JPWO2004109808A1 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2004109808A1 JPWO2004109808A1 JP2004570612A JP2004570612A JPWO2004109808A1 JP WO2004109808 A1 JPWO2004109808 A1 JP WO2004109808A1 JP 2004570612 A JP2004570612 A JP 2004570612A JP 2004570612 A JP2004570612 A JP 2004570612A JP WO2004109808 A1 JPWO2004109808 A1 JP WO2004109808A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type semiconductor
- semiconductor region
- region
- main surface
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 685
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 124
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 123
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 66
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 description 18
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 15
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 8
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 8
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0684—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape, relative sizes or dispositions of the semiconductor regions or junctions between the regions
- H01L29/0692—Surface layout
- H01L29/0696—Surface layout of cellular field-effect devices, e.g. multicellular DMOS transistors or IGBTs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0642—Isolation within the component, i.e. internal isolation
- H01L29/0649—Dielectric regions, e.g. SiO2 regions, air gaps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/08—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/083—Anode or cathode regions of thyristors or gated bipolar-mode devices
- H01L29/0834—Anode regions of thyristors or gated bipolar-mode devices, e.g. supplementary regions surrounding anode regions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
- H01L29/739—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals controlled by field-effect, e.g. bipolar static induction transistors [BSIT]
- H01L29/7393—Insulated gate bipolar mode transistors, i.e. IGBT; IGT; COMFET
- H01L29/7395—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT
- H01L29/7396—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT with a non planar surface, e.g. with a non planar gate or with a trench or recess or pillar in the surface of the emitter, base or collector region for improving current density or short circuiting the emitter and base regions
- H01L29/7397—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT with a non planar surface, e.g. with a non planar gate or with a trench or recess or pillar in the surface of the emitter, base or collector region for improving current density or short circuiting the emitter and base regions and a gate structure lying on a slanted or vertical surface or formed in a groove, e.g. trench gate IGBT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Thyristors (AREA)
Abstract
Description
例えば、特開平11−97715号公報には、半導体基板の第1の主面側にゲート電極構造を形成し、第2の主面の表面内に、P型不純物領域およびN型不純物領域とを交互に隣接して形成し、P型不純物領域とゲート電極構造とでIGBT領域を構成し、N型不純物領域とゲート電極構造とでダイオード領域とを構成する例が開示されている。
このような構成においては、第2の主面側のP型不純物領域とN型不純物領域とが接触しているので、例えばスナップバックと呼称される現象が発生し、IGBT素子のスッイチング動作においてエネルギー損失が生じ、所期の電気的特性が得られないという問題があった。
本発明に係る半導体装置の態様は、半導体基板の第1の主面に設けられた第1の主電極と、前記半導体基板の第2の主面に設けられた第2の主電極と、前記第1の主面の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ型ゲート電極とを備え、前記半導体基板の厚み方向に主電流が流れる半導体装置であって、前記半導体基板は、前記第2の主面の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ分離構造と、前記第2の主面の表面内に配設された、第1導電型の第1の不純物領域および第2導電型の第2の不純物領域とを有し、前記少なくとも1つのトレンチ分離構造は、前記第2の主面の表面内に設けたトレンチ内部に、絶縁体または前記半導体基板とは反対導電型の半導体を埋め込んで構成され、前記第1の不純物領域と前記第2の不純物領域とを隔てるように配設される。
本発明に係る半導体装置の態様によれば、例えば第1の不純物領域をMOSFET素子のドレイン領域およびダイオード素子のカソード領域として使用し、第2の不純物領域をIGBT素子のコレクタ領域として使用する場合、少なくとも1つのトレンチ分離構造の存在によりIGBT素子の動作時に流れる電流経路の抵抗値が増加し、当該電流経路にモデュレーションに際して流れる電流を低減できるので、スナップバックを抑制できる。また、少なくとも1つのトレンチ分離構造を設けることで、第2の主面に占める有効領域の面積(第1の不純物領域と第2の不純物領域の面積の和)を小さくせずともスナップバックを抑制できるので、IGBT素子の動作時のオン電圧やダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、それぞれの動作時の局所的電流密度が高くなることが防止される。
本発明に係る半導体装置の製造方法の態様は、半導体基板の第1の主面に設けられた第1の主電極と、前記半導体基板の第2の主面に設けられた第2の主電極と、前記第1の主面の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ型ゲート電極とを備え、前記半導体基板の厚み方向に主電流が流れる半導体装置であって、半導体ウェハの状態で前記第1の主面側の構成を形成した後、前記第2の主面の表面内に少なくとも1つのトレンチを形成する工程(a)と、前記半導体ウェハの状態で、前記第2の主面の全面に絶縁体層または前記半導体基板とは反対導電型の半導体層を形成して、前記少なくとも1つのトレンチ内に前記絶縁体層または前記半導体層を埋め込む工程(b)と、前記第2の主面上の前記絶縁体層または前記半導体層を除去して少なくとも1つのトレンチ分離構造を得る工程(c)とを備えている。
本発明に係る半導体装置の製造方法の態様によれば、少なくとも1つのトレンチ分離構造により、例えばMOSFET素子のドレイン領域およびダイオード素子のカソード領域とし機能する不純物領域と、IGBT素子のコレクタ領域として機能する不純物領域を隔てる構成とすることで、少なくとも1つのトレンチ分離構造の存在によりIGBT素子の動作時に流れる電流経路の抵抗値が増加し、当該電流経路にモデュレーションに際して流れる電流を低減できるので、スナップバックを抑制できる。また、少なくとも1つのトレンチ分離構造を設けることで、第2の主面に占める有効領域の面積(不純物領域の面積の和)を小さくせずともスナップバックを抑制できるので、IGBT素子の動作時のオン電圧やダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、それぞれの動作時の局所的電流密度が高くなることが防止される。
この発明の目的、特徴、局面、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
図2は、本発明の経緯を説明するための導体装置の動作を説明する等価回路を示す図である。
図3は、本発明の経緯を説明するための導体装置の動作特性を説明する図である。
図4は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の構成を示す断面図である。
図5は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
図6は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
図7は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
図8は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
図9は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
図10は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
図11は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
図12は、本発明に係る半導体装置に使用される半導体基板のウエハ状態での構成を示す平面図である。
図13は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の動作を説明する等価回路を示す図である。
図14は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の動作特性を説明する図である。
図15は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の製造工程を説明する断面図である。
図16は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の製造工程を説明する断面図である。
図17は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の製造工程を説明する断面図である。
図18は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の製造工程を説明する断面図である。
図19は、本発明に係る半導体装置の実施の形態の変形例の構成を示す断面図である。
図1は、従来の半導体装置の問題点を解消するために考案された半導体装置90の基本構成を示す断面図である。
図1に示す半導体装置90においては、高比抵抗のN型基板(N−)である半導体基板901の第1の主面MS1の表面内に全面に渡ってP型半導体領域902が形成されている。
そして、第1の主面MS1の表面からP型半導体領域902を貫通して半導体基板901内に達する2つのトレンチ903が設けられ、トレンチ903の内壁面はゲート絶縁膜904によって覆われている。さらに、ゲート絶縁膜904によって囲まれたトレンチ903内の領域には導電体材料が埋め込まれてトレンチ型ゲート電極905を構成している。
また、P型半導体領域902の表面内には、ゲート絶縁膜904に少なくとも一部が接するように選択的に形成された比較的高濃度(N+)のN型半導体領域906が配設されている。N型半導体領域906は2つのトレンチ903のそれぞれの両サイドに設けられているが、トレンチ間において対向するN型半導体領域906の間には比較的高濃度(P+)のP型半導体領域907が設けられている。なお、P型半導体領域907は、P型半導体領域902に対する良好な電気的コンタクトを得るための構成である。
そして、互いに隣接するN型半導体領域906およびP型半導体領域907の上部に接するように第1の主電極908が配設されている。
第1の主電極908はN型半導体領域906およびP型半導体領域907に、外部端子ETから電位を与える電極である。なお、第1の主電極908は半導体装置90の動作に応じて、エミッタ電極として機能する場合もあれば、アノード電極またはソース電極として機能する場合もある。また、トレンチ型ゲート電極905には外部端子GTから制御電圧が与えられる。
また、半導体基板901の第2の主面MS2の表面内には、互いに間隔を開けて交互に形成されたP型半導体領域912とN型半導体領域913とが設けられている。そして、P型半導体領域912およびN型半導体領域913に共通に接するように第2の主電極916が配設されている。
このように、P型半導体領域912とN型半導体領域913とを接触させずに配設することで、電気的特性の改善を図る構成とした。
第2の主電極916は、P型半導体領域912およびN型半導体領域913に外部端子CTから電位を与える電極である。なお、第2の主電極916は、コレクタ電極として機能する場合もあればカソード電極またはドレイン電極として機能する場合もある。
次に、図2および図3を用いて半導体装置90の動作について説明する。図2は半導体装置90の機能を等価回路として模式的に示す図であり、半導体装置90は、IGBT素子と、それに逆並列に接続されたダイオード素子として機能することが示されている。また、図3は半導体装置90の電流電圧特性を示す図である。
図2に示すように、第2主面MS2の表面内に、P型半導体領域912およびN型半導体領域913を間隔を開けて配設した場合、外部端子ETに接地電位が与えられ、外部端子CTに正電位が与えられ、外部端子GTにオン信号が与えられた場合、第1主面MS1側までの電流パスとして、N型半導体領域913から抵抗R1およびR2を有する半導体基板901内の経路およびゲート絶縁膜904に接するP型半導体領域902内に形成されるチャネル領域を通ってN型半導体領域906に達する電流経路(1)と、P型半導体領域912から抵抗R2を有する半導体基板901内の経路およびゲート絶縁膜904に接するP型半導体領域902内に形成されるチャネル領域を通ってN型半導体領域906に達する電流経路(2)が形成される。
ここで、電流経路(1)は、いわゆるMOSFET素子として動作する際の経路であり、電流経路(2)は、いわゆるIGBT素子として動作する際の経路である。
なお、半導体装置90は、外部端子ETに接地電位が与えられ、外部端子CTに負電位が与えられ、外部端子GTにオフ信号が与えられた場合はダイオード素子として動作し、抵抗R3を有する半導体基板901内の経路を通ってN型半導体領域913に電流が流れる。
P型半導体領域912の近傍の半導体基板901内の部分をX点と呼称すると、N型半導体領域913との間の抵抗R1の抵抗値は、N型半導体領域913とP型半導体領域912とが接近している場合には非常に小さくなる。
なお、図2においては、半導体基板901内の抵抗R2およびR3は、それぞれIGBT素子として動作する場合およびダイオード素子として動作する場合、モデュレーションが発生し、電圧が高くなるにつれて抵抗値は低くなるので、可変抵抗の記号を用いたが、MOSFET素子として動作する場合は、ほぼ一定の抵抗値になる。
図3には、半導体装置90の電流電圧特性を概念的に示している。すなわち、図3においては、横軸に電圧値を、縦軸に電流値を示し、特性A、特性B、特性Cおよび特性Dの4種類の電流電圧特性を示している。
特性Aは、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX点との間の電位差の関係を示す特性である。
特性Bは、P型半導体領域912を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX点との間の電位差の関係を示す特性である。
特性Cは、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差の関係を示す特性である。
特性Dは、P型半導体領域912を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差の関係を示す特性である。
ここで、特性Bは、傾き1/R1の直線を示し、特性Aは外部端子CTとX点との間の電位差がおよそ0.6Vになるまでは電流が殆ど流れない特性を示す。
次に、N型半導体領域913とP型半導体領域912とを外部端子CTに共通に接続した場合について説明する。
電流が少ない場合、外部端子CTとX点との間の電位差は小さく、IGBT素子が動作しないため、MOSFET素子の動作が主となり、ほぼ電流経路(1)に電流が流れる。
そして、モデュレーションが起こりIGBT素子が動作して電流が流れ始める時、すなわち外部端子CTとX点との間の電位差がおよそ0.6Vに達した時、特性Dにおける電流値および電圧値は、Z点で示される値になっている。
以後、IGBT素子が動作して電流が流れる電圧、すなわちモデュレーションが起こり始める電圧をモデュレーション電圧Vmodと定義する。
そして、Z点で示される電流以上の電流を流そうとした場合、電流経路(2)を通るIGBT素子としての動作が徐々に主流になってくる。IGBT素子としての動作で流れる電流は指数関数的に増加する一方、MOSFET素子としての動作で流れる電流は、一次関数でしか増加しないため、電流をZ点で示される電流以上に流すと、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差が小さくなる現象、すなわちスナップバック現象が観測される。
図3では、特性DにおけるZ点を折り返し点として、電圧の低下に伴って電流が急激に増加する特性Eが示されておりこの特性がスナップバック現象に対応する。
なお、スナップバック現象が観測される負性抵抗領域をスナップバック領域と呼称する。
スッチング動作を経時的に見た場合、スナップバック現象が生じると、電流および電圧が共に大きくなる時間帯が生じ、エネルギー損失が生じる。
このように、P型半導体領域912とN型半導体領域913とを接触させずに配設した構成においても、P型半導体領域912とN型半導体領域913とが接近している場合にはスナップバック現象が生じる。そこで、N型半導体領域913とP型半導体領域912との間隔をさらに広げることにより、第2の主面MS2に占める有効領域の面積(P型半導体領域912とN型半導体領域913の面積の和)が小さくなり、特性Aおよび特性Cは、僅かに高電圧側(図3に向かって右側)にシフトする。
また、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間隔が広くなったことで、抵抗R1(図2)の抵抗値が大きくなり、特性Bの傾きが緩やかになる。
そして、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間隔を広くしても、半導体チップの面積は大きくしない場合、必然的にN型半導体領域912の面積は小さくなり、半導体チップに占めるN型半導体領域912の面積の比率は小さくなるので、特性Dの傾きは僅かに小さくなる。
そして、P型半導体領域912とN型半導体領域913間の抵抗R1が大きくなることで特性Bの傾きが緩やかになり、外部端子CTとX点との間の電位差がおよそ0.6Vに達した時でも、MOSFET素子の動作電流はさほど流れず、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差も小さくスナップバックを抑制できる。ここで、外部端子CTとX点との間の電位差がおよそ0.6Vに達した時点、すなわちZ点では、Vmod=R1×idの関係が成立している。なお、idは、MOSFET素子の動作電流、すなわち電流経路(1)に流れる電流であり、ここでは、特にZ点での電流値を指す。
しかし、上述したように、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間隔を広げることにより、第2の主面MS2に占める有効領域の面積が小さくなるので、IGBT素子の動作時のオン電圧やダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、それぞれの動作時の局所的電流密度が高くなる。
また、N型半導体領域913の面積をP型半導体領域912に比べて小さくすることによってもスナップバックを抑制でき、N型半導体領域913の面積をP型半導体領域912に比べて極めて小さくすると、スナップバックが観測されないようにすることも可能であるが、N型半導体領域913の面積を小さくすることにより、ダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、電流密度が非常に大きくなってダイオード素子が損傷する可能性がある。
そこで発明者達は、N型半導体領域913とP型半導体領域912との間の半導体基板901の表面内にトレンチを設けるという技術思想に到達した。 以下、本発明に係る実施の形態として、上記技術思想に基づいて得られた半導体装置100の構成および動作について説明する。
A.装置構成
A−1.断面構成
図4は半導体装置100の基本構成を示す断面図である。
図4に示す半導体装置100においては、高比抵抗のN型基板(N−)である半導体基板901の第1の主面MS1の表面内に全面に渡ってP型半導体領域902が形成されている。ここで、N型半導体基板901は、耐圧クラスによってその比抵抗や、P型半導体領域912の底部とトレンチ903の底部との距離Lが異なるが、例えば耐圧1200Vクラスの場合は、比抵抗は40〜60Ωcm、距離Lは100〜200μm程度に設定され、それよりも耐圧クラスが低ければ比抵抗は低くなり、距離Lは短くなる。
そして、第1の主面MS1の表面からP型半導体領域902を貫通して半導体基板901内に達する2つのトレンチ903が設けられ、トレンチ903の内壁面はゲート絶縁膜904によって覆われている。さらに、ゲート絶縁膜904によって囲まれたトレンチ903内の領域には導電体材料が埋め込まれてトレンチ型ゲート電極905を構成している。
P型半導体領域902は、半導体装置100が、MOSFET素子およびIGBT素子として動作する場合は、チャネル領域を含んだボディ領域となるので、MOSFETまたはIGBTの閾値電圧に基づいて不純物濃度や深さが設定される。
なお、不純物濃度や拡散深さは、イオン注入条件や、熱拡散条件により決定される。例えば、不純物濃度は、通常はMOSFETのソース電極またはIGBTのエミッタ電極と接する領域で、1×1017atoms/cm3〜1×1018atoms/cm3となるように設定され、拡散深さはトレンチ溝903を越えない程度に、数μmの深さに設定される。
また、トレンチ903は、2〜10μmのピッチでエッチングにより設けられ、幅は0.5〜3.0μm、深さは3〜20μmに設定される。
トレンチ903の内壁表面に配設されるゲート絶縁膜904は、MOSFETを構成する絶縁膜であり、ゲート駆動電圧や飽和電流、容量等に基づいて最適な厚みとなるように設定される。一般的には10〜200nmの厚さのシリコン酸化膜が使用され、熱酸化や堆積等により形成される。
トレンチ903内に埋め込まれたトレンチ型ゲート電極905は、高不純物濃度の多結晶シリコン膜や、例えばタングステンシリサイド等の高融点金属材料、あるいはそれらの多層膜で構成される。一般的には、トレンチ903の幅の半分以上の厚さの導電膜を第1の主面MS1上に堆積した後、異方性エッチング等により平坦化して得られるが、写真製版により所定パターンのマスクを形成した後、導電膜を堆積し、エッチングを行って得ることもできる。
ここで、トレンチ型ゲート電極905の材料の仕事関数値により、P型半導体領域902の最適濃度は変わり、極端な場合、トレンチ903側面に沿ってN型半導体領域を設け、ゲート絶縁膜に接した領域に、エミッタ領域と同一導電型(N型)の薄い層を設けたベリッドチャネル構造とする場合もある。
また、P型半導体領域902の表面内には、ゲート絶縁膜904に少なくとも一部が接するように選択的に形成された比較的高濃度(N+)のN型半導体領域906が配設されている。N型半導体領域906は2つのトレンチ903のそれぞれの両サイドに設けられているが、トレンチ間において対向するN型半導体領域906の間には比較的高濃度(P+)のP型半導体領域907が設けられている。なお、P型半導体領域907は、P型半導体領域902に対する良好な電気的コンタクトを得るための構成である。
なお、N型半導体領域906およびP型半導体領域907は、何れも写真製版によるパターニングとイオン注入によって形成され、表面濃度が例えば1×1020atoms/cm3以上に設定される。
そして、互いに隣接するN型半導体領域906およびP型半導体領域907の上部に接するように第1の主電極908が配設されている。
第1の主電極908はN型半導体領域906およびP型半導体領域907に、外部端子ETから電位を与える電極である。なお、第1の主電極908は半導体装置90の動作に応じて、エミッタ電極として機能する場合もあれば、アノード電極またはソース電極として機能する場合もある。また、トレンチ型ゲート電極905には外部端子GTから制御電圧が与えられる。
第1の主電極908は、N型半導体領域906およびP型半導体領域907を覆うように形成された層間絶縁膜(図示せず)を写真製版とエッチングにより選択的に開口し、例えばアルミニウムとシリコンの化合物で構成される導電膜を堆積して形成される。
また、第1の主電極908上に図示していない保護膜が形成され、上記保護膜の所定部分に設けられた開口孔部を介して外部電源に接続される。
半導体基板901の第2の主面MS2の表面内には、互いに間隔を開けて交互に形成されたP型半導体領域912とN型半導体領域913とが設けられ、両者の間の半導体基板901の表面内にはトレンチ内に絶縁体914を埋め込んで形成したトレンチ分離構造911が配設されている。
ここで、P型コレクタ領域912およびN型半導体領域913の不純物濃度は、何れも1×1016atoms/cm3〜1×1021atoms/cm3であり、例えば、イオン注入によって所定の不純物を注入した後、アニールによって活性化することで形成されるが、半導体装置の特性によっては、上記濃度範囲以外であっても良く、アニールを行わなくても良い場合もある。
そして、P型半導体領域912およびN型半導体領域913に共通に接するように第2の主電極916が配設されている。なお、トレンチ分離構造911は、その露出面がP型半導体領域912およびN型半導体領域913の露出面とともに同一平面をなすように第2の主面内に設けられており、第2の主電極916はトレンチ分離構造911上も併せて覆うように配設されている。
第2の主電極916は、P型半導体領域912およびN型半導体領域913に外部端子CTから電位を与える電極である。なお、第2の主電極916は、コレクタ電極として機能する場合もあればカソード電極またはドレイン電極として機能する場合もある。
トレンチ分離構造911の深さは、半導体基板901の比抵抗、N型半導体領域913およびP型半導体領域912の不純物濃度、両者の面積比、トレンチ分離構造911を構成する絶縁体914の材質およびスループットに基づいて最適化された値に設定され、異方性エッチング等によって形成される。
また、トレンチ分離構造911の幅や配設間隔は任意に設定でき、例えば、幅0.2μm〜100μm、配設間隔は0.5μm〜500μmに設定される。
ここで、トレンチ分離構造911を構成する絶縁体914は、その内部の電荷が、半導体基板901内の電荷に対して極性が逆で、全てのトレンチ分離構造911の電荷量の合計が、半導体基板901の第2の主面MS2からトレンチ分離構造911の底面までの領域での半導体基板901内の電荷量とほぼ等しくなるように材質や寸法が設定される。例えば、半導体基板901のN型の不純物濃度がn(atoms/cm3)であって、トレンチ分離構造911の幅寸法がW、深さがt、奥行き寸法がx、トレンチ分離構造911の中心線間の距離(トレンチ配設ピッチ)がPである場合、電気素量をqとすると2つのトレンチ分離構造911で挟まれる半導体基板901の領域内にはqn・(P−W)txの負電荷が存在することになるので、1つのトレンチ分離構造911の内部に上記負電荷と同量の正電荷が存在するように絶縁体914の材質を設定する。より具体的には、固定電荷密度n・(P−W)/Wの絶縁体を使用する。
このように設定することで、リサーフ(RESURF)効果により耐電圧を安定に高めることができ、半導体基板901の厚みを薄くすることができる。また、半導体基板901の濃度を高くすることができるため、IGBT素子のオン電圧、およびダイオード素子の順方向電圧Vfを小さくでき、エネルギー損失の低下を図ることができる。
ここで、半導体装置100がIGBT素子として動作する場合、第1の主電極908はエミッタ電極となり、第2の主電極916はコレクタ電極となり、第1の主面MS1に形成されたN型半導体領域906はエミッタ領域、P型半導体領域902はチャネル領域を含むボディ領域となり、P型半導体領域907はボディコンタクト領域となる。
また、ダイオード素子として動作する場合、第1の主電極908はアノード電極となり、第2の主電極916はカソード電極となり、第1の主面MS1に形成されP型半導体領域902はアノード領域、P型半導体領域907はアノードコンタクト領域、第2の主面MS2側に設けられたN型半導体領域913はカソード領域となる。
また、MOSFET素子として動作する場合、第1の主電極908は、ソース電極となり、第2の主電極916はドレイン電極となり、N型半導体領域906はソース領域となり、P型半導体領域902はチャネル領域を含むボディ領域となり、P型半導体領域907はボディコンタクト領域、N型半導体領域913はドレイン領域となる。
A−2.平面構成
次に、トレンチ分離構造911、P型半導体領域912およびN型半導体領域913の平面形状について図5〜図11を用いて説明する。なお、図5、図8〜図11は、半導体装置100を半導体チップの状態で第2の主面MS2側から見た場合の平面図である。
図5は、輪郭形状が矩形をなすループ状の複数のトレンチ分離構造911を間隔を開けて並列に配設した例を示し、ループ状のトレンチ分離構造911で囲まれる領域にN型半導体領域913が配設され、トレンチ分離構造911を囲むようにP型半導体領域912が配設されている。
ここで、図6および図7に、第1の主面MS1側から見た場合のトレンチ903の平面形状の例を示す。図6に示す例では、ストライプ状の複数のトレンチ903が、P型半導体領域902の表面内に間隔を開けて並列して配設されており、その配列方向はトレンチ分離構造911の配列方向と一致している。
一方、図7に示す例でも、ストライプ状の複数のトレンチ903が、P型半導体領域902の表面内に間隔を開けて並列して配設されているが、その配列方向はトレンチ分離構造911の配列方向に対して90度の角度をなしている。なお、図6および図7では便宜的にN型半導体領域906等は省略している。このように、トレンチ903の配列方向とトレンチ分離構造911の配列方向とが90度をなすように両者を配設することで、電流の分布を均一できるという利点がある。
図8は、輪郭形状が矩形をなすループ状の複数のトレンチ分離構造911が、同心をなすように間隔を開けて配設した例を示し、中央のトレンチ分離構造911のループが最も小さく、外側に向かうにつれてトレンチ分離構造911のループが大きくなるように構成されている。そして、中央のトレンチ分離構造911で囲まれる領域にP型半導体領域912が配設され、中央のトレンチ分離構造911を囲むようにN型半導体領域913が配設されている。以後、同様に各トレンチ分離構造911を囲むようにP型半導体領域912とN型半導体領域913とが交互に配設されている。
図9は、ストライプ状の複数のトレンチ分離構造911が、間隔を開けて並列して配設された例を示し、複数のトレンチ分離構造911間には、P型半導体領域912およびN型半導体領域913が交互に配設されているが、P型半導体領域912およびN型半導体領域913が交互に配設されている領域は、トレンチ分離構造911の配列の中央部だけであり、トレンチ分離構造911の配列の両端部は不純物濃度の低い半導体基板901の表面内に設けられており、半導体チップの外周領域にはP型半導体領域912が配設されている。
図10は、輪郭形状が矩形をなすループ状の複数のトレンチ分離構造911(小ループ)を間隔を開けて並列に配設し、この配列の外周を囲むように、輪郭形状が矩形をなすさらに大きなループ状のトレンチ分離構造911(大ループ)を配設した例を示し、小ループをなすトレンチ分離構造911で囲まれる領域にN型半導体領域913が配設され、小ループをなすトレンチ分離構造911を囲むようにP型半導体領域912が配設されている。また、大ループをなすトレンチ分離構造911を囲むようにN型半導体領域913が配設されている。
また図11は、ストライプ状の複数のトレンチ分離構造911が、間隔を開けて並列して配設された例を示し、複数のトレンチ分離構造911間には、P型半導体領域912およびN型半導体領域913が交互に配設されている。ここで、トレンチ分離構造911は半導体チップの端縁部まで延在するように配設され、P型半導体領域912とN型半導体領域913とは、トレンチ分離構造911とチップエッジとにより分離されている。
ここで、図5〜図11に示したような半導体チップを得るための半導体ウエハの平面構成を図12に示す。図12には、半導体ウエハWFにおいてストライプ状の複数のトレンチ分離構造911を設けた状態を示しており、縦横に設けたダイシングラインDLに従ってダイシングすることで、半導体ウエハWFを複数の半導体チップに分割できる。
B.動作
次に、図13および図14を用いて半導体装置100の動作について説明する図13は半導体装置100の機能を等価回路として模式的に示す図であり、半導体装置100は、IGBT素子と、それに逆並列に接続されたダイオード素子として機能することが示されている。また、図14は半導体装置100の電流電圧特性を示す図である。
図13に示すように、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間の半導体基板901の表面内にトレンチ分離構造911を配設した場合、外部端子ETに接地電位が与えられ、外部端子CTに正電位が与えられ、外部端子GTにオン信号が与えられた場合、第1主面MS1側までの電流パスとして、N型半導体領域913から抵抗R11、R1およびR12を有する半導体基板901内の経路およびゲート絶縁膜904に接するP型半導体領域902内に形成されるチャネル領域を通ってN型半導体領域906に達する電流経路(1)と、P型半導体領域912から抵抗R13およびR12を有する半導体基板901内の経路およびゲート絶縁膜904に接するP型半導体領域902内に形成されるチャネル領域を通ってN型半導体領域906に達する電流経路(2)が形成される。
ここで、電流経路(1)は、いわゆるMOSFET素子として動作する際の経路であり、電流経路(2)は、いわゆるIGBT素子として動作する際の経路である。
なお、外部端子ETに接地電位が与えられ、外部端子CTに負電位が与えられ、外部端子GTにオフ信号が与えられた場合はダイオード素子として動作し、抵抗R14を有する半導体基板901内の経路を通ってN型半導体領域913に達する電流経路(3)が形成される。
ここで、半導体装置100がIGBT素子として動作する場合の電流と、MOSFET素子として動作する場合の電流が合流する部分をX1点と呼称すると、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間をトレンチ分離構造911で分離することで、P型半導体領域912とX1点との間には抵抗R13を有することになり、N型半導体領域913とX1点との間には抵抗R11およびR1を有することになり、外部端子CTとX1点との間の抵抗値を大きくし、外部端子CTとX1点との間の電位差を容易に大きくすることができる。なお、抵抗R1の抵抗値は、図2に示した半導体装置90と同様に小さいが、抵抗R11の抵抗値は抵抗R1に比べて十分大きい。
なお、図2においては、半導体基板901内の抵抗R12およびR13は、半導体層100がIGBT素子として動作する場合に、また抵抗R14はダイオード素子として動作する場合にモデュレーションが発生し、電圧が高くなるにつれて抵抗値は低くなるので、可変抵抗の記号を用いたが、MOSFET素子として動作する場合は、ほぼ一定の抵抗値になる。
図14には、半導体装置100の電流電圧特性を概念的に示している。すなわち、図14においては、横軸に電圧値を、縦軸に電流値を示し、特性A1、特性B1、特性C1および特性D1の4種類の電流電圧特性を示している。また、比較のため、図3に示した特性A、B、CおよびDも併せて示している。
特性A1は、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX1点との間の電位差の関係を示す特性である。
特性B1は、P型半導体領域912を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX1点との間の電位差の関係を示す特性である。
特性C1は、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差の関係を示す特性である。
特性D1は、P型半導体領域912を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差の関係を示す特性である。
また、特性A’は、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合のX’点での電流電圧の関係である。
ここで、P型半導体領域912の面積およびN型半導体領域913の面積は、共に図2に示した半導体装置90と同じに設定しているので、特性C1およびD1は、それぞれ図3に示した特性CおよびDと同じである。
一方、X1点とN型半導体領域913との間の距離が大きくなったことで、その間の抵抗値(抵抗R1と抵抗R11との抵抗値の合計)が大きくなり、特性B1の傾きは、特性Bよりもかなり緩やかになる。
この結果、外部端子CTとX1点との間の電位差がおよそ0.6Vに達し、モデュレーションが起こり始めるモデュレーション電圧Vmod(Z点で示される電圧)に達しても、電流は殆ど流れず、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差も小さくスナップバックを抑制できる。ここで、抵抗R13を流れる電流icは0であるので、Z点では、Vmod=R13×idの関係が成り立っており、抵抗R13の抵抗値が大きいため、少ない電流idでIGBTのコレクタをオンできる。ここで、idは、MOSFET素子の動作電流、すなわち電流経路(1)に流れる電流であり、ここでは、特にZ点での電流値を指す。また、電流icは、IGBT素子の動作電流、すなわち電流経路(2)に流れる電流であり、Z点では0である。
以上説明したように、半導体装置100においてはスナップバックを抑制でき、かつ、そのために第2の主面MS2に占める有効領域の面積(P型半導体領域912とN型半導体領域913の面積の和)を小さくする必要がないので、IGBT素子の動作時のオン電圧やダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、それぞれの動作時の局所的電流密度が高くなることが防止される。
C.製造方法
次に、半導体装置100の製造方法について図15〜図18を用いて説明する。なお、第1の主面MS1側の構成は、従来より公知の一般的なIGBTまたはMOSFETと同様の製造工程を経て形成されるので、公知の技術については説明を省略する。
図15〜図18は、第2の主面MS2側の構造を得るための製造工程を順に示す断面図である。なお、以下の説明では、第1の主面MS1側においては、第1の主電極908より下層の構成は形成済みであるものとする。
まず、半導体基板901の第1の主面MS1側に第1の主電極908より下層の構成(当該構成については図示は省略)を形成した後、図15に示す工程において、半導体基板901の第2の主面MS2に写真製版と異方性エッチングによってトレンチTRを形成する。
ここで、半導体基板901の厚みTは、半導体装置の製造過程において、半導体ウエハに割れや欠けが生じにくく、かつ、写真製版工程において、露光装置等における特別な焦点深度調整を必要としない程度の厚みに設定されている。例えば、6インチの半導体ウエハを例に採れば、500〜650μmに設定されている。一方、トレンチTRの底部から、第1の主面MS1までの厚みSは、オン抵抗の低減と耐圧とを考慮して決定され、例えば、600Vの耐圧の半導体装置を想定した場合、60μmに設定される。
なお、トレンチTRの幅や配設間隔は任意に設定でき、例えば、幅0.2μm〜100μm、配設間隔は0.5μm〜500μmに設定される。
次に、図16に示す工程において、CVD法等により、第2の主面MS2の全面に、トレンチTRの幅以上の厚さの絶縁膜ZLを堆積することにより、トレンチTRに絶縁膜ZLを埋め込む。
次に、図17に示す工程において、異方性エッチング等により、エッチバックを行い、第1の主面MS1の表面の絶縁膜ZLを取り除くことで、絶縁体914によって構成されるトレンチ分離構造911を得る。
なお、所望の特性を得るために必要であれば、図18に示す工程において、異方性エッチングやCMP(Chemical Mechanical Polishing)等の研磨技術により第2の主面MS2側を研磨して、所望の基板厚みを得るようにしても良い。この場合、研磨後の基板厚みMと、厚みTおよびSとの大小関係は、S<M<Tとなることは言うまでもない。
ここで、P型半導体領域912およびN型半導体領域913は、トレンチ分離構造911を形成する前に形成され、P型半導体領域912およびN型半導体領域913の境界部分にトレンチ分離構造911を形成することが一般的であるが、図18を用いて説明した研磨を行う場合は、研磨後にP型半導体領域912およびN型半導体領域913を形成する。
その後、第2の主電極916を構成する導電体材料を、蒸着法などにより堆積することで、第2の主面MS2側の構造を得ることができる。
なお、上記説明では、第2の主面MS2側の構成は、第1の主面MS1側の構成を形成した後に形成するとしたが、これに限定されるものではなく、トレンチTRが、第1の主面MS1側の構成の形成に際して支障を及ぼさないのであれば、第2の主面MS2側の構成は、第1の主面MS1側の構成の形成途中で形成しても良い。
また、P型半導体領域912およびN型半導体領域913がアニールにより十分に活性化されることが望ましいので、P型半導体領域912およびN型半導体領域913の形成後にアニール工程が実施されることが望ましい。
また、第2の主電極916の形成のタイミングは上記に限定されるものではないが、金や銀を含む多層金属膜で構成するので、金属汚染を防止するため、ウエハプロセスの最終工程で形成することが望ましい。
D.変形例
以上説明した半導体装置100では、半導体基板901が、N型半導体基板で構成された例について説明したが、P型半導体基板の場合であっても同様の効果が得られることは言うまでもない。
また、半導体装置100では、第2の主電極916にP型半導体領域912およびN型半導体領域913を共通に接続した構成を有し、第2の主電極916がP型半導体領域912およびN型半導体領域913を覆う構成であったので、構造が簡単であり、外部端子CTに接続するための複雑な配線等は不要な構成を示した。しかし、図19に示す半導体装置100Aのように、P型半導体領域912に接続される第2の主電極916aと、N型半導体領域913に接続される第2の主電極916bとを設け、P型半導体領域912とN型半導体領域913とで、それぞれ別個の主電極に接続される構成としても良い。
この場合、第2の主電極916aは抵抗素子915を介して外部端子CTに接続される構成とすることで、N型半導体領域913とP型半導体領域912との間の半導体基板901内での抵抗は、半導体装置100よりも小さくて済むので、トレンチ分離構造911の深さを浅くすることができる。なお、第2の主電極916aには抵抗素子915の代わりの電流制限素子として、ダイオード素子やトランジスタ素子を接続しても良い。このように、P型半導体領域912とN型半導体領域913とで、それぞれ別個の主電極に接続される構成とすることで、多様な構成を採用することが可能となる。
また、半導体装置100のように、第2の主電極916により、P型半導体領域912およびN型半導体領域913を覆う構成においては、N型半導体領域913へのコンタクト抵抗をP型半導体領域912へのコンタクト抵抗よりも高くなるように第2の主電極916の材質を選択することで、図19に示す半導体装置100Aと同様の効果を得ることができる。例えば、第2の主電極916として金、銀および白金などの仕事関数の大きな金属を使用する。
また、実施の形態においては、トレンチ分離構造911をトレンチ内に絶縁体を埋め込んで構成した例を示したが、半導体基板901と反対導電型で、半導体基板901とほぼ等しい不純物濃度を有する高抵抗半導体(例えば、1200V耐圧の素子では不純物濃度1×1014atoms/cm3、比抵抗50〜60オーム)を埋め込んで構成しても良い。
また、トレンチ分離構造911を高抵抗半導体で構成する場合、高抵抗半導体とN型半導体領域913とP型半導体領域912との間に絶縁膜を形成しても良く、上記絶縁膜は、トレンチ分離構造911底部には、あっても無くても良い。
また、トレンチ分離構造911は、トレンチTR内に絶縁物も高抵抗半導体材料も埋め込まず、トレンチだけで構成しても良い。
また、本発明の適用はIGBT素子やダイオード素子に限定されるものではなく、サイリスタ素子への適用も可能である。
【技術分野】
【0001】
本発明は半導体装置に関し、特に半導体基板の厚み方向に主電流が流れる半導体装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体基板の厚み方向に主電流が流れる半導体装置の一例として、IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ:insulated gate bipolar transistor)素子と、当該IGBT素子に逆並列に接続されたダイオード素子とを隣接して形成する構成が提案されている。
【0003】
例えば、特開平11−97715号公報には、半導体基板の第1の主面側にゲート電極構造を形成し、第2の主面の表面内に、P型不純物領域およびN型不純物領域とを交互に隣接して形成し、P型不純物領域とゲート電極構造とでIGBT領域を構成し、N型不純物領域とゲート電極構造とでダイオード領域を構成する例が開示されている。
【0004】
このような構成においては、第2の主面側のP型不純物領域とN型不純物領域とが接触しているので、例えばスナップバックと呼称される現象が発生し、IGBT素子のスッイチング動作においてエネルギー損失が生じ、所期の電気的特性が得られないという問題があった。
【発明の開示】
本発明は、半導体基板の厚み方向に主電流が流れる半導体装置において、機能の異なる半導体素子を隣接して配置する場合に、所期の電気的特性を達成できる半導体装置を提供することを目的とする。
【0005】
本発明に係る半導体装置の態様は、半導体基板の第1の主面に設けられた第1の主電極と、前記半導体基板の第2の主面に設けられた第2の主電極と、前記第1の主面の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ型ゲート電極とを備え、前記半導体基板の厚み方向に主電流が流れる半導体装置であって、前記半導体基板は、前記第2の主面の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ分離構造と、前記第2の主面の表面内に配設された、第1導電型の第1の不純物領域および第2導電型の第2の不純物領域とを有し、前記少なくとも1つのトレンチ分離構造は、前記第2の主面の表面内に設けたトレンチ内部に、絶縁体または前記半導体基板とは反対導電型の半導体を埋め込んで構成され、前記第1の不純物領域と前記第2の不純物領域とを隔てるように配設される。
【0006】
本発明に係る半導体装置の態様によれば、例えば第1の不純物領域をMOSFET素子のドレイン領域およびダイオード素子のカソード領域として使用し、第2の不純物領域をIGBT素子のコレクタ領域として使用する場合、少なくとも1つのトレンチ分離構造の存在によりIGBT素子の動作時に流れる電流経路の抵抗値が増加し、当該電流経路にモデュレーションに際して流れる電流を低減できるので、スナップバックを抑制できる。また、少なくとも1つのトレンチ分離構造を設けることで、第2の主面に占める有効領域の面積(第1の不純物領域と第2の不純物領域の面積の和)を小さくせずともスナップバックを抑制できるので、IGBT素子の動作時のオン電圧やダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、それぞれの動作時の局所的電流密度が高くなることが防止される。
【0007】
本発明に係る半導体装置の製造方法の態様は、半導体基板の第1の主面に設けられた第1の主電極と、前記半導体基板の第2の主面に設けられた第2の主電極と、前記第1の主面の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ型ゲート電極とを備え、前記半導体基板の厚み方向に主電流が流れる半導体装置であって、半導体ウェハの状態で前記第1の主面側の構成を形成した後、前記第2の主面の表面内に少なくとも1つのトレンチを形成する工程(a)と、前記半導体ウェハの状態で、前記第2の主面の全面に絶縁体層または前記半導体基板とは反対導電型の半導体層を形成して、前記少なくとも1つのトレンチ内に前記絶縁体層または前記半導体層を埋め込む工程(b)と、前記第2の主面上の前記絶縁体層または前記半導体層を除去して少なくとも1つのトレンチ分離構造を得る工程(c)とを備えている。
【0008】
本発明に係る半導体装置の製造方法の態様によれば、少なくとも1つのトレンチ分離構造により、例えばMOSFET素子のドレイン領域およびダイオード素子のカソード領域として機能する不純物領域と、IGBT素子のコレクタ領域として機能する不純物領域を隔てる構成とすることで、少なくとも1つのトレンチ分離構造の存在によりIGBT素子の動作時に流れる電流経路の抵抗値が増加し、当該電流経路にモデュレーションに際して流れる電流を低減できるので、スナップバックを抑制できる。また、少なくとも1つのトレンチ分離構造を設けることで、第2の主面に占める有効領域の面積(不純物領域の面積の和)を小さくせずともスナップバックを抑制できるので、IGBT素子の動作時のオン電圧やダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、それぞれの動作時の局所的電流密度が高くなることが防止される。
【0009】
この発明の目的、特徴、局面、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0010】
本発明に係る実施の形態の説明に先立って、本発明の技術思想に到達するまでの経緯について図1〜図3を用いて説明する。
【0011】
図1は、従来の半導体装置の問題点を解消するために考案された半導体装置90の基本構成を示す断面図である。
【0012】
図1に示す半導体装置90においては、高比抵抗のN型基板(N-)である半導体基板901の第1の主面MS1の表面内に全面に渡ってP型半導体領域902が形成されている。
【0013】
そして、第1の主面MS1の表面からP型半導体領域902を貫通して半導体基板901内に達する2つのトレンチ903が設けられ、トレンチ903の内壁面はゲート絶縁膜904によって覆われている。さらに、ゲート絶縁膜904によって囲まれたトレンチ903内の領域には導電体材料が埋め込まれてトレンチ型ゲート電極905を構成している。
【0014】
また、P型半導体領域902の表面内には、ゲート絶縁膜904に少なくとも一部が接するように選択的に形成された比較的高濃度(N+)のN型半導体領域906が配設されている。N型半導体領域906は2つのトレンチ903のそれぞれの両サイドに設けられているが、トレンチ間において対向するN型半導体領域906の間には比較的高濃度(P+)のP型半導体領域907が設けられている。なお、P型半導体領域907は、P型半導体領域902に対する良好な電気的コンタクトを得るための構成である。
【0015】
そして、互いに隣接するN型半導体領域906およびP型半導体領域907の上部に接するように第1の主電極908が配設されている。
【0016】
第1の主電極908はN型半導体領域906およびP型半導体領域907に、外部端子ETから電位を与える電極である。なお、第1の主電極908は半導体装置90の動作に応じて、エミッタ電極として機能する場合もあれば、アノード電極またはソース電極として機能する場合もある。また、トレンチ型ゲート電極905には外部端子GTから制御電圧が与えられる。
【0017】
また、半導体基板901の第2の主面MS2の表面内には、互いに間隔を開けて交互に形成されたP型半導体領域912とN型半導体領域913とが設けられている。そして、P型半導体領域912およびN型半導体領域913に共通に接するように第2の主電極916が配設されている。
【0018】
このように、P型半導体領域912とN型半導体領域913とを接触させずに配設することで、電気的特性の改善を図る構成とした。
【0019】
第2の主電極916は、P型半導体領域912およびN型半導体領域913に外部端子CTから電位を与える電極である。なお、第2の主電極916は、コレクタ電極として機能する場合もあればカソード電極またはドレイン電極として機能する場合もある。
【0020】
次に、図2および図3を用いて半導体装置90の動作について説明する。図2は半導体装置90の機能を等価回路として模式的に示す図であり、半導体装置90は、IGBT素子と、それに逆並列に接続されたダイオード素子として機能することが示されている。また、図3は半導体装置90の電流電圧特性を示す図である。
【0021】
図2に示すように、第2主面MS2の表面内に、P型半導体領域912およびN型半導体領域913を間隔を開けて配設した場合、外部端子ETに接地電位が与えられ、外部端子CTに正電位が与えられ、外部端子GTにオン信号が与えられた場合、第1主面MS1側までの電流パスとして、N型半導体領域913から抵抗R1およびR2を有する半導体基板901内の経路およびゲート絶縁膜904に接するP型半導体領域902内に形成されるチャネル領域を通ってN型半導体領域906に達する電流経路(1)と、P型半導体領域912から抵抗R2を有する半導体基板901内の経路およびゲート絶縁膜904に接するP型半導体領域902内に形成されるチャネル領域を通ってN型半導体領域906に達する電流経路(2)が形成される。
【0022】
ここで、電流経路(1)は、いわゆるMOSFET素子として動作する際の経路であり、電流経路(2)は、いわゆるIGBT素子として動作する際の経路である。
【0023】
なお、半導体装置90は、外部端子ETに接地電位が与えられ、外部端子CTに負電位が与えられ、外部端子GTにオフ信号が与えられた場合はダイオード素子として動作し、抵抗R3を有する半導体基板901内の経路を通ってN型半導体領域913に電流が流れる。
【0024】
P型半導体領域912の近傍の半導体基板901内の部分をX点と呼称すると、N型半導体領域913との間の抵抗R1の抵抗値は、N型半導体領域913とP型半導体領域912とが接近している場合には非常に小さくなる。
【0025】
なお、図2においては、半導体基板901内の抵抗R2およびR3は、それぞれIGBT素子として動作する場合およびダイオード素子として動作する場合、モデュレーションが発生し、電圧が高くなるにつれて抵抗値は低くなるので、可変抵抗の記号を用いたが、MOSFET素子として動作する場合は、ほぼ一定の抵抗値になる。
【0026】
図3には、半導体装置90の電流電圧特性を概念的に示している。すなわち、図3においては、横軸に電圧値を、縦軸に電流値を示し、特性A、特性B、特性Cおよび特性Dの4種類の電流電圧特性を示している。
【0027】
特性Aは、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX点との間の電位差の関係を示す特性である。
【0028】
特性Bは、P型半導体領域912を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX点との間の電位差の関係を示す特性である。
【0029】
特性Cは、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差の関係を示す特性である。
【0030】
特性Dは、P型半導体領域912を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差の関係を示す特性である。
【0031】
ここで、特性Bは、傾き1/R1の直線を示し、特性Aは外部端子CTとX点との間の電位差がおよそ0.6Vになるまでは電流が殆ど流れない特性を示す。
【0032】
次に、N型半導体領域913とP型半導体領域912とを外部端子CTに共通に接続した場合について説明する。
【0033】
電流が少ない場合、外部端子CTとX点との間の電位差は小さく、IGBT素子が動作しないため、MOSFET素子の動作が主となり、ほぼ電流経路(1)に電流が流れる。
【0034】
そして、モデュレーションが起こりIGBT素子が動作して電流が流れ始める時、すなわち外部端子CTとX点との間の電位差がおよそ0.6Vに達した時、特性Dにおける電流値および電圧値は、Z点で示される値になっている。
【0035】
以後、IGBT素子が動作して電流が流れる電圧、すなわちモデュレーションが起こり始める電圧をモデュレーション電圧Vmodと定義する。
【0036】
そして、Z点で示される電流以上の電流を流そうとした場合、電流経路(2)を通るIGBT素子としての動作が徐々に主流になってくる。IGBT素子としての動作で流れる電流は指数関数的に増加する一方、MOSFET素子としての動作で流れる電流は、一次関数でしか増加しないため、電流をZ点で示される電流以上に流すと、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差が小さくなる現象、すなわちスナップバック現象が観測される。
【0037】
図3では、特性DにおけるZ点を折り返し点として、電圧の低下に伴って電流が急激に増加する特性Eが示されておりこの特性がスナップバック現象に対応する。
【0038】
なお、スナップバック現象が観測される負性抵抗領域をスナップバック領域と呼称する。
【0039】
スイッチング動作を経時的に見た場合、スナップバック現象が生じると、電流および電圧が共に大きくなる時間帯が生じ、エネルギー損失が生じる。
【0040】
このように、P型半導体領域912とN型半導体領域913とを接触させずに配設した構成においても、P型半導体領域912とN型半導体領域913とが接近している場合にはスナップバック現象が生じる。そこで、N型半導体領域913とP型半導体領域912との間隔をさらに広げることにより、第2の主面MS2に占める有効領域の面積(P型半導体領域912とN型半導体領域913の面積の和)が小さくなり、特性Aおよび特性Cは、僅かに高電圧側(図3に向かって右側)にシフトする。
【0041】
また、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間隔が広くなったことで、抵抗R1(図2)の抵抗値が大きくなり、特性Bの傾きが緩やかになる。
【0042】
そして、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間隔を広くしても、半導体チップの面積は大きくしない場合、必然的にN型半導体領域913の面積は小さくなり、半導体チップに占めるN型半導体領域913の面積の比率は小さくなるので、特性Dの傾きは僅かに小さくなる。
【0043】
そして、P型半導体領域912とN型半導体領域913間の抵抗R1が大きくなることで特性Bの傾きが緩やかになり、外部端子CTとX点との間の電位差がおよそ0.6Vに達した時でも、MOSFET素子の動作電流はさほど流れず、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差も小さくスナップバックを抑制できる。ここで、外部端子CTとX点との間の電位差がおよそ0.6Vに達した時点、すなわちZ点では、Vmod=R1×idの関係が成立している。なお、idは、MOSFET素子の動作電流、すなわち電流経路(1)に流れる電流であり、ここでは、特にZ点での電流値を指す。
【0044】
しかし、上述したように、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間隔を広げることにより、第2の主面MS2に占める有効領域の面積が小さくなるので、IGBT素子の動作時のオン電圧やダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、それぞれの動作時の局所的電流密度が高くなる。
【0045】
また、N型半導体領域913の面積をP型半導体領域912に比べて小さくすることによってもスナップバックを抑制でき、N型半導体領域913の面積をP型半導体領域912に比べて極めて小さくすると、スナップバックが観測されないようにすることも可能であるが、N型半導体領域913の面積を小さくすることにより、ダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、電流密度が非常に大きくなってダイオード素子が損傷する可能性がある。
【0046】
そこで発明者達は、N型半導体領域913とP型半導体領域912との間の半導体基板901の表面内にトレンチを設けるという技術思想に到達した。 以下、本発明に係る実施の形態として、上記技術思想に基づいて得られた半導体装置100の構成および動作について説明する。
【0047】
A.装置構成
A−1.断面構成
図4は半導体装置100の基本構成を示す断面図である。
【0048】
図4に示す半導体装置100においては、高比抵抗のN型基板(N-)である半導体基板901の第1の主面MS1の表面内に全面に渡ってP型半導体領域902が形成されている。ここで、N型半導体基板901は、耐圧クラスによってその比抵抗や、P型半導体領域912の底部とトレンチ903の底部との距離Lが異なるが、例えば耐圧1200Vクラスの場合は、比抵抗は40〜60Ωcm、距離Lは100〜200μm程度に設定され、それよりも耐圧クラスが低ければ比抵抗は低くなり、距離Lは短くなる。
【0049】
そして、第1の主面MS1の表面からP型半導体領域902を貫通して半導体基板901内に達する2つのトレンチ903が設けられ、トレンチ903の内壁面はゲート絶縁膜904によって覆われている。さらに、ゲート絶縁膜904によって囲まれたトレンチ903内の領域には導電体材料が埋め込まれてトレンチ型ゲート電極905を構成している。
【0050】
P型半導体領域902は、半導体装置100が、MOSFET素子およびIGBT素子として動作する場合は、チャネル領域を含んだボディ領域となるので、MOSFETまたはIGBTの閾値電圧に基づいて不純物濃度や深さが設定される。
【0051】
なお、不純物濃度や拡散深さは、イオン注入条件や、熱拡散条件により決定される。例えば、不純物濃度は、通常はMOSFETのソース電極またはIGBTのエミッタ電極と接する領域で、1×1017atoms/cm3〜1×1018atoms/cm3となるように設定され、拡散深さはトレンチ903を越えない程度に、数μmの深さに設定される。
【0052】
また、トレンチ903は、2〜10μmのピッチでエッチングにより設けられ、幅は0.5〜3.0μm、深さは3〜20μmに設定される。
【0053】
トレンチ903の内壁表面に配設されるゲート絶縁膜904は、MOSFETを構成する絶縁膜であり、ゲート駆動電圧や飽和電流、容量等に基づいて最適な厚みとなるように設定される。一般的には10〜200nmの厚さのシリコン酸化膜が使用され、熱酸化や堆積等により形成される。
【0054】
トレンチ903内に埋め込まれたトレンチ型ゲート電極905は、高不純物濃度の多結晶シリコン膜や、例えばタングステンシリサイド等の高融点金属材料、あるいはそれらの多層膜で構成される。一般的には、トレンチ903の幅の半分以上の厚さの導電膜を第1の主面MS1上に堆積した後、異方性エッチング等により平坦化して得られるが、写真製版により所定パターンのマスクを形成した後、導電膜を堆積し、エッチングを行って得ることもできる。
【0055】
ここで、トレンチ型ゲート電極905の材料の仕事関数値により、P型半導体領域902の最適濃度は変わり、極端な場合、トレンチ903側面に沿ってN型半導体領域を設け、ゲート絶縁膜904に接した領域に、エミッタ領域と同一導電型(N型)の薄い層を設けたベリッドチャネル構造とする場合もある。
【0056】
また、P型半導体領域902の表面内には、ゲート絶縁膜904に少なくとも一部が接するように選択的に形成された比較的高濃度(N+)のN型半導体領域906が配設されている。N型半導体領域906は2つのトレンチ903のそれぞれの両サイドに設けられているが、トレンチ間において対向するN型半導体領域906の間には比較的高濃度(P+)のP型半導体領域907が設けられている。なお、P型半導体領域907は、P型半導体領域902に対する良好な電気的コンタクトを得るための構成である。
【0057】
なお、N型半導体領域906およびP型半導体領域907は、何れも写真製版によるパターニングとイオン注入によって形成され、表面濃度が例えば1×1020atoms/cm3以上に設定される。
【0058】
そして、互いに隣接するN型半導体領域906およびP型半導体領域907の上部に接するように第1の主電極908が配設されている。
【0059】
第1の主電極908はN型半導体領域906およびP型半導体領域907に、外部端子ETから電位を与える電極である。なお、第1の主電極908は半導体装置90の動作に応じて、エミッタ電極として機能する場合もあれば、アノード電極またはソース電極として機能する場合もある。また、トレンチ型ゲート電極905には外部端子GTから制御電圧が与えられる。
【0060】
第1の主電極908は、N型半導体領域906およびP型半導体領域907を覆うように形成された層間絶縁膜(図示せず)を写真製版とエッチングにより選択的に開口し、例えばアルミニウムとシリコンの化合物で構成される導電膜を堆積して形成される。
【0061】
また、第1の主電極908上に図示していない保護膜が形成され、上記保護膜の所定部分に設けられた開口部を介して外部電源に接続される。
【0062】
半導体基板901の第2の主面MS2の表面内には、互いに間隔を開けて交互に形成されたP型半導体領域912とN型半導体領域913とが設けられ、両者の間の半導体基板901の表面内にはトレンチ内に絶縁体914を埋め込んで形成したトレンチ分離構造911が配設されている。
【0063】
ここで、P型半導体領域912およびN型半導体領域913の不純物濃度は、何れも1×1016atoms/cm3〜1×1021atoms/cm3であり、例えば、イオン注入によって所定の不純物を注入した後、アニールによって活性化することで形成されるが、半導体装置の特性によっては、上記濃度範囲以外であっても良く、アニールを行わなくても良い場合もある。
【0064】
そして、P型半導体領域912およびN型半導体領域913に共通に接するように第2の主電極916が配設されている。なお、トレンチ分離構造911は、その露出面がP型半導体領域912およびN型半導体領域913の露出面とともに同一平面をなすように第2の主面MS2内に設けられており、第2の主電極916はトレンチ分離構造911上も併せて覆うように配設されている。
【0065】
第2の主電極916は、P型半導体領域912およびN型半導体領域913に外部端子CTから電位を与える電極である。なお、第2の主電極916は、コレクタ電極として機能する場合もあればカソード電極またはドレイン電極として機能する場合もある。
【0066】
トレンチ分離構造911の深さは、半導体基板901の比抵抗、N型半導体領域913およびP型半導体領域912の不純物濃度、両者の面積比、トレンチ分離構造911を構成する絶縁体914の材質およびスループットに基づいて最適化された値に設定され、異方性エッチング等によって形成される。
【0067】
また、トレンチ分離構造911の幅や配設間隔は任意に設定でき、例えば、幅0.2μm〜100μm、配設間隔は0.5μm〜500μmに設定される。
【0068】
ここで、トレンチ分離構造911を構成する絶縁体914は、その内部の電荷が、半導体基板901内の電荷に対して極性が逆で、全てのトレンチ分離構造911の電荷量の合計が、半導体基板901の第2の主面MS2からトレンチ分離構造911の底面までの領域での半導体基板901内の電荷量とほぼ等しくなるように材質や寸法が設定される。例えば、半導体基板901のN型の不純物濃度がn(atoms/cm3)であって、トレンチ分離構造911の幅寸法がW、深さがt、奥行き寸法がx、トレンチ分離構造911の中心線間の距離(トレンチ配設ピッチ)がPである場合、電気素量をqとすると2つのトレンチ分離構造911で挟まれる半導体基板901の領域内にはqn・(P−W)txの負電荷が存在することになるので、1つのトレンチ分離構造911の内部に上記負電荷と同量の正電荷が存在するように絶縁体914の材質を設定する。より具体的には、固定電荷密度n・(P−W)/Wの絶縁体を使用する。
【0069】
このように設定することで、リサーフ(RESURF)効果により耐電圧を安定に高めることができ、半導体基板901の厚みを薄くすることができる。また、半導体基板901の濃度を高くすることができるため、IGBT素子のオン電圧、およびダイオード素子の順方向電圧Vfを小さくでき、エネルギー損失の低下を図ることができる。
【0070】
ここで、半導体装置100がIGBT素子として動作する場合、第1の主電極908はエミッタ電極となり、第2の主電極916はコレクタ電極となり、第1の主面MS1に形成されたN型半導体領域906はエミッタ領域、P型半導体領域902はチャネル領域を含むボディ領域となり、P型半導体領域907はボディコンタクト領域となる。
【0071】
また、ダイオード素子として動作する場合、第1の主電極908はアノード電極となり、第2の主電極916はカソード電極となり、第1の主面MS1に形成されたP型半導体領域902はアノード領域、P型半導体領域907はアノードコンタクト領域、第2の主面MS2側に設けられたN型半導体領域913はカソード領域となる。
【0072】
また、MOSFET素子として動作する場合、第1の主電極908は、ソース電極となり、第2の主電極916はドレイン電極となり、N型半導体領域906はソース領域となり、P型半導体領域902はチャネル領域を含むボディ領域となり、P型半導体領域907はボディコンタクト領域、N型半導体領域913はドレイン領域となる。
【0073】
A−2.平面構成
次に、トレンチ分離構造911、P型半導体領域912およびN型半導体領域913の平面形状について図5〜図11を用いて説明する。なお、図5、図8〜図11は、半導体装置100を半導体チップの状態で第2の主面MS2側から見た場合の平面図である。
【0074】
図5は、輪郭形状が矩形をなすループ状の複数のトレンチ分離構造911を間隔を開けて並列に配設した例を示し、ループ状のトレンチ分離構造911で囲まれる領域にN型半導体領域913が配設され、トレンチ分離構造911を囲むようにP型半導体領域912が配設されている。
【0075】
ここで、図6および図7に、第1の主面MS1側から見た場合のトレンチ903の平面形状の例を示す。図6に示す例では、ストライプ状の複数のトレンチ903が、P型半導体領域902の表面内に間隔を開けて並列して配設されており、その配列方向はトレンチ分離構造911の配列方向と一致している。
【0076】
一方、図7に示す例でも、ストライプ状の複数のトレンチ903が、P型半導体領域902の表面内に間隔を開けて並列して配設されているが、その配列方向はトレンチ分離構造911の配列方向に対して90度の角度をなしている。なお、図6および図7では便宜的にN型半導体領域906等は省略している。このように、トレンチ903の配列方向とトレンチ分離構造911の配列方向とが90度をなすように両者を配設することで、電流の分布を均一できるという利点がある。
【0077】
図8は、輪郭形状が矩形をなすループ状の複数のトレンチ分離構造911が、同心をなすように間隔を開けて配設した例を示し、中央のトレンチ分離構造911のループが最も小さく、外側に向かうにつれてトレンチ分離構造911のループが大きくなるように構成されている。そして、中央のトレンチ分離構造911で囲まれる領域にP型半導体領域912が配設され、中央のトレンチ分離構造911を囲むようにN型半導体領域913が配設されている。以後、同様に各トレンチ分離構造911を囲むようにP型半導体領域912とN型半導体領域913とが交互に配設されている。
【0078】
図9は、ストライプ状の複数のトレンチ分離構造911が、間隔を開けて並列して配設された例を示し、複数のトレンチ分離構造911間には、P型半導体領域912およびN型半導体領域913が交互に配設されているが、P型半導体領域912およびN型半導体領域913が交互に配設されている領域は、トレンチ分離構造911の配列の中央部だけであり、トレンチ分離構造911の配列の両端部は不純物濃度の低い半導体基板901の表面内に設けられており、半導体チップの外周領域にはP型半導体領域912が配設されている。
【0079】
図10は、輪郭形状が矩形をなすループ状の複数のトレンチ分離構造911(小ループ)を間隔を開けて並列に配設し、この配列の外周を囲むように、輪郭形状が矩形をなすさらに大きなループ状のトレンチ分離構造911(大ループ)を配設した例を示し、小ループをなすトレンチ分離構造911で囲まれる領域にN型半導体領域913が配設され、小ループをなすトレンチ分離構造911を囲むようにP型半導体領域912が配設されている。また、大ループをなすトレンチ分離構造911を囲むようにN型半導体領域913が配設されている。
【0080】
また図11は、ストライプ状の複数のトレンチ分離構造911が、間隔を開けて並列して配設された例を示し、複数のトレンチ分離構造911間には、P型半導体領域912およびN型半導体領域913が交互に配設されている。ここで、トレンチ分離構造911は半導体チップの端縁部まで延在するように配設され、P型半導体領域912とN型半導体領域913とは、トレンチ分離構造911とチップエッジとにより分離されている。
【0081】
ここで、図5〜図11に示したような半導体チップを得るための半導体ウエハの平面構成を図12に示す。図12には、半導体ウエハWFにおいてストライプ状の複数のトレンチ分離構造911を設けた状態を示しており、縦横に設けたダイシングラインDLに従ってダイシングすることで、半導体ウエハWFを複数の半導体チップに分割できる。
【0082】
B.動作
次に、図13および図14を用いて半導体装置100の動作について説明する。図13は半導体装置100の機能を等価回路として模式的に示す図であり、半導体装置100は、IGBT素子と、それに逆並列に接続されたダイオード素子として機能することが示されている。また、図14は半導体装置100の電流電圧特性を示す図である。
【0083】
図13に示すように、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間の半導体基板901の表面内にトレンチ分離構造911を配設した場合、外部端子ETに接地電位が与えられ、外部端子CTに正電位が与えられ、外部端子GTにオン信号が与えられた場合、第1主面MS1側までの電流パスとして、N型半導体領域913から抵抗R11、R1およびR12を有する半導体基板901内の経路およびゲート絶縁膜904に接するP型半導体領域902内に形成されるチャネル領域を通ってN型半導体領域906に達する電流経路(1)と、P型半導体領域912から抵抗R13およびR12を有する半導体基板901内の経路およびゲート絶縁膜904に接するP型半導体領域902内に形成されるチャネル領域を通ってN型半導体領域906に達する電流経路(2)が形成される。
【0084】
ここで、電流経路(1)は、いわゆるMOSFET素子として動作する際の経路であり、電流経路(2)は、いわゆるIGBT素子として動作する際の経路である。
【0085】
なお、外部端子ETに接地電位が与えられ、外部端子CTに負電位が与えられ、外部端子GTにオフ信号が与えられた場合はダイオード素子として動作し、抵抗R14を有する半導体基板901内の経路を通ってN型半導体領域913に達する電流経路(3)が形成される。
【0086】
ここで、半導体装置100がIGBT素子として動作する場合の電流と、MOSFET素子として動作する場合の電流が合流する部分をX1点と呼称すると、P型半導体領域912とN型半導体領域913との間をトレンチ分離構造911で分離することで、P型半導体領域912とX1点との間には抵抗R13を有することになり、N型半導体領域913とX1点との間には抵抗R11およびR1を有することになり、外部端子CTとX1点との間の抵抗値を大きくし、外部端子CTとX1点との間の電位差を容易に大きくすることができる。なお、抵抗R1の抵抗値は、図2に示した半導体装置90と同様に小さいが、抵抗R11の抵抗値は抵抗R1に比べて十分大きい。
【0087】
なお、図13においては、半導体基板901内の抵抗R12およびR13は、半導体層100がIGBT素子として動作する場合に、また抵抗R14はダイオード素子として動作する場合にモデュレーションが発生し、電圧が高くなるにつれて抵抗値は低くなるので、可変抵抗の記号を用いたが、MOSFET素子として動作する場合は、ほぼ一定の抵抗値になる。
【0088】
図14には、半導体装置100の電流電圧特性を概念的に示している。すなわち、図14においては、横軸に電圧値を、縦軸に電流値を示し、特性A1、特性B1、特性C1および特性D1の4種類の電流電圧特性を示している。また、比較のため、図3に示した特性A、B、CおよびDも併せて示している。
【0089】
特性A1は、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX1点との間の電位差の関係を示す特性である。
【0090】
特性B1は、P型半導体領域912を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX1点との間の電位差の関係を示す特性である。
【0091】
特性C1は、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差の関係を示す特性である。
【0092】
特性D1は、P型半導体領域912を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差の関係を示す特性である。
【0093】
また、特性A’は、N型半導体領域913を外部端子CTに接続せず、オープン状態とした場合の外部端子CTに流れる電流と、外部端子CTとX’点との間の電位差の関係である。
【0094】
ここで、P型半導体領域912の面積およびN型半導体領域913の面積は、共に図2に示した半導体装置90と同じに設定しているので、特性C1およびD1は、それぞれ図3に示した特性CおよびDと同じである。
【0095】
一方、X1点とN型半導体領域913との間の距離が大きくなったことで、その間の抵抗値(抵抗R1と抵抗R11との抵抗値の合計)が大きくなり、特性B1の傾きは、特性Bよりもかなり緩やかになる。
【0096】
この結果、外部端子CTとX1点との間の電位差がおよそ0.6Vに達し、モデュレーションが起こり始めるモデュレーション電圧Vmod(Z点で示される電圧)に達しても、電流は殆ど流れず、外部端子CTと外部端子ETとの間の電位差も小さくスナップバックを抑制できる。ここで、抵抗R13を流れる電流icは殆ど0であるので、Z点では、Vmod=(R11+R1)×idの関係が成り立っており、抵抗(R11+R1)の抵抗値が大きいため、少ない電流idでIGBTのコレクタをオンできる。ここで、idは、MOSFET素子の動作電流、すなわち電流経路(1)に流れる電流であり、ここでは、特にZ点での電流値を指す。また、電流icは、IGBT素子の動作電流、すなわち電流経路(2)に流れる電流であり、Z点では0である。
【0097】
以上説明したように、半導体装置100においてはスナップバックを抑制でき、かつ、そのために第2の主面MS2に占める有効領域の面積(P型半導体領域912とN型半導体領域913の面積の和)を小さくする必要がないので、IGBT素子の動作時のオン電圧やダイオード素子の動作時の順方向電圧Vfが高くなったり、それぞれの動作時の局所的電流密度が高くなることが防止される。
【0098】
C.製造方法
次に、半導体装置100の製造方法について図15〜図18を用いて説明する。なお、第1の主面MS1側の構成は、従来より公知の一般的なIGBTまたはMOSFETと同様の製造工程を経て形成されるので、公知の技術については説明を省略する。
【0099】
図15〜図18は、第2の主面MS2側の構造を得るための製造工程を順に示す断面図である。なお、以下の説明では、第1の主面MS1側においては、第1の主電極908より下層の構成は形成済みであるものとする。
【0100】
まず、半導体基板901の第1の主面MS1側に第1の主電極908より下層の構成(当該構成については図示は省略)を形成した後、図15に示す工程において、半導体基板901の第2の主面MS2に写真製版と異方性エッチングによってトレンチTRを形成する。
【0101】
ここで、半導体基板901の厚みTは、半導体装置の製造過程において、半導体ウエハに割れや欠けが生じにくく、かつ、写真製版工程において、露光装置等における特別な焦点深度調整を必要としない程度の厚みに設定されている。例えば、6インチの半導体ウエハを例に採れば、500〜650μmに設定されている。一方、トレンチTRの底部から、第1の主面MS1までの厚みSは、オン抵抗の低減と耐圧とを考慮して決定され、例えば、600Vの耐圧の半導体装置を想定した場合、60μmに設定される。
【0102】
なお、トレンチTRの幅や配設間隔は任意に設定でき、例えば、幅0.2μm〜100μm、配設間隔は0.5μm〜500μmに設定される。
【0103】
次に、図16に示す工程において、CVD法等により、第2の主面MS2の全面に、トレンチTRの幅以上の厚さの絶縁膜ZLを堆積することにより、トレンチTRに絶縁膜ZLを埋め込む。
【0104】
次に、図17に示す工程において、異方性エッチング等により、エッチバックを行い、第2の主面MS2の表面の絶縁膜ZLを取り除くことで、絶縁体914によって構成されるトレンチ分離構造911を得る。
【0105】
なお、所望の特性を得るために必要であれば、図18に示す工程において、異方性エッチングやCMP(Chemical Mechanical Polishing)等の研磨技術により第2の主面MS2側を研磨して、所望の基板厚みを得るようにしても良い。この場合、研磨後の基板厚みMと、厚みTおよびSとの大小関係は、S<M<Tとなることは言うまでもない。
【0106】
ここで、P型半導体領域912およびN型半導体領域913は、トレンチ分離構造911を形成する前に形成され、P型半導体領域912およびN型半導体領域913の境界部分にトレンチ分離構造911を形成することが一般的であるが、図18を用いて説明した研磨を行う場合は、研磨後にP型半導体領域912およびN型半導体領域913を形成する。
【0107】
その後、第2の主電極916を構成する導電体材料を、蒸着法などにより堆積することで、第2の主面MS2側の構造を得ることができる。
【0108】
なお、上記説明では、第2の主面MS2側の構成は、第1の主面MS1側の構成を形成した後に形成するとしたが、これに限定されるものではなく、トレンチTRが、第1の主面MS1側の構成の形成に際して支障を及ぼさないのであれば、第2の主面MS2側の構成は、第1の主面MS1側の構成の形成途中で形成しても良い。
【0109】
また、P型半導体領域912およびN型半導体領域913がアニールにより十分に活性化されることが望ましいので、P型半導体領域912およびN型半導体領域913の形成後にアニール工程が実施されることが望ましい。
【0110】
また、第2の主電極916の形成のタイミングは上記に限定されるものではないが、金や銀を含む多層金属膜で構成するので、金属汚染を防止するため、ウエハプロセスの最終工程で形成することが望ましい。
【0111】
D.変形例
以上説明した半導体装置100では、半導体基板901が、N型半導体基板で構成された例について説明したが、P型半導体基板の場合であっても同様の効果が得られることは言うまでもない。
【0112】
また、半導体装置100では、第2の主電極916にP型半導体領域912およびN型半導体領域913を共通に接続した構成を有し、第2の主電極916がP型半導体領域912およびN型半導体領域913を覆う構成であったので、構造が簡単であり、外部端子CTに接続するための複雑な配線等は不要な構成を示した。しかし、図19に示す半導体装置100Aのように、P型半導体領域912に接続される第2の主電極916aと、N型半導体領域913に接続される第2の主電極916bとを設け、P型半導体領域912とN型半導体領域913とで、それぞれ別個の主電極に接続される構成としても良い。
【0113】
この場合、第2の主電極916bは抵抗素子915を介して外部端子CTに接続される構成とすることで、N型半導体領域913とP型半導体領域912との間の半導体基板901内での抵抗は、半導体装置100よりも小さくて済むので、トレンチ分離構造911の深さを浅くすることができる。なお、第2の主電極916aには抵抗素子915の代わりの電流制限素子として、ダイオード素子やトランジスタ素子を接続しても良い。このように、P型半導体領域912とN型半導体領域913とで、それぞれ別個の主電極に接続される構成とすることで、多様な構成を採用することが可能となる。
【0114】
また、半導体装置100のように、第2の主電極916により、P型半導体領域912およびN型半導体領域913を覆う構成においては、N型半導体領域913へのコンタクト抵抗をP型半導体領域912へのコンタクト抵抗よりも高くなるように第2の主電極916の材質を選択することで、図19に示す半導体装置100Aと同様の効果を得ることができる。例えば、第2の主電極916として金、銀および白金などの仕事関数の大きな金属を使用する。
【0115】
また、実施の形態においては、トレンチ分離構造911をトレンチ内に絶縁体を埋め込んで構成した例を示したが、半導体基板901と反対導電型で、半導体基板901とほぼ等しい不純物濃度を有する高抵抗半導体(例えば、1200V耐圧の素子では不純物濃度1×1014atoms/cm3、比抵抗50〜60オーム)を埋め込んで構成しても良い。
【0116】
また、トレンチ分離構造911を高抵抗半導体で構成する場合、高抵抗半導体とN型半導体領域913とP型半導体領域912との間に絶縁膜を形成しても良く、上記絶縁膜は、トレンチ分離構造911底部には、あっても無くても良い。
【0117】
また、トレンチ分離構造911は、トレンチTR内に絶縁物も高抵抗半導体材料も埋め込まず、トレンチだけで構成しても良い。
【0118】
また、本発明の適用はIGBT素子やダイオード素子に限定されるものではなく、サイリスタ素子への適用も可能である。
【図面の簡単な説明】
【0119】
【図1】本発明の経緯を説明するための半導体装置の構成を示す断面図である。
【図2】本発明の経緯を説明するための半導体装置の動作を説明する等価回路を示す図である。
【図3】本発明の経緯を説明するための半導体装置の動作特性を説明する図である。
【図4】本発明に係る半導体装置の実施の形態の構成を示す断面図である。
【図5】本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
【図6】本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
【図7】本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
【図8】本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
【図9】本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
【図10】本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
【図11】本発明に係る半導体装置の実施の形態の平面構成の一例を示す図である。
【図12】本発明に係る半導体装置に使用される半導体基板のウエハ状態での構成を示す平面図である。
【図13】本発明に係る半導体装置の実施の形態の動作を説明する等価回路を示す図である。
【図14】本発明に係る半導体装置の実施の形態の動作特性を説明する図である。
【図15】本発明に係る半導体装置の実施の形態の製造工程を説明する断面図である。
【図16】本発明に係る半導体装置の実施の形態の製造工程を説明する断面図である。
【図17】本発明に係る半導体装置の実施の形態の製造工程を説明する断面図である。
【図18】本発明に係る半導体装置の実施の形態の製造工程を説明する断面図である。
【図19】本発明に係る半導体装置の実施の形態の変形例の構成を示す断面図である。
Claims (6)
- 半導体基板(901)の第1の主面(MS1)に設けられた第1の主電極(908)と、
前記半導体基板(901)の第2の主面(MS2)に設けられた第2の主電極(916)と、
前記第1の主面(MS2)の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ型ゲート電極(905)と、を備え、前記半導体基板(901)の厚み方向に主電流が流れる半導体装置であって、
前記半導体基板(901)は、
前記第2の主面(MS2)の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)と、
前記第2の主面(MS2)の表面内に配設された、第1導電型の第1の不純物領域(913)および第2導電型の第2の不純物領域(912)とを有し、
前記少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)は、
前記第2の主面(MS2)の表面内に設けたトレンチ内部に、絶縁体または前記半導体基板とは反対導電型の半導体を埋め込んで構成され、前記第1の不純物領域と前記第2の不純物領域とを隔てるように配設されることを特徴とする、半導体装置。 - 前記第2の主面(MS2)における前記少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)、前記第1および第2の不純物領域(913,912)の露出面は、同一平面をなし、
前記第2の主電極(916)は、前記少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)、前記第1および第2の不純物領域(913,912)上を共通に覆うように配設される、請求の範囲1記載の半導体装置。 - 前記第2の主電極(916a,916b)は、前記第1および第2の不純物領域を個々に覆うように配設され、
前記第2の不純物領域(913)を覆う前記第2の主電極(916b)は、抵抗素子(915)を介して主電極端子に接続される、請求の範囲1記載の半導体装置。 - 前記少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)は、
前記絶縁体内部の電荷が、前記半導体基板(901)内の電荷に対して極性が逆で、前記少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)の電荷量の合計が、前記半導体基板(901)の前記第2の主面(MS2)から前記少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)の底面までの領域での前記半導体基板(901)内の電荷量とほぼ等しい、請求の範囲1記載の半導体装置。 - 前記少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)の幅は、0.2μm〜100μmの範囲に設定され、配設間隔は0.5μm〜500μmの範囲に設定される、請求の範囲1記載の半導体装置。
- 半導体基板(901)の第1の主面(MS1)に設けられた第1の主電極(908)と、前記半導体基板(901)の第2の主面(MS2)に設けられた第2の主電極(916)と、前記第1の主面(MS2)の表面内に設けられた少なくとも1つのトレンチ型ゲート電極(905)と、を備え、前記半導体基板(901)の厚み方向に主電流が流れる半導体装置の製造方法であって、
(a)半導体ウェハの状態で前記第1の主面(MS1)側の構成を形成した後、前記第2の主面(MS2)の表面内に少なくとも1つのトレンチ(TR)を形成する工程と、
(b)前記半導体ウェハの状態で、前記第2の主面(MS2)の全面に絶縁体層または前記半導体基板とは反対導電型の半導体層を形成して、前記少なくとも1つのトレンチ(TR)内に前記絶縁体層または前記半導体層を埋め込む工程と、
(c)前記第2の主面(MS2)上の前記絶縁体層または前記半導体層を除去して少なくとも1つのトレンチ分離構造(911)を得る工程と、を備える半導体装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2003/007168 WO2004109808A1 (ja) | 2003-06-05 | 2003-06-05 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2004109808A1 true JPWO2004109808A1 (ja) | 2006-07-20 |
JP4456006B2 JP4456006B2 (ja) | 2010-04-28 |
Family
ID=33495936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004570612A Expired - Lifetime JP4456006B2 (ja) | 2003-06-05 | 2003-06-05 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7504707B2 (ja) |
EP (1) | EP1630872B1 (ja) |
JP (1) | JP4456006B2 (ja) |
CN (1) | CN100573910C (ja) |
TW (1) | TWI257686B (ja) |
WO (1) | WO2004109808A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4797445B2 (ja) * | 2005-05-24 | 2011-10-19 | 株式会社デンソー | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ |
JP2007184486A (ja) * | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP2007288094A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | Igbtとそれを駆動するゲート駆動回路 |
JP5984282B2 (ja) * | 2006-04-27 | 2016-09-06 | 富士電機株式会社 | 縦型トレンチ型絶縁ゲートmos半導体装置 |
US7989882B2 (en) | 2007-12-07 | 2011-08-02 | Cree, Inc. | Transistor with A-face conductive channel and trench protecting well region |
JP5369434B2 (ja) * | 2007-12-21 | 2013-12-18 | サンケン電気株式会社 | 双方向スイッチ |
US8265474B2 (en) * | 2008-03-19 | 2012-09-11 | Fujinon Corporation | Autofocus system |
JP2010098189A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2011009352A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法ならびにそれを用いた電源装置 |
JP5587622B2 (ja) | 2010-01-27 | 2014-09-10 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 逆導通型igbt |
DE112010005443B4 (de) | 2010-04-02 | 2019-03-14 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Halbleitervorrichtung mit einem Halbleitersubstrat mit einem Diodenbereich und einem IGBT-Bereich sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
JP2013229547A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-11-07 | Toshiba Corp | 半導体装置および半導体モジュール |
CN103855199B (zh) * | 2012-11-29 | 2017-04-26 | 上海联星电子有限公司 | 一种逆导型igbt器件 |
CN104253154A (zh) | 2013-06-28 | 2014-12-31 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 一种具有内置二极管的igbt及其制造方法 |
US9048316B2 (en) * | 2013-08-29 | 2015-06-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Flash memory structure and method of forming the same |
US9385222B2 (en) | 2014-02-14 | 2016-07-05 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor device with insert structure at a rear side and method of manufacturing |
JP2015207588A (ja) * | 2014-04-17 | 2015-11-19 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
JP2017117882A (ja) * | 2015-12-22 | 2017-06-29 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
DE112018002905T5 (de) * | 2017-06-09 | 2020-02-20 | Fuji Electric Co., Ltd. | Halbleitervorrichtung und verfahren zur herstellung einerhalbleitervorrichtung |
CN108649068B (zh) * | 2018-06-29 | 2021-07-09 | 中国科学院微电子研究所 | Rc-igbt器件及其制备方法 |
CN109256423B (zh) * | 2018-08-30 | 2022-02-18 | 西安理工大学 | 一种氧化槽交替隔离型绝缘栅双极晶体管及其制备方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS561566A (en) | 1979-06-19 | 1981-01-09 | Nec Corp | Semiconductor element |
JPS5940574A (ja) | 1982-08-30 | 1984-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体素子 |
JPS5963719A (ja) | 1982-10-04 | 1984-04-11 | Matsushita Electronics Corp | 半導体装置 |
JPS6123350A (ja) | 1984-07-12 | 1986-01-31 | Nec Corp | 半導体装置 |
JPH0783120B2 (ja) * | 1988-09-01 | 1995-09-06 | 三菱電機株式会社 | バイポーラ型半導体スイッチング装置 |
JPH03126264A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH03268363A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-29 | Fuji Electric Co Ltd | 絶縁ゲートバイポーラトランジスタ |
JP2924097B2 (ja) | 1990-06-07 | 1999-07-26 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法 |
JPH07263669A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-13 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US5841197A (en) * | 1994-11-18 | 1998-11-24 | Adamic, Jr.; Fred W. | Inverted dielectric isolation process |
US5751024A (en) * | 1995-03-14 | 1998-05-12 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Insulated gate semiconductor device |
JPH08290676A (ja) | 1995-04-25 | 1996-11-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感熱転写シートおよび画像形成方法 |
US6225655B1 (en) * | 1996-10-25 | 2001-05-01 | Texas Instruments Incorporated | Ferroelectric transistors using thin film semiconductor gate electrodes |
DE19705276A1 (de) * | 1996-12-06 | 1998-08-20 | Semikron Elektronik Gmbh | IGBT mit Trench-Gate-Struktur |
JP4351745B2 (ja) | 1997-09-19 | 2009-10-28 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP3523056B2 (ja) | 1998-03-23 | 2004-04-26 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP4198251B2 (ja) * | 1999-01-07 | 2008-12-17 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置およびその製造方法 |
US6392859B1 (en) * | 1999-02-14 | 2002-05-21 | Yazaki Corporation | Semiconductor active fuse for AC power line and bidirectional switching device for the fuse |
US6162702A (en) | 1999-06-17 | 2000-12-19 | Intersil Corporation | Self-supported ultra thin silicon wafer process |
JP3647802B2 (ja) * | 2001-01-25 | 2005-05-18 | 株式会社東芝 | 横型半導体装置 |
-
2003
- 2003-06-05 JP JP2004570612A patent/JP4456006B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-05 US US10/515,346 patent/US7504707B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-05 WO PCT/JP2003/007168 patent/WO2004109808A1/ja active Application Filing
- 2003-06-05 EP EP03736055.9A patent/EP1630872B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-05 CN CNB038169657A patent/CN100573910C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-08-08 TW TW092121794A patent/TWI257686B/zh not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-11-14 US US12/271,544 patent/US7629226B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050212057A1 (en) | 2005-09-29 |
US20090068815A1 (en) | 2009-03-12 |
US7504707B2 (en) | 2009-03-17 |
JP4456006B2 (ja) | 2010-04-28 |
EP1630872A1 (en) | 2006-03-01 |
CN100573910C (zh) | 2009-12-23 |
TW200428575A (en) | 2004-12-16 |
WO2004109808A1 (ja) | 2004-12-16 |
EP1630872A4 (en) | 2008-03-19 |
EP1630872B1 (en) | 2016-12-28 |
TWI257686B (en) | 2006-07-01 |
US7629226B2 (en) | 2009-12-08 |
CN1669151A (zh) | 2005-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7629226B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
US9536875B2 (en) | Semiconductor device | |
US8039346B2 (en) | Insulated gate silicon carbide semiconductor device and method for manufacturing the same | |
US9012954B2 (en) | Adjustable field effect rectifier | |
CN110718546B (zh) | 绝缘栅极半导体器件及其制造方法 | |
JP5539355B2 (ja) | 電力用半導体装置およびその製造方法 | |
TW201301366A (zh) | 製造絕緣閘極半導體裝置之方法及結構 | |
JPH09246552A (ja) | 重畳されたフィールドプレート構造を有する電力半導体装置およびその製造方法 | |
JP4282972B2 (ja) | 高耐圧ダイオード | |
JP7024626B2 (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法 | |
JP5687128B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US7759711B2 (en) | Semiconductor device with substrate having increased resistance due to lattice defect and method for fabricating the same | |
US7238976B1 (en) | Schottky barrier rectifier and method of manufacturing the same | |
US11276784B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2024511552A (ja) | 信頼性及び導通が向上したトレンチ型パワー・デバイス | |
CN116711080A (zh) | 具有多个栅极沟槽的半导体功率装置和形成此装置的方法 | |
JP2007053226A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
RU2705761C1 (ru) | Полупроводниковое устройство | |
CN113597680B (zh) | 具有包括掩埋晶粒停止层的顶侧金属化结构的功率半导体装置 | |
KR100703231B1 (ko) | 반도체장치 및 그 제조방법 | |
CN114156342A (zh) | 半导体装置以及半导体装置的制造方法 | |
JP7371426B2 (ja) | 半導体装置 | |
CN115868030A (zh) | 用于电气接触区域的阻挡层 | |
JPH1117164A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2010147198A (ja) | Mos型半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081031 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100204 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4456006 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140212 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |