に一体的に往復動可能である。

クランプ室４０は、第１ピストン部材２０におけるピストン部分２１の上側に形成される。より具体的には、クランプ室４０は、第１ピストン部材２０におけるピストン部分２１の上面と、シリンダ本体１０との間に形成される。

クランプ室４０には、エア流路３からポート１１Ａおよびエア通路１１Ｃを介してクランプ用の作動流体が供給される。これにより、第１ピストン部材２０および第２ピストン部材３０が固定側（図中下側：第１方向の一方側）に駆動される。クランプ室４０に供給された作動流体は、エア通路１１Ｃおよびポート１１Ａを介してエア流路３から排出可能である。クランプ用の作動流体としては、たとえばエアが用いられるが、作動流体はエアに限定されない。エア圧に代えて油圧が用いられてもよい。

アンクランプ室５０は、互いに離間して形成された第１アンクランプ室５１（第１シリンダ室）と第２アンクランプ室５２（第２シリンダ室）とを含む。第１アンクランプ室５１と第２アンクランプ室５２とは、クランプ室４０を挟んで互いに分離して形成されている。第１アンクランプ室５１は、第１ピストン部材２０におけるピストン部分２１の下側に形成される。より具体的には、第１アンクランプ室５１は、基準部材１の孔部１Ａの底面と、シリンダ本体１０の内周面と、第１ピストン部材２０の下面との間に形成される。第２アンクランプ室５２は、クランプ室４０の上側に形成される。より具体的には、第２アンクランプ室５２は、シリンダ本体１０と、第１ピストン部材２０におけるロッド部分２２の外周面と、第２ピストン部材３０の下面との間に形成される。

第１アンクランプ室５１には、基準部材１に形成されたエア流路４からアンクランプ用の作動流体が供給される。第１アンクランプ室５１に供給されたアンクランプ用の作動流体は、第１ピストン部材２０のエア通路２３を介して第２アンクランプ室５２にも供給される。図１，図２の例において、エア流路４およびエア通路２３の第１部分２３Ａは、クランプシリンダ１００の軸心に一致する位置に形成されているが、エア流路４およびエア通路２３の第１部分２３Ａは、クランプシリンダ１００の軸心からずれた位置に形成されてもよい。

アンクランプ室５０に作動流体が供給されることにより、第１ピストン部材２０および第２ピストン部材３０が固定解除側（図中上側：第１方向の他方側）に駆動される。アンクランプ室５０に供給された作動流体は、エア流路４から排出可能である。アンクランプ用の作動流体としては、たとえばエアが用いられるが、作動流体はエアに限定されない。エア圧に代えて油圧が用いられてもよい。

なお、アンクランプ室５０への作動媒体の供給は、エア流路４から第１アンクランプ室５１に供給する態様に限定されない。変形例として、たとえば、エア流路４から第２アンクランプ室５２に作動媒体が供給され、第２アンクランプ室５２からエア通路２３を介して第１アンクランプ室５１にも作動媒体が供給される態様であってもよい。

鋼球６０は、シリンダ本体１０に保持され、リング部材２００の内周側に位置している。鋼球６０は、リング部材２００の周方向に並ぶように複数設けられる。各々の鋼球６０は、シリンダ本体１０に保持されている。また、各々の鋼球６０は、第２ピストン部材３０の凹部３１に受け入れられる。

図１に示すアンクランプ状態（第１状態）において、鋼球６０は、シリンダ本体１０の径方向外方には突出せず、リング部材２００を押圧することはない。第１ピストン部材２０および第２ピストン部材３０はアンクランプ側（図１中上側）に向けて付勢され、可動部材２を持ち上げている。この状態において、可動部材２を取り外して交換することが可能である。図２に示すクランプ状態（第２状態）において、鋼球は、シリンダ本体１０の径方向外方に突出し、リング部材２００を基準部材１に向かって（図２中斜め下方に）押圧する。

シール部材７０は、第１ピストン部材２０のピストン部分２１の外周に設けられたシール部材７１と、第１ピストン部材２０のロッド部分２２とシリンダ本体１０との間に設けられたシール部材７２と、第２ピストン部材３０の外周に設けられたシール部材７３と、第１ピストン部材２０のロッド部分２２と第２ピストン部材３０との間に設けられたシール部材７４と、シリンダ本体１０の外周と基準部材１との間に設けられたシール部材７５とを含む。

シール部材７１は、クランプ室４０と第１アンクランプ室５１との間をシールする。シール部材７２は、クランプ室４０と第２アンクランプ室５２との間をシールする。シール部材７３，７４は、第２アンクランプ室５２とシリンダ本体１０の外部との間をシールする。シール部材７５は、第１アンクランプ室５１とシリンダ本体１０の外部との間をシールする。

付勢部材８０は、クランプ室４０内に収納されている。図１，図２に例示される付勢部材８０は、ロッド部分２２の外周において周方向に並ぶように設けられたコイルスプリングである。コイルスプリングに代えて板ばねなどの弾性部材が用いられてもよい。

付勢部材８０は、第１ピストン部材２０のピストン部分２１とシリンダ本体１０とを互いに離間する方向に付勢する。付勢部材８０は、第１ピストン部材２０を下側に駆動する。したがって、クランプ室４０内へのクランプ用の作動流体圧に加えて、付勢部材８０の付勢力により可動部材２を固定するクランプ力を確保することが可能となる。これにより、クランプ装置のクランプ力が増大し得る。

このように、クランプシリンダ１００においては、基準部材１（第１部材）と可動部材２（第２部材）とが並ぶ上下方向（第１方向）に沿って、第１アンクランプ室５１（第１シリンダ室）、第２アンクランプ室５２（第２シリンダ室）、およびクランプ室４０（第３シリンダ室）の３つのシリンダ室が形成されている。クランプ室４０は、第１アンクランプ室５１と第２アンクランプ室５２との間に設けられている。

第１アンクランプ室５１の下側は、基準部材１により規定される。第１アンクランプ室５１とクランプ室４０との間は、第１ピストン部材２０のピストン部分２１により区画される。クランプ室４０と第２アンクランプ室５２との間は、シリンダ本体１０により区画される。第２アンクランプ室５２の上側は、第２ピストン部材３０により規定される。

第２ピストン部材３０の往復移動に伴い、鋼球６０は径方向（第２方向）に向かって移動し、アンクランプ状態とクランプ状態とを切り換える。

図３は、クランプシリンダ１００における鋼球６０周辺の拡大図である。図３に示すように、鋼球６０は、シリンダ本体１０の保持部１４に保持される。また、第２ピストン部材３０の凹部３１の上側（可動部材２側）には、傾斜面３１Ａが設けられている。

クランプ動作時には、第２ピストン部材３０が図３中下側に駆動され、鋼球６０は、傾斜面３１Ａに押されてリング部材２００の傾斜面２１０を斜め下方に押圧する。これにより、リング部材２００が図３中下側に引き付けられる。

シリンダ本体１０は、基準面１５を有する。検知ポート１３は、基準面１５上に開口する。クランプ状態においては、リング部材２００の当接面２２０が基準面１５に当接して、検知ポート１３が閉塞され、エア流路６（図６参照）から供給されたエアはリークしなくなる。これにより、エア流路６内のエア圧が上昇する。したがって、エア流路６内のエア圧を測定することにより、正常なクランプ動作が行われているかを検知することが可能となる。また、検知ポート１３を複数設けることにより、可動部材２の傾きを検知することもできる。

アンクランプ動作時には、図３中上側に駆動された第２ピストン部材３０が可動部材２を押し上げる。可動部材２がクランプされていない状態では、検知ポート１３は基準面１５上において開放されているため、エア流路６から供給されたエアはリークする。

リング部材２００の内周テーパ面２３０がクランプシリンダ１００（シリンダ本体１０）の外周テーパ面１１０に当接することで水平方向の位置決めが行われている。クランプ動作時において、リング部材２００が下側に引き付けられると、リング部材２００の当接面２２０がシリンダ本体１０の基準面１５に当接して高さ方向の位置決めが行われる。リング部材２００の内周テーパ面２３０およびクランプシリンダ１００（シリンダ本体１０）の外周テーパ面１１０をポリゴンテーパとした場合、単体のクランプシリンダ１００により完全な位置決めを行うことができる。

図４は、クランプシリンダ１００の上面図である。図４に示すように、シリンダ本体１０は、シリンダ本体１０の中心軸から離れる方向に突出するフランジ部１６を有する。フランジ部１６に挿通された固定部材３００によりシリンダ本体１０が基準部材１に固定される。クランプシリンダ１００においては、周方向に複数の付勢部材８０を設けることにより、個々の付勢部材８０の長さを過度に増大させることなく付勢力の合計を大きくすることができる。この結果、特に高さ方向（図４中の紙面奥行方向）においてクランプシリンダ１００を小型化することが可能である。

また、図４に示すように、第２アンクランプ室５２を規定する第２ピストン部材３０の外周に鋼球６０を配置しているため、第１ピストン部材２０のロッド部分２２の外周に鋼球６０を配置する場合（すなわち、第２ピストン部材３０が無い場合）と比較して、周方向に並ぶ鋼球６０の数を増やすことが可能となる。この結果、クランプシリンダ１００によるリング部材２００の位置決めをより精度よく行うことが可能となる。また、各々の鋼球６０に作用する面圧を低下させることが可能となり、鋼球６０を小型化することができる。この結果、特に高さ方向（図４中の紙面奥行方向）においてクランプシリンダ１００を小型化することが可能である。

図５は、クランプシリンダ１００のクランプ室４０およびアンクランプ室５０の周辺の構造を示す拡大縦断面図である。

図５に示すように、シリンダ本体１０は、クランプ室４０とアンクランプ室５０とを区画する隔壁部１０Ｂと、隔壁部１０Ｂの内周側端部から下側（第１アンクランプ室５１側）に向けて突出し、第１ピストン部材２０のロッド部分２２をガイドする突出部１０Ｃとを含む。シリンダ本体１０は、隔壁部１０Ｂを底部とし、突出部１０Ｃを側壁とする凹部１０Ａ（第１凹部）を構成する。凹部１０Ａは、第１ピストン部材２０のピストン部分２１と対向する。

第１ピストン部材２０のピストン部分２１は、隔壁部１０Ｂから離れる方向に凹む凹部２０Ａ（第２凹部）を有する。凹部２０Ａは、シリンダ本体１０の隔壁部１０Ｂと対向する。

付勢部材８０は、第１ピストン部材２０のピストン部分２１と隔壁部１０Ｂとの間に設けられる。付勢部材８０は、凹部１０Ａ，２０Ａが対向することにより形成された空間に収容される。付勢部材８０は、シリンダ本体１０の隔壁部１０Ｂと第１ピストン部材２０のピストン部分２１とを互いに離間させる方向に付勢する。

シリンダ本体１０に形成されたエア通路１１Ｃは、屈曲部１１Ｃ１を有する。エア通路１１Ｃは、ポート１１Ａから斜め上方に延び、屈曲部１１Ｃ１において略直角に曲がり、屈曲部１１Ｃ１から斜め下方に延びて、クランプ室４０に達する。

付勢部材８０の付勢力は、エア流路３からクランプ室４０に供給されるエア圧とともにクランプシリンダ１００のクランプ力を構成する。なお、付勢部材８０の付勢力のみによってクランプ力を構成してもよい。

エア流路４からのエア圧は第１アンクランプ室５１および第２アンクランプ室５２に供給される。第１ピストン部材２０および第２ピストン部材３０は、付勢部材８０の付勢力に抗して、アンクランプ側（図５中の上側）に駆動される。第１ピストン部材２０および第２ピストン部材３０は、シリンダ本体１０の突出部１０Ｃの先端がロッド部分２２に形成された段差部に当接するまで上昇する。

第２ピストン部材３０は、シリンダ本体１０の隔壁部１０Ｂから離れる方向に凹む凹部３０Ａ（第３凹部）を有する。第１アンクランプ室５１および第２アンクランプ室５２を連通させるエア通路２３は、凹部３０Ａ内に位置する領域において第２アンクランプ室５２に連通する。なお、図５の例では、エア通路２３の第２部分２３Ｂの全体が凹部３０Ａ内に位置しているが、エア通路２３の第２部分２３Ｂの高さ方向の一部において第２部分２３Ｂが凹部３０Ａ内に位置している場合も、エア通路２３は「凹部３０Ａ内に位置する領域において第２アンクランプ室５２に連通する」と解釈されるべきである。

本実施の形態においては、アンクランプ室５０を第１アンクランプ室５１および第２アンクランプ室５２の二箇所に分けて形成し、第１ピストン部材２０および第２ピストン部材３０の二部材を駆動することにより、アンクランプ側の駆動力を増大させることができる。アンクランプ側の駆動は、付勢部材８０の付勢力に抗して行われる。したがって、アンクランプ側の駆動力を増大させることに伴って、付勢部材８０の付勢力を増大させることができる。付勢部材８０の付勢力を大きくすることにより、クランプ側の駆動力を増大させることができる。以上の結果として、クランプシリンダ１００によるクランプ力を増大させることが可能となる。

本実施の形態においては、クランプ室４０を１つ形成し、クランプ室４０内に付勢部材８０を設け、アンクランプ室５０を２つに分けて形成する構成について例示したが、クランプ室４０を２つに分けて形成し、アンクランプ室５０を１つ形成し、アンクランプ室５０内に付勢部材８０を設ける構成とする場合もあり得る。

図６は、変形例に係るクランプシリンダ１００の縦断面を示す図である。図６に示す構造は、図１～図５に示すクランプシリンダ１００に当然に適用可能である。図６に示す例において、シリンダ本体１０は、ポート１２Ａ，１３Ａを有する。ポート１２Ａ，１３Ａの周囲には、シール部材１２Ｂ，１３Ｂが各々設けられる。ポート１２Ａ，１３Ａは、基準部材１に設けられたエア流路５，６と各々連通する。

シリンダ本体１０は、ポート１２Ａ，１３Ａに各々連通するエア通路１２Ｃ，１３Ｃを有する。エア通路１２Ｃは、エアブロー室９０に達する。エアブロー室９０は、シリンダ本体１０の内周と嵌入部材９１との間に形成されている。嵌入部材９１は、止め輪９２によりシリンダ本体１０に固定されている。エア通路１３Ｃは、検知ポート１３を介してシリンダ本体１０の外部に開口する。

図７は、図６におけるＶII部の拡大図である。図７に示すように、エアブロー室９０は、エア通路１２Ｄ，１２Ｅを各々介してシリンダ本体１０外部の空間Ａ，Ｂと各々連通する。エアブロー室９０に供給されたエアは、エア通路１２Ｄ，１２Ｅから空間Ａ，Ｂに向けて吐出される。これによりシリンダ本体１０内部への切粉およびクーラント等の侵入を防止することが可能となる。

以上、本技術の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本技術の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 基準部材、１Ａ 孔部、２ 可動部材、３，４，５，６ エア流路、１０ シリンダ本体、１０Ａ 凹部、１０Ｂ 隔壁部、１０Ｃ 突出部、１１Ａ，１２Ａ，１３Ａ ポート、１１Ｂ，１２Ｂ，１３Ｂ シール部材、１１Ｃ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ，１３Ｃ エア通路、１１Ｃ１ 屈曲部、１３ 検知ポート、１４ 保持部、１５ 基準面、１６ フランジ部、２０ 第１ピストン部材、２０Ａ 凹部、２１ ピストン部分、２２ ロッド部分、２３ エア通路、２３Ａ 第１部分、２３Ｂ 第２部分、３０ 第２ピストン部材、３０Ａ 凹部、３１ 凹部、３１Ａ 傾斜面、３２ 固定部材、４０ クランプ室、５０ アンクランプ室、５１ 第１アンクランプ室、５２ 第２アンクランプ室、６０ 鋼球、７０，７１，７２，７３，７４，７５ シール部材、８０ 付勢部材、９０ エアブロー室、９１ 嵌入部材、９２ 止め輪、１００ クランプシリンダ、１１０ 外周テーパ面、２００ リング部材、２１０ 傾斜面、２２０ 当接面、２３０ 内周テーパ面、３００，４００ 固定部材。

Claims (9)

1. 第１部材と第２部材を互いに位置決めしながら連結することが可能な連結装置であって、前記第１部材に固定される流体圧シリンダを備え、
   前記流体圧シリンダは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体に対して第１方向に沿って往復動可能な第１ピストンおよび第２ピストンと、前記第１ピストンおよび前記第２ピストンを前記第１方向の一方側に駆動する付勢部材とを含み、
   前記シリンダ本体は、前記第１ピストンを前記第１方向の他方側に駆動する第１シリンダ室と、前記第１シリンダ室と分離して形成され、前記第２ピストンを前記他方側に駆動する第２シリンダ室とを有する、連結装置。
2. 前記付勢部材は、前記第１方向において前記第１シリンダ室および前記第２シリンダ室の間に設けられる、請求項１に記載の連結装置。
3. 前記シリンダ本体は、前記第１シリンダ室および前記第２シリンダ室の間に設けられ、前記第１ピストンおよび前記第２ピストンを前記第１方向の一方側に駆動する第３シリンダ室をさらに有し、
   前記付勢部材は前記第３シリンダ室に収納される、請求項１または請求項２に記載の連結装置。
4. 前記シリンダ本体は、前記第２シリンダ室と前記第３シリンダ室とを区画する隔壁部をさらに有し、
   前記付勢部材は、前記隔壁部と前記第１ピストンとの間に設けられる、請求項３に記載の連結装置。
5. 前記シリンダ本体は、前記第１ピストンから離れる方向に凹む第１凹部を有し、
   前記第１ピストンは、前記隔壁部から離れる方向に凹む第２凹部を有し、
   前記付勢部材は、前記第１凹部および前記第２凹部に収容されるように設けられる、請求項４に記載の連結装置。
6. 前記流体圧シリンダは、前記第１方向に沿って延び、前記第１ピストンおよび前記第２ピストンを接続するロッド部をさらに含み、
   前記第１シリンダ室および前記第２シリンダ室を連通させる通路が前記ロッド部に形成される、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の連結装置。
7. 前記第２部材に固定される環状部材をさらに備え、
   前記流体圧シリンダは、前記環状部材の内周側に位置することが可能、かつ、前記第１ピストンおよび前記第２ピストンの往復動に伴って、前記環状部材を押圧しない第１状態と、前記環状部材を前記第１部材側に押圧する第２状態とを切り換えることが可能な係合部をさらに含む、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の連結装置。
8. 前記第２ピストンの移動に伴って、前記第１方向に直交する第２方向に向かって前記係合部が移動する、請求項７に記載の連結装置。
9. 第１部材に第２部材を固定することが可能なクランプ装置であって、前記第１部材に固定される流体圧シリンダを備え、
   前記流体圧シリンダは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体に対して第１方向に沿って往復動可能な第１ピストンおよび第２ピストンと、前記第１ピストンおよび前記第２ピストンを前記第１方向の一方側に駆動する付勢部材とを含み、
   前記シリンダ本体は、前記第１ピストンを前記第１方向の他方側に駆動する第１シリンダ室と、前記第１シリンダ室と分離して形成され、前記第２ピストンを前記他方側に駆動する第２シリンダ室とを有する、クランプ装置。

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